驚きのパフォーマンス! 観察 新開発の電子銃とレンズ系により驚きの高画質観察を実現 数 10 nmの微細な構造を確認できます 試料 : ガラス上のITO 膜加速電圧 :15 kv 倍率 : 100,000 高真空モード二次電子像 0.1 μm 0.5 μm 組成像観察によりコーティングの欠損部分が確

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1 Scientific / Metrology Instruments 走査電子顕微鏡 InTouchScope シリーズ JSM-IT300HR

2 驚きのパフォーマンス! 観察 新開発の電子銃とレンズ系により驚きの高画質観察を実現 数 10 nmの微細な構造を確認できます 試料 : ガラス上のITO 膜加速電圧 :15 kv 倍率 : 100,000 高真空モード二次電子像 0.1 μm 0.5 μm 組成像観察によりコーティングの欠損部分が確認できます また低加速電圧を用いることで形状も鮮明に観察できます 試料 : パール剤 ( 化粧品 ) 加速電圧 :3 kv 倍率 : 50,000 高真空モード反射電子組成像 30 nm 拡大 試料 : セルロースナノファイバー (CNF) 導電処理なし加速電圧 :1 kv 倍率 : 2,500 高真空モード二次電子像 10 μm 0.5 μm 加速電圧 1 kv を用いてビームダメージを軽減し繊維 1 本 1 本の太さが分かる高倍率で観察できます 加速電圧 :1 kv 倍率 : 30,000 高真空モード二次電子像 試料ご提供 : 京都大学生存圏研究所生物機能材料分野 ( 生存圏研究所 / 生存圏開発創成研究系 ) 矢野浩之様 阿部賢太郎様 正常部異常部 カーボンデポジション カーボンデポジション 光学薄膜 18 nm 光学薄膜 低真空機能を利用する事で絶縁物を導電処理せずに観察できます 試料 : ブルーライトカットグラス断面 ( 集束イオンビーム加工観察装置 JIB-4000:FIB による断面加工 ) 加速電圧 :3 kv 倍率 : 50,000 低真空モード反射電子組成像 0.5 μm 0.5 μm ブルーライトカットグラス表面異常部の断面を観察することで正常部 ( 左写真 ) と違う構造を確認できます 02 / JSM-IT300HR

3 快適な操作性 JSM-IT300HRは試料交換時に操作手順が表示されるので 初めての方でも安心して作業が行えます モーターステージとステージナビゲーションシステムを組み合わせれば視野探しが光学顕微鏡感覚で行えます タブレット感覚で操作できる まさに スマート なタッチパネル機能 試料に直接触れているような感覚で操作することのできるMulti Touch Operating Systemの優れた追従性は 高速で高精度な5 軸モーターステージだからこそ実現しました 画面にタッチして 試料をあらゆる方向へ動かせます 画面にタッチして視野移動や拡大縮小 ステージナビゲーションシステム (Option) 試料交換時にCCDカメラで試料全体像を撮影 取り込まれたカラー画像はステージナビゲーション画像としてステージ座標とリンクできます GUI 上でステージナビゲーション画像の1 点をダブルクリックすると その位置がステージ移動により画面中心に移動します 肉眼で観察位置を確認しているような感覚で視野探しが行えます 最短距離で観察視野へ!! CCDの画像でナビゲート デジタルズーム可能 画素数 120 万 SEM 像もスナップショットでナビゲート チャンバースコープ (Option) オペレーションパネル (Option) SEM 試料室内に入れた後はブラックボックスになっていた試料の状態を チャンバースコープでモニターできます 凹凸の大きい試料も安心して観察する事が出来ます つまみの操作に慣れた方でもこだわりの操作を手助けします JSM-IT300HR / 03

4 驚きのパフォーマンス! 元素分析 元素分析も驚きの高感度 高空間分解能を実現 加速電圧 6 kv 加速電圧 15 kv 3.0 μm IMG1(frame 1) 3.0 μm Pb M 3.0 μm Pb M 試料 : 鉛はんだ反射電子組成像 加速電圧 6 kv 加速電圧 15 kv 3.0 μm Sn L 3.0 μm Sn L 試料内 (Sn) の入射電子線散乱領域 モンテカルロシミュレーション 加速電圧 6 kvで測定した結果です 試料内での入射電子の散乱が抑えられ各元素の分布が鮮明に確認できます 加速電圧 15 kvで測定した結果です 試料内での入射電子の散乱が大きいためエッジににじみが見られます JSM-IT300HRは各分析条件においても高い分解能が得られます これによりサブミクロン領域のEDS 分析が簡単に行なえます Al 強度スペクトル Ni 強度スペクトル HDD 断面のNi-Al 界面に対してライン分析を行いました 低加速電圧 (5 kv) 大照射電流(3 na) でも小さいプローブ径が得られているため Ni-Al 界面の特性 X 線の強度変化がシャープにとらえられています ライン分折位置 2.0 μm 試料 :HDD 断面 ( クロスセクションポリッシャー :CP による 断面加工 ) 加速電圧 :5 kv 照射電流 :3 na 倍率 : 15, / JSM-IT300HR

