FE-SEM Su-8020 Operating manual( 暫定版 ) 2016/04/09 精密分析室
始動 ( 通常は必要無し ) 1.Display SW を ON にして装置を立ち上げる しばらくすると Windows が起動する 2. SU-8000 をクリック 3. PC-SEM をクリックする ( 通常は自動立ち上げ ) 4. パスワード入力画面が表示される リターンを押す ( パスワード無し ) PC-SEM が起動する 2
フラッシング ( 必要に応じて ) 1. 画面上に赤く Flashing と点滅した場合のみ 以下の操作を行ってください 2.Vacc 等 HV 表示部をクリックする 3.HV 設定画面下部 Flashing ボタンをクリックする 4.Intensity が 2 であることを確認して Execute ボタンをクリックする 5.Ie に 30uA 程度の電流が流れる 6.Flashing 直後はビームが安定しません 30 分程度は落ち着くのを待ってから測定するのが望ましいです 3
試料の準備 1. サンプルを試料台に固定する ( 以下の説明は 15mmφ 試料台使用時 ) 必要に応じて Pt 等金属コートを行う 2. ホルダに試料台をセットする 3. 試料台の高さとホルダの高さ一致するよう調整し 止めネジを締める 4. 治具と同じ高さになるよう サンプルホルダの高さを調整する サンプルホルダ 高さ 試料台 治具 高さ調整治具 15mmφ 真鍮製試料台とリボルバ型サンプルホルダー 止めネジ 4
試料のイントロへの挿入 1 1. 加速電圧が OFF であること ( 消灯 ) を確認する ON なら OFF する 2. Home ランプの点灯 ( 緑色 ) を確認する ステージ位置は (X=0.0, Y=0.0, Z=8.0) であることも確認しておく 3. Intro 操作スイッチの AIR ボタンを押す ピッと音がなるまで待つ 通常この状態になっている AIR ボタンを押すと オレンジ色に点滅する 点滅が点灯に変わった頃 音がピッとなり Air( 大気 ) に Intro が戻る 5
試料のイントロへの挿入 2 1. 音がしたら Intro を引き出す 2. サンプルロッドを ノブを持って 少し押し出し ノブを UNLOCK 方向に回す 3. サンプルをロッド先端に装着し ノブを LOCK 方向に回す 4. ロッドをカチッと音がするまで 引き出す 5. Intro を本体にセットし EVAC ボタンを押す Intro Sample rod UNLOCK LOCK 6
試料のイントロへの挿入 3 1. しばらくすると EVAC ボタンの点滅が点灯に変わる 2. ブザー音がピッとなり 真空引きが終わる 3. OPEN ボタンを押す しばらくすると 本体とのゲートバルブが Open する 4. LOCK のまま サンプルロッドを挿入する 5. ステージ位置に挿入されると XC ランプが点灯する 6. XC ランプを確認してから ノブを LOCK から UNLOCK に回す 7. ロッドを UNLOCK のまま 最後まで引き出す 8. サンプルが本体にセットされたことを確認し CLOSE ボタンを押す 9. しばらくすると ゲートバルブが Close し ブザー音が鳴る OPEN XC CLOSE EVAC 7
電子線の発生 1. 電圧表示部をクリックし 設定画面を表示させる 2. 任意の加速電圧 (Vacc) エミッション電流 (Ie) をプルダウンから選択する 3. ON ボタンをクリックし 加速電圧を印加する 加速電圧 エミッション電流 初期設定条件 Vacc 15 kv Ie 10 µa Stage X=0.0, Y= 0.0, Z= 8.0 Probe Current Norm Cond. Lens 5.0 W.D. 8.0 mm Mode TV1 8
観察位置の調整 ( 約 1 万倍程度まで ) 1. 最初は High Mag( 高倍率 ) モードで かつステージ中心付近が表示される 15mm 試料台は中心より 同心円状に配置されているので 観察位置の調整が必要となる 2. 画面より H/L ボタンをクリック High mag から Low mag モードに切り替える ( 倍率表示に LM 表示が出る ) 3. コントローラで倍率 (magnification) を下げ トラックボールでサンプル位置まで移動 明るさは ABC(Auto Brightness Control) ボタンで調整する 4. 適度に倍率を上げ下げしながら 観察する場所を探す 5. 必要に応じて Focus を調整 Corse( 粗調整 ) で調整する 倍率表示 コントローラ フォーカスダイヤル 倍率 粗調整 9
ビーム位置調整 ( 加速電圧を変えた時 ) 1. 観察位置が決まったら H/L ボタンを押し High mag モードに戻す 2. コントローラで倍率を上げながら Focus を調整 3. 観察しやすい場所で 約 1 万倍 (10k) まで倍率を上げる 4. B align ボタンをクリックし ビーム調整 (Beam alignment) 画面を表示する 5. コントローラ X, Y ダイアルを使い ビーム位置を中心に ビームアライメント画面 Alignment menu 10
