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1 RCJS-5-1( 第 2 版 ):2014( 静 電 気 現 象 からの 電 子 デバイスの 保 護 - 一 般 要 求 事 項 ) 規 格 発 行 に 寄 せて 1. はじめに 今 回 RCJS-5-1:2010 の 改 訂 版 の RCJS-5-1( 第 2 版 ):2014 を 発 行 することにしました これは RCJS-5-1:2010 発 行 後 に 改 訂 された 国 際 的 な 静 電 気 管 理 の 関 連 規 格 (IEC シリーズ)の 改 訂 版 の 中 の 有 用 な 内 容 を 採 り 入 れ また RCJS-5-1:2010 を 見 直 し 読 みやすいように 工 夫 しました 2. 経 緯 2.1 RCJS-5-1:2010 発 行 の 経 緯 RCJ ESD COORDINATOR(ESDC) 資 格 認 証 制 度 では IEC TR :1998 と IEC TS :1999 を 中 心 とした IEC シリーズの 静 電 気 関 連 規 格 を 使 用 していました 対 応 する 国 内 規 格 は IEC (Technical Report Type 2):1998 を 翻 訳 し 技 術 的 内 容 及 び 規 格 票 の 様 式 を 基 に 作 成 した TR C :2002 でしたが JIS 制 度 上 の 有 効 期 限 切 れで 廃 止 になってしまいました IEC TR :1998 と IEC TS :1999 の 規 格 の 改 訂 版 が 2007 年 に 発 行 され それぞ れ IEC IS :2007 と IEC TR :2007 となりました すなわち 5-1 が 正 式 な 国 際 規 格 (International Standard)となり 一 方 5-2 が TR(Technical Report)となりました しかし IEC IS :2007 は そのまま 翻 訳 して 日 本 国 内 に 適 用 すると 接 地 関 係 で 人 体 安 全 性 上 問 題 があ ることが 判 明 し JIS 規 格 としては 採 用 されないことになりました 接 地 / 等 電 位 結 合 システムは ESDS アイテム 人 体 及 びその 他 の 導 電 体 ( 例 : 動 く 装 置 )が 同 じ 電 気 的 電 位 にあることを 確 実 に するために 使 用 されます しかし IEC IS :2007 では 図 1 に 示 すように 接 地 / 等 電 位 結 合 システムに 結 合 するリストストラップ 等 の ESD 保 護 アイテムに 人 体 安 全 用 の 電 流 制 限 抵 抗 あ るいは 抵 抗 下 限 値 を 要 求 していません 一 方 IEC TR :1998 では 図 2 に 示 すように 作 業 表 面 リストストラップ 及 びコード ESD 床 マット ESD 床 機 能 接 地 又 は 保 護 接 地 (アース) ( 機 能 接 地 を 使 用 する 際 は 保 護 接 地 (アース)に 結 合 することが 望 ましい) 図 1 IEC IS (2007)の EPA の 構 成 の 概 略 図 リストストラップや 作 業 表 面 で 保 護 抵 抗 や 制 限 抵 抗 の 無 い 状 態 で 許 容 している - 1 -

2 ESD 保 護 アイテムに 人 体 安 全 用 の 電 流 制 限 抵 抗 ( 約 1 MΩ)が 挿 入 されていました わが 国 では 特 有 の 電 源 システムを 採 用 していることから 電 源 から 接 地 を 取 ることが 難 しいこともあり 人 体 安 全 性 の 点 から 電 流 制 限 抵 抗 のない 保 護 アイテムの 使 用 は 問 題 があります 図 2 IEC IS (1998)の EPA の 構 成 の 概 略 図 リストストラップ や 作 業 表 面 で 保 護 抵 抗 や 制 限 抵 抗 が 挿 入 されている そこで 日 本 の 接 地 事 情 を 考 慮 した 国 内 規 格 を TR C :2002 を 基 本 として 改 訂 し TS(JIS 制 度 )で 発 行 しようと 計 画 規 格 案 を 作 成 し JISC へ 申 請 しました しかし IEC として 新 しい 規 格 (IEC :2007)が 発 行 されているのに その 規 格 が 日 本 に 適 用 するのに 問 題 があるとして も 古 い 規 格 (IEC :1998)を 基 にした TS は 認 められないとの 判 断 が 示 され JIS 制 度 での TS 発 行 は 見 送 られました このような 事 情 で しばらくの 間 国 内 に 静 電 気 管 理 の 規 格 が 存 在 しないことになります そこ で TR C :2002 を 基 本 として 改 訂 作 成 した 規 格 を 暫 定 として 団 体 規 格 (すなわち RCJ 規 格 RCJS-5-1:2010)として 発 行 することにしました なお IEC では IEC :2007 の 見 直 しが 計 画 されており 新 規 格 の 改 訂 状 況 にもよりますが その 改 訂 版 を 基 にした JIS の 発 行 を 計 画 し ています 2.2 RCJS-5-1:2010 と TR C :2002(IEC TR ;1998)との 主 な 相 違 点 RCJS-5-1:2010 は TR C :2002 を 基 に 最 新 情 報 を 入 れ 改 訂 しました その 改 訂 の 概 要 を 以 下 に 示 します - 2 -

