軽量耐熱複合材CMC技術開発に関する

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1 第 1 回航空機関連分野技術に関する施策 事業評価検討会資料 軽量耐熱複合材 CMC 技術開発 ( 産学連携 ) 事業評価用資料 平成 24 年 11 月 29 日

2 目 次 1. 事業の目的 政策的位置付け 事業の目的 政策的位置付け 国の関与の必要性 5 2. 研究開発目標 研究開発目標 全体の目標設定 個別要素技術の目標設定 8 3. 成果 目標の達成度 成果 全体成果 個別要素技術成果 特許出願状況等 3-2. 目標の達成度 事業化 波及効果 事業化の見通し 波及効果 研究開発マネジメント 体制 資金 費用対効果等 研究開発計画 研究開発実施者の実施体制 運営 資金配分 費用対効果 変化への対応 28 2

3 1. 事業の目的 政策的位置付け 1-1. 事業目的大きな技術波及効果によって環境をはじめ 情報 材料等の分野に高付加価値を生み出す航空機関連技術について 材料 構造 システム関連等の中核的要素技術力を一層強化 保持することを目標とする 航空機 宇宙産業イノベーションプログラムの一環として本事業を実施する 航空機産業は 先行する欧米諸国の他 後発のアジア諸国等発展途上国を含めた国際的な産業競争の激化が進む中 その発展を通じて我が国産業構造の高度化に大きく貢献することが期待される また 航空機関連技術は 高度な先進技術を要することから その技術波及効果によって 輸送機器を始めとした様々な分野に高付加価値を生み出す上で重要な役割を果たす 特に 材料 構造関連分野においては 航空機等の輸送機器の構造等部分に先進材料を早期に導入することで軽量化 高性能化等によるエネルギー使用合理化が期待される このことから 次世代構造部材創製 加工技術開発 ( 軽量耐熱複合材 CMC 技術開発 ) を行い 1300 の耐熱性を有し かつ金属材料よりも軽量なCMC(Ceramic Matrix Composites) を航空機エンジンに適用することで 航空機エンジンの高性能化 軽量化等を図り 省エネルギーに資することを目的とする 海外でも米国のGE 社 ( 図 参照 ) 仏国のSNECMA 社 ( 次頁図 参照 ) が国の支援も受け その実用化を目指して開発しているが 平成 21 年 6 月ファンボローエアショーで GE 社による e-core 開発がアナウンスされて以来 CFM 社 ( 両社の合弁会社 ) の民間エンジンへのCMC 実用化研究が加速している CMCは次世代航空機用エンジンの耐熱材料としては最も期待されるものであり 本材料の実用化に成功することで航空機用エンジンビジネスでのゲームチェンジを狙えるため 他社に先行して開発することが非常に重要である CMCで主に適用される SiC 繊維は東北大で開発され 現在も日本でしか製造できないため 我が国はCMCの基盤技術で大きな強みをもっており 素材 加工 製品化まで国内サプライチェーンを構築できる次世代材料として 我が国が競争力を有することが可能である CMCはCFRPに次いで 航空機という先端分野において我が国の競争力を高める重要な材料である しかしながらGE 社 SNECMA 社等による繊維メーカの囲いこみが始まるなど 競争は一層厳しくなっている状況である このような状況での本研究開発は我が国の優位性を獲得するためには時機を得たものと言える 1

4 タービンシュラウド タービン静翼 図 米国の GE 社の試作部品例 ( 出典 ;Aviation Week GE 社発表資料 ) 図 仏国の SNECMA 社の試作部品例 ( 燃焼器ライナ ); ( 出典 ;SNECMA 社発表資料 ) 1-2. 政策的位置付け本研究開発は 経済産業省の 航空機 宇宙産業イノベーションプログラム のもとで実施されている このプログラムは 今後 市場規模の拡大が見込まれるとともに その先端的な部品 材料 システム技術の波及効果を通じて我が国製造業全体の高度化をもたらし また安全保障上の重要な基盤である航空機産業に関連する技術開発を積極的に推進することを目的としている このプログラムのもと本研究開発はエンジン高性能化と軽量化のため 先進複合材料である耐熱セラミック複合材のCMC 部材開発 設計試作および評価を通じて 革新的な構造部材の創製 加工技術の開発能力の獲得を目指しており 同プログラムの中に適切に位置付けられている 本研究開発が所期の成果を達成することにより プログラムの目的の実現に大きく貢献することが期待される 2

5 また 航空機 宇宙産業イノベーションプログラムおよび本研究開発は以下 の施策とも密接に関連して実施されている 第 4 期科学技術基本計画 (2011 年 8 月閣議決定 ) 高効率輸送機器 ( 次世代自動車 鉄道 船舶 航空機 ) やモーダルシフト等の物流を効率化するための手法に関する研究開発 導入を推進するとされている また 産学官の 知 のネットワークを強化し 産学官の連携を一層拡大するための取組を進めるとされている また 航空機分野の技術戦略マップのなかで 我が国航空機産業が目指すべき方向性として 機体 エンジンの全機開発 国際共同開発における地位の維持 拡大が挙げられている 国際共同開発における地位の維持 拡大では 必要な要素技術での優位性を獲得し 質の面でもより高度な役割を担うこととされている この目指すべき方向性のもと定められた図 1-2-1の 航空機分野の導入シナリオ に本研究開発は適切に位置付けられている 3

