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きのこかに
9 years ago
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1 SEM SEM SEM lab/2010/must-sem-1.html 1 SEM SEM SEM SEM SEM JST 2 16 telescope telescope microscope 1

html 1 SEM SEM SEM SEM 14 20 1609 400 1600

2 mm

3 µm 0.3 µm 1/2 1/3 Optical Microscope, OM Electron Microscope, EM nm 100 nm Transmission Electron Microscope, TEM Scanning Electron Microscope, SEM TEM TEM SEM 3

4 SEM TEM 3 SEM 3.1 SEM 500 ml 7.2 kg 6.6 kg 8.9 kg 22.7 kg SEM SEM 4

5 原理が異なるため同じ試料を使っても光学顕微鏡とは違った立体的な迫力のある像が観察できますこのシリーズでは後ほど光学顕微鏡と電子顕微鏡の像の違いについてもとりあげて解説する予定です 3.2 使い方モバイル SEM の使い方の詳細は取り扱い説明書に譲りここでは観察までの大まかな流れについて概説しますまず２個のバッテリーを事前図９コントローラパネルに充電しておきます付属の充電器を使い１個図９はコントローラの前面パネルです右上のあたり３０分程度で充電完了です３つのキャリ表示器は真空引きの間は真空度を表示し観ングケースに分けて収め観察現場へ運びます察時には観察倍率を表示します中央上のバッテリー表示 LED はバッテリー残量がある場合は緑組み立て色バッテリーを使い切ると赤色に点灯しますスキャン速度は低速と高速の２段階に切り替える平坦な場所でケースから各部を取り出しターことができます試料を移動したり倍率やフォーボ分子ポンプとダイヤフラムポンプをチューブカスを調整するときは高速スキャンを使いますで接続した後各ケーブルを接続します接続のこれは画面の反応が早く調整が容易であるためで順序は特に決まっていませんがコントローラすただし像質は良くありませんので観察時２台のポンプコントローラ試料吸収電流ピには低速スキャンに切り替えますラニー真空計対物レンズコンデンサレンズディフレクタフィラメント２本ウェネルト二次電子検出器プリアンプコントローラ信号出力電源の順番で接続すると比較的楽なようです取り外しの場合はこの逆になりま二次電子検出器す間違いなく接続されていることを確認し最後にバッテリーを取り付けますコントローラの大気リークバルブ電源スイッチが OFF になっていることを確認しバッテリーパックの穴をコントローラ内の金属製試料移動ねじのレールに差し込みカチッと音がするまでしっ X 方向かり押し込みますこれで電子顕微鏡の準備は完試料移動ねじ Y 方向了しました慣れると４５分程度の作業ですフィラメントウェネルトディフレクタコンデンサレンズ対物レンズ試料吸収電流ピラニー真空計試料台試料台とめねじプリアンプ試料準備プレパラート作製図 10 電子顕微鏡本体図 10 に電子顕微鏡本体各部の名称を示します手前下にある四角い部分が試料台で一番下の試料台とめねじで本体に固定されます試料は水平に X 方向および Y 方向に移動できます現在のところ最高分解能は 1 2µm 程度で一般的な光学顕微鏡と同程度の倍率ですが動作 5 厚さ 0.2 mm 程度のしんちゅうなどの金属板を 15 mm 15 mm にカットし四隅をかるく折り曲げたものにカーボン両面テープを貼り付けその上から試料を固定してプレパラートとしますいくつか作製しピルケースなどに保管しておくと良いでしょう電子顕微鏡では負の電荷を帯びた電子を照射しますので絶縁性の試料は何も対

観察現場へ運びます察時には観察倍率を表示します中央上のバッテリー表示 LED はバッテリー残量がある場合は緑 3.2.

6 策を施さなければ帯電 Charge-up してしまい正常に観察できません生物や鉱物などの絶縁性の試料を観察する場合には帯電防止のための前処理が必要ですこのシリーズではその方法についてもおいおい紹介してゆく予定ですが最初は金属など帯電しない試料を用いて SEM の使い方に慣れてください以下になったところで表示が 60 秒のカウントダウンタイマーに変わります 60 秒後に自動的に電子ビームが ON となり SEM 像が観察できるようになりますこのとき表示器には観察倍率が表示されます電源スイッチを ON にしてから電子ビームがでるまでおおよそ５分くらいが目安ですどこかに漏れがある場合や水分を多く含んだ試料を入れてしまった場合など真空引きに時間がかかりすぎた場合は自動的に電源が OFF 試料台へ試料をセットするになるよう設定されていますその場合は漏れまず SEM 本体右下の大気リークバルブをゆっを無くすなどの対策を施しもう一度最初から真くり開けて本体内に空気を入れます完全に空気空引きを行ってくださいが入ったら忘れないうちにリークバルブを閉じておいてください試料台を上から手で支えておいて試料台とめねじを外し試料台をゆっくり引き出します比較的大きな試料外形寸法 2 mm 2 mm 以上を観察する場合は低倍率での観察から始める方が良いですこの場合図 11 のようにカゴ状になったステージにプレパラートをのせるだけで良いです簡単ですね高倍率で観察したい場合は円筒状のステージにカーボン両面テープでプレパラートを固定し図 12 のように丸穴部分に円筒ステージを差し込みますつまり高倍率で観察する場合は試料を対物レンズ側に近づけるすなわち高い位置に取図 11 低倍率で観察する場合プレパラートをり付けることになります下のカゴにのせる真空引き元どおり試料台を SEM 本体に取り付け試料台とめねじで固定しますこのときあまりきつく締めないようにしてください真空漏れの原因となります大気リークバルブが閉じていることを確認し試料台を SEM 本体に押しつけながらコントローラの電源スイッチを入れますポンプが動き始め 30 秒くらいしたら手を離しても大丈夫ですこのときもし空気が漏れている音がしたら手を離しても漏れの音がしなくなるまで試料台を押しつけておいてくださいポンプ始動直後にはコントローラ右上の表示器は点滅していますが一分ほど待つと点滅が止まり真空度が表示されます圧力が下がるにつれて数値は小さくなってゆき約３分後数値が 5 図 12 高倍率で観察する場合プレパラートを円筒ステージに貼り付け上の丸穴に差し込む 6

3 試料台へ試料をセットするになるよう設定されていますその場合は漏れまず SEM 本体右下の大気リークバルブをゆっを無くすなどの対策を施しもう一度最初から真くり開けて本体内に空気を入れます完全に空気空引きを行ってくださいが入ったら忘れないうちにリークバルブを閉じておいてください試料台を上から手で支えておいて試料台とめねじを外し試料台をゆっくり引き出します

7 ON 20 rapid scan X Y slow scan OFF OFF SEM SEM 4 SEM SEM SEM

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