TURBOVAC i ターボ分子ポンプ

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1 TURBOVAC i ターボ分子ポンプ

2 真空性能の大きな飛躍 今までプロセスを改善することは容易なことではありませんでした TURBOVAC (T) 350 iおよび450 iは排気時間 圧力とガスフローの最適化に対してお客様の要求に確実に応えます 最新のローター設計とドラッグステージにより ISO 100と160のフランジサイズにおいて最高の排気性能を発揮します 柔軟性あるローターのみでなく 最新のドラッグステージのデザインはお客様にとっての基準となり 幅広い用途にご使用いただけます コントローラ フランジ形状や幅広いアクセサリーを選択していただくことにより お客様の要望に完全に合った製品になります 独特のメンテナンスとオイルフリーの独自のハイブリッドベアリングシ ステムの採用により 生産性を向上 し メンテナンスコストを削減でき ます 効率的な真空システムを構築できま す 特長コストパフォーマンス : 投資に見合う最高の性能柔軟性 : 高レベルの製品柔軟性 - お客様のアプリケーションの要求に完全に一致プラグアンドプレイ : 柔軟な製品設計と一体型電子デバイスと幅広い通信インターフェースによる シンプルかつ簡単な設置 操作とコントロール優れた信頼性 : 革新的なポンプとベアリングデザインで卓越したメンテナンス性とオイルフリーのハイブリッドベアリングポンプ 02 TURBOVAC i

3 一般的なアプリケーション 分析技術 / 研究開発 質量分析 電子顕微鏡 表面解析 X 線解析 粒子加速器とシンクロトロン 研究向けコーティングシステム MBE ( 分子線成長法 ) UHV システム ライフサイエンス プロトンセラピーガンマ線滅菌高品質インプラントの製造 工業およびコーティング PVD 光学コーティング CD/DVD/Blu Ray ディスク製造 薄膜技術 太陽電池 ロードロック 移載チャンバー移送システム 電子ビーム溶接 真空絶縁 リークシステム TURBOVAC i 03

4 さらに用途に合った... 性能 業界をリードする排気速度 ( 特に軽量ガス ) ( 従来製品より 60% 向上 ) ISO100 ISO160 フランジで最高の排気速度を発揮 する最適なローターサイズ 柔軟性 吸気口デザインの柔軟性 排気方向を変更できる回転可能な排気口 中間吸気口オプションアプリケーションの要求に完全に適合する可変 ローターとドラッグステージ構成 設置 操作とコントロール高価なケーブルが不要の 24V/48V DC 電源一体型コント ローラ 最も幅広い通信インターフェース : USB RS ピンデジタル I/O( 標準オプション ) 高効率モーター ベアリング冷却の最適化とポンプ寿命改善のための 熱隔離デザイン 低振動シャフト支持機構 メンテナンス不要の磁気軸受け採用 オイルフリーのセラミックベアリングを採用 現場での交換が可能 04 TURBOVAC i

5 ... より多くを引き出す 投資に見合った最高の性能 柔軟な性能順応 - お客様の要求に完全に適合 革新的な技術によりあらゆるアプリケーションに 対して卓越した性能を発揮 容易な設置 操作とコントロール プラグアンドプレイ : 一体型電子機器 通信オプ ションと柔軟なアクセサリー 自在な取り付け方向 低コストで生産性と稼働時間を向上 革新的なポンプとベアリング設計による卓越した信頼性独自のメンテナンス不要のハイブリッド式メカニカルTMP - ベアリングオイルの交換は不要現場で交換可能なベアリングで サービス費用と停止期間を削減 TURBOVAC i 05

6 技術仕様 TURBOVAC 450 i 排気速度 (l/s) 排気速度 (l/s) TURBOVAC 350 i 高真空圧力 (mbar) 窒素 高真空圧力 (mbar) アルゴン 10-1 ヘリウム 水素 ,7 G 1/ ,7 5, PURGE DN 25 KF ,4 232 P DN 2 PU DN ,8 18, , ,7 0, PURGE DN 25 KF 216 TURBOVAC (T) 450 i PURGE DN 25 KF 32 18,4 TURBOVAC (T) 350 i 18,8 P

