ChemArrest トレータイプ吸着剤種類吸着剤主用途代表的例 CB-CSA ( 黒色破砕状 mesh) 酸除去用オゾン亜硫酸ガス (SO2,SO 2- ) 硫化水素 (H2S) 塩化水素 (HCl) フッ化水素 (HF) 窒素酸化物 (NO2, NO2-, NO3-) ギ酸 (HCOOH

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ゆあいさし
5 years ago
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ケミアレストケミカルフィルタ ChemArrest ケミアレストの特長各種のプリーツタイプ品およびトレータイプ品をご用意しております外気処理用循環空調系またはFFU

用途に応じた吸着剤を充填した複数枚のカートリッジを組み込んだ構造のものでプリーツタイプ品に比べて大きい吸着容量を持っています

ケミカルろ材として安定で高強度の繊維同士結合した 3 次元マトリックス内に小粒径の高性能吸着剤をサンドイッチ状に均等に分散して保持した不織布を使用しているため

吸着剤をマトリックスに固着保持しているので脱離発塵が少ない安定で高強度の繊維と高性能吸着剤を使用しているため有機物質または無機物質発生による 2 次汚染を生じない

1 ケミアレストケミカルフィルタ ChemArrest ケミアレストの特長各種のプリーツタイプ品およびトレータイプ品をご用意しております外気処理用循環空調系またはFFU 等製造装置用などいろいろの用途に最適の組合せを選定して清浄な空気をご提供いたしますトレータイプ品用途に応じた吸着剤を充填した複数枚のカートリッジを組み込んだ構造のものでプリーツタイプ品に比べて大きい吸着容量を持っています高濃度ガス処理など長寿命を目的とした場合に使用します用途に応じた各種の高性能吸着剤を品揃えカートリッジの交換が容易に行えるように構造を工夫プリーツタイプ品ケミカルろ材として安定で高強度の繊維同士結合した 3 次元マトリックス内に小粒径の高性能吸着剤をサンドイッチ状に均等に分散して保持した不織布を使用しているため小粒径高性能吸着剤であるため吸着速度が速く高除去効率を達成できるまた吸着容量が大きいため長寿命である吸着剤を 3 次元マトリックス状に均等保持しているのでが低い吸着剤をマトリックスに固着保持しているので脱離発塵が少ない安定で高強度の繊維と高性能吸着剤を使用しているため有機物質または無機物質発生による 2 次汚染を生じないその他シール剤などフィルタ製造構成部材にも配慮し 2 次汚染のない丈夫なものを使用しておりますので安心してご使用いただけますトレータイプのペレット ( 薬剤 ) 充填 CB-CSA CB-CSB CB-CSC CB-CSF CB-CSX CB-CSA ミニプリーツタイプのケミカルろ材拡大写真

