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2

P.848 P.839 P.767 P.36 P.958 P.1068 P.1114 P.1221 P.1235 3

P.839 P.778 P.773 P.1225 P.1055 P.1060 P.1291 P.1011 P.1031 P.1039 P.36 P.1225 P.1068 P.1291 4

y y w t q e y t q r w e r t y P.1055 P.1060 15

IDG LV A SUP AMH AME AMF B A B SUP C C 16

q w e r t w e 17 q

清 浄 度 クラス 方 向 制 御 機 器 シリーズ 注 1) 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 21- ページ 注 2) 注 2) SY3000 5000 7000 9000 5 3 P.38 SV1000 2000 3000 4000 5 3 P.179 SYJ3000 5000 7000 5 3 P.279 SZ3000 5 3 P.377 4 5ポート ソレノイドバルブ S0700 5 3 3 P.417 21-VQ1000 2000 5 3 3 P.514 SQ1000 2000 5 3 3 P.578 VQD1000 5 3 P.597 V100 5 3 SYJ300 500 700 5 3 P.602 3ポート ソレノイドバルブ SY100 5 3 P.648 S070 5 3 3 P.658 注 1)ISOクラスは 管 接 続 ポート 種 類 :ねじ 接 続 の 場 合 です ワンタッチ 管 継 手 付 の 場 合 はクラスが 異 なります 詳 細 につきましては P.1385をご 参 照 ください 注 2)SYコネクタ 接 続 につきましては 別 途 お 問 合 せください 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 18 A

清 浄 度 クラス エアシリンダ エアシリンダ エアシリンダ エアシリンダ シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 11-12- 13-21- 22- /11-21-/22- CJ2 標 準 /11-21-/22- CJ2-Z /11-21-/22- CJ2W-Z ダイレクトマウント /11-21-/22- CJ2RA-Z 標 準 /11-21-/22- CM2-Z /11-21-/22- CM2W-Z ダイレクトマウント /11-21-/22- CM2R-Z エンドロック( ロッド 側 ロックは 除 く) /11-21-/22- CBM2 標 準 /11-21-/22- CG1-Z ページ 5 4 3 4 3 P.685 5 4 3 5 3 P.700 5 4 3 5 3 P.722 エアシリンダ 標 準 11- CG1W-Z ダイレクトマウント 11- CG1R-Z /11-21-/22- CA2 5 4 3 5 3 P.736 ミニフリーマウントシリンダ 11- CUJ 5 4 3 P.740 フリーマウントシリンダ /11-21-/22- CDU 5 4 3 5 3 P.746 /11-21-/22- CQS 5 4 3 4 3 P.749 薄 形 シリンダ 標 準 /11-21-/22- CQ2-Z 5 4 3 4 3 P.758 マグネット 式 ロッドレスシリンダ 基 本 形 12-CY3B 6 5 P.767 マグネット 式 ロッドレスシリンダ ダイレクトマウント 形 12-CY3R 6 5 P.769 クリーンロッドレスシリンダ CYP 4 P.773 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 19

清 浄 度 クラス エアシリンダ シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 11-12- 13-21- 22- ページ エアスライドテーブル 13-22- MXS (アジャスタなし) 13-22- MXS (ラバーストッパ) 6 5 5 6 5 5 P.778 13-22- MXQ (アジャスタなし) 6 5 5 エアスライドテーブル 13-22- MXQ (ラバーストッパ) 6 5 5 P.799 13-22- MXQ (メタルストッパ) 6 6 エアスライドテーブル 11-MXJ (アジャスタなし) 11-MXJ (メタルストッパ) 6 5 6 P.825 11-22- MXP (アジャスタなし) 5 3 3 MXQ オプション 13-22- アジャスタなし ラバーストッパ 5 メタルストッパ 6 エアスライドテーブル MXJ オプション 11- アジャスタなし 5 メタルストッパ 6 11-22- MXP (ラバーストッパ) 11-22- MXP (メタルストッパ) 5 4 4 6 6 11-22- MXPJ6 5 3 3 MXP オプション 13-22- アジャスタなし 3 ラバーストッパ 4 メタルストッパ 6 MXP6はアジャスタなしはありません MXP8はクリーン 仕 様 がありません P.831 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 20 A