3 (1) 用 語 の 明 確 化 ESD コーディネータ の 定 義 を 示 し 及 びその 責 務 と 資 質 について 新 たに J4 項 を 設 け 明 確 に しました さらに ESD コーディネータのクラス 分 けをし それぞれの 推 奨 される 職 務 を 附 属 書 JE に 示 しました (2) 表 1 ESD 保 護 アイテムに 対 する 要 求 事 項 と 表 4 包 装 特 性 の 修 正 表 1 の 不 具 合 を 以 下 のように 修 正 しました 着 用 していないリストバンドの 抵 抗 は 点 間 抵 抗 Rp ですが 5-1(1998)では EPA グランド 抵 抗 Rg の 欄 に 記 述 されていました これを 点 間 抵 抗 Rp の 欄 に 移 動 しました 衣 類 の 抵 抗 範 囲 (Rp Ω)を 新 しい 規 格 (IEC )に 従 い Rp< Ωに 修 正 し 電 荷 減 衰 の 要 求 を 削 除 しました 履 物 の 抵 抗 範 囲 (Rg< Ω)を JIS C :2009 を 引 用 し 追 加 しました 手 袋 指 サックと 工 具 の 電 荷 減 衰 要 求 をシステムとしての 要 求 に 移 動 しました これは 着 用 した 状 態 で 測 定 するのが 一 般 的 であるためです 表 2 の 不 具 合 を 以 下 のように 修 正 しました 表 面 抵 抗 が Ωを 超 えるものを 使 用 する 場 合 には, 材 料 は 初 期 値 (1,000V)の 10%までの 減 衰 時 間 が 2 秒 以 内 であること を 材 料 は 初 期 値 (5,000V)の 1%までの 減 衰 時 間 が 2 秒 以 内 で なければならない( 附 属 書 JB) に 修 正 しました これは 材 料 の 現 実 的 な 電 荷 減 衰 測 定 方 法 と して 5-1(1998) 附 属 書 B1 に 記 述 されていたコロナ 放 電 方 式 から 直 接 電 圧 印 加 方 式 (RCJS-5-1 附 属 書 JB)に 変 更 したためです (3) 附 属 書 A の 修 正 附 属 書 A に 記 述 さている 各 種 抵 抗 測 定 方 法 は TR C :2002 発 行 後 に 制 定 された 対 応 JIS を 引 用 し 削 除 しました 附 属 書 A に 記 述 さている 衣 類 の 試 験 方 法 リストストラップの 試 験 方 法 イオナイザの 試 験 方 法 及 びシールドバッグの 試 験 方 法 は IEC IS :2007 の 関 連 文 書 として 回 付 され 2010 年 1 月 に IS になった 文 書 の 該 当 箇 所 を 採 用 し 修 正 しました (4) 附 属 書 B の 修 正 と 追 加 附 属 書 B1 に 記 述 されているコロナ 放 電 を 利 用 する 電 荷 減 衰 方 法 は 使 用 されていないので 削 除 しました それに 代 わり 現 在 使 用 されている 高 電 圧 印 加 を 利 用 する 電 荷 減 衰 方 法 を 採 用 し JB と して 追 加 しました 附 属 書 B2 に 記 述 されている 工 具 の 電 荷 減 衰 測 定 方 法 は そのまま 残 しました 但 し 項 目 番 号 を B2 から B に 直 しました (5) 附 属 書 JD の 追 加 適 合 性 の 認 証 の 項 で 監 査 報 告 の 例 が 示 されています 監 査 の 利 便 性 を 考 慮 し この RCJS-5-1 に 則 した 監 査 チェックリストを 追 加 しました また ESD 管 理 マニュアル(ESD 管 理 プログラム 計 画 書 ) 作 成 する 際 の 参 考 として 要 求 事 項 に 則 したチェックリストも 追 加 しました - 3 -

