東芝メモリ株式会社四日市工場環境報告書2017

Size: px

Start display at page:

Download "東芝メモリ株式会社四日市工場環境報告書2017"

れれかつもと
4 years ago
Views:

1 217 環境報告書東芝メモリ株式会社四日市工場表紙デザインについて当工場で推進している構内緑化活動 ( フラ WA~PJ) をイメージしたものです

コントローラ搭載NAND型フラッシュメモリ SLC NAND型フラッシュメモリ FlashAir メディアカード SDカード, USBメモリ等無線LAN搭載メモリカード FlashAir SSD SSD Solid State Drive など

2 はじめに工場概況設立 1992年1月工場長松下智治まつしたともはる所在地四日市工場三重県四日市市山之一色町8番地朝日テストセンター三重県三重郡朝日町縄生2番地敷地面積 2 四日市工場 666,1m 21,848坪駐車場含む 2 朝日テストセンター 47,862m 14,53坪従業員数 6,2名 217年4月1日現在生産品目 NAND型フラッシュメモリ SSD等製品紹介三次元フラッシュメモリ BiCS FLASH コントローラ搭載NAND型フラッシュメモリ SLC NAND型フラッシュメモリ FlashAir メディアカード SDカード, USBメモリ等無線LAN搭載メモリカード FlashAir SSD SSD Solid State Drive など SDXCカードアプリケーション NAND型フラッシュメモリはスマートフォン等の携帯情報端末データセンターのサーバに組み込まれるストレージ製品をはじめさまざまな搭載機器の省エネルギー化に貢献しています携帯情報端末デジタルカメラウェアラブルデバイス工業用ロボット 1

目次はじめに... 1 工場概況....................... 1 製品紹介..................... 1,2 アプリケーション................ 1,2 東芝メモリ株式会社環境方針........ 3 四日市工場工場長ごあいさつ....... 4 環境保全の取り組み.......... 5 監視体制....................... 5 事例紹介排水の自主管理値.

................. 9 BiCS FLASH とは従来のシリコン平面上にフラッシュメモリ素子を並べた二次元NAND構造ではなくシリ高効率モノづくり............ 1 コン平面から垂直方向にフラッシュメモリ素温室効果ガス削減............... 1 エネルギー起源CO 削減.

3 目次はじめに... 1 工場概況製品紹介 ,2 アプリケーション ,2 東芝メモリ株式会社環境方針四日市工場工場長ごあいさつ環境保全の取り組み監視体制事例紹介排水の自主管理値環境施設の紹介よくあるQ&A 環境マネジメントシステム ISO 環境保全体制環境目標東芝総合環境監査化学物質の管理 BiCS FLASH とは従来のシリコン平面上にフラッシュメモリ素子を並べた二次元NAND構造ではなくシリ高効率モノづくりコン平面から垂直方向にフラッシュメモリ素温室効果ガス削減エネルギー起源CO 削減子を積み上げた三次元構造で高密度大容量化高速化低消費電力化および信頼性の 2 廃棄物削減化学物質削減向上を実現しています製品の環境負荷低減大容量省資源省エネに貢献する三次元フラッシュメモリ製品含有化学物質管理グリーン調達コミュニケーションカーナビゲーションシステム社内教育啓発 CSR 地域貢献情報発信生物多様性保全社外からの評価データ編サーバ AV機器法令遵守データ環境負荷マテリアルバランス環境会計 PRTR 工場沿革環境活動のあゆみ

4 東芝メモリ株式会社環境方針理念東芝メモリ株式会社は東芝グループの環境基本方針であるかけがえのない地球環境を健全な状態で次世代に引き継いでいくことは現存する人間の基本的責務との認識に立って東芝グループ環境ビジョンのもと豊かな価値の創造と地球との共生を図ります低炭素社会循環型社会自然共生社会を目指した環境活動により持続可能な社会の実現に貢献します方針東芝メモリ株式会社は環境への取組みを経営の最重要課題の一つと位置づけますモノづくりにおいては NAND 型フラッシュメモリ及び SSD 製品の設計製造における環境負荷の低減を経営と調和させながら積極的に行いますそして全ての事業プロセスにおいてもライフサイクルの視点に立って環境に配慮した企業活動を実践し NAND 型フラッシュメモリ及び SSD 製品の提供と組み込まれた危機の省エネ省資源により社会に貢献することを目指します 1. 倫理観 ( コンプライアンス ) と継続性 ( サステナビリティー ) (1) モノづくりにおいては環境保全への取組みを経営の最重要課題の一つと位置づけ経済と調和させた環境活動を継続的に推進します (2) 法令当組織が同意した業界などの指針及び自主基準など当組織の環境側面に適用可能な法的及びその他の要求事項を遵守します (3) 環境活動レベル及び環境パフォーマンスの向上を図るため監査の実施や活動のレビューにより環境マネジメントシステムの継続的な改善を行い効果的な運用を推進します 2. 実行 ( エクセキューション ) 企業活動の実行においては全ての事業プロセスにおける環境側面について生物多様性を含む環境への影響を評価し環境負荷の低減汚染の防止省電力型製品などの設計開発に関する環境目的及び目標を設定して積極的な環境施策を展開します ( 1 ) 高容量化小型化省資源化による製品開発製品の環境事前評価および原材料の適正管理と使用量削減を行い NAND 型フラッシュメモリ及び SSD 製品の社会への提供を通じ社会の環境負荷低減に取組みます ( 2 ) 省エネルギー技術の開発生産性の向上動力及び製造設備を中心とした省エネルギーなど温暖化ガス排出量の削減施策の実施により地球温暖化防止を推進します ( 3 ) 循環型社会構築のために生産性の向上省資源型技術の開発など 3Rの取組みを積極的に進めます水資源の有効活用の観点では豊かな木曽水系の水資源を大切に使いきれいにして自然に還します (4) 使用する化学物質の管理ならびに特定した化学物質の削減に係わる技術の開発取扱量及び排出量の削減施策の実施により環境リスクの低減を実現します (5) 生物多様性の保全を行うために事業活動が生物多様性に及ぼすかかわりを把握し生物多様性に及ぼす影響の低減を図りまた社会貢献活動を推進します (6) 環境広告展示会やメディアを通じた NAND 型フラッシュメモリ及び SSD 製品の省エネルギー技術などの情報発信や地域社会との協調連帯によりステークホルダーとの相互理解の促進に取組みます (7) 組織の従業員の環境意識を高め環境に配慮した企業活動を従業員全員で実行しますこの環境方針は社内外に開示するとともに本組織で働くすべての人々に方針を周知し方針に沿った企業活動を推進します環境経営責任者 217 年 7 月 1 日東芝メモリ株式会社 3

