アプリケーションガイド研磨 試料調製 試験 分析のためのソリューション

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1 アプリケーションガイド研磨 試料調製 試験 分析のためのソリューション

2 クロス選択ガイド 粗中間微細 UltraPad UltraPol TexMet P Nylon TexMet C TriDent VerduTex VelTex WhiteFelt PoliCloth MicroCloth MicroFloc MasterTex ChemoMet アルミニウム 鋳鉄 セラミック セラミック溶射 銅 一般的なバルク 一般的な薄片 硬鋼 試料のタイプ 調質鋼セラミックの高温はんだ金属溶射マイクロ電子試料 ニッケル基合金 未装着の PCB ポリマー マイクロ電子のシリコン 焼結炭化物 軟鋼 ステンレス鋼 チタン 推奨方法 それぞれの試料 用途および必要性について特別な方法が要求される場合があります 表中の基本的な研磨方法を使って素晴らしい結果をもたらすことができます 研磨手順 力 回数 速度およびその他のヒントやコツなどの詳細な方法については Buehler SumMet ガイドまたは にて弊社の eclub を参照してください 試料 研削工程 研磨工程 1 研磨工程 2 研磨工程 3 UltraPrep 金属用接 Apex Hercules H VerduTex VerduTex 着剤 セラミック 45µm 9µm MetaDi シュプ シュプ 1µm MetaDi シュプ レムダイアモンド レムダイアモンド レムダイアモンド セラミックおよび塗料 金属溶射塗装 金属溶射塗装 Apex Color 黄 UltraPad TriDent ChemoMet 35µm ダイアモンド 9µm MetaDi MasterMet シリカ Apex Color 黄 UltraPad TriDent ChemoMet 35µm ダイアモンド 9µm MetaDi Apex Hercules H Apex Hercules S VerduTex ChemoMet 焼結炭化物 30µm MetaDi 9µm MetaDi

3 電子試料 試料 研削工程 研磨工程 1 研磨工程 2 研磨工程 3 研磨工程 4 CarbiMet TriDent TriDent TriDent ChemoMet 未装着のプリント基板 マイクロ電子のシリコン マイクロ電子試料 アルミニウム合金 ニッケル基超合金 320 グリット [P400] 600 グリット [P1200] 9µm MetaDi 1µm MetaDi CarbiMet VerduTex VerduTex VerduTex ChemoMet 600 グリット [P1200] 6µm MetaDi 1µm MetaDi MasterMet シリカ CarbiMet TexMet P VerduTex VerduTex ChemoMet 320 グリット [P400] 9µm MetaDi 1µm MetaDi CarbiMet TexMet C TexMet C TexMet C ChemoMet 320 グリット [P400] 9µm MetaDi CarbiMet TriDent ChemoMet 240 グリット [P280] 1µm MetaDi チタン合金 CarbiMet UltraPad ChemoMet 320 グリット [P400] 9µm MetaDi CarbiMet TexMet C VerduTex VerduTex ChemoMet 銅および銅合金 220 グリット [P240] ~ 320 グリット [P400] 9µm MetaDi 1µm MetaDi 鉄および非鉄試料 硬鋼 Apex DGD 赤 Apex Hercules S TriDent MicroCloth 75µm ダイアモンド 9µm MetaDi CarbiMet UltraPad TriDent MicroCloth 軟鋼 320 グリット [P400] 9µm MetaDi サスペンション CarbiMet TexMet C TriDent MicroCloth 鋳鉄 320 グリット [P400] 9µm MetaDi サスペンション Apex DGD 赤 Apex Hercules S MicroFloc 複合材料 岩石学 調質鋼 ステンレスおよびマルエージング鋼 ポリマーマトリックス複合材料 一般的なバルク標本 75µm ダイアモンド 9µm MetaDi サスペンション CarbiMet UltraPad TriDent ChemoMet 120 グリット [P120] ~ 320 グリット [P400] 9µm MetaDi サスペンション CarbiMet TexMet P VerduTex MicroCloth 320 グリット [P400] 9µm Meta Di サスペンション Apex DGD TriDent TriDent TexMet C 45µm ダイアモンド 9µm MetaDi 詳細については弊社ウェブサイト を参照してください 3

