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1 OMCL/L Seres SINCE

2 Contact Electrc Force Crve Frcton Consstent ccrac Fres Fres Stffness

3 OMCL-C55TS-R3 OMCL-C55TS-3 OMCL-C55TN-R3 OMCL-C55TN-3 OMCL-C160TS-R3 OMCL-C160TS-C3 OMCL-C160TN-R3 OMCL-C160TN-C3 OMCL-C200TS-R3 OMCL-C200TS-C3 OMCL-C200TN-R3 OMCL-C200TN-C3 OMCL-C0TS-R3 OMCL-C0TS-C3 OMCL-C0TN-R3 OMCL-C0TN-C3 OMCL-C0TM-R3 OMCL-C0TM-3 z (khz) (N/m) (µm) q w e r (µm) (nm) S / S / / Non / Non / l Non / l Non / l Pt / l OMCL-C160FS-2 OMCL-C160FS-Q2 OMCL-C0FS-2 OMCL-C0FS-Q2 OMCL-C160N-W2 OMCL-C160N-2 OMCL-C160TS-W2 OMCL-C160TS-C2 OMCL-C0TS-W2 OMCL-C0TS-C2 OMCL-C0TM-W2 OMCL-C0TM x t t 0.2 (14) 0.2 () CNF / S S / S Non / l Non / l Pt / l C C C C OMCL-TR400PS-HW OMCL-TR400PS-1 OMCL-TR800PS-W (OTR8-PS-W) OMCL-TR800PS-1 OMCL-RC800PS-W (ORC8-PS-W) OMCL-RC800PS-1 OMCL-TR400P-1 OMCL-TR800P-1 OMCL-RC800P-1 OMCL-HWS-HW OMCL-HWS c v c v b o!0!1!2 o!0!1!2! ( 12 ) 30 SN / SN SN / SN S3N4 / SN Non / / Non / D L-RC0V-HW L-RC0V-C1 L-C40TS-C2 L-C10FS-2 L-C10DS n m !4!5!6! 3.5 ( ) 0.1 以下 ( 1. 2 ) 30 8 SN / SN S / SN CNF / SN SN / SN / Non / D C D

4 Tpe OMCL-C160 OMCL-C200 OMCL-C0 OMCL-C OMCL-C160TS-R3 OMCL-C55TS-R3 300 khz 26 N/m 1600 khz 85 N/m OMCL-C200TS-R3 500nm Sngle crstal calcte (CaCO3) showng atomc pont defects, 20 nm scan. Imaged n water wth Cpher FM b slm Research OMCL-C0TM-R3 OMCL-C0TS-R3 0 khz 0 khz 9 N/m (Ω) 1.E+09 1.E+08 1.E+0 1.E+06 1.E+05 1.E+04 Electrc 0 khz Tpe (nm) 3

5 ダイナミックモード用シリコンカンチレバー 繰り返し走査での画質劣化を抑えた カーボンナノファイバ探針など 高品質なカンチレバーを用意 カーボンナノファイバ付き標準カンチレバー ハイアスペクトシリコンカンチレバー OMCL-C160FS-2 OMCL-C160N khz 300 khz 4 繰り返し走査後の画質変化が大幅に減少 4 ハイアスペクト比により溝状形状測定に最適 シリコン探針の先端に高アスペクト比のカーボンナノファイバ探針 CNF探針 を形成 柱状に伸びたCNF探針先端は 摩耗しても 探針径の変化が小さいため再現性に優れた測定が可能です 結果 面倒なカンチレバーの交換の頻度も低減します 探針先端のアスペクト比が7 1 半 頂 角 6 度 先 端 部より2 µm 相当の鋭い探針を持ったカンチレ バーです ICの電極パターン LEDモスアイ構造などの溝状形状 の測定に最適で 薄膜表面の 粒子なども忠実に再現します ポリシリコン薄膜表面測定での画像比較 カーボンナノファイバ 探 針付カンチレバー 1回目走査時 探針正面 ハイアスペクト シリコン製カンチレバー 赤 とスタンダード シリコン製カンチ レバー探針 黄色 との比較 60回目走査時 従来のシリコンカンチレバー 鋭い探針により 細く深い溝でも底まで 探針がとどきます 標準シリコンカンチレバー OMCL-C160TS-C2 1回目走査時 60回目走査時 300 khz 4 低バネ定数シリコンカンチレバー OMCL-C0TS-C2 0 khz カーボンナノファイバ付き低バネ定数カンチレバー OMCL-C0FS-2 電気測定用シリコンカンチレバー OMCL-C0TM-2 0 khz 0 khz 再現性の良い粘弾性測定が可能 CNF探針の形状特性により 再現性の良い粘弾性の測定が出来 ます また カンチレバーが柔らかいため探針の磨耗が少なく よりカンチレバーの交換頻度を低減します Electrc 上記の従来製品の販売も行っています 4

6 OMCL-TR800PS-1 OMCL-TR400PS-1 /3 khz 11/ khz Contact 0./0.5 N/m x2 Contact x2 0.02/0.08 N/m µµ 400nm µ OMCL-RC800PS-1 ~1 khz Contact Frcton 0.05~0.6 N/m OMCL-HWS-1 0 Slcon Contact 160 khz N/m (nm) SN(S rch) S3N4 DLC 10 0 (µn) 5

7 olever L-RC0V-C1 olever mn L-C40TS-C2 Contact Force Crve x2 13/3 khz 0.006/0.03 N/m Force Crve 110 khz 0.1 N/m µ µ olever fast L-C10FS-2 00 khz 0.1 N/m

8 33 W=50 55 L=160 W=30 L=0 r t x c v b n m L= L=200 W=13.4 W= o!0!1 W=50 W=22 t=2 11 L=108 W=16 L=38 W=2 L= W=30 L=60 W=30 L= !3!4!5!6!!2 W=20 W=20 L=200 L= L= L= L=0 44 L= L= q e w z W=31 L=55 OMCL-TR OMCL-H L-RC0 L-C40C10 OMCL-RC OMCL-C OMCL-C MEMS

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h1_h4.ai 01 02 03 04 05 PS RC RC CSR CSR CSR 10 11 14 15 400 350 300 250 200 150 100 50 0 2011/12 2012/02 2012/04 2012/06 2012/08 2012/10 2012/12 2013/02 2013/04 2013/06 2013/08 2013/10 2013/12 2014/02 2014/04

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