日 本 顕 微 鏡 学 会 第 67 回 学 術 講 演 会 出 展 のご 報 告 日 本 顕 微 鏡 学 会 第 67 回 学 術 講 演 会 が5 月 15 日 ( 日 )~18 日 ( 水 )の4 日 間 福 岡 国 際 会 議 場 にて 開 催 されました 約 850 名 の 参 加 者 が

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1 ANALYTICAL NEWS No.088 トピックス JEOL DATUM INFORMATION 新 製 品 紹 介 サーマル 電 界 放 出 形 走 査 電 子 顕 微 鏡 JSM-7800F 技 術 情 報 鰹 節 中 のイノシン 酸 と 香 気 成 分 の 質 量 分 析 技 術 情 報 WDS EDS 分 析 のための 基 礎 知 識 その1 アプリケーションノート 高 エネルギー 衝 突 誘 起 解 離 による 脂 質 の 構 造 解 析 講 習 会 スケジュール

2 日 本 顕 微 鏡 学 会 第 67 回 学 術 講 演 会 出 展 のご 報 告 日 本 顕 微 鏡 学 会 第 67 回 学 術 講 演 会 が5 月 15 日 ( 日 )~18 日 ( 水 )の4 日 間 福 岡 国 際 会 議 場 にて 開 催 されました 約 850 名 の 参 加 者 が 集 い 各 セッショ ンでは 立 ち 見 が 出 るなど 多 くの 参 加 者 が 熱 心 に 耳 を 傾 けていました また 期 間 中 の5 月 16 日 ( 月 )には 財 団 法 人 風 戸 研 究 奨 励 会 第 四 回 風 戸 賞 受 賞 講 演 会 が 開 催 され 佐 野 太 様 ( 文 部 科 学 省 科 学 技 術 学 術 政 策 局 政 策 課 長 ) 藤 吉 好 則 様 ( 京 都 大 学 大 学 院 理 学 研 究 科 教 授 )のご 講 演 に 引 き 続 き 風 戸 賞 受 賞 者 である 石 川 尚 様 (スイス 連 邦 共 和 国 国 立 パウル シェラー 研 究 所 シニアサイエンティスト) 森 茂 生 様 ( 大 阪 府 立 大 学 大 学 院 工 学 研 究 科 教 授 )の 熱 気 溢 れる 受 賞 講 演 がありました 併 設 の 機 器 展 示 で 弊 社 は 集 束 イオンビーム 加 工 観 察 装 置 J I B 走 査 電 子 顕 微 鏡 I n T o u c h S c o p e J S M-6010L A N e o S c o p e JCM-5000などの 実 機 展 示 ハイスループット 電 子 顕 微 鏡 JEM-2800と 電 子 顕 微 鏡 JEM-1400が 設 置 された 昭 島 製 作 所 デモ 場 と 展 示 会 場 をインター ネット 回 線 でつなぎリモートコントロールによるデモ ンストレーションを 行 い 本 装 置 のパフォーマンスを 紹 介 いたしました その 他 非 暴 露 対 応 ミクロトーム の 実 機 展 示 さらに 電 子 顕 微 鏡 JEM-ARM200F 他 主 力 機 種 パネル 展 示 や 非 暴 露 対 応 ホルダー プロトチップス 社 ホルダーやT E M 用 m m 2 / SDD 検 出 器 を 紹 介 を 行 いました 5 月 15 日 には 弊 社 主 催 のランチョンセミナーを 行 い マイクロ 領 域 からナノ 領 域 の 観 察 分 析 を 可 能 に した 新 型 FE-SEM ハイスループット 電 子 顕 微 鏡 JEM-2800 の 紹 介 の2テーマを 弊 社 研 究 員 が 講 演 し 約 120 名 のご 参 加 をいただき 活 気 のあるセミ ナーとなりました なお 来 年 の 日 本 顕 微 鏡 学 会 は5 月 16 日 ~18 日 の 日 程 で 筑 波 での 開 催 が 予 定 されております 2 ANALYTICAL NEWS

3 JEOL DATUM DATUM INFORMATION 大 光 用 新 製 品 のご 紹 介 アル リーン ア DSV System 光 を 時 できる 合 わせ 用 電 子 線 回 な 強 い 電 子 線 でも 検 出 部 の ージがなく ント ール で の 化 が ます 本 体 の 子 が 能 です の ルーペに 定 する で に 取 付 け 取 しができます 加 から 高 加 電 子 顕 微 鏡 に 使 用 でき JEM 全 機 に 取 付 けられます セミナ 開 催 のご 案 内 第 14 回 実 践 マススペクトロメトリーセミナー と き:2011 年 9 月 27 日 ( 火 ) 28 日 ( 水 )の2 日 間 ところ: 日 本 化 学 会 化 学 会 館 7 階 ホール (JR 中 央 線 御 茶 ノ 水 駅 より 徒 歩 3 分 ) 講 師 : 高 山 光 男 先 生 ( 横 浜 市 立 大 学 ) 定 員 50 名 参 加 費 49,350 円 ( 消 費 税 込 ) SEM/EDSセミナー( 東 京 会 場 ) と き:2011 年 10 月 12 日 ( 水 ) ところ: 総 評 会 館 