6 航空機産業の高度化への総合的な体制 目標 1 国産機で世界に航空機ソリューションの提供 2 環境航空機向けの部品 素材ソリューションを提供し 高い技術力で世界のトップランナーとして次世代旅客機等の開発を主導 3 航空機分野への他産業や中小企業の参入を促し 製造業の総動員による厚みと競争力のある高付加価値航空機産業を実現 民間機航空機産業政策導入シナリオに沿った研究開発支援 航空機産業 防衛省機 技術的波及 製造業全体の底上げ 拡大 高度化への総合的支援 調達等 人材育成支援 ビジネス面からの支援 防衛省機の研究開発及び調達 貿易保険 プロダクトサポート強化 防衛機民間転用の円滑化支援 防衛省機の効率的な 中小企業支援 国際ルールづくり 産業インフラ整備等 連携 研究開発及び調達 関係省庁 国の研究機関 産業界 大学等 社会ニーズ 安全性 環境適合性 経済性 導入シナリオ 材料 構造技術 機体構造の信頼性向上高信頼性診断技術の確立 適用 / 複合材耐衝撃構造設計技術の実機適用等構造健全性診断技術を前提とした構造設計技術の確立等機体構造軽量化による経済性向上複合材の性能を最大限に活かす構造設計技術の確立 / 複合材の多機能化 ( 耐雷等 ) 追求等多機能化複合材 高強度複合材等の統合設計技術の確立等高レート / 低コスト製造技術の実現複合材脱オートクレーブ成形技術の確立 / 金属材料加工 接合技術高度化等大物 複雑形状液相成形技術の自動化による高効率化 低コスト化等 研究開発 空力技術 パイロット負担軽減 離着陸時の後続機の事故防止後流渦の低減装置開発等後流渦を低減させる空力設計手法の確立失速防止のための空力デバイスの設計技術の確立機体の燃費向上摩擦抵抗低減設計技術の構築 / 誘導抵抗低減デバイス開発等層流制御技術の確立 / 機体全体の干渉抵抗低減手法の確立等市場投入が可能な超音速機の実現ソニックブーム低減技術の確立等 広く産業技術を対象とした研究開発のうち航空機関連技術にも裨益するものを含む ( システ装ム備 ) 品技術 低燃費 機体重量低減複合材の脚構造適用 脚インテグレーション 型式認証のための検証等 航空機用燃料電池システム等の実用化 信頼性 整備性向上高電圧 大容量発配電システムの実用化 / 高光度 LED 有機 EL 等の実用化等機体 運航安全性 液体水素タンクの実用化等全電気航空機の実用化 / 代替電源システムの実現等 パイロット操縦負荷低減技術開発 / 周波数選択 反射制御材料の実用化検討等 操縦負荷低減最適化設計 耐雷防爆設計技術の確立 検証等 エンジン要素技術 化石燃料消費量の低減 : ガスタービン性能向上 新方式推進システム複合材適用による低 高温部重量低減 / オープンロータ等新たな推進システムの実現等世界最先端レベルを上回る要素効率等燃料電池利用等新たな推進システムの実現騒音や有害排出物の低減ジェット騒音 ファン騒音の能動制御技術開発 / 低 NOx 化のための各種燃焼技術の確立等超音速機も含めた新形態機体 エンジンの低騒音化等高信頼性 耐空性と低運航費用との両立大型鍛造部材製造技術開発による低コスト化 / 要素試験 システム計測技術高度化等超高信頼性推進システムの実現 / 代替燃料利用の拡大等 全技機術開発 環境適応型小型航空機用エンジンの実現等防衛省機の民間転用に必要な研究等 機体 エンジンのインテグレーション技術の獲得設計技術 組立加工技術等の統合管理技術の確立等 国際共同開発 次期 150 席クラス民間輸送機 (B737X 等 ) 次期中小型民間輸送機用エンジン 次期中大型民間輸送機超音速旅客機 図 航空機分野の導入シナリオ ( 出典 ; 技術戦略マップ 2010 経済産業省 HP) 4

7 1-3. 国の関与の必要性軽量耐熱複合材 CMC 技術を適用する航空機用エンジンは過去一貫して低燃費化の傾向にあるが 昨今のエアライン競争の激化等に起因する極めて厳しい経済性要求に対応するため 将来的にも一層の高性能化が求められる 一方で 航空需要の伸びに伴って大気汚染や地球温暖化といった地球環境問題やエネルギー問題への対応が重要であり エネルギー使用の合理化や今後ますます厳しくなる環境要求に対応した技術開発の必要性が強く認識されている 航空機用エンジンの低燃費化を図るには 冷却空気の低減 および重量の低減が有効であり 先進材料の適用によってこれらを達成することが求められる 一方 材料開発は一般的に開発費が膨大かつ投資回収期間が極めて長いという 事業リスク を伴う 本研究開発で取り組む軽量耐熱複合材 CMC 技術も高温化 軽量化と低コスト化を同時に満足する 従来の延長線上に無い革新的な材料 技術コンセプトを適用することが不可欠であり 技術的挑戦が必要となる このため 長期にわたる巨額の投資を必要とし 民間企業のみでは抱えきれない膨大な開発リスクを伴う 加えて 本研究開発は 変動することが十分予想される10 年先以降の将来市場を見通しての技術開発であることからも 民間企業では直ちに取り組み難い状況にある 民間企業が直ちに取り組みにくいリスクはあるものの 本研究開発の成果は 民間機用エンジンだけでなく発電用ガスタービン 自動車等のブレーキディスク ロケット用スラスタノズル 産業炉用の耐熱部材等に適用され その熱効率を大幅に改善し もって石油消費量の削減に貢献することが予測される これによりエネルギーセキュリティー及び地球温暖化対策の国策の推進に貢献できるため エネルギー需給構造高度化対策として重要な政策的位置付けにある また 航空機用エンジン要素技術であるCMC 技術の維持向上は自国の安全保障上重要であること ならびに国家の戦略的産業技術との位置づけから 欧米先進各国では政府が相当規模の支援を行っている 米国ではGE 社が 仏国では SNECMA 社が国の支援を受け その実用化を目指して開発中である 我が国においても過去 通商産業省 ( 現 経済産業省 ) の支援の下 超音速輸送機用推進システム研究開発 (HYPR) 環境適合型次世代超音速機用推進システムの研究開発 (ESPR) 先進材料利用ガスジェネレータ技術開発(A MG) の各プロジェクトを実施し 航空機用エンジン基盤技術の整備に取り組んできた 今後 必要な要素技術での優位性を獲得し 質の面でもより高度な役割を担うためには 継続的な国の支援が重要である 波及効果としても CMCの適用技術は 材料 構造技術から構成され 本研究開発の成果は極めて広範囲な産業分野に適用されることが期待される さらに 開発する材料は シリコン カーボンなどの地球上にありふれた材料から構成され 希尐資源戦略上国益にかなうものである 以上のことから 本研究開発は国が関与すべき事業であると考えられる 5

