超高純度用バルブ 原子層プロセス用 (MS ;rev_O;ja-JP;Catalog)

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1 LD -283 LD n n C v n 200 C LD20 n n 316L VIM-VR n VCR

2 -284 LD3 LD LD LD3 LD6 LD LD3 LD6 C v C v LD C W LD3 VCR H VCR 1/4 3/8 1/ UNS R30003 PF 316L VIM-VR 5 ms C v

3 LD -285 LD3 LD6 20 STM 1 O FKM S PTFE S S UNS R30003 MS PF II D3307 8a 8b VCR 316L VIM-VR SEMI F20 316L VR SEMI F20 PTFE b 8a LD3 LD6 Swagelok SC-01 MS ISO 4 LD3 LD6 MPa C R a 0.13 µm LD std cm 3 /s LD3 LD6 LD std cm 3 /s std cm 3 /s C v cm 3 2 MPa cm 3 LD LD LD LD MPa 120 C 200 C C v LD cm MPa MPa 0.49 cm 3

4 -286 LD3 LD6 2 C NO /8 NPT /8 NPT M5 LD M H M H VCR 11.2 VCR LD6 LD3 VCR 1/4 6LVV-LD3FR4-P- 6LVV-LD3TFR4-P VCR 1/4 6LVV-LD3VR4-P- 6LVV-LD3TVR4-P VCR 1/4 6LVV-LD3MR4-P- 6LVV-LD3TMR4-P /4 3 6LVV-LD3W4-P- 6LVV-LD3TW4-P /4 3 6LVV-LD3W4S-P- 6LVV-LD3TW4S-P LVV-LD3W6M-P- 6LVV-LD3TW6M-P LD6 VCR 1/2 6LVV-LD6FR8-P- 6LVV-LD6TFR8-P- 106 H VCR 1/4 6LVV-LD6HFR4-P- 6LVV-LD6THFR4-P H VCR H VCR 1/4 6LVV-LD6HFR4HMR4-P- 6LVV-LD6THFR4HMR4-P VCR 1/2 6LVV-LD6MR8-P- 6LVV-LD6TMR8-P H 1/4 6LVV-LD6HMR4-P- 6LVV-LD6THMR4-P VCR / / LVV-LD6W6-P- 6LVV-LD6TW6-P- 6LVV-LD6W10M-P- 6LVV-LD6W12M-P- 6LVV-LD6W8-P- 6LVV-LD6TW8-P- 6LVV-LD6TW10M-P- 6LVV-LD6TW12M-P

5 LD -287 LD3 LD6 C C NO W LD3 W 6LVV-MSM-LD3E-W2-P-C LVV-MSM-LD3T-W3-P-C M /8 NPT M C W C W LD3 C W C W LVV-MSM-LD3E-2-P- 6LVV-MSM-LD3ET-2-P LVV-MSM-LD3E-3-P- 6LVV-MSM-LD3ET-3-P LVV-MSM-LD3-2-P- 6LVV-MSM-LD3T-2-P LVV-MSM-LD3-3-P- 6LVV-MSM-LD3T-3-P LD LVV-MSM-LD6-HF2-P- 6LVV-MSM-LD6T-HF2-P LVV-MSM-LD6-HF3-P- 6LVV-MSM-LD6T-HF3-P

6 -288 LD3 LD C V DC SCP C 3 DC 1 2 C LVV LD3W4-P-C S V H 6LVV-LD3W4-P-CS 6LVV-MSM-LD6-HF2-P-CSL LD3 LD6-294 S SL M8 3 MS-CS-LF-1 6LVV-LD3W4-P-CH 6LVV-LD3W4-P-CS 6LVV-LD3W4-P-CSLH 6LVV-3T1V333P-V V2 6LVV-31V333P-SVSV

7 LD -289 LD3 LD6 LD -288 MC 34C--GDFC-1KT 1/ MC valve 34C- 24 V 4 W 50 C M H H 6LVV-LD3W4-P-CH 6LVV-MSM-LD6-2-P-CH O C PT PP POM NR N 316 FKM V 6LVV-LD3W4-P-CV 6LVV-MSM-LD6-2-P-CV MS-PVK-LD-MC34C

8 -290 LD20 C v C v C VCR 1/2 PF 10 ms C v 316L VIM-VR µm R a 22

9 LD -291 LD20 C v µm R a 22 PF LD20 1 STM PTFE PF II D a 316L VIM-VR SEMI F a 5 6b VCR 316L VR SEMI F VCR VCR 6b 20 LD20 Swagelok SC-01 MS ISO 4 R a 316L VIM-VR 0.13 µm µm std cm 3 /s std cm 3 /s LD20 MPa C v cm 3 MPa cm 3 1/2 C

10 -292 LD20 LD20 316L VIM-VR 22 6LVV-LD20FR8-P-C 6LVV HC /8 Swagelok /8 Swagelok /8 Swagelok 17.8 VCR 17.8 VCR M H M H VCR 1/2 -LD20FR8-P-C VCR 1/2 -LD20MR8-P-C 118 VCR VCR 1/2 -LD20FR8MR8-P-C 133 1/ LD20W8-P-C VCR 1/ /2 -LD20W8FR8-P-C 94.0

11 LD -293 LD20 C /8 Swagelok MSM-LD20-HF2-P-C 3 -MSM-LD20-HF3-P-C

12 -294 LD3 LD6 LD20 RF LD FU C 150 C MS-SOK-LD-FU87 2 m -MP MS-SOK-LD-FU87-MP LD3 LD6 * LD 2.9 1/8 NPT M5 LD3 LD6 * SO 6LVV-LD3W4-P-LI-CSO LI Less Indicator * LD20 FS-N11CP PNP M C M V DC ± 10 P-P V DC 2 3 0V 4 Swagelok MS-SOK-LD-MP-M LD Swagelok MS December 2019, Rev.O MS J KN C21P

13 Swagelok Swagelok Swagelok Swagelok, Ferrule-Pak, Goop, Hinging-Colleting, IGC, Kenmac, Micro-Fit, Nupro, Snoop, Sno-Trik, SWK, VCO, VCR, Ultra-Torr, Whitey TM Swagelok Company TM CS TM Canadian Standards ssociation TM TFM TM Elgiloy TM Elgiloy Specialty Metals FM TM FM Global Grafoil TM GrafTech International Holdings, Inc. MC TM MC Valves, Inc. NCE TM NCE International PH 15-7 Mo, 15-7 PH, 17-7 PH TM K Steel Corp. Tyco Electronics Corp. Rapid Tap TM Relton Corporation Xylan TM Whitford

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