大 会 議 室 (JR 中 央 線 御 茶 ノ 水 駅 より 徒 歩 5 分 ) 講 師 : 日 本 電 子 データムソリューション 事 業 部 R&D 企 画 推 進 室 R&Dビジネスサポート 部 員 定 員 150 名 参 加 費 10,500( 消 費 税 込 ) SEM/EDSセミナー( 大 阪 会 場 ) と き:2011 年 10 月 13 日 ( 木 ) ところ: 新 梅 田 研 修 センター Lホール (JR 大 阪 駅 < 中 央 北 口 >から 直 通 シャトルバスで5 分 徒 歩 で 約 10 分 ) 講 師 : 日 本 電 子 データムソリューション 事 業 部 R&D 企 画 推 進 室 R&Dビジネスサポート 部 員 定 員 100 名 参 加 費 10,500( 消 費 税 込 ) SEM/EDSセミナー( 福 岡 会 場 ) と き:2011 年 10 月 18 日 ( 火 ) ところ: 博 多 リファレンス 駅 東 ビル7 階 会 議 室 D ( 博 多 駅 筑 紫 口 から 徒 歩 約 4 分 ) 講 師 : 日 本 電 子 データムソリューション 事 業 部 R&D 企 画 推 進 室 R&Dビジネスサポート 部 員 定 員 50 名 参 加 費 10,500( 消 費 税 込 ) お 問 い 合 わせは 日 本 電 子 データムソリューション 事 業 部 ソリューションセールス 本 部 企 画 管 理 グループ 山 本 修 裕 (やまもとのぶひろ)まで TEL FAX ホームページ( セミナー 日 程 を 掲 載 しています * 日 程 会 場 などが 変 更 される 場 合 もございます ご 了 承 ください 2011 JEOL ユーザーズミーティング 開 催 のお 知 らせ 例 年 開 催 し 多 くのユーザーよりご 好 評 をいただいております 2011 JEOL ユーザーズミーティング を 下 記 の 通 り 開 催 予 定 しております 詳 しくは 弊 社 よりのダイレクトメールにて ご 案 内 いたします 2011 JEOL ユーザーズミーティング 開 催 予 定 2011 EPMA 表 面 分 析 ユーザーズミーティング( 東 京 ) 10 月 6 日 ( 木 ) 7 日 ( 金 ) 東 京 大 学 武 田 先 端 知 ビル 武 田 ホール 2011 EPMA 表 面 分 析 ユーザーズミーティング( 大 阪 ) 10 月 14 日 ( 金 ) 千 里 ライフサイエンスセンター ライフホール 2011 分 析 機 器 NMR ユーザーズミーティング( 東 京 ) 11 月 9 日 ( 水 ) 10 日 ( 木 ) 東 京 大 学 武 田 先 端 知 ビル 武 田 ホール 2011 分 析 機 器 MS ユーザーズミーティング( 東 京 ) 11 月 11 日 ( 金 ) 東 京 大 学 武 田 先 端 知 ビル 武 田 ホール 2011 TEM( 透 過 電 子 顕 微 鏡 ) ユーザーズミーティング( 東 京 ) 12 月 2 日 ( 金 ) 東 京 大 学 武 田 先 端 知 ビル 武 田 ホール 2011 分 析 機 器 NMR ユーザーズミーティング( 大 阪 ) 12 月 7 日 ( 水 ) 千 里 ライフサイエンスセンター ライフホール 2011 分 析 機 器 MS ユーザーズミーティング( 大 阪 ) 12 月 8 日 ( 木 ) 千 里 ライフサイエンスセンター ライフホール 同 じプログラムを 2 日 間 行 います ANALYTICAL NEWS 3

4 SEM 新 製 品 紹 介 広 い 研 究 分 野 サーマル 電 界 放 JEOLのFE-SEMの 対 物 レンズは 高 分 解 能 を 狙 った セミインレ ンズタイプ 1) と 分 析 時 の 使 いやすさを 狙 った アウトレンズタイ プ 2) の2つを 用 意 し 目 的 に 応 じた 使 い 分 けを 提 案 していました 今 回 SHL: Super Hybrid Lens という 高 分 解 能 多 様 な 信 号 選 別 分 析 時 の 使 いやすさ のいずれをも 満 たすことのできる 独 創 的 な 対 物 レンズと このレンズを 組 み 込 んだ 上 でさらに 全 体 の 機 能 を 強 化 したJSM-7800Fを 開 発 しました 高 分 解 能 のSEM 像 を 得 るためには 電 子 ビームの 径 をできるだけ 小 さくする 必 要 があります SEMの 対 物 レンズは 一 般 に 磁 場 レン ズを 用 いており レンズが 発 生 する 磁 場 と 観 察 試 料 表 面 との 距 離 ( 焦 点 距 離 focal length)が 小 さいほど 試 料 上 でのビーム 径 を 小 さくできます 従 って ステージのZ 動 を 用 いて 試 料 表 面 と 対 物 レンズ 下 面 との 距 離 ( 作 動 距 離 Working Distance:WD)を 短 く すれば ビーム 径 を 小 さくできます セミインレンズタイプの 対 物 レンズは 対 物 レンズ 下 面 から 磁 場 が 漏 れているため WDを 