4 研磨クロスガイド 粗い UltraPad 硬質織物 毛羽立ちなし 6µm 以上 ダイアモンド TexMet P 硬質有孔 不織布 6µm 以上 ダイアモンド UltraPol 硬質織物 非刺激性絹布 6µm 以上 ダイアモンド 中間 Nylon 耐油性のある中硬質織物 毛羽立ちなし 6µm 以上 ダイアモンド TexMet C 不織圧縮布 15 ~ 0.02μm ダイアモンド AI 2 TriDent 軟らかくて耐久性のある合成織布 毛羽立ちなし 15 ~ 0.02μm ダイアモンド VerduTex 耐久性のある中硬質合成絹布 9 ~ 1μm ダイアモンド VelTex 毛羽の短い合成ビロード 9 ~ 1μm ダイアモンド PoliCloth 中硬質の毛織物 6 ~ 1μm ダイアモンド WhiteFelt 軟らかく耐久性のあるマットな毛織物 6 ~ 0.02μm ダイアモンド AI 2 ご存知ですか? 表示の研磨サイズが一般的に最適なサイズですが 特定の用途では表示範囲を超える研磨剤が素晴らしい結果を生み出します 微細 MicroFloc 軟らかく毛羽の長い布 3 ~ 0.02μm ダイアモンド AI 2 MicroCloth 軟らかく汎用的な毛羽の長い合成レーヨン 5 ~ 0.02μm ダイアモンド AI 2 MasterTex 軟らかく毛羽の少ない合成ビロード 1 ~ 0.05μm AI 2 ChemoMet 軟らかく多孔質で化学的耐性のある合成布 1 ~ 0.02μm AI 2

5 ダイアモンド研磨サスペンションとペースト ダイアモンドは除去率が高いため ほとんどの試料調整で標準的に使用されます ミクロサイズ キャリア ダイアモンドの種類の幅広い範囲で使用可能な MetaDi ダイアモンド製品は汎用的な調整ツールです MetaDi および MetaDi シュプレムサスペンション 粒径と形で等級分けされた合成ダイアモンドを含みます ダイアモンド粒子は使いやすく整合的な用途のために均一に分散しています MetaDi サスペンションには 清潔で効率的な切断作業が可能な鋭い塊状の単結晶が含まれます MetaDi シュプレムのアンギュラーな多結晶粒子が さらに小平面を切削することで表面下の歪みを無くします 水性および油性キャリアのどちらでも使用可能です サスペンションは噴射ノズル またはバースト供給システムのような自動供給システムで塗布されます ダイアモンドサスペンションはすべて 毒性がなく不燃性のため環境を破壊しません 単結晶ダイアモンドの鋭い刃で確実に清潔で効率的な切断作業が可能です 除去速度 ( ミクロン / 分 ) 単結晶ダイアモンドと多結晶ダイアモンドの除去速度の比較 MetaDi 単結晶 MetaDi シュプレム多結晶 0.0 チタンステンレス鋼アルミニウム青銅 Rc-60 鋼 Rc-20 鋼亜鉛 MetaDi ダイアモンドペースト ダイアモンドペーストはダイアモンドを埋め込んでいることの多い試料に最適です MetaDi - 天然単結晶粒子 MetaDi II 人工単結晶粒子 MetaDi ウルトラ 天然および人工多結晶粒子の混合で使用可能です 通常 ペーストはおよそ 50rpm で研磨盤を回転させ 研磨盤の中心から約 2 インチ (5cm) の所に注射器の先を置き 清潔な布に塗布します ほとんどの試料には MetaDi 液のような潤滑油が必要で 水に弱い試料には研磨油 または AutoMet ラッピングオイルが必要です ダイアモンドペーストはすべて 毒性がなく不燃性のため環境を破壊しません アンギュラーでブロッキーな形状の多結晶ダイヤモンドにより 粒子の表面にたくさんの切断ファセットが形成されます クロスに関係なく どうしてもダイヤモンド研磨に対応できない試料があります ( 鉛 CP Al インジウム ) 埋め込まれた研磨剤としてダイヤモンドを使用すると表面仕上げがうまくできません これらの試料または類似の試料を準備している場合 代替研磨剤 ( 主に ) を選択してください 詳細については弊社ウェブサイト を参照してください 5

6 仕上げ用研磨サスペンション 仕上げ用研磨剤は目には見えない最終研磨面の歪みを取るためのものです また この歪みの除去は 高倍率の顕微鏡や 偏光観察 微分干渉コントラスト および EBSD 技術の使用による解析に不可欠です 新しいクロスを十分なサスペンションで湿らせて 研磨サイクル中に潤滑油を塗布します 以前使用したクロスには新しいサスペンションを適量加えて 十分な潤滑油を塗布します サスペンションの供給を停止し 研磨サイクルの最後の30 秒間で水に変え クロス表面を洗い流します 仕上げ研磨用サスペンションはすべて Burst 供給システムや VibroMet 2 振動研磨機などの自動供給システムに対応しています は 完全に機械的な研磨法で試料を除去します 2 化学機械的な研磨 SiO 2 粒子を研磨剤ではなく 試料表面の反応層を拭き取るために使用することで 化学研磨を続行できます サスペンション ゾルゲルサスペンション (ph ~8.5) 微細分散した 0.05µm の非凝集粒子 MasterMet 2 非結晶コロイダルシリカサスペンション 0.02µm の微細な非結晶の非晶質コロイダルシリカサスペンション (ph ~10.5) 化学機械的な研磨で歪みのない優しい試料除去を実現 MicroPolish 粉末およびサスペンション 凝集性で同じサイズの他のよりも高い除去率を実現 µm の砥粒径で使用可能 MasterPolishⅡ 粉末およびサスペンション 非凝集性で凝集性よりも高い品質の表面仕上げを実現 1 および 0.3µm の砥粒径で使用可能 MasterPolish 2 サスペンション 0.06µm の高純度酸化鉄 (ph ~10) 化学機械的な研磨で上質の表面仕上げを実現 MasterMet コロイダルシリカサスペンション 0.06µm の微細な非晶質コロイダルシリカサスペンション (ph ~10) 化学機械的な研磨で繊細な表面仕上げを実現 MasterPolish サスペンション 0.05µm の高純度とコロイダルシリカ (ph ~9) の混合 水は最小限に抑えているため水に弱い試料に最適