5 軽快な分析操作 JEOLは走査電子顕微鏡 (SEM) とエネルギー分散型 X 線分析装置 (EDS) の両方を開発 製造 販売している世界唯一のメーカーです ハードとソフト 性能とデザイン 全ての面で完全なインテグレーションを実現しています 1 台のPCで制御可能で 観察中の画像上からワンタップで分析ができます ワンタップ分析 SEM 操作画面から基本的な分析操作をワンタップで実行できます JEOL 製 SEMとEDSのインテグレーションにより 操作性は抜群です 多目的試料室 Exclusive LSED port EDS1 port 計 12 個のポートを有するマルチパーパスチャンバー 観察と分析 各検出器のディメンションが最適化され EDS EBSD WDSが同一作動距離 (10 mm) で分析可能になりました ふたつの EDSポートと EBSDポートが同軸になるように配置 EDSとEBSDの同時分析や 完全対向 Twin EDSによる分析が可能になります EDS2 port EBSD port WDS port Multi Purpose port 2 開き角最適化レンズ (ACL) 開き角最適化レンズ (ACL) は 対物レンズの上に置かれ 対物レンズの開き角を全電流範囲にわたり自動的に最適化します これにより 試料照射電流が大きい場合も 従来方式に比べて小さい電子プローブ径が得られます 新光学系 対物レンズ絞り 開き角最適化レンズ 従来形の光学系 Aperture Angle Control Lens 日本電子特許特許番号第 対物レンズ 試料 大プローブ電流時 開き角最適化レンズにより小さいプローブ径が得られます 大プローブ電流時 プローブ径が大きくなります JSM-IT300HR / 05

6 ユーザビィリティを追求 レシピ機能 JEOLグループのノウハウを詰め込んだ標準レシピ機能は様々な分野の観察条件を準備しています 標準レシピから条件設定する事で あらゆる試料の観察 分析に対応します カタログ写真は標準レシピから設定した条件を用いて取得しています 高速 高精度モーターステージ & 高速排気システム 高速 高精度モーターステージ新駆動方式の5 軸モーターステージは 従来機以上の精度と高速化を達成しました さらに JEOL 製 FE-SEMと共通のホルダーを使用することができます 高速 高精度 最大試料寸法 8 inchφ 80 mm H 最大積載量 2 kg JEOL 製 FE-SEM 共通ホルダー 大型試料室でも高速排気試料室排気は約 3 分 新設計の真空排気システムにより排気速度を高速化しました 大容量チャンバーを短時間で排気可能 ターボ分子ポンプとフォアライントラップでクリーンな真空排気を実現しています 安全機構 試料高さを入力することで機能するステージ安全機構 複雑な形状の試料も安全に観察 分析出来ます 06 / JSM-IT300HR