短 くすれば 焦 点 距 離 を 極 小 にできるので ビーム 径 を 著 しく 小 さくできる 利 点 があります しかし 試 料 表 面 への 磁 場 の 漏 洩 があるため 例 えば 磁 性 粉 体 の 観 察 が 難 しい 対 物 レンズをOFFにしないとEBSD 解 析 ができないなどの 不 利 があ ります さらに 短 焦 点 かつ 高 倍 率 での 使 用 に 最 適 化 した 設 計 のた め 低 倍 率 での 観 察 のためには 電 子 光 学 モードの 切 り 替 え( 低 倍 モ ード)が 必 要 となります これに 対 して アウトレンズ 型 の 対 物 レンズは 試 料 表 面 に 磁 場 が 漏 れないよう 対 物 レンズの 機 械 的 な 下 面 が 磁 気 シールドの 機 能 を 持 ち 実 際 の レン ズ 磁 場 は 機 械 的 下 面 よりも は る か 上 方 (10mm 前 後 上 )に 存 在 します そのため 試 料 を 対 物 レンズに 接 触 させるほどWDを 短 くしても 焦 点 距 離 はセミインレンズ 型 より もずっと 長 いので ビーム 径 をセミインレンズほど 小 さくすること ができませんでした しかし 電 子 光 学 設 計 上 はWDの 短 長 による 差 が 小 さいので 視 野 が 広 く 取 れ 歪 みも 少 なく 簡 単 に 観 察 や 分 析 ができる 利 点 があります 今 回 開 発 したSHLは 次 の 光 学 要 素 の 複 合 -Hybrid- を 用 いて 性 能 向 上 を 図 りました 形 状 はアウトレンズ 型 を 基 本 とする シールド 形 状 の 最 適 化 により 短 いWDではセミインレンズ に 近 い 磁 場 分 布 を 作 り 長 いWDでは 磁 場 漏 れを 小 さくする 上 方 検 出 器 用 の 引 込 電 場 によるレンズ 作 用 を 組 み 合 わせ より 短 焦 点 化 する その 結 果 短 いWDで 強 励 磁 にすれば 短 焦 点 の 電 磁 場 重 畳 レンズ に 長 いWDで 弱 励 磁 にすれば 磁 場 漏 洩 が 少 ないレンズになり 背 反 する 問 題 を 両 立 できました さらに G Bモード 3) での 検 出 器 の 信 号 収 集 効 率 最 適 化 の 結 果 短 いW D 時 に 得 られる 分 解 能 4) は GBモード 時 の 加 速 電 圧 15kVで0.8nm 低 加 速 1kVで1.2nm 極 低 加 速 0.1kVで3.0nmと 従 来 のセミインレンズ 機 を 上 回 る 性 能 が 得 られました 図 1にカーボン 基 板 上 の 蒸 着 金 粒 子 による 分 解 能 写 真 を 示 します AccV = 15.0 kv (GB) / UED 50 nm 4 ANALYTICAL NEWS

5 に 対 応 する 究 極 の 解 析 ツール 出 形 走 査 電 子 顕 微 鏡 JSM-7800F 新 型 対 物 レンズ SHL: Super Hybrid Lensを 搭 載 したJSM- 7800Fについて 紹 介 しました 主 な 仕 様 を 表 1に 示 します 高 分 解 能 多 様 な 信 号 選 別 分 析 時 の 使 いやすさ いずれも 両 立 できる 装 置 として ご 期 待 ください 表 1 主 な 仕 様 AccV = 1.0 kv (GB) / UED 100 nm インレンズ ーマルFE 電 子 照 電 制 レンズ(CL) 開 き 制 レンズ(ACL) スー ー イ リッド 対 物 レンズ(SHL) 0.01kV 30.0kV ( kVはGBモードのみ) paオー ー 200nA 以 上 ( 15kV 時 ) 低 加 速 : 1.5nm at 1kV, 1.2nm at 1kV GBモード 高 加 速 : 1.0nm at 15kV, 0.8nm at 15kV GBモード 極 低 加 速 : 3.0nm at 0.1kV GBモード 分 析 時 : 3.0nm at 15kV, 5nA, WD10 mm mm 25 1,000,000 LDFモード 標 準 ED/LED/ SD /SRBED :オプシ ン 4 面 同 時 観 察 可 能 13 ート 分 析 用 試 料 ン ー JSM-7001Fと 同 一 AccV = 0.10 kv (GB) / UED 200 nm 図 1 カーボン 基 板 上 の 蒸 着 金 粒 子 による 分 解 能 写 真 左 は 加 速 電 圧 15kV 上 は1kV 下 は0.1kV 観 察 可 能 な 最 低 倍 率 は25 倍 までに 制 限 されるものの 5,000 倍 以 下 の 低 倍 での 使 いやすさはアウトレンズ 機 と 同 等 です EBSD 解 析 も WD 15mm で 問 題 なく 行 うことができます さらに 長 焦 点 (Long Depth of Focus:LDF)モードも 標 準 搭 載 し 100 倍 以 下 の 低 倍 時 に 焦 点 深 度 が 大 変 深 く 歪 みが 少 ない 像 が 得 られます 5) 1) このタイプの 対 物 レンズを 使 った 製 品 として JSM-7500F 7600Fがあり ます 2) このタイプの 対 物 レンズを 使 った 製 品 として J S M-7001Fがあります TTLS 取 付 け 時 もこのタイプとなります 3) GB(Gentle Beam)モード: 試 料 に 高 電 圧 を 印 加 し レンズ 性 能 と 検 出 効 率 を 向 上 させるモード 4) 蒸 着 金 粒 子 2 つのすき 間 [edge to edge]を 測 定 5) JSM-7001F/TTLS による 広 範 囲 EBSD 測 定 2010 日 本 電 子 SEM ユーザーズミーティング 資 料 ANALYTICAL NEWS 5