アパーチャー ( 絞り ) 調整 1. Alignment メニューより Aperture Align を選択する 2. 画像が上下左右に揺れる 3. コントローラ X,Y ダイアルを使って 揺れが止まる ないしは中心位置で同心円状に画像が伸縮するように調整する 横揺れ X ダイヤル縦揺れ Y ダイヤル 4. 調整が終わったら メニューより OFF を選択する X,Y ダイヤル Alignment menu 11
Focus 調整 1. コントローラの倍率 Focus で 画像 を 明るさを ABC ボタンで調整する 2. Focus は 数万倍以上では 粗調整 (Corse) ではなく 微調整 (Fine) で調整する 自動フォーカス調整 AFC(Auto Focus Control) ボタンもある 3. 画像が Focus 調整だけでは 調整仕切れない ( 輪郭のボケがとれない ) ぐらいになってきたら 非点収差補正 ( 次のページ ) を行う Reduce 画面を使うと Focus を合わせやすくなります Reduce ボタン フォーカスダイヤル 倍率 粗調整 微調整 Reduce 画面 12
非点収差補正 Focus 調整だけでは 画質調整ができなくなってから コントローラ X,Y ダイアルを回して調整する 分かりづらい場合は Alignment メニューより Stigma align. X 及び Y を選択 画像に揺れが出るので X,Y ダイアルで揺れを止める Focus を合わせておき 輪郭がシャープになるように調整すると早い 非点収差がない場合フォーカスで均一にぼやける STIGMA/ALIGNMENT X Y アンダーフォーカス最良点オーバーフォーカス 非点収差がある場合フォーカスで不均一にぼやける ぼけの方向が違ってくる 13
画像取り込み条件の設定 1. Capture ボタン右上の黒い三角をクリックすると Capture setup 画面が表示される 2. Capture するモード ( スピード TV Fast Slow から選択する ) 及び画像解像度 (Resolution) 読み込みスピード (Speed) を設定 3. 設定したら OK ボタンを押し 元の画面に戻る 初期設定条件 モード Slow Resolution 1280 960 Speed 20 sec 14
画像の取り込み 画像の取り込み方法 1. Capture( 推奨 ) 1 フレーム設定条件でスキャンしてからメモリ ( キャプチャボックス 画面左下 ) に一時保存される 保存はキャプチャボックス側で指定可能 2. Direct Save 観察中画面をそのまま取り込み保存 ファイル名指定 3. Quick Save 観察中画面をそのまま取り込み保存 ファイル名指定不要時 キャプチャボックス Capture ボタン 15
画像の保存 1. キャプチャボックスの保存したい画像を選択する ( 黄色く色がつく ) 2. Save ボタンをクリックし Image Save 画面を起動 3. Select をクリックし 保存先のフォルダーを選択する 4. Increment 機能 ( 画像に続き番号を付加 ) する場合は先に Increment ボタンを選択し スタートする番号を No に入力する 5. Image type を選択し ファイル名を入力する 6. Save ボタンをクリックすると 画像が保存される 16
試料取り出し方法 1 1. OFF をクリックし 加速電圧を OFF する 2. Home をクリックし ステージを Home ポジションに戻す 3. Home ランプの点灯 ( 緑色 ) を確認する ステージ位置は (X=0.0, Y=0.0, Z=8.0) であることも確認しておく 4. Intro 操作スイッチの Open を押し ゲートバルブを Open する 17
試料取り出し方法 2 1. ブザーが鳴り Open ランプが点灯 ゲートバルブの Open を窓から確認する 2. Sample rod を UNLOCK の状態で挿入する 3. 完全に挿入され XC ランプ ( 青色 ) が点灯することを確認する 4. ノブを LOCK 方向いっぱいに回す 5. Sample rod を最後まで引き出す 6. Intro 操作スイッチの Close を押し ゲートバルブを Close する Intro Sample rod UNLOCK LOCK 18
試料取り出し方法 3 1. ブザーが鳴り Close ランプが点灯 ゲートが Close したのを確認する 2. AIR ボタンを押し Intro を大気に戻す 3. ブザーがなり AIR ボタンが点灯したら Intro を引き出す 4. Sample rod をノブを押して 少し押し出す 5. サンプルホルダを Sample rod から取り出す ( ノブは UNLOCK へ回す ) 6. Sample rod をカチッとロックされるまで引き出す 7. Intro を本体に戻し ( くっつける ) Intro 操作スイッチの EVAC を押して真空引きを行う OPEN AIR XC CLOSE EVAC 19
観察の終了と装置の停止 1. Intro 操作部の EVAC が点灯していることを確認する 2. キャプチャボックス内の画像を消去する 3. 条件を初期設定値に戻す (p. 8 参照のこと ) SEMソフトなどそのままで次の使用者に引き渡す その日最後の使用者は次の操作を行ってください 1. SEM ソフトを終了する 2. Windows を終了する Display Power は切らなくても結構です 20