7 主な仕様 分解能 高真空モード 分析時 低真空モード 写真倍率 1.5 nm( 加速電圧 30 kv) 4.0 nm( 加速電圧 1 kv) 3.0 nm ( 加速電圧 15 kv 照射電流 1 na) 1.8 nm ( 加速電圧 15 kv 反射電子像) 5~ 600,000 (128 mm 96 mmを表示サイズとして倍率を規定 ) 14~ 1,679,449 表示倍率 ( 表示倍率はモニタ上での画像倍率です 358 mm 269 mmを表示サイズとして倍率を規定 表示サイ ズを小さく設定することもできます ) 電子銃 高輝度電子銃 加速電圧 0.5 kv~ 30 kv 照射電流 1 pa~20 na 低真空圧力設定範囲 10~150 Pa 開き角最適化レンズ 組込み 対物レンズ絞り 4 段 非点メモリー あり イメージシフト ± 50 μm(wd10 mm) 自動機能 フォーカス 明るさ / コントラスト 非点補正 試料交換 試料室ドアを開けて交換 最大試料寸法 直径 :200 mm 高さ :80 mm 大形ユーセントリック式 試料ステージ X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm 傾斜 :-10~90 回転 :360 標準レシピ あり 画像モード 二次電子像 REF 像 組成 凹凸像 立体像 OS Windows 10 観察モニター 23 型タッチパネル 画素数 , , ,120 3,840 計測機能 あり (2 点間距離 平行線間隔 角度 直径等 ) 画像編集ソフト Smile View TM 言語切換 UI 上で可能 ( 日本語 英語 ) 排気系 完全自動 TMP:1 台 SIP:2 台 R P:2 台 主なオプション 低真空二次電子検出器 (LSED) エネルギー分散型 X 線分析装置 (EDS) 波長分散型 X 線分析装置 (WDS) 後方散乱電子回折検出器 (EBSD) ロードロックチャンバー ( 予備交換室 ) ステージナビゲーションシステム チャンバースコープ オペレーションパネル 3D 計測ソフト 操作テーブル 設置条件 単相 AC100 V 50/60 Hz 3.0 kva 電源電圧変動 ± 10% 以内 (3.0 kva 時の電圧降下 3 % 以内 ) 接地端子 D 種接地以上設置室室温性能保証温度 20±5 湿度 高度 浮遊交流磁場 設置室の寸法 ドアの大きさ 60 % 以下 2,000 m 以下 0.3 μt 以下 3,000 mm( 幅 ) 2,800 mm( 奥行 ) 2,300 mm( 高さ ) 以上 850 mm( 幅 ) 2,000 mm( 高さ ) 以上 幅 (mm) 奥行 (mm) 高さ (mm) 質量 (kg) 鏡筒系ユニット 780 1,000 約 1,800 約 500 操作テーブル ( 小 ) ~890 昇降 約 40 操作テーブル ( 大 ) 1, ~890 昇降 約 50 油回転ポンプ 約 23 除振ウェイト 約 14 設置室例 3,000 外観 仕様は改良のため予告なく変更することがあります Windows の正式名称は Microsoft Windows Operating System です Microsoft Windows は 米国 Microsoft Corporation の米国及びその他の国における登録商標または商標です 配電盤除振ウェイト ロータリーポンプ 液晶ディスプレー 1, ,800 オペレーションユニット 780 1,200 出入口 850 以上 単位 :mm JSM-IT300HR / 07

8 サービス & ソリューションのご案内 JEOL が誇る強力なサービス体制 それが私たちの原点です お客様の良きパートナーを目指します 私たちのサービスは お客様の装置を常に最良な状態に維持すること いつでも安心してお使いいただけるように装置をきめ細かくサポート致します 私たちにできることを常に実践致します パーコール 装置の故障 不具合が発生した場合 お客様からのご依頼によりすみやかに 技術者を派遣 または部品交換を手配致します オーバーホール / 整備 劣化 消耗した部品の交換や経時変化による整備及び点検を行います 保守契約 装置性能を定常的に維持し信頼性を確保致します ( 定期点検 / 故障時は優先対応 / 計画的な予算運用 ) 受託分析 JEOL 最新装置のノウハウを駆使して 最良のデータを提供致します お客様により良い快適をお届けするために 様々なサポート体制を備えています 講習 装置性能をフルに引き出していただけるよう豊富なコースで各種講習を行っております 周辺機器販売 装置をさらに使いやすく 分析 計測の幅を広 げる周辺機器の販売 設置室環境対策 最高の分析結果を得るために 最新鋭の測定機器で装置の設置場所の環境を調査致します JEOL 独自のノウハウを活かして 最適な設置室をご提案致します 部品販売 試料作製用材料 備品や装置稼働に欠かせない消耗品のほか 工具類 手袋 一般的な実験用消耗品も豊富に取り揃えております 設置室環境対策 コンサルティング お問い合わせ TEL 最高の分析結果を得るために 日本電子にしかできない お客様の装置に最適な設置室環境のトータルソリューションをご提案いたします 環境調査 振動対策 対策工事 アクティブ磁場キャンセラー設置例 磁場対策 温度対策 騒音対策 電子顕微鏡室 木質吸音板施工例 08 / JSM-IT300HR