6 MS 技 術 情 報 鰹 節 中 のイノ -お 困 りの 分 鰹 節 は 地 球 上 でもっとも 硬 い 食 品 と 言 われ 味 噌 醤 油 と 並 んで 日 本 の 伝 統 的 な 調 味 料 である 削 り 取 るたびに 風 味 は 変 わらず その 固 形 物 の なかに 香 りとうまみが 閉 じ 込 まれた 加 工 食 品 である そのうまみ 成 分 はイノ シン 酸 であることが 知 られており ここでは 化 学 分 析 の 興 味 からイノシン 酸 の 存 在 をLC/MSにて 評 価 し 併 せて 香 気 成 分 に 注 目 してGC/MSによ り 測 定 した ピーク1 6.5 分 イノシン ピーク2 8.5 分 リン 酸 ピーク 分 イノシン 酸 ( 鰹 節 )/ : / ESI- 5 l in 10 3 ( ) 試 料 ( 部 ): か お し 1.LC/MS 分 析 イノシン 酸 は 下 記 に 示 すようにヒポキサンチンの 核 酸 塩 基 リボース リン 酸 が 化 合 したヌクレオチドの 構 造 を 持 つ 化 学 式 はC10H13N4O8P 分 子 量 は348.2である O N NH O N N HO P O O OH OH OH 削 り 取 った 鰹 節 を 精 製 水 で 溶 出 させ その 上 澄 みを 試 料 とした クロマト 条 件 はO D Sカラムを 用 い 移 動 相 はリン 酸 基 を 有 する 構 造 から 5mM-DBA(n-ジブチルアミン) 酢 酸 塩 とメタノールを 用 いてグラジェント 分 析 を 行 った イオン 化 は 負 イオンESIである 測 定 条 件 装 置 :JMS-T100LP LC-TOFMS カラム:L-カラム2(ODS) 2mmφ 15cm( 化 学 物 質 評 価 研 究 機 構 ) 流 量 :0.3mL/min 移 動 相 A 液 :5mM DBA- 酢 酸 B 液 :メタノール B:0~100% 20 分 間 にグラジェント イオン 化 : 負 イオンESI ニードル 電 圧 :2.5kV 脱 溶 媒 室 温 度 :250 オリフィス1 電 圧 :80V MCP 電 圧 :2500V 結 果 として 図 -1にトータルイオンクロマトグラムを 示 す それぞれのクロマト ピークのスペクトルを 解 析 した 結 果 目 的 のイノシン 酸 とその 関 連 成 分 は 6.5 分 8.5 分 10.2 分 に 溶 出 していることが 判 明 した 図 in 鰹 節 水 溶 液 分 のトータルイオンクロマトグラム 目 的 のイノシン 酸 の 負 イオンESIスペクトルを 図 2に 示 す 解 析 すると 質 量 数 347は(M-H) - に 相 当 している 質 量 数 97(0) 135(0) 211(-2)は フラグメントイオンであった 帰 属 すると 質 量 数 79 97はリン 酸 基 135はヒ ポキサンチン 核 酸 塩 基 211はその 核 酸 塩 基 が 脱 離 した 構 造 に 相 当 して いる 括 弧 内 の 数 値 はイノシン 酸 の 化 学 構 造 から 計 算 した 質 量 数 の 水 素 のシフト 数 を 示 す シフト 数 は 予 想 どおりの 値 であった ESI- / 試 料 ( 部 ): か お し 2011/05/19 15:05:42 オリ ス1 電 : -80V リングレン 電 : -15 V ESI (70040) 質 量 電 比 ( / ) 図 -2 ピーク3の 負 イオンESIスペクトル(イノシン 酸 ) 他 のピークを 解 析 すると6.5 分 (ピーク1)に 溶 出 している 成 分 は 267(M-H) - からイノシンと 推 察 した フラグメントイオン135(0)は 核 酸 塩 基 に 相 当 し イノシ ンの 存 在 を 示 唆 している 図 3にそのスペクトルを 示 す 8.5 分 (ピーク2)に 溶 出 しているブロードなピークはスペクトルからリン 酸 を 帰 属 した そのスペクト ルを 図 -4に 示 す 6 ANALYTICAL NEWS