8 2. 研究開発目標 2-1. 研究開発目標 CMCの航空機用エンジンへの適用には 1 損傷許容評価技術 2 高速加工技術 3CVI 最適化 4コーティング技術の開発の4つの課題が残されている CMCの5 年以内の実機開発を可能とするため 研究初期の2 年間で各課題における基礎技術に目処を 研究後期の3 年間において開発した基礎技術を元に応用 適用を行い CMCの実用化に目処を得ることを目標とする 2-2. 全体の目標設定目標設定理由を以下に示す CMCは前述のように優れた特性を有しているが 開発中の先端材料であり 実用化に際しては部品化の応用技術のみでなく 基盤技術を確立することが必須である 特にこれまで使用されてきた金属材料と異なる点において 十分な検討が必要となる CMC 部品を設計 製造 修理するそれぞれの段階において 一般的な金属材料と異なる点という視点で課題について以下に検討する a) 設計段階の課題 (CMC 損傷許容評価技術 ) CMCはこれまでの材料評価の結果から 運用時において損傷の発生 蓄積が起き易いと予測される CMCは金属材料と破壊のメカニズムが異なるため これらの損傷の多くは許容できるものであるが 設計段階で本事象を考慮した評価手法を考慮する必要がある より詳細には以下となる CMCは 多孔質構造であるため 運用後検査の際には 製造時の空隙と運用によって発生した損傷 更に部品の継続使用に問題のある損傷を見分ける必要がある そのためには 損傷の発生 進展のメカニズムを把握し 非破壊検査の結果から強度に影響を与える損傷を定量化する必要がある この損傷の程度を表す指標を損傷パラメータと呼び マトリックス中の亀裂密度などが実験室レベルでは提案されているが 航空機用エンジン部品の検査として適用できるかわかっていない また 選択された損傷パラメータにより 継続使用の可否を判断できるか 材料試験 部品試験による検証を行う必要がある 材料試験 部品試験は 必ずしもエンジンでの使用環境を再現できるものではないため 実部品での寿命予測には 精度の高い損傷進展の予測手法が必要である CMCの損傷の発生 進展プロセスは複雑だが 実部品の形状 使用環境でこれを評価するための評価ツールが必要となる b) 製造段階の課題 (CMC 高速加工技術 CVIプロセス最適化 ) CMCの製造にはこれまでの金属材料にない 特殊な手法を用いる 製造を大きく分けると 織物作成 マトリクス含浸 加工となる 織物作成は各部品 6

9 形状に固有の課題を持ち 部品開発に進む適用研究の際に取り組むこととなる マトリクス含浸法には表 2-2-1に示すようにCVI(Chemical Vapor Infiltration: 化学的気相含浸 ) PIP(Polymer Impregnation and Pyrolysis: 液相含浸 ) MI(Melt Infiltration: 溶融含浸 ) SPI(Solid Phase Infiltration: 固相含浸 ) 法があるが CVIは 腐食性 反応性の高い副生成物が大量に出る点 含浸プロセスで最初に適用するため数十ミクロンという繊維間を埋めることが求められる点 原料ガスの流れの粗密により均質なマトリクス形成を得るのが難しい点から 実部品の製造にあたってはプロセスの最適化が必用となる また CMCは SiC 繊維と SiC マトリクスを用いますが SiC は共有結合性が高くダイヤモンドに次ぐ硬度を有していることから難加工材であり 金属材料に比べて加工時間が非常に長くなる CMCの加工時間を短縮できる手法の開発が必要である 表 SiC マトリクスの形成手法 c) 修理段階の課題 ( コーティング技術 ) 設計段階では許容できる損傷を見極めるのが重要と記載したが 修理を行う場合は修理方法も確立されている必要がある 繊維の破断についての修理は難しく 想定されるのはマトリクスやコーティングの割れに対する修理となる CVIは前述のようにマトリクス含浸として初期に適用しているが 含浸 加工の終了後に再度 CVIによって表層コーティングを施すことで部材の耐酸化性を向上させ 材料としての強度を保っている ただし 前述のように SiC 7

10 は硬く 使用時に割れが生じることが予測される 一方 ガラスに代表される酸化物は 柔軟性に優れて割れにくく マトリクスやコーティングの割れを修理するのに適しているが 酸化物コーティングは 長時間の運用によりCMC と反応する点 柔らかくエロージョン ( 壊食 ; 燃焼ガス中に含まれる砂等により削られる ) が生じやすくなるという点で課題がある こうした課題に対応できる 安価で施工が容易なコーティング技術が必要である 2-3. 個別要素技術の目標設定 研究開発目標を達成するため 前述の 4 つの課題について研究開発を実施し た 表 に要素技術 ( 課題 ) 毎にその目標設定を示す 8

11 要素技術 ( 課題 ) (1)CMC 損傷許容評価技術 (2)CMC 高速加工技術 表 個別要素技術の目標目標 指標目標 指標 ( 事後評価時点 ) ( 中間評価時点 ) CMC の損傷パラメータを選定 損傷パラメータ候補を し CMC 中に発生した損傷や寿 選定する 損傷の発生 命との関係を把握する 損傷の発 進展を予測可能な解析 生 進展を予測する手法を設定 手法の適用に目処を得 し 設計ツールを開発する また る その実証実験を行う 運用時の検 査基準を決める手法も設定する CMC を高温にした領域を加工す レーザー援用加工の実 る技術を確立し 従来に比べて5 験装置を構築する 工具 倍以上の生産性向上を目指す ま の検討 加工条件選定に た 従来の研削加工と同程度の加 必要な基礎データの取 工精度を維持する 得を行う 設定理由 根拠等 ( 事後評価時点 *) CMC は損傷を許容することが必須であり 全く新しい設計手法の確立 データの取得 試験での実証が必要 CMC は難加工材であり 量産時の処理量を考えると現在の 5 倍以上の速度が必要 (3)CVI a) CVI による反応条件の最適化 a) CVI 実験炉を構築 量産時の C V I 処 プロセス CVI の含浸効率を従来比で 5 し MTS 理量を考えると左 最適化 0% 以上改善する 副生成物を半 (Methyltrichlorosilane) 記の目標値が必要 減する方法を確立する ガスの反応実験を行う また シミュレーシ b) CVI シミュレーション開発 ョンにより 量産サ CVI によるマトリクス形成量を b)cvi シミュレーシ イズで炉を設計で 予測でき 工業的なサイズの ョンが実施可能な目処 きる必要がある CVI 反応器設計を可能とするシ を得る ミュレーション手法を確立する (4) コーティ CMC の損傷 ( マトリクス割れ ) コーティングの候補を 3 CMC は新材料であ ング技術 に対し 修理可能なコーティング 種類程度に絞る り 修理方法も確立 を確立する また 課題となるサ しておくことが実 ンドエロージョン ( 砂による削 用化に向けて必要 れ ) に対し 加速評価の手法を提 案するとともに 熱サイクル 環 境曝露評価方法を提案する * 中間時点での目標は 事後評価時の目標 およびスケジュールを考慮し 事 後評価時に目標を達成するのに中間時点で必要な目標レベルに設定した 9