はじめに四日市工場工場長ごあいさつ四日市工場工場長松下智治東芝メモリ株式会社四日市工場は世界有数の規模を誇る半導体工場です急速に普及しているスマートフォンをはじめ様々なデジタルプロダクツに組み込まれるNAND

でもあります市場の伸長とともにおかげさまで工場の規模も拡大し 2 5 年に第 3クリーンルーム棟 2 7 年に第 4クリーンルーム棟 211 年には第 5クリーンルーム棟が稼働を開始しましたまた 3 次元構造のNAND

クリーンルーム棟比較で約 15% のCO₂ 排出量削減を目指しますさらに B i C S の生産拡大を目的に第 6 クリーンルーム棟の建設を進めています第 6クリーンルーム棟は LED

5 はじめに四日市工場工場長ごあいさつ四日市工場工場長松下智治東芝メモリ株式会社四日市工場は世界有数の規模を誇る半導体工場です急速に普及しているスマートフォンをはじめ様々なデジタルプロダクツに組み込まれるNAND 型フラッシュメモリはここ四日市から世界に送り出しています最新鋭の生産設備を整えた生産工場であり開発拠点でもある四日市工場は同時に人類が直面する地球環境問題にも正面から取り組む環境負荷低減を積極的に推進している工場でもあります市場の伸長とともにおかげさまで工場の規模も拡大し 2 5 年に第 3クリーンルーム棟 2 7 年に第 4クリーンルーム棟 211 年には第 5クリーンルーム棟が稼働を開始しましたまた 3 次元構造のNAND 型フラッシュメモリ (BiCS FLASH ) の量産に向けて第 2クリーンルーム棟を建て替え年 3 月に B i C S の量産を開始年 7 月に竣工しました建て替え後の第 2クリーンルーム棟は第 5 クリーンルーム棟比較で約 15% のCO₂ 排出量削減を目指しますさらに B i C S の生産拡大を目的に第 6 クリーンルーム棟の建設を進めています第 6クリーンルーム棟は LED 照明の全面展開や最新の省エネ製造設備の導入など環境面にも配慮した工場とする計画です四日市工場は地球温暖化防止資源有効活用化学物質削減生物多様性活動など世界トップクラスの最新鋭工場の名に恥じない様々な環境への取り組みを実践していきます BiCS FLASH は株式会社東芝の商標です 4

環境保全の取り組み監視体制大気や河川の環境を守るため法規制より厳しい自主管理基準を設けて 24 時間監視しています 1.

浮遊物質量 (SS)/ フッ素 (F)/ 水素イオン指数 (ph) は24 時間連続自動監視を行っていますその他の法令項目はサンプリングにより監視しています

分析センター水質自動測定ばい煙自動測定工場内に分析センターを設置し年間約 27,5 件を分析しています分析センター事例紹介 ( 排水の自主管理値 )

:mg/l 12 1 <12 三重県条例四日市市公害防止協定値排水 COD 濃度は水質汚濁防止法の 1/3で管理 8 自主管理値 6 実測値 4 2 <2

6 環境保全の取り組み監視体制大気や河川の環境を守るため法規制より厳しい自主管理基準を設けて 24 時間監視しています 1. 法令項目窒素酸化物 (NOx)/ 硫黄酸化物 (SOx)/ 全窒素 (T-N) / 全リン ( T - P )/ 化学的酸素要求量 ( C O D )/ 浮遊物質量 (SS)/ フッ素 (F)/ 水素イオン指数 (ph) は24 時間連続自動監視を行っていますその他の法令項目はサンプリングにより監視しています 2. 法令以外の項目法令以外の項目についても管理強化のためサンプリングによる自主管理を行っています 3. 分析センター水質自動測定ばい煙自動測定工場内に分析センターを設置し年間約 27,5 件を分析しています分析センター事例紹介 ( 排水の自主管理値 ) 法令条例協定値を確実に遵守するため自主管理値を設定して日常管理しています 14 排水 COD 濃度を例に自主管理値の位置付けを示す水質汚濁防止法単位 :mg/l 12 1 <12 三重県条例四日市市公害防止協定値排水 COD 濃度は水質汚濁防止法の 1/3で管理 8 自主管理値 6 実測値 4 2 <2 < 法条例協定自主管理値 216 年度実績 COD: Chemical Oxygen Demand( 化学的酸素要求量 ) 水中に有機物がどれくらい含まれるかの指標で値が大きいほど富栄養化となり藻類の繁殖や臭気の発生に繋がる 5