清 浄 度 クラス エアシリンダ シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 11-12- 13-21- 22- ページ ガイド 付 薄 形 シリンダ 12-13-MGPL-Z 6 5 4 21-22-MGPL 6 6 5 P.839 ガイドテーブルシリンダ MGF 6 4 P.844 デュアル ロッドシリンダ ボールブッシュ 軸 受 すべり 軸 受 ボールブッシュ 軸 受 すべり 軸 受 11-/12-21-/22- CXSJL 5 3 4 5 3 11-/12-21-/22- CXSJM 6 3 /11-/12-21-/22- CXSL 5 4 3 4 5 3 /11-/12-21-/22- CXSM 6 4 3 P.848 P.852 CXSJ オプション 11-22- ボールブッシュ 軸 受 5 すべり 軸 受 6 CXS オプション 11-22- CXSL 5 CXSM 6 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 11-12- 13-21- 22- ページ サインロッドレスシリンダ 12-REA 6 5 P.861 サインシリンダ 11-REC 5 4 3 P.864 11- CM2X-Z 5 4 3 P.868 低 速 シリンダ 11- CQSX 5 4 3 P.870 11- CQ2X 5 4 3 P.872 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし A 21

清 浄 度 クラス ロータリアクチュエータ シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 11-12- 13-21- 22- ページ ロータリ アクチュエータ ベーン 21- CRB1 6 4 4 P.893 ラックピニオン 11-CRA1-Z 5 4 P.905 ロータリテーブル 11-22- MSQ 5 3 3 P.909 エアチャック シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 11-12- 13-21- 22- ページ エアチャック 2 爪 11-22- MHZ2 6 4 4 P.923 巾 広 平 行 開 閉 形 エアチャック 2 爪 11-22- MHL2 6 4 4 P.927 ロータリ 駆 動 形 エアチャック 2 爪 3 爪 11-22- MHR2 6 3 3 P.932 11-22- MHR3 6 3 3 P.938 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 22 A

清 浄 度 クラス 圧 縮 空 気 清 浄 化 機 器 シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 ページ メンブレンエアドライヤ IDGA 5 3 P.949 IDG 5 3 P.950 メインラインフィルタ AFF2C 22C AFF37B, 75B 5 3 P.959 ミストセパレータ AM150C 550C AM650, 850 5 3 P.966 マイクロミストセパレータ AMD150C 550C AMD650, 850 5 3 P.973 プリフィルタ 付 マイクロミストセパレータ AMH150C 550C AMH650, 850 5 3 P.980 スーパーミストセパレータ AME150C 550C AME650, 850 5 3 P.987 オーダリムーバルフィルタ AMF150C 550C AMF650, 850 5 3 P.994 クリーンガスフィルタ カートリッジタイプ SFA100/200/300 3 P.1011 クリーンガスフィルタ カートリッジタイプ SFB100 3 P.1014 クリーンガスストレーナ カートリッジタイプ SFB200 3 P.1015 クリーンガスフィルタ ディスポーザブルタイプ SFB300 3 P.1018 クリーンガスフィルタ ディスポーザブルタイプ SFC100 3 P.1021 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 23

清 浄 度 クラス 圧 縮 空 気 清 浄 化 機 器 型 式 清 浄 度 クラス(ISOクラス) 標 準 ページ クリーンエアフィルタ ディスポーザブルタイプ SFD100 3 P.1031 クリーンエアフィルタ カートリッジタイプ SFD101/102 3 P.1031 クリーンエアフィルタ カートリッジタイプ SFD200 3 P.1031 クリーンエアモジュール LLB 3 P.1039 クリーンエキゾーストクリーナ AMP220 420 3 排 気 エア:5 P.1055 クリーンルーム 用 エキゾーストフィルタ おねじタイプ プラグインタイプ SFE1/3/4/5/7 3 排 気 エア:4 P.1060 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 24

清 浄 度 クラス モジュラF.R. シリーズ エアフィルタ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) ページ 標 準 21-21- AF20 60 5 3 3 P.1069 ミストセパレータ 21- AFM20 40 5 3 3 P.1071 マイクロミストセパレータ 21- AFD20 40 5 3 3 P.1073 レギュレータ 21- AR20 60 5 3 3 P.1075 逆 流 機 能 付 レギュレータ 21- AR20K 60K 5 3 3 P.1075 フィルタレギュレータ 21- AW20 60 5 3 3 P.1079 逆 流 機 能 付 フィルタレギュレータ 21- AW20K 60K 5 3 3 P.1079 ミストセパレータレギュレータ 21- AWM20 40 5 3 3 P.1083 マイクロミストセパレータレギュレータ 21- AWD20 40 5 3 3 P.1083 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 25

清 浄 度 クラス 圧 力 制 御 機 器 直 動 精 密 レギュレータ 逆 流 機 能 付 直 動 精 密 レギュレータ シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) ページ 標 準 21-21- ARP20 40 5 3 3 P.1093 21- ARP20K 40K 5 3 3 P.1093 精 密 レギュレータ IR1000 3000 3 P.1101 真 空 レギュレータ IRV10/20 3 P.1106 クリーンレギュレータ SRH3000/4000 3 P.1114 精 密 クリーンレギュレータ SRP 5 P.1118 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 26