12 3. 成果 目標の達成度 3-1. 成果 全体成果 ( 概要 ) 以下を実施し 各課題における基礎技術の開発に目処を得た (1)CMC 損傷許容評価技術損傷の発生 進展のメカニズムを検討して 弾性率の低下 永久ひずみの増分 き裂密度を損傷パラメータとして選定した 損傷による剛性低下を考慮した解析手法を検討 実施し 損傷の発生 進展を予測可能な解析手法に目処得た (2)CMC 高速加工技術 2 種類のレーザーを選定し レーザー援用加工の実験装置を構築した 超鋼エンドミルを用い 耐熱性や耐摩耗性を考慮した加工条件や 刃先修理方法に関するデータを取得した (3)CVIプロセス最適化 1 CVIによる反応条件の最適化プロセス条件を変更できるCVI 実験炉を設計 構築した CVI 反応実験を行い MTS 原料ガスについて 温度 圧力 添加ガスが製膜速度に与える影響を調べた 2 CVI シミュレーション技術 必要な定数を仮定し 簡易条件での反応速度と原料ガスの流れを考慮した CVI シミュレーションを行い 実施可能な目処を得た (4) コーティング技術 高温曝露試験 熱サイクル試験結果によりアルミナ シリカ 耐熱ガラス を用いた 3 種類の候補を選定した 個別要素技術成果 ( 詳細 ) CMC 損傷許容評価技術損傷パラメータ候補の選定損傷の程度を表す損傷パラメータを選定するために 荷重の負荷 除荷を含む静的引張試験を行い 損傷の蓄積と共に変化するパラメータを調査した その結果 損傷パラメータ候補として 下式に示す弾性率の低下 D E および永久ひ 10

13 ずみの増分 D ε を選定した 弾性率の低下 E U : 荷重除荷時の弾性率 E Q : 元の弾性率 永久ひずみの増分 ε p : 永久ひずみ ε m : 最大ひずみ 図 に荷重の負荷 除荷を含む静的引張試験の結果を 図 に負荷応力に対する上式のパラメータと き裂密度の関係を示す 損傷を直接評価するき裂密度と間接的に評価する上式のパラメータはそれぞれ相関があり それぞれが損傷の度合いを示す指標 ( 損傷パラメータ ) となっていると考えられる [ 個 /mm] 図 静的試験結果 図 負荷応力に対する損傷パラメータ 設計ツールの開発 CMCの静的荷重負荷時の損傷による剛性の低下 疲労寿命中の損傷による剛性の変化等の非線形挙動を考慮した解析手法の検討を行なった 解析手法として 損傷による剛性変化を表す損傷係数 D i を用いる手法を設定した 図 にCMCの損傷を考慮した解析手法により応力集中部での剛性低下の影響による応力の低下を再現した解析結果を示す 荷重方向荷重方向荷重方向 (a) 損傷なし (b) 1 サイクル (c)1000 サイクル 図 応力集中部での剛性低下の影響による応力の低下 11

14 CMC 高速加工技術レーザー援用加工実験装置の構築 CMC 材のレーザー援用加工を行うにあたり レーザー照射位置 照射形態 出力などを詳細に検討するため 2 種類のレーザーを導入した CMCを送り速度 1mm/sで移動させながら レーザー出力 140WとしてCMC 表面にレーザー照射した結果 CMC 表面から高さ1.5mmの盛り上がりが発生した 盛り上がりの表面は低出力照射時と同様に白く変質していた 表面の白い変質層の下側には緑色に変質した領域が存在していた レーザーを照射した際 表面の空気と触れている部分は酸化作用が働き SiO2( シリカ ) へ変質したが 直接空気と交わらない内部では酸化作用が起こらず SiC( 炭化ケイ素 ) のまま存在したと考えられる レーザー照射位置との距離と温度との関係を調べた結果 レーザー照射部では2000 近くあった表面温度は 5mm 離れると mm 離れると700 となった このことから レーザー照射部から離れた位置でも加熱領域が存在し 材料表面を高温に保つことが可能であることがわかった レーザー援用加工試験レーザー援用加工の実験装置概略図を図 に示す 被削材は厚さが3mmのCMCであり 直径 6 mmの超硬エンドミルで材料表面を切り込み 0.1mmで切削した また レーザーは材料の送り方向に対してエンドミルの先端から後方に設置し CMC 材上面の未切削面 ( 切削部から 5mm) に照射した すなわち 局所的に加熱されたCMC 上面をエンドミルが切削することになる Laser head 45 End mill CMC X Y Z Dynamometer 図 レーザー援用加工実験概要 図 にレーザー援用による切削抵抗の変化を示す がレー ザー援用無しで切削したときの結果 はレーザー援用したときの結果である 体積除去量にほとんど違いが見られないのにも関わらず レーザー援用加工を 12

