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1 原 間 顕微鏡の本質

2 CoreAFM: 原 間 顕微鏡の本質 AFM の中 的な構成要素を知的に組み合わせて最 限の汎 性と使いやすさを実現する CoreAFM を開発しました この基本的な設計により CoreAFM は AFM を最善に実 するために合理化されます 主な機能 完全で合理的な機能設定を備えた設計によりコンパクト最新のフレキシブルガイドスキャナ 完全なデジタル 32 ビットコントローラ XYZ サンプルステージ カメラ 防 シールドを単 のオールインワンユニットで融合することにより 類のないコンパクトな設置 積を備えた完全な AFM システムが実現します 最新の AFM のすべての本質的な機能は CoreAFM システムの不可 な要素です ; したがって 完全に動作する CoreAFM に必要な電 と USB を接続するだけです 強 で汎 性の い本当の機器 24 ビット ADC と DAC を備えた最先端のエレクトロニクスは μm スキャナの 解像度 XYZ 駆動をもたらして カンチレバーだけで限定された低ノイズ 検出を可能にします 完全に互換性のあるアドオンを備えた 32 の標準モードとオプションモードは 材料研究からライフサイエンスと電気化学までのアプリケーションに CoreAFM が最適なツールになります 基本的な CoreAFM システムから始めて その機能をシームレスに拡張することができます 最 の価値を提供する簡単で機能的 シンプルで統合された設計 法により スキャナーとコントローラー間のケーブルおよびコネクター コントローラーケース 防 シールド カメラハウジングなどが不要になり 残りのすべての構成要素がその機能に かせません 余計なものがない が良い : CoreAFM の場合 これは コストにより多くの価値をもた 閉じた状態 ( 上図 ) では CoreAFM のスキャナが外乱からスキャンを保護します これは 例えば 新しいサンプルを置くことに関して スキャナとサンプルステージへのアクセスを可能にするために簡単に開くことができます ( 下図 ) らします 混合ポリマーのトポグラフィー ( 上図 ) と位相モード ( 下図 ) 2

3 スパイクガード Iso ステージのより深いシステム統合は スパイクガードの独 の機能を搭載します この機能により イメージング時に防振台で除けないノイズを排除します Iso ステージは アクティブな防振システムですが 歪みがひどすぎる場合でも突然のノイズが発 する可能性があります スパイクガードは このようなノイズを検出して 歪みのない画像が得られるようにスキャンラインを再スキャンします キットには サンプルとカンチレバーを含むモードを開始するためのすべてが含まれています オプションは 新しいモードを有効にするために必要なすべてのハードウェア ソフトウェアキー およびアクセサリを提供します 中央の円に記載されている標準モードは 追加オプションなしで可能です スタティックモード ダイナミックモード および位相イメージングキットは 常に CoreAFM に含まれています 3

4 スキャナ 最 XY スキャン範囲 100 μm < 5 nm 平坦度 最 Z スキャン範囲 12 μm クローズドループ 検出ノイズ (RMS) typ. 60 pm 最. 100 pm センサーノイズ (Z, RMS) typ. 180 pm 最. 250 pm ダイナミックモードノイズ (Z, RMS) typ. 40 pm 最. 70 pm スタティックモードノイズ (Z, RMS) typ. 100 pm 最. 200 pm コントローラー スキャンコントロールおよび 24-bit ADC/DAC 200 khz デジタルロックイン (2 ) 16-bit ADC/DAC 20 MHz ユーザ / 出 励起 24-bit ADC/DAC 5 MHz, 10 V デジタル同期 2-bit ライン / フレーム同期出 5 V, TTL 温度同調 10 Hz 2 MHz FPGA, 32-bit CPU, 256 MB RAM プログラム化できる USB 次的追加機能 導電性 AFM モードオプション 導電性カンチレバーホルダーに (Conductive AFM mode より 10 na 100 μa の電流 測定が可能 1 次的追加機能 電気化学 (EC-AFM) オプション (Electrochemistry シグナル I/O オプション (Signal I/O ペトリディッシュオプション (Petri dish FluidFM カンチレバーホルダー (Cantilever holder FluidFM) アドバンスドリソグラフィオプション (Advanced lithography アドバンスドスペクトロスコピーオプション (Advanced spectroscopy EC-AFM 実験を可能にする特別に設計されたセルおよび電極パッドを備えたサンプルホルダーユーザ定義実験 の拡張機能 (24 ビット ADC / DAC デジタル同期出 励起 デフレクション / フリクション信号出 ユーザ の Z フィードバック ) ペトリディッシュを使 する液体やバイオ 途 のサンプルホルダー Cytosurge 社 FluidFM プローブを使 できるようにする FluidFM 対応カンチレバーホルダーナノプリンティングモードおよびリソグラフィ の CAD ベクトルデータを読み取り可能スペックマップ リアルタイムスペック曲線解析 スペック曲線処理 およびフォース測定時の各項 の詳細設定を可能にします カンチレバーのバネ定数とたわみ感度校正を追加します SPIP 後処理ソフトウェアの 1 ライ アドバンスド MFM モードオプ MFM / EFM 画質を改善するた センスを含む ション めのデュアルパス形状追従モー スクリプトインターフェースオ スクリプト LabView および (Advanced MFM mode ドを追加 プション Microsoft COM オートメーシ サンプル加熱オプション 室温から 120 C までのサンプ (Scripting interface ョンをサポートする他のプログ (Sample heating ルを加熱するサンプルホルダー ラミング 語による AFM コン と温度コントローラーを含む トロールを可能にします 環境制御オプション (Environmental control スキャナとサンプルホルダー間の柔軟なエンクロージャー チューブとワイヤーのフィードスル アクティブ防振台 Isostage 300 (Isostage 300) 独 のスパイクガード機能を備えたアクティブ防振台 ーのシーリングリングにより サ ンプル環境をコントロール info@nanosurf.com /