9 JE O L Field S olut ion Service サービス ソリューションのご案内 受託分析 お問い合わせ TEL 分析にお困りのときは まずはお問い合わせください こんなときは 受託分析 立会い分析 試料作製 講 座 データが欲しい レベルアップしたい 装置の取扱いに自信がない 最新装置でデータを取りたい 自分の試料に合った前処理条件を作りたい 自分の試料に合った観察条件を作りたい 難しい試料作製を依頼したい 試料作製 観察まで一連の流れを学びたい 一緒に見ながら分析したい 他に良い分析 測定方法ってないの 専門家に任せたい 時間がない 分析装置がない 装置が混んでいて使えない 前処理装置がない 受託分析 立会い分析 試料作製 お客様の試料をお預かりして 分析 測定いたします お客様とご一緒に 分析 測定いたします 最新機器を用いて 試料作製をいたします 試料作製から分析までトータルでサポート 各種分析手法のご相談にも応じます 分析 測定のみでもお受けします 専 任 の オ ペレ ー タ ー が お 客 様 のご希 望 に 沿って分析します 分析結果を確認しながら リアルタイムに分析箇所や条件の指定がで き 時間内での試料数に制限はありません 講習 試料作製の問題 設備がない 難しい 時間 がない を解決します 良いデータを得るた めには 良い試料が必要です 経験豊かなス タッフが試 料と分 析 機 器に合った試 料 作 製 をいたします お問い合わせ TEL 弊社の装置をご使用のお客様に装置の性能をフルに引き出していただけるよう 昭島 本社にて定期講習会を開催しております お客様の多様なニーズに合うように豊富なコースが準備されており 効果的に必要な 知識 技能を習得していただくことができます 定期講習 毎月開催される定期講習 出張講習 お客様の環境で講習 JSM-IT300HR 09

10 JEOL 製品サポートプラン 総合コールセンター TEL ( フリーダイヤル ) FAX パーコール 装置の故障 不具合が発生した場合 お客様からのご依頼によりすみやかに 技術者を派遣 または部品交換を手配致します オーバーホール / 整備 劣化 消耗した部品の交換や経時変化による整備及び点検を行います 年間保守契約 定期的な装置メンテナンスと緊急時は迅速な装置復旧を行います お客様に最適なトータルソリューションをご提案するため 年間保守サービスをご用意しています 年間契約により 一定料金でご満足いただけるサービスをご提供いたします 01 スピード コールセンターシステムにより集中受付を行い 全国サービスネットワークにて迅速なお客様対応を行います 弊社コールセンターシステムでは保守契約のお客様を自動的に判断する事ができ 緊急に発生しました装置故障に対しては 最優先でのサポートをいたします トラブル解決時間短縮のため トラブル対応エスカレーションシステムを構築しています 02 サービス品質 弊社保守点検作業は ISO9001 ISO14001 の統合マネジメントシステムの認証を 受けています 定期点検整備 ( 予防保全 ) により 安定した装置性能 ( 分解能 分析感度 ) を維持し 装置故障を未然に予防する事ができ 装置の稼働率向上 装置延命となります 適正な定期点検整備の証明として 定期保守点検表 / 完了報告書 をご提出いたします 札幌サービスサポート 本社研修機関にて総合トレーニングを受けた 認定技術者よるサービス対応を実施いたします 仙台サービスサポート 筑波サービスサポート 広島サービスサポート 名古屋サービスサポート 福岡サービスサポート 東京サービスサポート 本社 横浜サービスサポート 大阪サービスサポート 高松サービスサポート 10 / JSM-IT300HR