7 シン 酸 と 香 気 成 分 の 質 量 分 析 析 があればサポートいたします- ESI- / 試 料 ( 部 ): か お し 2011/05/19 15:05:42 オリ ス1 電 : -80V リングレン 電 : -15 V ESI (37300) 各 ピークの 解 析 結 果 を 以 下 に 示 す 1.トリメチルアミン 2. 酢 酸 3.プロピオン 酸 4.フルフリルアルコール EI-020 TIC/RIC * 2.73 [%] 質 量 電 比 ( / ) 図 -3 ピーク1の 負 イオンESIスペクトル(イノシン) ESI- / か お し 2011/05/19 15:05:42 オリ ス1 電 : -80V リングレン ESI 電 : -15 V 10 3 (274100) 79 図 鰹 節 の 香 り 成 分 のトータルイオンクロマトグラム min 一 例 としてピーク1(トリメチルアミン)のスペクトルを 図 6に 示 す 分 子 量 は59であるが 水 素 が 脱 離 したフラグメントイオン58がベースピークとして 出 現 している 質 量 電 比 ( / ) 図 -4 ピーク2の 負 イオンESIスペクトル(リン 酸 ) EI-020 Mass Spectrum 480-k(474)[k=1.0] * 1.00 [%] GC/MS 分 析 削 り 取 った 鰹 節 をヘッドスペース 用 の 試 料 管 に 採 り 密 閉 後 にSPMEファ イバーを 刺 し 室 温 の 条 件 化 で30 分 間 吸 着 し 測 定 した カラムはメチルシ リコン 系 のZB-1 膜 厚 3μm 長 さ60mのものを 使 用 した 本 カラムは 炭 酸 ガスと 窒 素 ガスが 分 離 できる 能 力 を 持 ち 香 気 成 分 などの 低 沸 点 化 合 物 の 分 析 には 適 している 装 置 :JMS-700 高 性 能 二 重 収 束 質 量 分 析 計 (MStation) SPMEファイバー:75μm Carboxen TM PDMS(SUPELCO) カラム:ZB mmφ 60m 3μm カラム 温 度 :40 で5 分 保 持 10 /minで200 まで 昇 温 注 入 口 温 度 :200 スプリット 注 入 :1/15 流 量 :1.5mL/min イオン 化 室 温 度 :220 イオン 化 電 圧 :70eV イオン 化 電 流 :50μA イオンマルチ:1.5kV 図 -6 ピーク 1のスペクトル(トリメチルアミン) 42 まとめ 鰹 節 のうまみ 成 分 と 香 気 成 分 をLC/MSとGC/MSにより 評 価 した 濃 縮 や 夾 雑 成 分 などの 取 り 除 く 特 別 な 前 処 理 はしておらず 削 り 取 った 鰹 節 をそのまま 分 析 した その 結 果 目 的 としたうまみ 成 分 のイノシン 酸 やその 関 連 物 質 を 検 出 し ESIスペクトルから 帰 属 することができた 香 気 成 分 の 分 析 では 主 成 分 として 酢 酸 トリメチルアミンの 存 在 は 意 外 であった が 鰹 節 の 風 味 を 醸 し 出 していると 考 える m/z その 結 果 を 図 -5に 示 す それぞれのクロマトピークのスペクトルを 評 価 し NISTライブラリーから 検 索 して 解 析 した その 結 果 主 成 分 は 酢 酸 と トリメチルアミンであった 鰹 節 はかつおの 切 り 身 を 発 酵 させた 食 品 であ る トリメチルアミンは 魚 臭 の 成 分 であり 酢 酸 は 発 酵 過 程 で 生 成 するの で これらの 成 分 の 存 在 は 十 分 に 評 価 できる ANALYTICAL NEWS 7

8 SA 技 術 情 報 WDS WDS EDS 分 析 はじめに W D SとE D S は どちらもX 線 分 光 器 の 名 称 であり 波 長 分 散 型 X 線 分 光 器 (Wavelength Dispersive X-ray Spectrometer)とエネルギー 分 散 型 X 線 分 光 器 (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)のことです これらのX 線 分 光 器 を 使 用 して 電 子 線 照 射 によって 発 生 する 特 性 X 線 による 微 小 領 域 の 分 析 を 行 います なお WDSを 複 数 搭 載 した 装 置 をEPMA(Electron Probe Micro Analyzer) EDSを 搭 載 した 装 置 をSEM-EDSと 呼 ぶことが 多 い WDS EDSともに 一 般 に 原 子 番 号 5B( 4 Be*) 以 上 の 元 素 について 固 体 試 料 の 微 小 領 域 (μmオーダー)における 定 性 分 析 定 量 分 析 を 行 うことができます また 試 料 表 面 に 電 子 線 を 走 査 またはステージを 走 査 させながら 元 素 分 布 を 測 定 することが 可 能 な ので( 面 分 析 線 分 析 ) 品 質 管 理 から 材 料 研 究 の 分 野 まで 幅 広 い 用 途 に 用 いられて います WDS EDSはそれぞれ 特 徴 を 持 っていますので 両 者 の 概 要 について 説 明 し その 仕 組 みについて 解 説 します * 4 Be Kα 線 を 検 出 できる 分 光 素 子 が 必 要 * EDSではUTM(Ultra-Thin Window)で 4 Be 以 上 Be Window(Be Win.)