7 環境施設の紹介排水処理施設などの環境施設において当社独自のガイドライン環境構造物指針を定め化学物質による汚染の未然防止リスク低減を図っています構造物事例排ガス洗浄装置架空配管防液堤リサイクル棟安定処理のための構造仕様土壌汚染のリスク低減 ( 埋設配管無し ) 地下公共用水域への流出防止廃棄物の管理強化と流出防止 ( ピット溜めマス ) 水処理施設継手部二重化六面点検貯油タンク洩れてもすぐに発見可能現在はクリーンな都市ガスを使用安定処理の仕組みと異常排水の流出防止継手部からの漏洩防止と監視六面点検による異常の早期発見安全保管の耐震構造防液堤油面レベル警報よくある Q& A Q A 建屋屋上からの煙は? 冷却塔から排出される空気が外気によって冷やされ水蒸気となって白く見えるものです建屋屋上の煙冷却塔 6

環境マネジメントシステム ISO141 当工場では国際規格 ISO141 に準拠した環境マネジメントシステムを構築し継続的な改善向上に取り組んでいます事業活動製品およびサービスに関わる環境側面について生物多様性を含む環境への影響を評価し環境負荷の低減汚染の防止環境負荷低減施策を進めた製品の創出などに関する環境目的および目標を設定して積極的な環境施策を展開します

8 環境マネジメントシステム ISO141 当工場では国際規格 ISO141 に準拠した環境マネジメントシステムを構築し継続的な改善向上に取り組んでいます事業活動製品およびサービスに関わる環境側面について生物多様性を含む環境への影響を評価し環境負荷の低減汚染の防止環境負荷低減施策を進めた製品の創出などに関する環境目的および目標を設定して積極的な環境施策を展開します組織およびその状況の理解 ( 箇条 4. 1 ) 利害関係者のニーズおよび期待の理解 ( 箇条 4. 2 ) Act 計画 ( 箇条 6) Plan 改善 ( 箇条 1) リーダーシップ ( 箇条 5) 支援 / 運用 ( 箇条 7 8 ) Check パフォーマンス評価 ( 箇条 9) Do マネジメントシステムの成果環境マネジメントシステムモデル ISO141 登録証環境保全体制環境保全活動を継続的かつ効果的に推進するため工場長をトップとする環境保全体制を構築し責任および権限を明確に定めるとともに環境保全に関する最高審議機関として地球環境会議を設置して環境マネジメントシステム環境方針環境目的実施計画の審議を行っていますまた法令などの遵守を監督するコンプライアンス実行委員会を設置し遵法の徹底を図っています環境保全体制図環境保全責任者 : 工場長コンプライアンス実行委員会地球環境会議環境保全副責任者 : 施設管理部長内部環境監査員環境保全担当グループ長省エネルギー委員会公害防止管理者 ISO141 事務局職場環境担当者会議各部門長部門環境会議各課長グループ長構内常駐会社 7

9 環境目標毎年前年度の環境目標達成状況やパフォーマンス当工場への要求事項環境情勢の変化などを環境影響評価の結果に反映し環境目標を設定しています 216 年度はさまざまな活動を通して全項目の目標達成を実現しました 216 年度環境目標と結果環境目的環境目標目標値実績評価 1 環境配慮型製品の創出社会への提供 ( 環境配慮製品開発による環境負荷低減 ) 微細化による製品と製造プロセスの環境負荷低減 3 施策 / 年 3 施策 2 エネルギー起源 CO2 削減 9,1t-CO2/ 年以上 1,434t-CO2 地球温暖化防止の推進 3 温暖化物質排出量の削減 (PFCガス対象) 342GWP 千 t/ 年以下 275GWP 千 t 4 廃棄物総発生量削減 ( 有価物含む ) 68,123t/ 年以下 63,289t 5 資源の有効利用の推進廃棄物量削減 ( 産業廃棄物 ) 39,352t/ 年以下 38,264t 6 水資源受入量の削減 17,247 千 m 3 / 年以下 14,196 千 m 3 7 化学物質排出量削減 834t/ 年以下 69t 環境リスクの低減 8 化学物質取扱絶対量の削減 43,531t/ 年以下 43,47t 9 社外 ( 社会 ) コミュニケーションの推進 1 回 / 年 1 回 1 社外環境イベントへの出展夏のエコフェア 216 みえ環境フェア四日市公害と環境未来館環境フェア 3 件 / 年 3 件 11 地元環境連絡会の開催 1 回 / 年 1 回 12 環境報告書の継続発行和文 :8 月発行英文 :12 月発行和文 :8 月発行英文 :12 月発行 13 こども環境授業の実施市外小学校 1 校市内小学校 1 校市外小学校 1 校市内小学校 1 校 14 社会貢献活動および環境コミュニケーションの推進チャリティー eco バザー ( 大分熊本震災義援四日市市の緑化整備支援 ) 2 回 / 年 2 回 15 不要カレンダー手帳回収 ( 養護施設幼稚園保育園等での利用 ) 2 回 / 年 2 回 16 書き損じハガキ回収 ( 発展途上国の教育支援 ) 通年 ( 一斉回収は 2 回 / 年 ) 2 回 ( 一斉回収 ) 17 使用済み切手回収 ( インドインドネシアでの農業支援 ) 通年 ( 一斉回収は 2 回 / 年 ) 2 回 ( 一斉回収 ) 18 使い捨てコンタクトレンズケース回収 ( 角膜移植の啓発普及支援 ) 通年 ( 一斉回収は 2 回 / 年 ) 2 回 ( 一斉回収 ) 19 羽毛回収 ( 四日市市朝日町の社会貢献活動支援 ) 通年累計 : 羽毛布団 1 枚ダウンジャケット 4 着 2 エコキャップ回収 ( 発展途上国のポリオ予防支援 ) 通年累計 :723k 個 ( ワクチン 1,446 本分 ) 21 環境意識の向上環境関係強調月間の開催 ( 環境月間 3R 推進月間省エネルギー月間 ) 3 回 / 年 3 回 22 生物多様性保全活動構内希少植物ササユリ移植後の経過観察 ( 開花と結実状況確認 ) 通年現場確認実施 ( 株数変化なし ) 8