2 ChemArrest トレータイプ吸着剤種類吸着剤主用途代表的例 CB-CSA ( 黒色破砕状 mesh) 酸除去用オゾン亜硫酸ガス (SO2,SO 2- ) 硫化水素 (H2S) 塩化水素 (HCl) フッ化水素 (HF) 窒素酸化物 (NO2, NO2-, NO3-) ギ酸 (HCOOH) 酢酸 (CH3COOH) ホウ素化合物 ( H 3BO3, BF3 など ) など酸性ガスおよびメチルメルカプタン有機系ガスとの複合臭 CB-CSA ( 赤紫色球状 φ3.2) NO 酸化硫黄系ガス除去用亜硫酸ガス硫化水素メチルメルカプタン類など窒素酸化物エチレンその他複合臭気 CB-CSB CB-CSB( 長寿命 ) ( 黒色破砕状 mesh) アルカリ除去用アンモニアトリメチルアミン有機塩基類 (NMP など ) 有機系ガスとの複合臭 CB-CSC ( 黒色破砕状 mesh) 有機物除去用ベンゼントルエンキシレンスチレン ( 溶剤類 ) フタル酸エステル (DOP,DBP,DEP など ) リン酸エステル (TBP,TEP,TMP など ) 脂肪酸エステル ( ステアリン酸エチルなど ) 環状シロキサン (D3~D など ) フェノール系酸化防止剤 (BHA,BHT など ) 有機塩基 (NMP など ) 有機酸アルコールアルデヒドなど有機化合物オゾン二硫化メチル複合臭 CB-CSF ( 黒色破砕状 mesh) ホルムアルデヒド用ホルムアルデヒド ( 薫蒸排気処理に最適 ) 有機系ガスとの複合臭 CB-CSX ( 黒色破砕状 mesh) 悪臭処理硫黄系酸系ガス除去用亜硫酸ガス硫化水素メルカプタンなど硫黄系酸系有機系複合臭プリーツタイプ主用途代表的例酸除去用亜硫酸ガス硫化水素塩化水素フッ化水素二酸化窒素ホウ酸リン酸ギ酸酢酸メチルメルカプタンオゾンアルカリ除去用アンモニアトリメチルアミン有機塩基類 (NMP など ) 有機物除去用ベンゼントルエンキシレンスチレン ( 溶剤類 ) フタル酸エステル (DOP,DBP,DEP など ) リン酸エステル (TBP,TEP,TMP など ) 脂肪酸エステル ( ステアリン酸エチルなど ) 環状シロキサン (D3~D など ) フェノール系酸化防止剤 (BHA,BHT など ) 有機塩基 (NMP など ) 有機酸アルコールアルデヒドなど有機化合物オゾン二硫化メチル

3 トレータイプの臭気ガス除去性能設計施設別にSV 値 ( スペースベロシティー ) の範囲を目安としてフィルタを選定します SV 値 (h)= 処理流量 (m 3 /h)/ 充填容量 (m 3 ) 処理流量 (m 3 /h)=sv 値 (h)x 充填容量 (m 3 ) 施設処理施設 SV 値 ( カートリッジ充填式 ) 半導体関連施設硫黄化合物窒素酸化物アンモニア塩化水素フッ化水素リン化合物ホウ素化合物シロキサン類有機化合物 5000~00 食品工場製薬工場病院医療施設等博物館美術館図書館硫黄化合物窒素酸化物アンモニアメチルメルカプタンアルコール類有機酸類硫黄化合物窒素酸化物アンモニアアルコール類ホルムアルデヒドその他アルデヒド類有機酸類アミン類エチレンオキシド複合臭硫黄化合物窒素酸化物アンモニアオゾンホルムアルデヒドギ酸酢酸過酸化物 00~ ~ ~0000 動物飼育施設印刷工場塗装工場一般事務所学校等下水屎尿塵芥処理施設硫化水素硫化メチルアンモニアトリメチルアミンメチルメルカプタン有機酸類複合臭トルエン酢酸エチルイソプロピルアルコールトルエンキシレン酢酸エチルアルコール類硫黄化合物窒素酸化物アンモニアアルコール類アルデヒド類硫化水素アンモニアトリメチルアミンメチルメルカプタン硫化メチル二硫化メチル有機物複合臭 00~ ~ ~ ~ ~000 ミニプリーツタイプ除去効率測定 GC/MS による初期除去効率測定結果供試フィルタ試験面速温度湿度サンプリング方法捕集量分析方法 CBM-C-F 0.5m/s 23 3%RH Tenax 捕集管捕集 20L(0.3L/min) GC/MS 分析装置除去効率 99% 以上

4 ChemArrest ケミカルフィルタの選定ケミアレストフィルタは臭気ガスの除去を目的としたエアーフィルタです外気処理並びに排気処理には吸着容量が大きく長寿命のトレータイプを推奨しますクリーンブースまたは生産装置等でより一層のガス除去を必要とするときはミニプリーツタイプを推奨します室内で発生する臭気を除去して循環するときはセパレータタイプを推奨します外気排気 HEPA フィルタケミアレスト CBM タイプ HEPA フィルタ

( / 時間 ) 50,000 0,000 30,000 20,000,000 50,000 0,000 30,000 20,000,000 50,000 0,000 30,000 20,000,000 CB- - - トレータイプ / トレータイプダクト接続型