で 11 Na 以 上 WDS EDSの 特 徴 EDSは 操 作 が 簡 便 で 全 元 素 範 囲 の 分 析 が 迅 速 に 行 えますが WDSではEDSに 比 べて 多 くの 分 析 条 件 の 設 定 が 必 要 であり 同 時 に 測 定 可 能 な 元 素 数 は 搭 載 した 分 光 器 数 に 依 存 します 一 方 WDSはエネルギー 分 解 能 が 優 れているため EDSに 比 べて X 線 の 重 なりが 比 較 的 少 ない 上 P/B 比 が 良 く 検 出 限 界 値 も 優 れています これらの 特 徴 を 表 1に 示 します 表 1.WDSとEDSの 特 徴 全 定 性 分 析 分 析 エネルギー 分 (Mn- ) / 比 WDS 3 分 ( 1) 分 の 数 10eV ( 3) EDS 30 分 ( 2) 全 140eV ( 3) 分 析 5 上 4 e 上 ( TW) 4 e 上 ( 分 子 ) 11 a 上 ( e Win.) 1 測 定 分 の 成 による 2 測 定 による 3 測 定 による 図 1に タービンブレードに 使 用 される 耐 熱 合 金 の 定 性 分 析 スペクトルを 示 します WDS は 分 光 結 晶 毎 ( 分 光 器 毎 )に 分 割 された 測 定 結 果 が 横 軸 を 波 長 または 波 長 と 比 例 す る 分 光 器 位 置 を 示 すL 値 ( 後 述 )として 複 数 のチャートにその 範 囲 のスペクトルとして 表 示 されます 一 方 EDSは 全 元 素 の 測 定 結 果 が 横 軸 エネルギー 値 のチャート1 枚 に 表 示 されます いずれも 結 果 として 同 定 されたピーク 位 置 に 元 素 記 号 が 表 示 されます WDS 分 析 は 分 析 箇 所 を 正 確 に 分 析 位 置 (ローランド 円 上 )に 移 動 する 必 要 がありま す 定 性 分 析 では 複 数 の 分 光 器 を 同 時 に 駆 動 して 全 元 素 範 囲 を 測 定 します 一 般 的 にEDSよりも 測 定 時 間 が 掛 かります 一 方 EDS 分 析 は 予 め 観 察 した 表 面 の 分 析 指 定 位 置 に 電 子 ビームを 照 射 し 全 元 素 範 囲 のスペクトルが 同 時 に 収 集 されるため 定 性 分 析 を 迅 速 に 行 うことができます しかしながら エネルギーが 近 接 するピークが 存 在 す る 場 合 EDSではエネルギー 分 解 能 が 悪 いために 複 数 のピークが 重 なり 合 ったスペクト ルとなりますが WDSでは 分 離 したピークとして 検 出 される 場 合 が 多 い Contents 図 2はタービンブレードのWDS EDSスペクトルを 1.6~2.0 kevのエネルギー 範 囲 にお いて 比 較 したものです EDSでは W Mα Mβ 線 が 分 離 できておらず またそのピーク の 裾 野 にY Lα 線 のピークが 重 なっていますが WDSでは 各 ピークが 分 離 されているこ とが 分 かります さらにEDSではP/B 比 が 悪 いために 微 量 のHfについても 検 出 されい るかどうかの 判 断 は 難 しい 結 果 となっています 次 に タービンブレードのマップ 分 析 例 を 図 3に 示 します 主 要 元 素 であり 分 布 境 界 の はっきりしている 元 素 ではWDSとEDSに 大 きな 違 いはないが( 例 :Cr) EDSでは 微 量 な 変 化 の 識 別 が 難 しい 場 合 もあります( 例 :Co) また 軽 元 素 の 感 度 とP/B 比 はWDSの 方 が 優 れているため 明 瞭 な 分 布 を 示 しています( 例 :C) さらに EDSではYのマップ がWと 同 様 の 分 布 となっています これは 図 2に 示 したように Y Lα 線 のピークがW M 線 のピークの 裾 野 と 重 なり かつYは 微 量 であるため Wの 影 響 で 本 来 とは 異 なる 分 布 が 得 られてしまった 結 果 と 言 えます 一 方 WDSではY Lα 線 はW Mβ 線 と 分 離 できて いるため このようなX 線 の 重 なりによる 誤 認 が 発 生 する 場 合 は 少 ない このように EDSのエネルギー 分 解 能 ではX 線 の 重 畳 が 問 題 となるケースも 多 いため WDSに 比 べて 結 果 の 解 釈 には 注 意 を 要 します WDS (kev) 図 2.WDSとEDSのスペクトル 比 較 EDS WDS EDS ( 加 速 電 圧 20 kv 照 射 電 流 1.5 na 測 定 時 間 3 min) ( 加 速 電 圧 20 kv 照 射 電 流 100 na 測 定 時 間 5 min) ( 加 速 電 圧 20 kv 照 射 電 流 100 na 測 定 時 間 1 h) ( 加 速 電 圧 20 kv 照 射 電 流 1.5 na 測 定 時 間 1 h) 図 3.WDSとEDSのマップ 分 析 結 果 8 ANALYTICAL NEWS 図 1.WDSとEDSの 定 性 スペクトル 例