環境マネジメントシステム東芝総合環境監査東芝グループでは 1993 年から独自に構築した東芝総合環境監査システムに基づき当工場をはじめとする東芝グループの事業場を対象とした監査を定期的に実施していますこの監査は三全主義 ( 全域の

法の適用を受ける排水処理施設など19 施設の現場管理に関する監査緊急事態を想定した対応訓練の有効性に関する監査法令遵守や法規制物質の計測管理に関する監査 4S( 整理整頓清掃清潔 ) への取り組みに関する監査

東芝総合環境監査システムの体系図東芝総合環境監査システム基本理念 3 全主義 3 現主義目視管理環境経営監査遵法監査現場監査 1. 環境方針システム 2. リスク管理 3. 事業プロセス 4. グリーン調達 5.

化学物質使用保管系 4. 資源有効活用廃棄系 5. 騒音発生系 6. 地球温暖化防止系 7. サイト管理マップ 8.

10 環境マネジメントシステム東芝総合環境監査東芝グループでは 1993 年から独自に構築した東芝総合環境監査システムに基づき当工場をはじめとする東芝グループの事業場を対象とした監査を定期的に実施していますこの監査は三全主義 ( 全域の全設備施設を全員で管理 ) 三現主義( 現場現物現実 ) 目視管理( 見る見える見せる管理 ) を基本理念に社内の有資格者で構成された監査チームにより 2 日間にわたり行われます監査項目は環境経営監査遵法監査現場監査からなり法の適用を受ける排水処理施設など19 施設の現場管理に関する監査緊急事態を想定した対応訓練の有効性に関する監査法令遵守や法規制物質の計測管理に関する監査 4S( 整理整頓清掃清潔 ) への取り組みに関する監査従業員教育の実施状況に関する監査などです当工場では東芝総合環境監査を毎年実施しています監査は現場管理を中心に省エネルギー化学物質排出量削減廃棄物削減などの東芝グループ環境アクションプランの達成状況などについて行われます東芝総合環境監査システムの体系図東芝総合環境監査システム基本理念 3 全主義 3 現主義目視管理環境経営監査遵法監査現場監査 1. 環境方針システム 2. リスク管理 3. 事業プロセス 4. グリーン調達 5. 情報開示コミュニケーション環境側面ごとの法規制遵法状況をチェック 1) 投入使用保管電力使用用水利用など 2 ) 排出廃棄排気排水廃棄物など 3 ) 過去現在比較土地など 1. 排水系 2. 大気悪臭排出系 3. 化学物質使用保管系 4. 資源有効活用廃棄系 5. 騒音発生系 6. 地球温暖化防止系 7. サイト管理マップ 8. 緊急対応訓練化学物質の管理化学物質は適切に管理されなければ環境汚染を引き起こし人の健康や生態系に有害な影響をもたらすおそれがあります四日市工場では化学物質はできるだけ使用しない可能な限り削減代替化に努める使用する場合は適正に管理することを化学物質管理の基本的な考え方としています毎月の取扱量は化学物質管理システムを使用して集計し大気水域への排出量廃棄物としての移動量などの把握に努めています化学物質管理システム 9

11 高効率モノづくり温室効果ガス削減製造設備における排出削減への取り組み事例製造工程ではウェハ上に薄膜を形成するP-CVD( プラズマCVD) 工程 Metal-CVD 工程配線やコンタクトホールを微細加工するDRY( ドライエッチング ) 工程において多量かつ多種類の温室効果ガスを使用しています温室効果ガスの排出削減に関しては源流からの排出削減を取り組みの柱として下の表に示すような多くの施策を実施しました今年度は特に成膜工程で多くの施策を展開しました施策 No.1 は温室効果ガスを使用する製造設備に温室効果ガスを温暖化係数の小さいガスに分解し排出する除害装置を設置するものですこの施策は温室効果ガスの殆どを分解することができるため大きな削減効果がありました施策 No.2~5は製造装置内の反応室のクリーニング時間を装置の改造や処理条件の最適化で短縮するもので温室効果ガス自体の使用量を抑制しました施策 No.6~9は製造装置内の反応室のクリーニング処理の頻度を工程の出来栄えを確認しながら削減することで温室効果ガスの使用量を削減するものです特に新規に導入した装置で大きな効果を得ることができました今後予定されている新製品においても同様に製品コストの低減と連動したガス使用量削減の施策を展開して温暖化物質の排出の削減に努めています施策 No. 1 除害装置設置施策名工程対象ガス P-CVD DRY Metal CF4 C4F8 CHF3 S F 6 N F 3 CH2H2 C H 3F CH4 N 2O 総削減量への寄与割合 (%) 16 年度備考 98.92% 新規導入設備にも設置継続 2 反応室クリーニング時間削減 1 P-CVD NF3.22% 17 年度継続 3 反応室クリーニング時間削減 2 P-CVD NF3.3% 16 年度完了 4 反応室クリーニング時間削減 3 P-CVD NF3.14% 16 年度完了 5 反応室クリーニング時間削減 4 P-CVD NF3.7% 16 年度完了 6 反応室クリーニング頻度削減 1 P-CVD NF3.12% 16 年度完了 7 反応室クリーニング頻度削減 2 P-CVD NF3.1% 16 年度完了 8 反応室クリーニング頻度削減 3 P-CVD NF3.19% 17 年度継続 9 反応室クリーニング頻度削減 4 Metal NF3.29% 16 年度完了エネルギー起源 CO 2 削減システム運用の最適化による排出削減の取り組み事例冷却塔電力削減四日市工場では単体の省エネに加えポンプやファン熱交換器など複数台運転することにより圧力損失を低減しましたその結果運転周波数低減 ( インバータ調整 ) が可能となりシステム全体の省エネにつなげ年間約 34トンのエネルギー起源 CO2 排出量を削減しました施策熱交換器 1 2 基通水クッションタンク冷却水ポンプ電力削減循環水ポンプ熱交換器予備熱交換器製造装置 1

