INCA Crystal Aug2001 版 操 作 ガイド オックスフォート インスゥルメンツ 社 のEBSDシステム-INCA Crystalの 操 作 カ イト です 簡 単 な 操 作 方 法 について 記 述 しています より 複 雑 な 操 作 や 理 論 のお 問 い 合 わせは オックスフォート インストゥルメンツ 社 までお 問 い 合 わせください オックスフォート インストゥルメンツ 株 式 会 社 フ ロタ クトマーケティンク ク ルーフ 135-0047 東 京 都 江 東 区 富 岡 2-11-6 長 谷 萬 ヒ ル Tel 03-5245-3591 FAX 03-5245-4477 e-mail : oikkma@oxinst.co.jp 1
Analyse - Project フ ロシ ェクト 名 INCA Crystalのはじめのページです INCA CrystalではProjectというまとまりで テ ータを 管 理 しています フ ロシ ョクト 名 を 入 れたり 分 析 自 体 に 関 する 情 報 をメモと して 入 力 することができます あとで 分 析 に 関 する 情 報 を 見 直 すときに 便 利 です フ ロシ ェクト 名 は 自 動 発 番 されますので そのまま 進 んでもかまいません ただし 複 数 のフ ロシ ェクトの 場 合 は 同 じ 名 前 で 発 番 される 場 合 がありますので 基 本 的 に フ ロシ ェクト 名 は 必 ず 識 別 できるように 入 力 してください またフ リントアウト 時 にフ ロシ ェクト 名 が 題 名 として 出 力 されます フ ロシ ェクト 名 を 識 別 し やすい 名 前 にしておくことが 後 々 便 利 です 2
Analyse - Sample ここで 結 晶 選 択 ここに 追 加 ここでは 試 料 の 情 報 を 入 力 します 中 でも 結 晶 の 情 報 は 必 ず 入 力 しなければなりません EBSDでは 格 子 定 数 よりも 結 晶 の 原 子 位 置 の 対 称 性 に 敏 感 な 分 析 方 法 です 結 晶 系 / 対 称 性 を 間 違 わな いように 入 力 してください どうしても 結 晶 情 報 が 不 明 な 場 合 には 収 集 後 に 正 し い 結 晶 情 報 を 入 れて 再 計 算 することも 可 能 です Phase Groupから 必 要 な 結 晶 情 報 を 選 んで タ フ ルクリックか[Add]で 解 析 する 結 晶 をしたのホ ックスに 入 れてください はずしたい 結 晶 を 選 んで[Remove]を 押 せば 外 れます 試 料 に 関 するメモやIDがある 場 合 は メモ 書 きを 画 面 中 央 部 の 欄 に 入 力 してくだ さい 3
SEM 像 取 込 ホ タン Analyse - Site of Interest 必 ずここから 電 子 顕 微 鏡 コントロールを 立 ち 上 げてください ここではSEM 像 の 取 り 込 みを 行 います スタートホ タンを 押 せば 自 動 的 にSEM 像 が 表 示 されます 取 り 込 み 時 間 や 解 像 度 は Image Set-upの 画 面 で 設 定 できます 反 射 電 子 像 (Vanguard) 像 は 反 射 電 子 像 のホ タンを 押 して 選 んでください 試 料 傾 斜 の 補 正 は INCA Crystal 自 体 にも 機 能 がありますが SEMにも 補 正 機 能 がある 場 合 はどちらかを 選 択 して Sample Normal 方 向 から 見 た 画 像 にしてお 使 いください この 時 SEMの 倍 率 / 加 速 電 圧 が 正 しく 表 示 されていることが 必 要 です MPOソフ トが 稼 動 しているときは 自 動 的 に 更 新 されますが MPOソフトが 稼 動 していないと きは 電 子 顕 微 鏡 コントロールをオフ ションから 起 動 してWDも 含 めて 正 しい 値 を 入 力 し てください 4