15 Cutting force N 行なうことで切削抵抗が60% 程度小さくなった レーザー援用加工の有無により切削抵抗が変化した理由として 2 点考えられる 1つは レーザーによる加熱でCMCが軟化したこと もう1つはCMCを構成するSiCがSiO2へと変質したことである また レーザー援用の有無による工具摩耗の違いを比較したところ レーザー援用を行うことで工具摩耗の減尐が確認され 工具寿命を伸ばすことが期待できる Non-laser assist Laser assist Removal volume mm Ft(MAX) Ft (MIN) Fz (MAX) Fz (MIN) 10 0 Removal vomume 図 レーザー援用有無での切削抵抗の変化 CVIプロセス最適化 CVIによる反応条件の最適化 CVIによる製膜は 原料分子の分解 会合 微粒子生成を含む気相反応 気相拡散 及び基板表面での吸着脱離 表面膜化反応 表面拡散を含む現象が複雑に関与する 更に物質移動として流動 拡散 対流が関与するため プロセス中の現象を全て把握するのは非常に困難である そこで 本研究では 原料であるメチルトリクロロシラン (MTS) 及び H 2 の混合ガスから生成する SiC 膜を対象とし 単純化した反応を検討することにより 特に製膜均一性及び副生成物に関与する製膜現象のモデル化及び製膜種の推定を行った プロセス条件を変更可能として設計 構築したCVI 実験炉を図 に示す 構築した実験炉を用い 温度 圧力 添加ガスが製膜速度に与える影響を調べた 図 に示すように HCl を添加ガスに用いると 蒸着速度と均質性の双方を向上できる条件があることが分かった 13

16 図 構築した SiC-CVI 実験炉 図 HCl 添加ガスによる蒸着速度向上 ( 左 ) と均質性 ( 右 ) CVIシミュレーション技術 CVIプロセスに含まれる化学反応は 気相における原料ガスの分解や SiC 前駆体の繊維表面における析出反応である 一方 物質移動としては 原料ガス流れや反応炉内フリースペースでの分子拡散 SiC 繊維織物内での細孔内拡散などが含まれる したがって CVIによる含浸量を精度良く予測できるシミュレーション技術を開発するためには CVIプロセスに含まれる化学反応および移動現象を十分理解するとともに これらを適切にモデル化することが求められる まずは 解析に必要な定数を仮定して検討することで 以下に示すような結果を得た 1 メタンを原料とする炭素系複合材料の等温 等圧 CVI シミュレーションを, 14

17 商用コードを用いて実施した 2 気相および表面反応に関する経験的速度モデル 分子拡散 細孔内拡散を考慮した移動現象モデル プリフォーム細孔構造を表面積 代表細孔径 空隙率の関数で表現する多孔質体モデルを連成するCVIの非定常シミュレーション手法を確立した 3 開発手法を SiC/SiC-CVIシミュレーションに適用し先行研究のトレースを完了した 4CVIシミュレーションに必要な定数 ( 繊維プリフォーム表面でのマトリクス形成や原料ガス分解などの速度定数 ) を明らかにし 定数を仮定した簡易条件で 化学反応速度モデル ( 原料ガス分解及び表面析出反応 ) とガス流体モデル双方を考慮したCVIのシミュレーションが実施可能な目処を得ることができた 図 にCVIシミュレーションの結果を示す 原料ガスの上流 下流や 織物中で含浸量にムラが出ることが表現できた 図 簡易条件での CVI シミュレーションの結果 コーティング技術 コーティング候補の検討 修理用コーティングに求められる条件を表 に示す 3Al 2 O 3 2SiO 2 ( ムライト ) は SiC/SiC との熱膨張係数の差が と小さく SiC/SiC との化学的適合性が良いことから Al 2 O 3 ( アルミナ ) SiO 2 系の材料をコーティング材料の候補として選定した さらに同様の理由から 有望な耐熱ガラスも候補とした 耐エロージョン性を付与する方法としては 積層構造の利用を検討した Al 2 O 3 はヤング率や硬さが高く耐摩耗性に優れるという特長を持ち 耐エロージョン 性も期待できることから 板状の Al 2 O 3 粉末を用いて積層構造を形成する方法を 試みた 低コストで補修可能なコーティングとして セラミックスゾルおよびゾルと セラミックス粉末の混合スラリーを塗布し焼成する方法を検討した コーティ 15

18 ング原料として Al 2 O 3 ゾル SiO 2 ゾル フレーク状 Al 2 O 3 粉末 SiO 2 粉末 耐熱ガ ラスを用い 配合比率を変化させた混合体を基板上に塗布し スクリーニング 試験を実施した 表 コーティングに求められる条件 耐環境性付与 1100 まで耐酸化性 耐水蒸気腐食性があること 耐エロージョン性があること 基板との適合性 熱膨張係数が SiC/SiC に近いこと 基板との化学的適合性があること 基板との接合性がよいこと 実用性 使用する材料 プロセスが低コストであること 施工が容易であること 補修可能なこと スクリーニング試験結果コーティング材を塗布し 乾燥させた後の状態の一例を図 に示す ゾルの量が相対的に多いと乾燥時に割れが生じたが ゾル中の固形分に対する粉末の質量比が1:1 以上になると 割れが生じなくなった これらの結果から 乾燥中の割れは水分の蒸発による収縮のためによるものと考えられた 表 に乾燥後の割れの有無を調べた結果を示す 製造時に割れを生じなかった候補について 高温曝露 熱サイクル試験により スクリーニングを行った 図 に熱サイクル試験後のコーティング表面の外観を示す タイプA,B,Cについては 写真に示すように熱サイクル試験後にも剥離が見られないものが見られた 本結果から コーティング材料として タイプA,B,Cが有望な候補材料と見なすことができる 今後組成 塗布条件 焼結条件の最適化を図る 16

19 (a) (b) (a) タイプ E( 次項参照 ) (b) Al2O3 と SiO2 の比が 1:1 で ゾルのみで作製したコーティング 図 乾燥した後のコーティングの外観 表 塗布し乾燥した後のコーティングの表面割れの有無種類状態タイプA(Al2O3, SiO2 等量 ) タイプB(SiO2 リッチ ) ゾル50% 以下ゾル50% 以上 タイプC( 耐熱ガラス入り ) タイプD(Al2O3 リッチ ) タイプE(Al2O3, SiO2 等量ゾル, 粉末等量 ) タイプF(Al2O3 ゾルリッチ ) タイプG(Al2O3 リッチ ) タイプH(Al2O3, SiO2 等量 ) 17