高効率モノづくり廃棄物削減四日市工場の規模拡大に伴い廃棄物発生量は増加傾向廃棄物量推移ですが製造技術部門と連携して薬品ガスの使用量削減を推進するとともに発生した廃棄物のリサイクルや有価物 [ t] 7, 有価物産業廃棄物再資源化率 1% 化の拡大に積極的に取り組んでいます 6, 8% 資源有効活用事例製造工程で発生するフッ酸廃液を人工蛍石製造設備で処理し

12 高効率モノづくり廃棄物削減四日市工場の規模拡大に伴い廃棄物発生量は増加傾向廃棄物量推移ですが製造技術部門と連携して薬品ガスの使用量削減を推進するとともに発生した廃棄物のリサイクルや有価物 [ t] 7, 有価物産業廃棄物再資源化率 1% 化の拡大に積極的に取り組んでいます 6, 8% 資源有効活用事例製造工程で発生するフッ酸廃液を人工蛍石製造設備で処理しフッ化カルシウム ( 人工蛍石 ) として回収していますその結果フッ酸含有汚泥を約 3 割削減することができましたフッ素系製品メーカでは回収したフッ化カルシウム ( 人工蛍石 ) からフッ酸等のフッ素系材料を製造し輸入天然資源である蛍石の使用量を削減しています 5, 4, 3, 2, 1, % 4% 2% % 世界最大規模フッ素系製品メーカーフッ化カルシウムフッ化カルシウム回収設備平成 26 年度資源循環技術システム表彰経済産業大臣賞を受賞! フッ素系材料フッ酸排水半導体製造工程化学物質削減薬品使用量削減事例半導体製造工程ではシリコンウェハへ回路パターンを転写するため多種の有機溶剤を使用しています溶剤中には大気中に揮発しやすく光化学スモッグ等の要因となるVOC ( 揮発性有機化合物 ) を含有するものがあるため使用量の削減や代替化に取り組んでいます一例としてシリコンウェハへ感光剤として有機溶剤 ( レジスト ) を塗布する際に滴下方法を工夫するなど使用量の削減に努めていますこのような施策等により 216 年度は化学物質使用量を 56t/ 年削減できました今後も環境負荷低減に向け 3R を念頭に置いた技術開発を進めていきます塗布装置ノズルレジストレジスト吐出量を最適化シリコンウェハ 11

製品の環境負荷削減大容量省資源省エネに貢献する三次元フラッシュメモリ (BiCS FLASH ) 三次元フラッシュメモリは東芝が考案し 27 年に公表した製品です 48 層積層プロセスを用いた 256ギガビット三次元フラッシュメモリの量産を 215 年 9 月に開始さらに 64 層積層プロセスを用いた 512 ギガビットで 3ビット / セル (TLC)

13 製品の環境負荷削減大容量省資源省エネに貢献する三次元フラッシュメモリ (BiCS FLASH ) 三次元フラッシュメモリは東芝が考案し 27 年に公表した製品です 48 層積層プロセスを用いた 256ギガビット三次元フラッシュメモリの量産を 215 年 9 月に開始さらに 64 層積層プロセスを用いた 512 ギガビットで 3ビット / セル (TLC) の三次元フラッシュメモリのサンプル出荷を 217 年 2 月に開始しました三次元に積層することでメモリ密度が増大必要チップ数が減ることで大容量省資源化に貢献しますまたデータセンターなどのストレージシステムで使用されている HDDをBiCS FLASH 搭載 SSDに置き換えることで大幅な使用電力削減に貢献します NAND 微細化や多値化による大容量化 BiCS 積層構造で縦方向にも電流が流れ大容量化電極電流方向記録層 ( 窒化膜 ) 電流方向記録層 ( フローティングゲート ) 書き込まれた電子メモリセル電極書き込まれた電子メモリセル製品含有化学物質管理製品に係る化学物質の規制が年々強化されています主な規制として EUのRoHS 指令をはじめ ELV 指令包装材指令 REACH 規則等が施行されていますまた EU 域外においても EUのRoHS 指令に類似した法規制が世界各国で行われていますこれらの規制に対応するため調達禁止物質および調達管理物質を選定し製品に含有してはならないあるいは含有を管理すべき物質を定めています製品の開発段階で製品環境アセスメントを行い新規原材料製品に含有される化学物質情報を確認していますこのような取り組みを通じて製品または製品の製造工程において有害物質を可能な限り使用しないようより環境負荷の小さい材料を選定するよう努めています当社の環境関連物質リスト区分調達禁止物質 ( ランク A) 調達管理物質 ( ランク B) 定義グリーン調達ガイドラインで当社が規定する調達品への含有を禁止する物質群本ガイドラインで定める除外用途を除く全ての用途での調達品への意図的添加がないことおよび規制値がある場合は不純物の濃度が規制値未満であることグリーン調達ガイドラインで当社が規定する調達品への含有について管理の対象となる物質群調達品への意図的添加を制限するものではなく対象となる物質について含有の有無および含有濃度について当社が漏れなく把握すべき物質含有情報開示に加えて管理値が設定されている場合は不純物の濃度がその値未満であることグリーン調達調達先様と当社とで環境保全活動に関する問題の共有化相互協力を行い地球環境保全活動に取り組んでいくことを目的にグリーン調達ガイドラインを定めております当社が定める調達禁止物質管理物質に関する情報調達先の体制に関する情報及び資料をご提出いただくことによりグリーン調達管理体制を構築していますグリーン調達ガイドラインを 217 年 7 月 31 日に改訂 (8 月 7 日施行 ) しましたグリーン調達ガイドライン 12