5 CoreAFM 特徴 2 次的追加機能 般的な設計 チップスキャナー コントローラー サン ペトリディッシュ加 液体の加熱を可能にする加熱電 機器をペ プルステージ スキャンプロテクションを 熱オプション トリディッシュオプションに追加します 1 つの筐体に収めたコンパクトな設計 ピエゾ Z スキャナを備えた湾曲 XY スキャナ (Petri dish heating アドバンスド導電性 AFM モードオプシ ( 最 45 C) 微 電流測定 の電流プリアンプ内蔵サンプルホルダー (pa レンジまで ) サンプル観察 気中および液中で上 か または側 ョン の 体型カメラ 5 メガピクセルカラー (Advanced サンプル照明 CCD 切り替え可能 フォーカス調整 トップビューとサイドビュー の conductive AFM mode EFM モードキット EFM と KPFM イメージング のサンプル LED( 明るさ %) 上 照明 (EFM mode kit) を提供 の同軸照明も装備 2 次的追加機能 サンプルアプローチ 統合された電動サンプル Z ステージ ( 移動 PFM モードオプショ イメージング時に ピエゾフォース測定す 範囲 : 5 mm) による 動並列アプローチ ン るための 2 次ロックインを可能にします サンプルステージ 統合された XY サンプルステージ ( 移動範囲 : mm) (PFM mode KPFM モードオプション イメージング時に ケルビンフォースを測定するための 2 次ロックインおよびチッ サンプルサイズ 標準 < 50 mm( 拡張 < 100 mm) (KPFM mode プ電圧フィードバックコントローラーを可 サンプル さ 標準 < 5 mm( 拡張 < 10 mm / 最 < 40 mm) 重量 / 法 (WDH) 16 kg / mm 消費電 VAC, 50/60 Hz, 50 W 標準 CoreAFM 操作モード スタティックフォース ダイナミックフォース ラテラルフォース 位相イメージング 液中イメージング フォースモデュレーション 査型熱顕微鏡オプション (Scanning thermal option ) ナノ熱分析オプション (Nano-thermal analysis FluidFM 追加機能 能にします カンチレバー カンチレバーホルダー および電 機器による SThM の実 カンチレバー カンチレバーホルダー および電 機器による局所的な熱放出測定の実 標準 MFM 標準スペクトロスコピー 標準リソグラフィ 各システムに含まれるスタティックフォース ダイナミックフォー ス 位相イメージング のキット 査型イオンコンダクタンス顕微鏡 (FluidFM SICM) FluidFM ナノリソグラフィ (FluidFM nanolithography) FluidFM スポッティング (FluidFM spotting) FluidFM コロイダルスペクトロスコピー (FluidFM colloidal spectroscopy) 低電流 低ノイズのプリアンプとアクセサリを追加して 査型イオン電流イメージングを可能にして 液中の軟質材料の分解能を向上させます μm サイズの構造を作成 ( ナノリソグラフィ ) するための液体吐出機能を使 します極微少量 ( サブフェムトリットル ) 単位での液体の吐出が可能コロイド粒 を中空カンチレバーで保持して フォース測定が可能 info@nanosurf.com /

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