20 焼成温度 タイプ A タイプ B タイプ C 図 回熱サイクル試験を行ったコーティングの外観 18

21 特許出願状況等 表 に本研究開発での発表 特許等件数を 表 に発表および特許リストの一覧をそれぞれ示す 表 発表 特許等件数 要素技術 特許等件数 ( 出願を含む ) 発表 / 投稿 損傷許容評価技術 0 件 発表 1 件 高速加工技術 0 件 発表 1 件 CVIプロセス最 1 件 発表 4 件 適化 コーティング技術 0 件 0 件 計 1 件 発表 6 件 表 発表 特許リスト 発表発表発表発表発表発表特許 題目 メディア等精密工学会 2012 春季大会 航空エンジン用複合材料のレーザ援用加工に関する研究 化学工学会第 44 回秋季大会 SiC-CVD プロセスへの HCl ガス添加効果化学工学会第 44 回秋季大会 SiC-CVD プロセスにおける気相反応計算化学工学会第 44 回秋季大会 SiC-CVD プロセス反応機構解析のための熱分解気相種測定第 37 回複合材料シンポジウム 直交三次元織物 SiC/SiC 複合材料の微視的損傷メカニズムの実験的評価 ECS PRiME 2012 MULTISCALE ANALYSIS AND GAS PHASE ANALYSIS OF SIC-CVD PROCESS 出願 NO 耐熱複合材料の製造方法及び製造装置 時期 H24.3 H24.9 H24.9 H24.9 H24.10 H24.10 H

22 3-2. 目標の達成度表 3-2-1に第 2 章で設定した個別要素技術の達成度を示す 各要素技術について順調に中間目標を達成しており 事業終了時の最終目標が達成できる見込みである これより事業終了時の全体目標も達成できる見込みである 表 目標に対する成果 達成度の一覧表 要素技術目標 指標成果 ( 中間 ) (1)CMC 損傷許容 評価技術 (2)CMC 高速加工 技術 (3)CVI プロセス 最適化 (4) コーテ ィング技 術 CMC の損傷パラメータを選定して 損傷や寿命との関係を把握する 設計ツールを開発する また その実証実験を行う 運用時の検査基準を決める手法も設定する [ 中間 ] 損傷パラメータ候補を選定する 損傷の発生 進展を予測可能な解析手法の適用に目処を得る CMC を高温にした領域を加工する技術を確立し 従来に比べて5 倍以上の向上を目指す また 従来の研削加工と同程度の加工精度を維持する [ 中間 ] レーザー援用加工の実験装置を構築する 工具の検討 加工条件選定に必要な基礎データの取得を行う a) CVI による反応条件の最適化 CVI の含浸効率を従来比で 50% 以上改善する また 副生成物を半減する方法を確立する b) CVI シミュレーション技術開発 CVI によるマトリクス形成量を予測でき 工業的なサイズの CVI 反応器設計を可能とするシミュレーション手法を確立する [ 中間 ] a)cvi 実験炉を構築し MTS ガスの反応実験を行う b)cvi シミュレーションが実施可能な目処を得る CMC の損傷に対し 修理可能なコーティングを確立する また 課題となるサンドエロージョンに対し 加速評価の手法を提案するとともに 熱サイクル 環境曝露評価方法を提案する [ 中間 ] コーティングを 3 種類程度に絞る 20 弾性率の低下 永久ひずみの増分 き裂密度を損傷パラメータとして選定した 損傷による剛性低下を考慮した解析手法を検討 実施し 損傷の発生 進展を予測可能な解析手法に目処得た 2 種類のレーザーを選定し レーザー援用加工の実験装置を構築した 超鋼エンドミルを用い 耐熱性や耐摩耗性を考慮した加工条件や 刃先修理方法に関するデータを取得した a) プロセス条件を変更できる CVI 実験炉を設計 構築した CVI 反応実験を行い MTS 原料ガスについて 温度 圧力 添加ガスが製膜速度に与える影響を調べた b) 必要な定数を仮定し 簡易条件での反応速度と原料ガスの流れを考慮した CVI シミュレーションを行い 実施可能な目処を得た 高温曝露試験 熱サイクル試験結果によりアルミナ シリカ 耐熱ガラスを用いた 3 種類の候補を選定した 達成度 ( 中間 ) 達成 達成 達成 達成

23 4. 事業化 波及効果について 4-1. 事業化の見通し本研究開発にて CMCの事業化に向けて残された設計 製造 修理の主要な課題は克朋されることから 航空エンジンへのCMC 適用に向けての大きなリスクは無くなる 今後 部品設計 解析 製造開発を並行して進め 材料試験規格の設定 材料データベース取得 実部品設計 製造 エンジン耐久試験等を実施し 実機適用の段階に移行する ( 図 参照 ) 得られた成果の利用主体は 今後開発される各種の航空機用エンジンを想定している また 事業化に至るまでの期間として 材料試験規格化 材料データベースの取得を3 年以内に行うことを想定している さらに 事業化を確実にするためには 現在の試作レベルの製造量から量産規模の製造量に飛躍的に拡大できる見通しが必要不可欠であり 量産時の製造プロセス条件 速度を実証することが重要である 本研究開発で設定した製造プロセス条件 速度を実証する実証設備を導入する計画であり 実機適用を確実にする 図 事業化 ( 実用化 ) のシナリオ 21