コミュニケーション社内教育啓発環境教育環境活動の水準を高めるため全従業員を対象に環境教育を実施しています

職能別の教育を展開し環境意識職務知識の向上業務への反映に努めています教育内容は常に最新の情報を反映していますまた

層別教育職能別教育改正状況など階管理者教育一般従業員教育新規採用者 / 転入者教育特定従業員教育環境監査員教育

環境方針など環境法令などの遵守事項特定業務の作業標準書と手順を逸脱した場合の環境影響など監査員の役割と責任

従業員の環境意識を高めるため様々な活動を実施しています 3 R: リデュースリユースリサイクル

( フラ WA ~PJ) を展開中です四日市市クリーンセンター見学会 (3R 推進月間 ) 工場周辺道路清掃 ( 環境月間

14 コミュニケーション社内教育啓発環境教育環境活動の水準を高めるため全従業員を対象に環境教育を実施しています一般従業員教育では e ラーニングを活用して環境マネジメントシステムについての理解を深めています当工場では階層別職能別の教育を展開し環境意識職務知識の向上業務への反映に努めています教育内容は常に最新の情報を反映していますまた 1 回 / 年内部環境監査員教育を実施し監査員としての力量を上げています区分教育名内容層別教育職能別教育改正状況など階管理者教育一般従業員教育新規採用者 / 転入者教育特定従業員教育環境監査員教育各部門長の責任と権限環境マネジメントシステム改正点環境方針環境目的目標など地球環境問題環境マネジメントシステム環境方針など環境法令などの遵守事項特定業務の作業標準書と手順を逸脱した場合の環境影響など監査員の役割と責任環境法令などの月間活動毎年 6 月の環境月間 1 月の3R 推進月間 2 月の省エネルギー月間には従業員の環境意識を高めるため様々な活動を実施しています 3 R: リデュースリユースリサイクル構内緑化活動四日市工場では環境意識向上 / イメージアップ / 癒し空間創出を目的として当工場構内を花でいっぱいにする活動 ( フラ WA ~PJ) を展開中です四日市市クリーンセンター見学会 (3R 推進月間 ) 工場周辺道路清掃 ( 環境月間 ) 217 年 6 月には工場長をはじめ従業員によるフラ WA~PJ キックオフイベントを開催しましたフラ WA~PJ キックオフイベント WA には仲間の輪わかちあい和 ( なごみ ) 笑いなど色々な意味を込めています 13

15 C S R 地域貢献環境を通じた社会貢献活動構内常駐会社を含む全従業員がさまざまな社会貢献活動に取り組んでいます例えば 212 年から実施しているチャリティ eco バザーでは家庭の不用品をバザーに提供してリユースするとともに収益は四日市市緑化基金等に寄付しています今後も社会に貢献する環境活動を推進し従業員の環境意識をさらに高めていきます 27 年度 ~ 28 年度 ~ 212 年度 ~ 214 年度 ~ カレンダー手帳回収ボトルキャップ回収チャリティ eco バザー書き損じハガキ回収社会福祉施設等でのリユース発展途上国のポリオ予防支援四日市市緑化整備支援発展途上国の教育支援 215 年度 ~ 216 年度 ~ 使用済み切手回収羽毛回収コンタクトレンズケース回収インドネシア等の農業支援地域の社会貢献活動支援角膜移植の普及啓発支援こども環境授業近隣小学校に出向いて環境授業を実施しこどもたちの環境に対する気づきを導くようにしています授業では地域のマスコットキャラクターを活用しこども達が喜ぶ楽しい授業を目指しています朝日町立朝日小学校四日市市立三重北小学校こども環境講話四日市工場初となる学童保育所での環境講話を行いました低学年のこどもたちに実験などを通じて分かりやすく説明しましたこども環境講話 14

コミュニケーション情報発信環境報告書発行当工場の環境の取り組みを多くの方にご理解いただくために 23 年度より環境報告書 ( サイトレポート ) を発行し今回が第 15