7 技術仕様 テクニカルデータ TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i 高真空接続 DN 排気口接続 DN 25 KF 25 KF 25 KF 25 KF 排気速度 N 2 Ar He I s H ガススループット mbar I s -1 N Ar He H 圧縮比 N 2 Ar He H 到達圧力 ISO K/ 2 段式油回転ポンプ使用時 最高使用排気圧力 N2 の場合 mbar < 10-8 /< mbar 回転数 rpm 冷却方式 Convection 冷却オプション Air or water 質量 ISO K/ kg 7.5/ / / /12.0 推奨バックポンプ TRIVAC D 4 B D 4 B D 16 B D 16 B SCROLLVAC SC 5 D/15 D SC 5 D/15 D SC 15 D/30 D SC 15 D/30 D DIVAC 3.8 HV3 3.8 HV3 入力電圧 24/48V DC ± 10 % 最大消費電流 10A at 24V DC 最大消費電力 インターフェース 240W RS 485 USB 15 ピンデジタル I/O

8 オーダーインフォメーション TURBOVAC i のご使用には適切なバックポンプ 供給電源と電源ケーブルが必要です アプリケーションや運転条件によってはさらにアクセサリーが必要になることがあります ポンプ ポンプ TURBOVAC 350 i 450 i T 350 i T 450 i 高真空フランジ カタログ番号 : V V V V1000 高真空フランジ cf カタログ番号 : V V V V1000 アクセサリー 電源 ケーブル アクセサリー V0003 TURBO.POWER integra V0100 Cable TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 1m V0300 Cable TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 3m V0500 Cable TURBOVAC i TURBO.POWER integra, 5m V0002 Mains cable, 3m, Euro plug V0003 Mains cable, 3m, UK plug V1002 Mains cable, 3m, US plug 5 15P, 115V V /48 V DC in plug TURBOVAC i V0021 Start stop switc TURBOVAC i 冷却 V0005 Air cooling TURBOVAC 300 i radial V0006 Air cooling TURBOVAC 300 i axial V0005 Water cooling TURBOVAC 300/400 i ヒーティング V0005 Flange eater DN 100, 230V V0006 Flange eater DN 100, 115V V0007 Flange eater DN 160, 230V V0008 Flange eater DN 160, 115V 日本エリコンライボルト株式会社 横浜本社 大阪支社 横浜市港北区新横浜 大阪市淀川区西宮原 新横浜 AKビル 新大阪テラサキ第 3ビル T: F: sales.vacuum.y@oerlikon.com ベント パージ T: F: V0012 Vent valve TURBOVAC i, 24V DC, G 1/8 8001V0013 Purge gas valve TURBOVAC i, 24V DC, 24 sccm, G 1/8 8001V0014 Purge gas restrictor TURBOVAC i, 24 sccm, G 1/8 8001V0022 Power failure vent valve TURBOVAC i, 24V DC, G 1/ V0022 Air filter for TMP, G 1/8 インスタレーション V0021 Coarse inlet screen DN V0022 Splinter guard DN V0031 Coarse inlet screen DN V0032 Splinter guard DN V0021 Centering ring w. coarse inlet screen DN 100 ISO K/F V0022 Centering ring w. splinter guard DN 100 ISO K/F V0031 Centering ring w. coarse inlet screen DN 160 ISO K/F V0032 Centering ring w. splinter guard DN 160 ISO K/F V00 Mounting kit TURBOVAC DN 100 ISO K V0021 Mounting kit TURBOVAC DN V0025 Mounting kit TURBOVAC DN 100 ISO K to ISO F V0030 Mounting kit TURBOVAC DN 160 ISO K V0031 Mounting kit TURBOVAC DN V0035 Mounting kit TURBOVAC DN 160 ISO K to ISO F Tecnical alterations reserved

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