4 アイテム 個 別 の 要 求 事 項 作 業 表 面, 保 管 棚, トロリー 及 びカート 床 表 1 ESD 保 護 アイテムに 対 する 要 求 事 項 端 子 間 抵 抗 Re 又 は 点 間 抵 抗 Rp(Ω) Rp ( 5 ) EPA グラウンド 抵 抗 又 はグラウンド 可 能 接 続 点 への 抵 抗 Rg (Ω) Rg ( 5 ) Rg< 最 小 値 ( 1 ),( 2 ) いす Rg 衣 類 Rp< 電 荷 減 衰 ( 4 ) 手 袋, 指 サック ( 6 ) ( 6 ) 着 用 していない リストバンド Rp リストバンド コード Re ( 3 ) 履 物 Rg<1 10 8, 最 小 値 ( 7 ) 工 具 Rg< ( 1 ) イオナイザ システム 要 求 事 項 着 用 したリストストラ ップ(リストストラッ プシステム) 着 用 した 手 袋 と 指 サック 金 属 プレート 上 で 着 用 した 靴 ( 人 体 / 履 物 システム) 工 具 システム Rg< ,000V から 100Vまで の 減 衰 時 間 が 最 大 20 秒 Rg< 初 期 値 (Max 1,000V)から 10%まで 2 秒 未 満 /( 片 足 ) Rg< ( 2 ) 初 期 値 (Max 1,000V)か ら 10%まで 2 秒 未 満 注 ( 1 ) ESDSを 保 護 するための 最 小 抵 抗 値 というのはない しかし, 安 全 性 確 保 のために, 最 小 抵 抗 値 が 必 要 な 場 合 がある 関 連 の 国 内 基 準,IEC ,IEC 60479,IEC 及 びIEC 60364を 参 照 ( 2 ) 人 体 接 地 の 基 本 的 な 方 法 として 履 物 / 床 システムを 使 用 する 場 合 には, 合 成 抵 抗 は ESD コーデ ィネータによって 決 定 されなければならない その 推 奨 値 は ~ Ω である(5.5 及 び IEC を 参 照 ) ( 3 ) 最 大 の EPA グラウンド 抵 抗 値 は,250Vac 又 は 500Vdc 当 たり 最 小 Ω の 抵 抗 を 確 保 する ために 増 加 することがある( 通 常 Ω) 抵 抗 は,250Vac 又 は 500Vdc 当 たり 1/4W の 最 小 電 力 定 格 をもたなければならない ( 4 ) 表 面 抵 抗, 点 間 抵 抗,グラウンド 可 能 点 への 抵 抗 が Ω を 超 える 場 合, 又 は 材 料 が 均 質 でないもの, 又 は 絶 縁 性 部 位 を 持 つ 構 造 である 場 合 は 必 須 となる ( 5 ) ESD コーディネータが 承 認 した 場 合 には, 規 定 された 下 限 抵 抗 値 以 下 の 抵 抗 は 許 容 される ( 6 ) システム 要 求 事 項 の 着 用 した 手 袋 と 指 サックを 参 照 ( 7 ) 人 体 / 履 物 システムの 要 求 事 項 を 参 照 - 4 -

5 表 4 包 装 特 性 EPA 内 EPA 外 一 次 近 接 一 次 近 接 ESDS 低 帯 電 性 と 静 電 気 導 電 性 又 低 帯 電 性 と ESD シールド 性 EPA 内 部 に 対 す ESD シールド は 低 帯 電 性 と 静 電 気 拡 散 性 との 組 み 合 わせ 又 は 一 次 包 るものと 同 じ ( 電 源 をもつ ESDS は 低 帯 電 装 と 同 じ 性 と Ω を 超 える 静 電 気 拡 散 性 のものを 使 用 する) 非 ESDS ESDS に 適 した 包 装 又 は 低 帯 電 性 要 求 無 し 注 記 表 面 抵 抗 が Ω を 超 えるものを 使 用 する 場 合 には, 材 料 は 初 期 値 (5,000V)の 1%までの 減 衰 時 間 が 2 秒 以 内 でなければならない( 附 属 書 JB) ESD コーディネータが 承 認 した 場 合 には,ハード 接 地,すなわち,EPA グラウンドへの 抵 抗 が Ω 以 下 の 表 面 の 使 用 は 許 容 される 2.3 RCJS-5-1( 第 2 版 ):2014 の 改 訂 概 要 (1) 用 語 の 追 加 準 ESD コーディネータ(Pre ESD Coordinator),デバイス 帯 電 モデル(CDM), 人 体 モデル(HBM), マシンモデル(MM)を 追 加 しました なお, 準 ESD コーディネータは,ESD 管 理 プログラムを 履 行 するための 第 三 者 機 関 により 教 育 訓 練 を 受 けた 者 であり,ESD コーディネータの 監 督 の 基 に 実 際 の 作 業 を 行 う 者 です (2) 標 識 及 びマーキング IEC :2010 の 包 装 マーキングは, 図 解 説 2 に 示 すように,RCJS-5-1 が 採 用 しているマー キング( 図 4)と 異 なります RCJS-5-1 では, 従 来 からの 継 続 性 を 考 慮 し, 従 来 のマーキングを 採 用 しました 主 な 機 能 とコード S 静 電 気 放 電 シールド F 静 電 界 シールド C 静 電 気 導 電 性 D 静 電 気 拡 散 性 図 解 説 2 包 装 ラベルの 例 (IEC :2010 及 び edition2 で 規 定 の 包 装 ラベル) 注 記 J IEC :2010 では, 上 記 ラベルを 規 定 している 従 来 のラベル 表 示 と 異 なるの で, 参 考 として 示 した また,5-3 では 新 たに 静 電 界 シールド F を 規 定 している これは, 静 電 界 を 減 衰 させることができる 包 装 材 で, 抵 抗 値 < Ωの 均 一 な 材 料 と 規 定 している - 5 -