11 JEOL Field Solution Service サービス & ソリューションのご案内 03 予算計画 保守契約料金には定期保守点検費用 緊急対応費用 故障部品費用が含まれており 突然の故障による高額なSWAP 部品費用 修理費用が発生せず 計画的な予算運用が可能となります JEOL Maintenance Programには各種プランをご用意しています 基本契約 Ⅰ 基本契約 ⅠⅠ 限定契約 1 3 年間サポート契約 定期点検 年 2 回 年 1 回 年 1 回 年 1 回 装置の稼働率向上が図られ お客様の研究の遅延 検査工程の遅延による 損失コストの増加を防止する事ができます 随時保守 交換部品 単価 10 万円以上は有償 2 1 : 対象機種限定となります 2 : 限定契約の交換部品については機種により条件が異なります 3 年間サポート契約を特別割引価格でご用意しています 04 年間保守契約の特典 電話 でのタイムリーなコンサルタントサービス員による的確なアドバイスと技術サポートを提供します 装置オペレーターの方が代わられた際 装置取り扱い説明に関するご相談をお受けいたします JEOL 主催の定期講習会に年 1 回 1 名様に限り無料での受講をいただけます ( 機種により 定期講習会が開催されない場合がございます ) JEOL 主催の各種セミナーへ年 1 回 1 名様に限り無料でご招待をいたします (MSセミナー SEM EDSセミナー その他 ) 装置移設工事 設置室調査 その他契約工事につきましては 特別価格にてお受けいたします PCのオペレーションシステム PCのアップグレードについて特別価格にてご提供いたします 装置周辺機器 環境対策を含めたトータルソリューションをご提案します トータルアプリケーションのご相談をお受けします お客様の装置をリモートサポートで支援します ( 対象機種限定となります ) 周辺機器販売 装置の性能をさらに発揮するさまざまな機器 日本電子では 電子顕微鏡 分析機器などに関連する周辺機器を取り扱っております 電子顕微鏡での観察や分析に成果をあげる試料作製装置をはじめ 画像処理装置 分析関連の付属装置やデータ処理ソフトウェアなど多くの関連製品を用意しています クロスセクションポリッシャー ウルトラミクローム断面試料作製装置精密イオンポリシングシステム多機能オートサンプラー熱分解総合システム 物品販売 お客様のニーズに応じた 高品質な消耗品 本体部品の提供 電子顕微鏡 (TEM/SEM/EPMA その他 ) 分析機器における試料作製用材料 備品 消 耗品 ( 遮蔽板 ダイヤモンドナイフ スミナイ フ コーティング用材料 その他 ) 装置稼働 に欠かせない消耗品 ( フィラメント 試料載 台 キャピラリーカラム カンチレバー フィ ルムその他 ) また工具類 手袋 一般的な実 験室用消耗品も豊富なラインアップでご提 供しております パーツカタログのご用命につきましては総合コールセンターまでお願いします パーツカタログ K 型フィラメント ( 透過 / 走査電子顕微鏡 ) ダイヤモンドナイフ フィラメント ( 質量分析計 ) JSM-IT300HR / 11

12 本社 昭島製作所 東京都昭島市武蔵野 3 丁目 1 番 2 号 TEL: ( 大代表 ) FAX: ISO9001 ISO14001 認証取得 東京事務所営業企画室 EO 営業推進室 AI 営業推進室産業機器営業部 ME ソリューション販促室 東京支店東京第二事務所横浜事務所札幌支店仙台支店筑波支店名古屋支店大阪支店 東京都千代田区大手町 2 丁目 1 番 1 号大手町野村ビル 13 階 TEL: FAX: TEL : TEL : TEL : TEL : 東京都千代田区大手町 2 丁目 1 番 1 号大手町野村ビル 18 階 TEL: ( 代表 ) FAX: 東京 SI1 グループ TEL : 東京 SI2 グループ TEL : 東京 SI3 グループ TEL : ME 営業グループ TEL : 東京都立川市曙町 2 丁目 8 番 3 号新鈴春ビル 9 階 SE 営業部 TEL : ソリューションビジネス部 TEL : 神奈川県横浜市港北区新横浜 3 丁目 6 番 4 号新横浜千歳観光ビル 6 階 TEL: FAX: 北海道札幌市北区北 9 条西 3 丁目 19 番地ノルテプラザ 5 階 TEL: FAX: 宮城県仙台市青葉区中央 2 丁目 2 番 1 号仙台三菱ビル 6 階 TEL: FAX: 茨城県つくば市東新井 18 番 1 TEL: FAX: 愛知県名古屋市中村区那古野 1 丁目 47 番 1 号名古屋国際センタービル 14 階 TEL: FAX: 大阪府大阪市淀川区西中島 5 丁目 14 番 5 号ニッセイ新大阪南口ビル 11 階 TEL: FAX: 西日本ソリューションセンター 大阪府大阪市淀川区西中島 5 丁目 14 番 5 号ニッセイ新大阪南口ビル 1 階 TEL: FAX: 広島支店 高松支店 福岡支店 広島県広島市中区橋本町 10 番 6 号広島 NS ビル 5 階 TEL: FAX: 香川県高松市寿町 パシフィックシティ高松 5 階 TEL: FAX: 福岡市博多区博多駅前 2 丁目 1 番 1 号福岡朝日ビル 5 階 TEL: FAX: 海外事業所 営業所 Boston, Paris, London, Amsterdam, Stockholm, Sydney, Milan, Singapore, Munich, Beijing, Moscow, Sao Paulo ほか このカタログに記載の情報 説明 製品仕様などは改良のため 予告なく変更されることがあります このカタログに記載した製品は 外国為替及び外国貿易法の安全輸出管理の規制品に該当する場合がありますので 輸出または日本国外へ持ち出すときは当社までお問い合わせ下さい No. 1501H688C (Kp)

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