5 トレータイプケミアレストケミカル脱臭フィルタ外気処理高濃度ガス処理 ChemArrest 高い除去性能を有し長寿命交換はカートリッジのみのため軽量外気処理に限らず排気系にも使用可ダクト接続型表現 CB 吸着剤を示します A 酸系 A 硫黄系 B B ( 長寿命 ) C 有機系 F ホルムアルデヒド X 悪臭 ( メルカプタン ) サイズを示します仕様を示します T トレータイプ D トレータイプダクト接続型ケミアレストを示しますタイプ外枠吸着剤 S V 値 ( / 時間 ) S V 値 ( / 時間 ) S V 値 ( / 時間 ) 50,000 0,000 30,000 20,000,000 50,000 0,000 30,000 20,000,000 50,000 0,000 30,000 20,000,000 CB- - - トレータイプ / トレータイプダクト接続型鋼板製焼付塗装に応じて選定流量と SV 値 CB- -23F 流量 CB- -23H CB- -0F CB- -0H CB- -59H CB- -59F 流量 CB- -23V CB- -0V CB- -59V 流量

6 ChemArrest トレータイプ仕様表型式本体カートリッジ高さ幅奥行寸法 (mm) 枚数充填容量 (L) 総 CB-T-59F - CB-T-59H - CB-T-59V - CB-T-59Q - CB-T-0F - CB-T-0H - CB-T-0V - CB-T-0Q - CB-T-23F - CB-T-23H - CB-T-23V - CB-T-23Q - ダクト接続型仕様表型式本体 CB-T-59F CB-T-59H CB-T-59V CB-T-59Q CB-T-0F CB-T-0H CB-T-0V CB-T-0Q CB-T-23F CB-T-23H CB-T-23V CB-T-23Q カートリッジ CB-59F- CB-59V- CB-0F- CB-0V- CB-23F- CB-23V- 高さ幅奥行寸法 (mm) 枚数充填容量 (L) 総は有機仕様の概算です標準寸法外は対応しておりません総 CB-D-59F- CB-D-59H- CB-D-59V- CB-D-59Q- 790 CB-D-59F CB-D-59H CB-D-59V CB-D-59Q CB-59F- CB-59V CB-D-0F- CB-D-0H- CB-D-0V- CB-D-0Q- 600 CB-D-0F CB-D-0H CB-D-0V CB-D-0Q CB-0F- CB-0V CB-D-23F- CB-D-23H- CB-D-23V- CB-D-23Q- 30 CB-D-23F CB-D-23H CB-D-23V CB-D-23Q CB-23F- CB-23V 総は有機仕様の概算です標準寸法外は対応しておりません流量と 00 圧力0 損失 23F 0F 流量 59F 0

7 ケミアレストケミカルフィルタ生産装置 / システム天井用 FFU 搭載 ChemArrest タイプ CBM - - ミニプリーツタイプクリーン機器生産装置クリーンルームに使用する FFU( ファンフィルタユニット ) に ULPA/HEPAと共に使用イオン交換タイプは活性炭タイプより長寿命特性 0 表現圧力損失 CBM3- -F/CBMD- -F CBM- -F CBM - - サイズを示しますろ材を示します A 酸系 B B R ( イオン交換タイプ ) C 有機系奥行を示しますケミアレストのミニプリーツタイプを示します流量

8 ChemArrest 50t 標準仕様表 ( 活性炭タイプ ) 酸系有機系多段仕様 ( 複合ガス処理または長寿命 ) 複合ガス対応 ( 有機 + アルカリ + 酸 ) も製作可能です同一種類の多段仕様 ( 例 2 段 ~5 段 ) も製作可能です構成材料材質 CBM-A-F CBM-A-H CBM-A-V CBM-B-F CBM-B-H CBM-B-V CBM-C-F CBM-C-H CBM-C-V CBM3-A-F CBM3-A-H CBM3-A-V CBM3-B-F CBM3-B-H CBM3-B-V CBM3-C-F CBM3-C-H CBM3-C-V ろ材外枠外枠表面処理密封剤ガスケット 50t 標準仕様表 ( イオン交換タイプ ) 酸系有機系 CBM-BR-F CBM-BR-H CBM-BR-V CBMD-BR-F CBMD-BR-H CBMD-BR-V 30t 標準仕様表 ( 活性炭タイプ ) CBM - - 不織布 + 粒状活性炭又はイオン交換樹脂アルミニウムアルマイト + クリア塗装ホットメルト EPDM H プリーツ ( ろ材折り目 ) W 製造可能寸法表奥行 H W 50 ~ ~ ~ ~20 水平気流ではプリーツが垂直になるよう取付けて下さい上記以外の寸法についてはご依頼内容により製造可能となりますのでお問い合わせ下さい