24 4-2. 波及効果 (1) その他の産業への適用航空機産業は 極めて先進的な技術が最初に投入される高付加価値産業であるとともに 関連する技術の裾野が極めて広く 多方面の産業分野に波及可能である 本事業も例外ではなく広い分野で新技術を開発しており それらの技術は輸送機器製造業 エネルギー産業 素材産業等に波及効果が期待できる 航空産業では ボーイング787などの炭素繊維複合材の利用拡大において 日本の航空機メーカの競争力強化に貢献しており 現在自動車業界等へ展開されつつある 同様に複合材としてCMCがそれに続く日本競争力強化に繋がることが期待される また 図 4-2-1に示すように 技術波及が可能な輸送 ( 自動車 鉄道 ロケット等 ) エネルギー機器( ガスタービン 工業炉等 ) の分野において 耐熱性の高いCMCを活用することによる日本の競争力強化が見込まれる 軽量高性能ブレーキディスク ( 自動車 航空機 鉄道 ;SGL H.P.) 耐熱外壁 ( 再突入機 ;JAXA H.P.) スラスタノズル ( 衛星 探査機 ) 図 波及効果が見込める製品例 22

25 5. 研究開発マネジメント 体制 資金 費用対効果等 5-1. 研究開発計画第 3 4 章で述べた個別要素技術について 5 年間に渡り図 5-1-1に示す計画で開発を進めている 以下に概略を示す 基礎技術に目処 技術の応用 適用を可能 図 研究開発計画 (1)CMC 損傷許容評価技術これまでに試験片による疲労試験等により 損傷の発生 進展のメカニズムを検討し 適切な損傷パラメータを3つ選定した また 損傷を考慮可能な解析ツールに目処を得た 今後は以下を行う 選定した損傷パラメータにあった非破壊検査手法を選択し 精度を検証する 部品形状を模擬した要素試験や部品試験により 選定した損傷パラメータの検証を行う 複雑形状を有する実部品の部品試験を行い 設計ツールの合わせ込みを行う 開発した設計ツールを用いてエンジン環境下での解析を行い ツールを検証する (2) CMC 高速加工技術これまでにレーザー援用加工装置を構築し 加工実験により切削抵抗を大幅に低減できることを確認した 今後は以下を行う 23

26 適切な加熱温度と切削抵抗の関係を求める また 工具寿命や工具に施した種々のコーティングの効果について調べる CMC 加工後の残存強度 表面粗さ 加工精度などの特性を調べる 加工条件の最適化を行い 模擬部品において加工性の評価を行う (3)CVIプロセス最適化 a) CVIによる反応条件の最適化これまでにCVI 実験炉を構築して反応実験を行い MTS 原料ガスについて 温度 圧力 添加ガス (HCl) が製膜速度に与える影響を調べた 今後以下を行う 異なる原料ガス 異なる添加ガスの効果を調べるために反応実験を行う また 反応条件の最適化を行う 副生成物処理実験を行い 副生成物量を半減する方法を確立します b) CVI シミュレーション技術開発 これまでに簡易条件での CVI シミュレーションを行い 実施可能な目処を 得た 今後以下を行う 織物構造や部品形状を考慮した詳細なシミュレーションを行う a) で行った CVI 反応実験による結果と比較を行い シミュレーションの 精度を向上する (4) コーティング技術 これまでに 3 種類のコーティングの候補を選定した 今後以下を行う 安価なコストで実施可能なコーティングの施工方法を開発する サンドエロージョンに対し試験装置を整備し 温度や砂の衝突角度等の違いによるエロージョン量を把握するため CMCの平板試験片を用いた基礎試験を行う エロージョン量を予測可能なシミュレーションモデルを構築する 選定したコーティングのエロージョン量が許容範囲であることをシミュレーションで確認する 5-2. 研究開発実施者の実施体制 運営図 5-2-1に実施体制を示す 本研究開発は 公募による選定審査手続きを経て 株式会社 IHIが経済産業省からの委託を受けて実施している IH Iは航空機用エンジンの国内最大手でありCMC 開発において実績があるた 24

27 め 研究開発全体を統括 管理し CMC 素材の提供と評価の仕様 条件提示等を行った また 各課題の解決にあたっては 以下に示す高度な知見を有する5つの大学 ( 東京大学 東北大学 金沢大学 九州大学 東京理科大学 ) および1つの研究機関 ( 宇宙航空研究開発機構 ) との共同研究を行った 各機関の役割を表 5-2-1に示す なお 研究開発の実施 運営に当たっては 研究開発を統括するためのプロジェクトリーダー ( 株式会社 IHI 航空宇宙事業本部技術開発センターエンジン技術部部長今成邦之 ) を設置した 経済産業省 委託 ( 株 )IHI 共同研究 共通 研究取りまとめ CMC 素材製造 提供 1 損傷許容評価 設計ツール評価 3CVI プロセス最適化 反応最適化実験 東京大学香川豊教授 東京大学武田展雄教授 東北大学岡部朋永准教授 金沢大学上田隆司教授 東京大学霜垣幸浩教授 九州大学則永行庸准教授 東京大学垣澤英樹准教授 東京理科大学山本誠教授 宇宙航空研究開発機構 1 損傷許容評価 ( 材料評価 ) 1 損傷許容評価 ( 部品評価 ) 1 損傷許容評価 ( 設計ツール開発 ) 2 高速加工 3CVI プロセス最適化 ( 反応最適化 ) 3CVI プロセス最適化 ( シミュレーション ) 4 コーティング ( 材料開発 ) 4 コーティング ( エロージョンシミュレーション ) 4 コーティング ( エロージョン試験 ) 図 研究開発実施体制 表 各機関の役割等一覧表 名称研究等実施場所業務範囲研究実績 株式会社 IHI 東京都昭島市拝島町 CMCの設計手法 製造性 評価手法検討 CMCの航空機エンジン部品への適用性検討 HYPR ESPR 小型エコエンジン等の数多くの先進的開発エンジンのタービン設計と技術実証した実績を有する AMG HYPR ESPR 等のプロジェクトでCMC 材料の開発と部品を試作 評価した豊富な実績を有する 国立大学法人 東京都目黒区駒場 4- CMC 損傷許容評価 CMC 材料技術や信頼性確保技術について 東京大学先端科学技術 6-1 技術の開発において 国際的に高く評価されている 目覚しい成果を 研究センター 材料評価技術の検討 上げており 国際的評価も高い CMC 特有の 香川豊教授 性質評価と CMC の非破壊検査技術に関して豊 富な実績を有する 25