9 EDSの 基 礎 のための 基 礎 知 識 その1 信 号 の 発 生 と 原 理 二 次 電 子 反 射 電 子 加 速 された 電 子 が 試 料 に 照 射 された 時 に 生 じる 散 乱 のモデルを 図 4に 示 します 電 子 は 試 料 内 部 で 主 に 弾 性 散 乱 によって 方 向 を 変 え 非 弾 性 散 乱 によってエネルギーを 失 いながら 試 料 中 に 拡 散 していきます この 散 乱 の 過 程 で 試 料 中 の 電 子 が 外 部 にたたき 出 され 二 次 電 子 が 発 生 します また 入 射 電 子 の 一 部 はエネルギーをほとんど 失 わず 後 方 に 弾 性 散 乱 され 反 射 電 子 となります 試 料 から 発 生 する 二 次 電 子 は 数 十 ev 以 下 と 低 エネルギーであるのに 対 し 反 射 電 子 は 高 エネルギー 領 域 に 分 布 します( 図 5) 特 性 X 線 X 線 は 波 ( 波 動 性 )としても 粒 子 ( 粒 子 性 )としても 取 り 扱 うことができます WDS 分 析 ではX 線 の 波 動 性 を 利 用 した 分 光 と 粒 子 性 を 利 用 したX 線 の 計 数 を 行 っており EDS 分 析 ではX 線 はエネルギーを 持 った 粒 子 として 取 り 扱 い 検 出 エネルギー 値 (kev)が 元 素 を 識 別 するために 使 用 されます 電 磁 波 の 一 覧 を 図 8に 示 します X 線 は 電 磁 波 の 一 種 です 可 視 光 線 の 波 長 が400~ 800 nmであるのに 対 し X 線 の 波 長 は0.001~10 nm 程 度 で EPMAで 扱 うX 線 はこ の 中 でも0.1 nm~10 nmの 波 長 範 囲 です 加 速 された 電 子 が 試 料 に 照 射 されると 試 料 中 の 原 子 との 衝 突 過 程 の 中 でX 線 が 発 生 します このX 線 は 元 素 固 有 の 波 長 (エネルギー)を 持 った 特 性 X 線 と 波 長 (エネル ギー)に 対 して 連 続 的 に 分 布 する 連 続 X 線 に 分 けることができ 特 性 X 線 の 波 長 やエネ ルギーを 測 定 することにより 試 料 に 含 まれる 元 素 を 知 ることができます 連 続 X 線 はバッ クグラウンドとして 処 理 されます 図 4. 試 料 中 での 電 子 の 散 乱 図 5. 電 子 のエネルギー 分 布 の 模 式 図 図 8. 電 磁 波 の 種 類 次 に 各 信 号 の 発 生 量 について 説 明 します 二 次 電 子 の 発 生 領 域 を 図 6に 示 します 試 料 から 発 生 する 二 次 電 子 のエネルギーは 極 めて 低 いため ごく 表 面 (~10 nm)から のみ 試 料 外 に 抜 け 出 すこができます そして その 量 は 主 に 電 子 線 と 試 料 表 面 のなす 角 度 に 依 存 します すなわち 電 子 線 と 試 料 面 が 平 行 になるほど 多 くなり 特 に 試 料 の エッジ 部 分 からの 発 生 量 は 多 くなります このエッジ 部 分 で 明 るいコントラストを 生 じる 効 果 はエッジ 効 果 と 呼 ばれ この 二 次 電 子 の 試 料 からの 発 生 は 光 の 反 射 散 乱 と 似 たと ころがあるため 特 に 形 態 観 察 に 適 していると 言 えます 一 方 反 射 電 子 の 発 生 量 は 試 料 の 原 子 番 号 に 依 存 し 構 成 元 素 の 原 子 番 号 が 大 きいほど 多 く 原 子 番 号 が 小 さいほ ど 少 なくなります( 図 7) すなわち 反 射 電 子 像 は 平 均 的 な 原 子 番 号 が 大 きい 箇 所 ほど 明 るく 小 さいほど 暗 く 表 示 され(Zコントラスト) これを 利 用 した 反 射 電 子 組 成 像 (COMPO)は 像 観 察 だけでなく 分 析 の 補 助 手 段 としても 有 用 です 特 性 X 線 の 発 生 モデルを 図 9に 示 します 高 エネルギーの 電 子 ( 一 次 電 子 )が 試 料 中 の 原 子 と 衝 突 すると 内 殻 側 の 軌 道 内 電 子 が 殻 外 に 弾 き 出 されます この 弾 き 出 された 電 子 は 二 次 電 子 となります 電 子 がはじき 出 され エネルギー 的 に 不 安 定 になった 原 子 は 安 定 な 状 態 に 戻 るために 殻 内 に 生 じた 空 孔 に 外 殻 の 軌 道 から 高 いエネルギーを 有 する 電 子 が 遷 移 します この 際 外 殻 と 内 殻 のエネルギー 準 位 差 