アウトライン イントロダクション - ユーザインタフェース概要 - サポートファイルフォーマット - 編集 インポートデータ 最適化 AB g モデル - クイックスタート 例題 1:TracePro candela file ->ABg プロパティと非対称テーブル BSDF プロパティ例題 2:O

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1 TracePro BSDF データコンバータチュートリアル LambdaResearch Corporation 25 Porter Road Littleton, MA Tel FAX

2 アウトライン イントロダクション - ユーザインタフェース概要 - サポートファイルフォーマット - 編集 インポートデータ 最適化 AB g モデル - クイックスタート 例題 1:TracePro candela file ->ABg プロパティと非対称テーブル BSDF プロパティ例題 2:Oxytech ファイルフォーマット例題 3: シグニチャ CASI ファイル

3 BSDF データコンバータ - ユーザインタフェース概要

4 ユーザインタフェース概要 - 入射データセレクタ 目的 : 閲覧 編集入射データの選択操作 : ロードした全てのデータセットが Incident Data Selector" に表示されます 行をクリックすると対応データが Profile Editor と 3DPreviewer に表示されます

5 ユーザインタフェース概要 - サーフェススキャッタリング分布エディタ 目的 : 各スライスのデータポイントを編集します 操作 :Avilable angular profiles リストから編集するスライスを選択します

6 ユーザインタフェース概要 -BSDF- β プロット 目的 : インポートデータを BSDF- β 型式で表示し ABg モデルの自動フィッティングを ABg カーブのマニュアル調整機能とともに提供します 単に赤のブロックをマウスでドラッグしてカーブを手作業で変更できます 操作 :Beam Shape Profile Editor 内でデータポイントが変更されると BSDF- β プロットが起動されます このときオプション Auto fitting ABg parameters" がチェックされていれば 自動フィッティングも行われます Y 軸のリニア / Log スケール切り替え X 軸のリニア / Log スケール切り替え

7 ユーザインタフェース概要 - 3D プロファイルビューア 黒の四角がインポートデータ 赤い線は近似モデル

8 サポートしているファイルフォーマット

9 インポートファイルフォーマット BSDF データコンバータは次のファイルフォーマットをサポートします : Oxytech ファイル (*.csv) PIDC ファイル (*.xls) 台湾 PIDC から提供される全ての入射データを含む Excell ファイル LTW ファイル (*.ltw) TracePro Candela ファイル (*.txt) TracePro で保存された Candela ファイル CASI ファイル (*.*) Schmitt Measurement Systems 製 CASIScatterometer

10 プロパティファイルのエクスポート 2つのエクスポートサーフェスプロパティタイプ : 111ABg モデル 222 非対称 BSDF テーブル

11 プロパティファイルのエクスポート ABg モデル Integrated BRDF 値を調 整できます

12 プロパティファイルのエクスポート - 非対称 BSDF テーブル エクスポートデータポイントをサンプルする2つの方法 : 111 等間隔サンプリング 222インテリジェントサンプリング ( エネルギー分布ベース ) サンプリングポイント数を変更できます Integrated BRDF 値を調整でき ます

13 プロパティファイルのエクスポート - 非対称 BSDF テーブル インテリジェントサンプリング : エクスポートするテーブル BSDF プロパティファイルのサイズを小さくして TracePro 内でのシミュレーションスピードを増加させる目的で 各 β 増加分内で散乱光束がほぼ均一となるようにβ 値はユニークに選択されます

14 編集

15 入射データ情報の編集 入射極角度 アジマス角度は Incident Data Selector" で変更することができま す

16 インポートデータの編集 プロファイルエディタではデータポイントをクリック ドラッグすることでそれら の変更 結果の BSDF- β プロット 最適化 ABg モデル 3D 光度プレビューがリア ルタイムで更新されます

17 インポートデータの編集 禁止角度はスペキュラー方向に対する角度を定義します この範囲のデータ は無視されます

18 禁止角度の必要性 散乱測定では スペキュラー方向の測定パワーにはスペキュラー反射 / 透過の二つの成分を含みます 散乱の挙動をモデリングするにはスペキュラー部分を取り去る必要があります さらに 機器の入射ビームが良好にコリメートされていない場合 ディテクタに到達するときには事実上ブロード過ぎてしまいます 禁止角度はスペキュラー方向に対しての不要なデータ角度を定義し その禁止アリア内の全てのデータがデータポイントと禁止領域を区切るデータポイント間で内挿された値で置換されます Note1: このオプションはリバーシブルで 禁止角度の変更が元のデータを変更す ることはありません

19 最適化 ABg モデルの編集 "Auto fitting ABg parameters" がチェックさ れているとデータ値が変更されるたびに ABg パラメータの再計算が起動されます マウスドラッグ ABg モデル : ABg パラメータはコントロールポイントをドラッグして 手作業で調整することができます ポイントをドラッグし始めると Auto fitting ABgParameters" オプションのチェックは外れます A と B の近似値 3 つの係数を入力して Update をクリックすることもできます ABg モデルの二つのコント ロール点

20 ABg パラメータの自動近似 ABg パラメータのフィッティングアルゴリズムは滑降シンプレックス法です ときにより異なった最適値を生成することがあります この理由は初期値としてランダム値が使用されるためで 従って各回で異な極値にたどり着くか あるいは極値が見つからないのです

21 クイックスタートと例

22 例 1: カンデラファイルのインポート オリジナルビーム散乱プロファイル ( 入射角度 :0 度 30 度 60 度 ) 入射角度 :0 入射角度 :30 入射角度 :60

23 例 1: カンデラファイルのインポート ( 続き ) 1. インポートファイルフォーマットの選択とファイル名の入力 2. カンデラファイルの入射角度と アジマス角度の入力

24 例 1: カンデラファイルのインポート ( 続き ) 他のカンデラファイルの追加

25 例 1: カンデラファイルのインポート ( 続き )

26 例 1: プロパティファイルのエクスポート (ABg モデル )

27 例 1: プロパティファイルのエクスポート (ABg モデル ) シミュレーション結果 シミュレーション結果はインポートしたカンデラファイルによく一致しています 入射角度 :0 入射角度 :30 入射角度 :60

28 例 1: プロパティファイルのエクスポート ( 非対称 BSDF テーブル )

29 例 1: プロパティファイルのエクスポート ( 非対称 BSDF テーブル ) シミュレーション結果 シミュレーション結果で ビーム散乱プロファイルがインポートした カンデラファイルに一致していることがわかります 入射角度 :0 入射角度 :30 入射角度 :60

30 例 2:OxyTech ファイルのインポート (*.csv) 1. インポートファイルフォーマットの選択とファイル名の入力 2. 入射角度とアジマス角度 の入力

31 例 3:CASI ファイルのインポート (sample.633) ファイルがシグニチャファイル名を持っていれば BSDF コンバータが自動的にそのシグニチャファイルをロードします

32 例 3:ABG カーブの CASI データへのフィッティング CASI で収集したスペキュラーサンプルは Subtract と Signature を選択しなくてはなりません この場合 Auto ABg によるフィッティングはよくありません BSDF の積分値の評価が TS>1 で これは不可能です 赤色のボックスをドラッグして TS<1 となる良好なフィッティングを得ます

33 スペキュラデータ除外のための禁止ゾーンの使用 グリーンのシグニチャがスペキュラビームの影響のガイドとなります サイズがおよそ β - β = 3e-3 なので 禁止ゾーンは asain(3e-3)=0.17 です Forbidden Zone に 0.17 を入力し 赤の をドラッグして黒の にフィットさせます この時点で Auto Fit が良好なフィッティングを与えます

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