かんきょうパンフレット地域自治会様との環境連絡会地域の環境保全を目的に地域自治会様と定期的に連絡会を開催し水質大気などの環境測定データの報告環境施設の見学

今後も継続してコミュニケーションを図っていきます環境連絡会緊急事態対応訓練ビデオ放映地域環境イベントへの出展四日市市三重県等が主催する環境イベントへ出展し

市内小学校に通う児童とその保護者との森の科学探検隊の開催 ) 216 年 8 月プロナチュラリストである佐々木洋さんを迎え

探検隊では公園内に自生している希少野生種のシデコブシなどを観察し森という豊かな自然を通じて生物多様性保全活動の大切さについて学んでいただきました社外からの評価

都市緑化関係功労者表彰は四日市市の都市緑化の推進や保全美化活動に取り組んでいる個人や団体の表彰を通じ活動のさらなる発展と

16 コミュニケーション情報発信環境報告書発行当工場の環境の取り組みを多くの方にご理解いただくために 23 年度より環境報告書 ( サイトレポート ) を発行し今回が第 15 版となります今後も読みやすい環境報告書を目指し発行を継続していきますこどもたちにも理解いただけるようかんきょうパンフレットも発行しています環境報告書かんきょうパンフレット地域自治会様との環境連絡会地域の環境保全を目的に地域自治会様と定期的に連絡会を開催し水質大気などの環境測定データの報告環境施設の見学東海地震への備えなど地域の安心安全に繋がる環境保全への取り組み状況について報告しています地域と密着した企業活動が推進できるよう今後も継続してコミュニケーションを図っていきます環境連絡会緊急事態対応訓練ビデオ放映地域環境イベントへの出展四日市市三重県等が主催する環境イベントへ出展し環境保全の取り組み事例や当社メモリ製品を紹介しています夏のエコフェアみえ環境フェア生物多様性保全四日市工場周辺の生物多様性を学ぶ環境学習 ( 市内小学校に通う児童とその保護者との森の科学探検隊の開催 ) 216 年 8 月プロナチュラリストである佐々木洋さんを迎え四日市工場の自然観察指導員の資格を持つメンバーにて市内小学校に通う児童とその保護者を招待し市内垂坂公園にて森の科学探検隊を開催しました探検隊では公園内に自生している希少野生種のシデコブシなどを観察し森という豊かな自然を通じて生物多様性保全活動の大切さについて学んでいただきました社外からの評価都市緑化関係功労者表彰チャリティ eco バザーの収益を四日市市緑化基金へ累計 2 万円寄贈したことに伴い四日市市長より平成 28 年度都市緑化関係功労者表彰を受賞しました都市緑化関係功労者表彰は四日市市の都市緑化の推進や保全美化活動に取り組んでいる個人や団体の表彰を通じ活動のさらなる発展と市民に広く活動を紹介して緑化に対する意識の普及啓発を行うことを目的としています都市緑化関係功労者表彰三重県社会福祉大会 215 年から取り組んでいる羽毛回収活動が評価され第 65 回三重県社会福祉大会にて感謝状を受賞しました三重県社会福祉大会は福祉関係者が一堂に会し今後ますますの努力を誓い合うとともに社会福祉の発展に功績のあった方々を顕彰することを目的としています三重県社会福祉大会感謝状 15

17 データ編法令遵守データ大気測定結果 NOx(ppm) S O x( N m 3 /h) ばいじん ( m g /m 3 ) 規制値自主管理値実測値測定頻度 13 以下 72 以下 32~46 1 回 / 年 1.2 以下.99 以下.1 以下 1 回 / 年 5 以下 35 以下 1. 以下 2 回 / 年排水測定結果 ph BOD(mg/L) COD(mg/L) SS(mg/L) 窒素 ( m g /L ) フッ素 ( m g /L ) 規制値自主管理値実測値測定頻度 ~ 8. 6( 三重県条例 ) 6.5~8. 7.4~7.9 1 回 / 月 2 以下 ( 三重県条例 ) 4. 以下.8 1 回 / 月 2 以下 ( 三重県条例 ) 4. 以下回 / 週 7 以下 ( 三重県条例 ) 3 以下.5 1 回 / 月 2 6 以下 ( 水濁法 ) 6. 以下 2. 1 回 / 週 8 以下 ( 水濁法 ) 4.5 以下回 / 週 1: 三重県生活環境の保全に関する条例 2: 水質汚濁防止法騒音振動測定結果騒音 (d B ) 振動 (d B ) 測定場所 : 時間の区分敷地境界 : 朝夕敷地境界 : 昼敷地境界 : 夜敷地境界 : 昼敷地境界 : 夜規制値自主管理値実測値測定頻度 6 以下 65 以下 55 以下 5 以下 5 以下 6 以下 65 以下 55 以下 5 以下 5 以下 44~55 47~55 44~55 3 以下 3 以下 4 回 / 年 4 回 / 年 4 回 / 年 1 回 / 年 1 回 / 年環境負荷 ( マテリアルバランス ) 投入化学物質市水工業用水 t 千 m 3 千 m 年度 213 年度 214 年度 215 年度 216 年度 4,418 41,924 39,141 4,276 43, ,15 11,998 12,59 13,712 14,37 東芝グループで定める削減対象物質排出温室効果ガス化学物質廃棄物排水量 NOx SOx 千 t-co 2 t t 千 m 3 t t 212 年度 213 年度 214 年度 215 年度 216 年度 ,282 8, ,659 1, ,721 1, , ,612 11, , ,289 12, 東芝グループで定める削減対象物質 16

18 データ編環境会計事業活動に関わる費用のうち環境保全に関わるコストとその効果を定量的に把握し環境保全活動の指針とするため環境会計を導入しています環境保全コストの分類と算出は環境省が定めた環境会計ガイドライン 25 年版および東芝グループ独自の基準に基づいています費用対効果の最適化を図った上で増産に伴う環境対策等を行い 216 年度の環境保全コストは合計約 189 億円となりましたグリーン調達などのためのコスト I S O14 1 運用環境教育などのためのコスト資源有効活用廃棄物減量などのためのコスト温暖化防止などのためのコスト大気水質保全等公害防止のためのコスト ( 億円 ) 各年度の環境保全コスト推移 PRTR P R T R とはどのような化学物質がどこからどのくらい環境 ( 大気公共用水土壌など ) 中へ排出されているか ( 排出量 ) 廃棄物などとして移動しているか ( 移動量 ) を把握し集計公表する制度です特定化学物質の環境への排出量の把握等および管理の改善の促進に関する法律 (PRTR 法 ) では第一種指定化学物質の年間取扱量が1t 以上 ( 特定第 216 年度 PRTR 対象物質データ一種化学物質においては.5t 以上 ) となった場合に排出量移動量を報告することが義務付けられています東芝グループでは独自に年間.1t 以上取扱う第一種指定化学物質を対象とし排出量移動量以外にも取扱量消費量除去処理量リサイクル量を合わせて開示しています [ 単位 :t / 年 ] 法令で定めた物資番号化学物質名取扱量大気公共用水排出土壌事業所内埋立排出量合計廃棄物移動量下水道移動量合計消費量 1 除去処理量 2 リサイクル量 3 1 亜鉛の水溶性化合物銅水溶性塩 ( 錯塩を除く ) ナフタレンふっ化水素およびその水溶性塩ペルオキソ二硫酸の水溶性塩ほう素化合物マンガンおよびその化合物メチルナフタレンモリブデンおよびその化合物 ( 少数点以下第 3 位を四捨五入しています ) 1: 消費量は製品に含有もしくは同伴されて場外に持ち出される量をいいます 2: 除去処理量は工場内で中和分解反応処理などにより他物質に変化した量をいいます 3: 廃棄物移動量かリサイクル量かは外部への処理委託が有価か無価で決まりますしたがってリサイクル目的であってもお金を払って処理を委託している場合は廃棄物としての移動量になります 17