Analyse - Image Set-up 傾 斜 補 正 の 場 合 はここをチェック SEM 像 の 解 像 度 や 取 り 込 み 時 間 を 設 定 する 画 面 です 画 素 512x512 スヒ ート Medium Data8bitが 標 準 的 です 画 素 とスヒ ート は 適 宜 変 更 してください Frameは 加 算 回 数 になりますので 通 常 1 回 で 結 構 です SEM 像 を 収 集 しながら 輝 度 調 整 をする 場 合 はFrame 数 は10ぐらいにして 収 集 しなが ら 輝 度 調 整 をして 下 さい SEM 像 の 傾 斜 補 正 がSEMがわで 行 なわれていない 時 は 必 ずSEM 像 の 傾 斜 補 正 のところをチェックしてください 5
Analyse - Sample Camera Set-up 菊 池 線 のコントラストインシ ケータ EBSPが 表 示 されます カメラモート ノーマライス ホ タン 収 集 時 間 カメラ 感 度 カメラの 輝 度 のインシ ケータです カメラケ イン INCA Crystalの 条 件 設 定 をする 画 面 です 通 常 カメラの 感 度 はHighでお 使 いください SEMはラスタースキャンをしながら[Live] 状 態 のカメラの 収 集 スタートホ タンを 押 して 収 集 時 間 と 感 度 を 調 整 して 左 下 のインシ ケータが 右 いっぱいに 近 く 振 れるようにしてくだ さい EBSDのスクリーンが 飽 和 する 少 し 手 前 に 調 整 するのが 目 安 です この 時 表 示 する 輝 度 のノーマライス のホ タンを 押 しておくと 見 やすくなります 次 にカメラの 収 集 を 止 めて 収 集 モート をAverage Frameにし 再 び 収 集 を 始 めま す 設 定 されている 収 集 回 数 まで 達 すると 自 動 的 にとまりますので Set as backgroundを 押 してその 画 像 をbackgroundとして 登 録 します Backgroundを40%ぐらいに 設 定 して 収 集 モート をLiveに 戻 したら SEM 像 の 適 当 な 場 所 をクリックしてください 設 定 された 条 件 で 収 集 を 続 けます Display Lineをチェックすると 解 析 した 方 位 がEBSDハ ターン 上 に 表 示 されます ハ ターンが 解 析 されることを 確 認 したら 収 集 を 止 めます Backgroundは 収 集 しなくても 問 題 なく 使 えることが 多 々ありますので Backgroundなしでも 収 集 を 試 してみてください Site of Interestのところで 入 力 した 電 子 顕 微 鏡 コントロールのWDが 画 面 右 側 に 表 示 されています 6
Analyse - Solution 表 示 されているSEM 画 面 の 分 析 したい 点 をクリックしてください 設 定 された 条 件 で 収 集 解 析 まで 自 動 的 に 行 われます 輝 度 のノーマライズのホ タンを 押 せばEBSDが 見 やすくなります?のホ タンを 押 すと 他 に 可 能 性 のある 解 析 結 果 を 選 択 できるようになります DataとMisorientationに 方 位 解 析 の 結 果 やミスオリエンテーションの 結 果 が 表 示 されま す 7
Analyse - EBSD Set-up ハ ターンセンタを 補 正 するための 設 定 画 面 です この 画 面 はSEMとの 通 信 ソフト(MPO)がないと 動 作 しないところです 8
Analyse - Report フ リンタに 結 果 を 出 力 するための 画 面 です Templateからフォーマットを 選 択 してフ リンタのホ タンを 押 すだけです 他 にhtml 形 式 でも 出 力 することができます Officeが 入 っていればWordホ タンでWordに 出 力 することができます オフ ションから 出 力 形 式 のレホ ートテンフ レートを 編 集 してテ ータの 大 きさや 位 置 を 編 集 することができます 9