9 ケミアレストケミカルフィルタ循環空調系 ChemArrest タイプ CBS- - セパレータタイプクリーンルームの循環系に推奨イオン交換タイプは活性炭タイプより長寿命特性 00 表現圧力損 0 失 CBS- -F CBS- -F CBS - - サイズを示しますろ材を示します活性炭タイプ AA 酸系長寿命 BB 長寿命 CC 有機系長寿命 A 酸系低圧損 B 低圧損 C 有機系低圧損イオン交換タイプ BRBR 長寿命 BR 低圧損流量 0 ケミアレストのセパレータタイプを示します

10 ChemArrest 活性炭タイプ長寿命仕様表酸系有機系 CBS-AA-F CBS-AA-V CBS-AA-H CBS-AA-Q CBS-BB-F CBS-BB-V CBS-BB-H CBS-BB-Q CBS-CC-F CBS-CC-V CBS-CC-H CBS-CC-Q イオン交換タイプ長寿命仕様表 CBS-BRBR-F CBS-BRBR-V CBS-BRBR-H CBS-BRBR-Q 活性炭タイプ低圧損仕様表酸系有機系 CBS-A-F CBS-A-V CBS-A-H CBS-A-Q CBS-B-F CBS-B-V CBS-B-H CBS-B-Q CBS-C-F CBS-C-V CBS-C-H CBS-C-Q イオン交換タイプ低圧損仕様表 CBS-BR-F CBS-BR-V CBS-BR-H CBS-BR-Q 構成材料ろ材セパレータ外枠材質外枠表面処理密封剤ガスケット CBS- - CBS-BR- 不織布 + 粒状活性炭不織布 + イオン交換樹脂アルミニウムアルミニウムアルミマイト + クリア塗装ホットメルト EPDM H 奥行 H W ~ ~762 製造可能寸法表プリーツ ( ろ材折り目 ) W 水平気流ではプリーツが垂直になるよう取付けて下さい

OUTGAS 対策 GIGA フィルタシリーズ ULPA/HEPA フィルタ / 中高性能フィルタ GIGA FILTER 製品一覧名称略称特長ウェーハ吸着有機物量ボロン発生量ボロン含有量 GIGA MASTER GM 低有機物低ボロン上記の数値はシリカ試験一般品との比較値を示す次世代の半

OUTGAS 対策 GIGA フィルタシリーズ ULPA/HEPA フィルタ / 中高性能フィルタ製品一覧名称略称特長ウェーハ吸着有機物量ボロン発生量ボロン含有量 GIGA MASTER 上記の数値はシリカ試験一般品との比較値を示す次世代の半導体液晶製造環境用として全ての構成材料と製造環境に配慮し有機物とボロンの発生量を大幅に削減しました試験粒子も DOP( ジオクチルフタレート )

ChemArrest トレータイプ 吸着剤種類 吸着剤主用途代表的例 CB-CSA ( 黒色破砕状 mesh) 酸除去用 オゾン 亜硫酸ガス (SO2,SO 2- ) 硫化水素 (H2S) 塩化水素 (HCl) フッ化水素 (HF) 窒素酸化物 (NO2, NO2-, NO3-) ギ酸 (HCOOH

ChemArrest トレータイプ吸着剤種類吸着剤主用途代表的例 CB-CSA ( 黒色破砕状 mesh) 酸除去用オゾン亜硫酸ガス (SO2,SO 2- ) 硫化水素 (H2S) 塩化水素 (HCl) フッ化水素 (HF) 窒素酸化物 (NO2, NO2-, NO3-) ギ酸 (HCOOH