6 (3) 表 1 の 注 記 ( 2 )の 訂 正 人 体 接 地 の 基 本 的 な 方 法 として 履 物 / 床 システムを 使 用 する 場 合 には, 合 成 抵 抗 は ESD コーディネ ータが 決 定 します その 推 奨 値 を< Ω とし 下 限 抵 抗 を 削 除 し 上 限 抵 抗 のみとしました 従 来 の 推 奨 の 下 限 抵 抗 値 の Ω は 人 体 安 全 上 からの 制 限 ですが 床 システムの 構 成 によっては この 推 奨 値 以 上 にするのが 困 難 な 場 合 もあり ESD コーディネータの 決 定 に 委 ねることにしました (4) EPA グラウンドシステム 図 12 の EPA の 配 線 図 が 分 かりにくいとの 意 見 があり, 分 かりやすい 図 面 に 変 更 しました この 図 面 は,IEC :1998 の 源 規 格 の CECC を 参 照 しました 静 電 気 導 電 性 / 静 電 気 拡 散 性 アイテム グラウンド 可 能 接 続 点 EPAグラウンド コード C B リストストラップ 接 続 システム リストストラップ グラウンドコード 作 業 表 面 グラウンド 可 能 接 続 点 EPAグラウンド 設 備 D A 床 グラウンド 可 能 接 続 点 EPAグラウンド 接 続 点 (EBP) EPAグラウンド 注 記 A,B,C,D: 制 限 抵 抗 ( 人 体 保 護 抵 抗 )の A,B,C の 抵 抗 は 表 1 に,D は 項 で 決 められ ている これらの 抵 抗 は, 個 々の 抵 抗 であるか, 材 料 そのものの 抵 抗,またはその 組 み 合 わせで ある ただし, 個 別 抵 抗 が 必 要 となるグラウンドコードは 別 である グラウンド 可 能 接 続 点 間 抵 抗 : 測 定 点 ()から EPA グラウンドまでの 抵 抗 ( 制 限 抵 抗 を 含 む) 印 : 測 定 点 の 例 図 12 典 型 的 な EPA の 配 線 (RCJS-5-1( 第 2 版 ):2014) (5) 静 電 界 IEC :2007 の edition2 に 向 けた 検 討 を 考 慮 し, 静 電 界 の 限 界 を 10 kv/m から 5 kv/m に 変 更 しました さらに, 絶 縁 物 の 表 面 電 位 が 2,000V を 超 える 場 合 の 対 処 方 法 に 加 え, 絶 縁 物 の 表 面 電 位 が 125V を 超 える 場 合 の 対 処 方 法 を 加 えました - 6 -

7 (6) 附 属 書 A 2010 年 に JIS として 発 行 されたイオナイザのための 標 準 的 試 験 方 法, 及 び 現 在 JIS 化 が 検 討 され ている 特 定 応 用 のための 標 準 的 試 験 方 法 ( 衣 類,イオナイザ,シールドバッグ)の 内 容 を 考 慮 し, 用 語 や 数 値 等 を 改 訂 しました 主 な 改 訂 内 容 は 次 のとおりです (i) 衣 類 環 境 温 度 の 許 容 差 を 第 1 版 の(23±3) から,(23±2) に 変 更 しました (ii) リストストラップ 折 り 曲 げ 寿 命 試 験 器 (コードフレックステスタ)を,JIS 化 で 検 討 されている 最 新 規 格 に 合 わせま した (iii) イオナイザ ルームイオナイザで, 現 在 ほとんど 使 われていない 単 電 極 エミッタと 2 重 直 流 エミッタを 削 除 し ました 絶 縁 された 帯 電 プレートの 容 量 測 定 方 法 と 誤 差 要 因 の 項 を, 附 属 書 D に 移 動 しました (iv) シールドバッグ JIS 化 で 検 討 されている 用 語 や 図 面 を 採 用 しました (7) CDM 対 策 最 近 の 組 立 自 動 化 により 重 要 性 が 増 している CDM によるデバイス 損 傷 に 対 する 対 策 の 指 針 を, 附 属 書 JE( 参 考 )に 示 しました - 7 -

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