工場沿革 199 年土地整備開始 ( 四日市市土地開発公社による四日市ハイテク工場団地造成) 23 年 25 年朝日テストセンター稼働第 3クリーンルーム棟生産開始 1991 年第 1 クリーンルーム棟建設開始 27 年厚生棟完成 1992 年四日市工場設立 27 年第 4 クリーンルーム棟生産開始 1993 年四日市工場操業開始 ( 第 1 クリーンルーム棟生産開始 )

19 工場沿革 199 年土地整備開始 ( 四日市市土地開発公社による四日市ハイテク工場団地造成) 23 年 25 年朝日テストセンター稼働第 3クリーンルーム棟生産開始 1991 年第 1 クリーンルーム棟建設開始 27 年厚生棟完成 1992 年四日市工場設立 27 年第 4 クリーンルーム棟生産開始 1993 年四日市工場操業開始 ( 第 1 クリーンルーム棟生産開始 ) 211 年第 5 クリーンルーム棟第 1 期生産開始 1996 年第 2 クリーンルーム棟生産開始 214 年第 5 クリーンルーム棟第 2 期生産開始 1999 年 NAND 型フラッシュメモリ生産開始 216 年新第 2 クリーンルーム棟生産開始環境活動のあゆみ 199 年 1991 年 1994 年 1996 年 1999 年 2 年 21 年 23 年 24 年 25 年 26 年 27 年 28 年 29 年 21 年 211 年 212 年 213 年 214 年 215 年 216 年三重県四日市市と公害防止協定締結四日市市山之一色町自治会と公害防止協定締結山之一色町地元連絡会開始東芝総合環境監査初回受査 BS775 環境マネジメントシステム認証取得 ISO141:1996 環境マネジメントシステム認証取得リサイクル推進協議会会長賞中部通産局長賞 ( エネルギー管理優良工場熱部門 ) 省エネルギーセンター会長賞産業廃棄物ゼロエミッションを全社に先駆けて達成 (1999 年度実績 ) 中部経産局長賞 ( エネルギー管理優良工場電気部門エネルギー管理功労者 ) 資源エネルギー庁長官賞 ( エネルギー管理優良工場熱部門 ) 四日市工場環境報告書初版発行資源エネルギー庁長官賞 ( エネルギー管理優良工場電気部門 ) ISO141:24 環境マネジメントシステム認証取得省エネ優秀事例全国大会省エネルギーセンター優良賞 Kids' ISO14プログラム開始 ( 子供環境教育 ) ISO141:24 環境マネジメントシステム ( 株 ) 東芝セミコンダクター社統合認証取得 PRTR 優秀賞 ( 審査員特別賞 ) こどもよっかいち CO 2ダイエット作戦開始 ( 子供環境教育 ) ボイラー管理優良事業場表彰関西エコオフィス大賞 ( 奨励賞 ) エコキッズ CO2ダイエット大作戦開始 ( 子供環境教育 ) 第 49 回全日本ボイラー大会技術賞東芝グループ環境賞 ( 優秀賞 ) 省エネ大賞 ( 省エネルギーセンター会長賞 ) 3R 推進功労者等表彰 ( 会長賞 ) 国際グリーンアップル賞 ( 銀賞 ) 中部経済産業局長表彰 ( エネルギー管理優良事業者 ) 省エネルギーセンター東海支部長表彰( 省エネ推進功労者 ) 3R 推進功労者等表彰 ( 会長賞 ) 第 2 回みえ環境大賞 ( 環境経営部門 ) 3R 推進功労者等表彰 ( 会長賞 ) 資源循環技術システム表彰( 経済産業大臣賞 ) 省エネルギーセンター東海支部長表彰 ( 省エネ推進功労者 ) 省エネルギーセンター東海支部長表彰 ( 省エネ推進功労者 ) 四日市市都市緑化関係功労者表彰三重県社会福祉大会感謝状受賞 18

20 編集方針この報告書は東芝メモリ株式会社四日市工場の環境経営 ( 環境マネジメント事業活動における環境負荷低減など ) に関して皆様に一層ご理解いただくことを目的としていますこの報告書は環境省発行の環境報告ガイドライン 212 年版を参考にして編集しています報告書記載内容の対象期間活動実績データは 216 年度 (216 年 4 月 1 日 ~217 年 3 月 31 日 ) の活動が中心となっていますが一部それ以前あるいは 217 年度の活動を含んでいます対象組織東芝メモリ株式会社四日市工場および朝日テストセンター駐在部門および構内常駐会社を含む四日市工場施設管理部環境保全担当三重県四日市市山之一色町 8 番地 TEL FAX

〔表紙〕

〔表紙〕グリーン調達ガイドライン 2018 年 12 月 ( 第 2 版 ) メタウォーター株式会社目次 1. メタウォーター株式会社のグリーン調達について 1-1 グリーン調達の基本理念 1-2 グリーン調達の方針 1-3 グリーン調達の指針 1) お取引先様に求める必須事項 2) お取引先様に求める推奨事項 2. 本ガイドラインの活用について 2-1 お取引先様の環境保全活動について ( 自己評価のお願い

東芝メモリ株式会社 四日市工場 環境報告書2017

東芝メモリ株式会社四日市工場環境報告書2017