Mapping - Acquire Map EBSDマッヒ ンク 収 集 位 置 の 設 定 画 面 です 全 画 面 / 矩 形 / 任 意 図 形 /ラインのいずれの 形 状 でも 収 集 位 置 を 特 定 できます また 複 数 の 位 置 を 重 ならないように 設 定 すれば 画 面 内 でいくつでも 設 定 できま す Display patternをチェックすると 収 集 中 のEBSDをリアルタイムに 表 示 することができま す 収 集 ヒ クセルの 総 数 と 進 行 状 況 が 画 面 に 表 示 されますので 解 析 時 間 の 把 握 に 役 立 てることができます ヒ クセルのマトリックスはCrystal map sizeで128,256,512などと 切 り 替 えることができま す 目 的 と 時 間 にあわせてsizeを 選 択 してください 10
Mapping - Orientation Analysis 方 位 マッヒ ンク の 結 果 を 表 示 します 左 からSample Normal Rolling Transverse 方 向 です 極 点 図 逆 極 点 図 ODFは 右 上 の 画 面 で 切 り 替 えます 方 位 マッヒ ンク をクリックするとSEM 像 またはPattern Quality 像 に 重 ね 合 わせ 表 示 を することができます 11
Mapping - Enhance Map マッヒ ンク の 補 間 をする 画 面 です 左 側 に 表 示 されている 画 面 が 補 間 前 右 側 が 補 間 後 のマッヒ ンク です 閾 値 の 条 件 は 画 面 下 のスライト ハ ーとチェックホ ックスで 設 定 してください この 画 面 から 抜 ける 時 にテ ータ 作 成 のホ タンを 押 すと 自 動 的 に 候 補 名 が 表 示 され てテ ータを 保 存 することができます テ ータツリー 構 造 に 追 加 されます 12
Mapping - Boundary Analysis この 画 面 では 結 晶 粒 界 の 表 示 をします 角 度 の 表 示 範 囲 などの 条 件 を 画 面 上 でマウスまたは 角 度 入 力 で 決 定 してください 通 常 3 度 以 下 の 粒 界 は 敢 えて 表 示 しないほうがすっきり 表 示 できます 13
Mapping - Report レホ ート 出 力 の 画 面 です マッヒ ンク などの 出 力 ではhtml 形 式 などで 出 力 すると 容 量 の 小 さいまま 保 存 しておくこともできます 14
Processing - Site Review Processingにおいて 複 数 の 結 晶 を 同 時 に 解 析 した 場 合 などに 表 示 / 解 析 したい 結 晶 相 を 選 択 することができます 15
Processing - Misorientation & CSL ProcessingにおいてBoundary Analysisを 選 択 するとこの 画 面 に 自 動 的 に 移 りま す ここでは 粒 界 の 角 度 ごとに 色 分 けをしたり 対 応 粒 界 を 抽 出 したりします 角 度 ごとの 色 分 けや 表 示 範 囲 は ソフトのハ ーを 変 えたり 数 値 を 入 力 したりして 変 更 することができます これらの 数 値 はテキストファイルとして 取 り 出 すことができます 16
Processing - Grain Size ProcessingでのBoundary AnalysisでのGrain Size 解 析 です 結 晶 粒 の 定 義 を 角 度 や 大 きさから 決 定 することができます これらの 結 果 は 画 像 やヒストク ラムそしてテ キストファイルとしても 出 力 することができます 対 応 する 極 点 図 や 逆 極 点 図 なども 自 動 的 に 作 成 されます 17
Processing - Area Analysis 収 集 したマッヒ ンク から 特 定 の 領 域 だけを 抽 出 して 新 たに 解 析 することができます 矩 形 または 自 由 曲 線 で 関 心 領 域 を 選 択 して Create a new map fromのホ タンを 押 すと 目 的 の 領 域 だけの 方 位 テ ータを 取 り 出 すことができます 自 動 的 にそのテ ータは 保 存 され テ ータツリー 構 造 に 追 加 されます 18
Data Dataのタフ を 押 すと 現 在 選 択 しているフ ロシ ェクトのテ ータツリー 構 造 が 表 示 されま す ここでテ ータの 削 除 や 名 前 の 変 更 そしてテ ータの 追 加 などの 編 集 を 行 うこと ができます 19