清 浄 度 クラス 管 継 手 &チューブ シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) ページ 標 準 21- ワンタッチ 管 継 手 KQ2 6 5 P.1124 インサート 管 継 手 KF 5 3 P.1190 ミニチュア 管 継 手 M 5 3 P.1196 角 形 マルチコネクタ KDM 6 5 P.1202 ワンタッチ 管 継 手 ステンレス KG 6 5 P.1206 ステンレスミニチュア 管 継 手 MS 5 3 P.1217 クリーン ワンタッチ 管 継 手 ブロー 用 KP 3 P.1221 KPQ 3 3 P.1225 駆 動 系 エア 配 管 用 KPG 3 3 P.1225 ポリウレタンチューブ TU 5 3 P.1232 ポリウレタンコイルチューブ TCU 5 3 P.1233 ポリウレタンフラットチューブ TFU 5 3 P.1234 クリーンチューブ ポリオレフィン TPH 3 P.1235 ソフトポリオレフィン TPS 3 P.1236 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 27

清 浄 度 クラス 駆 動 制 御 機 器 シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) ページ 標 準 21- プッシュロック 式 エルボ/ユニバーサル AS-F 6 5 P.1243 目 盛 付 エルボタイプ AS-FS 6 5 P.1249 スピードコントローラ エルボ/ユニバーサル AS-F 6 5 P.1253 スピードコントローラ インライン AS 6 5 P.1257 デュアルスピードコントローラ ASD 6 5 P.1261 プッシュロック 式 ステンレス 仕 様 エルボ/ユニバーサル AS-FG 6 5 P.1265 目 盛 付 ステンレス 仕 様 エルボタイプ AS-FSG 6 5 P.1271 ステンレススピードコントローラ エルボ/ユニバーサル AS-FG 6 5 P.1275 スピードコントローラ ステンレス 仕 様 インライン AS-FG 6 5 P.1279 デュアルスピードコントローラ ステンレスシリーズ ASD-FG 6 5 P.1282 スピードコントローラ 金 属 エルボタイプ AS1200 4200 5 3 P.1286 スピードコントローラ インライン AS1000 5000 5 3 P.1288 クリーンスピードコントローラ (21-)AS-FPQ 3 3 P.1291 (21-)AS-FPG 3 3 P.1291 低 速 制 御 用 スピードコントローラ エルボ/ユニバーサル AS-FM 6 5 P.1294 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 28

清 浄 度 クラス 駆 動 制 御 機 器 シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) ページ 標 準 21- 低 速 制 御 用 スピードコントローラ インライン AS-FM 6 5 P.1298 低 速 制 御 用 デュアルスピードコントローラ ASD-FM 6 5 P.1301 圧 力 スイッチ/ 圧 力 センサ シリーズ 清 浄 度 クラス(ISOクラス) ページ 標 準 2 色 表 示 式 高 精 度 デジタル 圧 力 スイッチ ZSE30A(F)/ ISE30A 5 4 P.1312 2 色 表 示 式 高 精 度 デジタル 圧 力 スイッチ ZSE40A(F)/ ISE40A 5 4 P.1323 汎 用 流 体 用 2 色 表 示 式 デジタル 圧 力 スイッチ ZSE80/ISE80 5 4 P.1340 小 形 空 気 圧 用 PSE530 5 4 P.1353 小 形 空 気 圧 用 PSE540 5 4 P.1355 分 離 型 圧 力 センサ 微 差 圧 用 PSE550 5 4 P.1357 汎 用 流 体 用 PSE560 5 4 P.1359 分 離 型 デジタル 圧 力 センサコントローラ/ 多 チャンネル PSE200 3 3 P.1361 分 離 型 2 色 表 示 式 デジタル 圧 力 センサコントローラ PSE300 3 3 P.1366 内 の 数 値 はISOクラスを 表 す 空 欄 は 適 用 なし 29

CQ2 CM2 11-CQ2 11-CM2 30

12-CXSL 12-MGPL 13-MGPL 11-CXSL 11-MHZ2 11-MHL2 31

11-MHR2 11-MHR3 CRB 11-MSQ 32

13-MXQ 13-MXS SY 33

q w q w q w 34

35

q q w e r t y u i q q 1383

µ w e r t y 1384

w q w e r q w e r t y u 1385

e 11-CJ2 11-CM2 11-CQ 13-MGP 11-CU 11-CXS 13-MXS16 13-MXS20 13-MXS25 q w 1386