7 ダイアモンド研磨サスペンションとペースト 発注情報 (shop.buehler.com にてオンライン購入可 ) ほとんどの MetaDi ダイアモンドサスペンションおよびダイアモンドペーストには様々なサイズがあります 詳細な発注情報については Buehler 製品カタログを参照してください 砥粒径色 MetaDi 単結晶 サスペンション MetaDi シュプレム多結晶 0.05µm MetaDi 単結晶 油性 MetaDi ウルトラ多結晶 ペースト MetaDi 単結晶 MetaDi II 単結晶 µm µm 微細 F 3µm µm 微細 F 6µm µm µm µm µm MetaDi 用追加アクセサリおよび消耗品 アプリケーターボトル 8オンス (0.24l) オンス (0.24l) ボトル用スプレーポンプ MetaDi 液 16オンス (0.47l)( 水溶性 ) MetaDi 液 32オンス (0.95l)( 水溶性 ) MetaDi 液 85オンス (2.5l)( 水溶性 ) 油性ダイアモンドサスペンションおよびダイア モンドペーストに使用する AutoMet オイル 6オンス (0.18l) 油性ダイアモンドサスペンションおよびダイア モンドペーストに使用する AutoMet オイル 1ガロン (3.8l) 仕上げ用研磨サスペンション ほとんどの仕上げ用研磨サスペンションおよび粉末には様々なサイズがあります 詳細な発注情報については Buehler 製品カタログを参照してください 0.02µm 0.05µm 0.06µm 0.25µm 0.3µm 0.7µm 1µm MasterMet コロイダルシリカ MasterMet 2 非結晶コロイダルシリカ MasterPolish 仕上げ用研磨剤 MasterPolish 2 仕上げ用研磨剤 MicroPolish 粉末 MicroPolish 粉末 MicroPolishⅡ粉末 MicroPolishⅡサスペンション 詳細については弊社ウェブサイト を参照してください 7

8 高級磨き布 あらゆる試料の用途に対して高い性能を発揮 長寿命で上質の表面仕上げ用 粗 中間 微細 クロス裏地数量 8 インチ (203mm) 10 インチ (254mm) 12 インチ (305mm) UltraPad PSA UltraPol PSA TexMet P PSA Nylon PSA TexMet C PSA TriDent PSA VerduTex PSA VelTex PSA SO SO WhiteFelt PSA SO SO PoliCloth PSA SO SO MicroCloth PSA MicroFloc PSA SO MasterTex PSA ChemoMet PSA SO - 特別注文 リードタイムが長く最低発注量が設定されている場合があります 保管用キャビネット 研磨盤およびサーフェスを保管する 耐久性があり清掃が簡単なキャビネット 2 つのタイプ : 8 インチ (203mm)/ 10 インチ (254mm) 12 インチ (305mm) 部品番号 品名 インチ (203mm)/ 10インチ (254mm) ディスクおよび研磨盤用 (5 段引き出しキャビネット ) インチ (203mm)/ 10インチ (254mm) ディスクおよび研磨盤用 (10 段引き出しキャビネット ) インチ (305mm) ディスクおよびプラテン用 用追加棚 インチ [333mm] 13 インチ [320mm] インチ [355mm] インチ [320mm] インチ [320mm] インチ [350mm] インチ [288mm] インチ [350mm] インチ [288mm] 消耗品の一覧については 弊社ウェブサイト をご覧いただくか弊社製品カタログを参照してください Buehler は継続的に製品の改良を行っているため 技術仕様について予告なく変更する場合があります 切断 AbrasiMet AbrasiMatic IsoMet 埋め込み SimpliMet オンラインショップ ( 米国 ドイツ フランス 英国のみ ) 研磨 EcoMet AutoMet MetaServ 画像化 分析 OmniMet 硬度試験 BUEHLER 国際本部 41 Waukegan Road Lake Bluff, Illinois USA 電話 : (847) info@buehler.com BUEHLER ドイツ info.eu@buehler.com 2015 BUEHLER, a division of Illinois Tool Works Inc. Printed in U.S.A. FN01465_0615 BUEHLER フランス info.fr@buehler.com BUEHLER 英国 info.uk@buehler.com BUEHLER カナダ info@buehler.ca BUEHLER 日本 info.japan@buehler.com BUEHLER 中国 info.cn@buehler.com BUEHLER アジア太平洋 info.asia@buehler.com

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