28 国立大学法人 千葉県柏市柏の葉 5- CMC 損傷許容評価 複合材料の材料科学と材料力学とを融合した 東京大学大学院新領域 1-5 技術の開発において 新領域を開拓し 当該分野で高い評価を受けて 創成科学研究科 部品評価技術の検討 いる 武田展雄教授 国立大学法人 宮城県仙台市青葉区荒 CMC 損傷許容評価 繊維強化複合材料の変形 破壊 損傷に関す 東北大学 巻字青葉 技術の開発において る力学モデリングを数値 理論解析および実験 岡部朊永准教授 部品設計ツールの整備 の両面より行い 当該分野で高い評価を受けて いる 国立大学法人 金沢市角間町 CMC 高速加工技術 レーザ加工と機械加工を組み合わせたハイブ 金沢大学 の開発 リッド加工における高い能力と実績を有する 上田隆司教授 国立大学法人 東京都文京区本郷 CVI プロセス最適 CVD プロセスにおける主要な反応経路を同 東京大学大学院工学系 化において 反応条件 定し その実効的な反応速度定数を定量的に評 研究科 の最適化 価する手法を構築しており 短期間での CV 霜垣幸浩教授 D CVI プロセスの最適条件設計が可能であ る 国立大学法人 福岡県春日市春日公園 CVI プロセス最適 素反応から構成される汎用性の高い気相反応 九州大学先導物質化学 6-1 化において シミュレ 速度モデリングや CVI による複合材料製造過 研究所 ーション手法の検討 程の数値シミュレーションについての知見を有 則永行庸准教授 する 国立大学法人 東京都目黒区駒場 4- コーティング技術の 耐環境コーティング材料技術に関しての知見 東京大学先端科学技術 6-1 開発において 材料お を持ち 部材に必要な環境に即したコーティン 研究センター よびプロセス開発 グ材料を開発できる プロセス技術に関しても 垣澤英樹准教授 実績を有する 学校法人 東京都千代田区九段北 コーティング技術の サンドエロージョンに関するモデル化および 東京理科大学 開発において エロー 数値シミュレーションについて 多くの研究成 山本誠教授 ジョンシミュレーショ 果を上げており 国際的評価も高い ン手法の検討 独立行政法人 東京都調布市深大寺東 コーティング技術の 複合材の基礎データ取得において高精度の計 宇宙航空研究開発機構 町 開発において サンド 測が可能な設備と技術的知見を有する また 研究開発本部 エロージョン試験手 環境曝露試験 熱サイクル試験などを保有する 東京都三鷹市大沢 法 および各種評価手 サンドエロージョン試験への対応が可能な 法の検討と試験実施 高温度バーナー加熱試験装置を保有する 26

29 5-3. 資金配分表 5-3-1に年度毎の各項目における予算額を示す 平成 23 年度は 設備の導入が必要となるCMC 高速加工技術とCVI 最適化が 平成 24 年度は引き続き設備の増強が必要なCVI 最適化がそれぞれ厚く資金配分されている また 共通およびその他の中で CMC 試験片製造費や株式会社 IHI 分の予算を示している 表 資金年度配分 ( 政府予算額 ) ( 単位 : 百万円 ) 年度平成 ~27 合計 CMC 損傷許容評価技術 CMC 高速加工技術 CVIプロセス最適化 コーティング技術 共通およびその他 合計 費用対効果本研究開発によって得られる技術は民間用 防衛用を問わず航空エンジンに適用できる基盤技術であり 深刻化する資源の枯渇 地球温暖化防止などの面から燃料消費を抑えた次世代の高性能エンジンでの実用化が期待される 本研究成果によりタービン静翼 排気ノズル等の航空機用エンジン部品 ( 重量が全体の5% 相当 ) への適用が可能となる 各部品で30% の軽量化が見込まれ エンジン全体では約 1.5% の軽量化となる また 金属部品に比べ耐熱温度を 200 上昇させることにより冷却空気を約 30% 低減できることから エンジンの熱効率向上による燃費改善は約 5% と見込まれる さらに冷却空気の削減は その流路面積に相当する分のエンジンのコンパクト化につながり エンジン重量を約 3% 低減する効果が見込まれる CMC 化による軽量化分と合わせ約 4.5% の重量低減となり これは巡航時間が短く軽量化の効果が大きい小型機で約 1.3% 中大型機でも約 0.2% の燃費改善に換算できる 熱効率向上と軽量化の燃費改善効果を合わせると 小型機で約 6.3% 中大型機で約 5. 2% となり CMCを適用することにより5% 以上燃費を改善する省エネ効果が可能と期待される ( 図 参照 ) 27

30 CMC 適用 タービン入口温度 (TIT) の上昇 NOx の上昇 旅客機用として不適 冷却空気量削減 (TIT は維持 ) 冷却空気流量壁温 % 削減上昇可 CMC 化による部品の軽量化 (*1) 熱効率向上 燃費改善 5% エンジンの小型軽量化 エンジン重量 3% 削減 比重 1/4 金属よりも肉厚必要で 適用対象部品の重量は 30% 削減 エンジン重量 1.5% 削減 エンジン重量合計 4.5% 削減 燃費改善小型 1.3% 中大型 0.2% 燃費改善 重量削減と燃費改善の関係小型機は巡航時間が短く 重量削減による燃費改善効果が高い中大型機は巡航時間が長く 重量削減による燃費改善効果が低い 小型機 6.3% 改善中大型機 5.2% 改善 (*1)CMC 適用部位燃焼器ライナ 高圧タービン静翼 高圧タービンシュラウド 低圧タービン静翼 排気ノズルこれらの部品が エンジン全体重量に占める割合は 約 5% 図 CMC 材料適用による航空エンジンの高性能化 日本のエアラインの年間燃料使用量は2030 年で730 万 kl 程度であり 本研究成果等により6% 燃費が向上すると 2030 年には年間 10 万 kl 程度の燃料使用量削減に繋がる この値は年間 65 億円程度の省エネ経済効果となり 研究開発費の総額と省エネ経済効果から算出される費用対効果についても2% 程度に抑えることができ 十分に効果があるといえる 5-5. 変化への対応 特に大きな変化はなし 28

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