分 の 余 剰 エネルギー をX 線 として 放 出 したものが 特 性 X 線 です この 特 性 X 線 の 波 長 やエネルギーは 元 素 毎 に 決 まっているため この 波 長 あるいはエネルギー 値 を 計 測 することで X 線 を 放 出 し た 元 素 を 特 定 することができます また この 特 性 X 線 には 名 前 がつけられており K 軌 道 への 遷 移 で 発 生 したX 線 はK 系 列 X 線 ( 通 称 K 線 )と 呼 ばれ Kα1 Kα2 Kβ1 等 があ り L 軌 道 への 遷 移 で 発 生 したX 線 はL 系 列 X 線 ( 通 称 L 線 )と 呼 ばれ Lα1 Lα2 Lβ1 等 があります( 図 10) n: 後 方 散 乱 系 数 (= 反 射 電 子 数 / 入 射 電 子 数 ) 入 射 電 子 連 続 X 線 n 特 性 X 線 原 子 番 号 (Z) 図 6. 二 次 電 子 発 生 領 域 図 7. 反 射 電 子 発 生 量 図 9. 特 性 X 線 の 発 生 図 10. 特 性 X 線 の 種 類 ( 一 部 ) ANALYTICAL NEWS 9

10 MS アプリケーションノート 高 エネルギー 衝 突 らせん 状 の 軌 道 を 有 する 飛 行 時 間 はじめに J M S-S3000 S p i r a l T O F は 17mのらせん 状 のイオン 軌 道 により MALDI 法 でイオン 化 した 試 料 を 高 分 解 能 かつ 高 質 量 精 度 で 測 定 する ことが 可 能 である 更 にTOF-TOFオプションを 装 着 することで 生 成 さ れたイオン 群 から 特 定 のm/z のイオンをプリサーサーイオンとして 選 択 し ガスと 衝 突 させて 生 じたプロダクトイオンを 観 測 することが 可 能 であ る その 衝 突 の 際 の 運 動 エネルギーが20keVと 高 いため 衝 突 誘 起 解 離 (CID)の 中 でも 高 エネルギーCIDと 呼 ばれる 現 象 が 起 き C-C 結 合 など の 比 較 的 高 いエネルギーの 結 合 を 開 裂 させることが 可 能 である 今 回 は この SpiralTOF を 用 いた 脂 質 の 解 析 例 を 紹 介 する 脂 質 は 生 体 内 で 生 体 膜 やエネルギー 貯 蔵 の 役 割 を 果 たし 脂 肪 酸 部 分 の 構 造 により 性 質 が 異 なる 核 磁 気 共 鳴 装 置 などの 測 定 でも 脂 肪 酸 部 分 の 不 飽 和 結 合 や 分 枝 の 存 在 を 確 認 することは 可 能 であるが それらの 位 置 を 同 定 することは 容 易 ではない しかし 高 エネルギーCIDでしばしば 見 られ るチャージリモートフラグメンテーション [1] 由 来 のシグナルを 観 測 すること で スペクトルから 不 飽 和 結 合 や 分 枝 の 位 置 を 直 接 同 定 することが 可 能 となる 本 報 告 では 脂 質 の 中 でもスペクトルが 比 較 的 シンプルとなる 単 純 な 脂 質 であるトリアシルグリセロール(TAG)を 試 料 とする 解 析 例 図 2にTAGの3つの 脂 肪 酸 が ステアリン 酸 となったトリステアリンのプロ ダクトイオンスペクトルを 示 す 高 質 量 域 のピークを 拡 大 すると14 間 隔 の ピークが 観 測 されている これは チャージリモートフラグメンテーション 由 来 のシグナルであり トリアシルグリセロールであればグリセリン 近 傍 にNa が 付 加 され チャージが 固 定 されることにより 観 測 される( 全 ての 測 定 で Naをカチオン 化 剤 として 試 料 に 加 えている) ステアリン 酸 は 単 結 合 で 炭 素 が 結 合 しているためにCH2に 相 当 する14 間 隔 のピークが 観 測 され ている 次 に 図 3にTAGの3つの 脂 肪 酸 が オレイン 酸 となったトリオレイ ンのプロダクトイオンスペクトルを 示 す オレイン 酸 は 単 結 合 で 結 合 した 炭 素 鎖 の 中 に 不 飽 和 結 合 が1つ 存 在 している 図 2と 図 3の 高 質 量 域 を 比 較 すると 図 3では14 間 隔 のピークが 観 測 されているのに 対 して 図 3 では14 間 隔 の 間 に54 間 隔 のピークが 観 測 されている この 間 隔 に 相 当 する 部 分 に 不 飽 和 結 合 が 存 在 し ピークのパターンから 直 接 不 飽 和 結 合 の 位 置 を 同 定 することが 可 能 となる [2] 図 1. JMS-S3000 SpiralTOF 参 考 文 献 [1]M. L. Gross, Int. J. Mass Spectrum. Ion Processes, 118/119, 137(1992) Charge-remote fragmentations: method, mechanism and applications [2]N. Akimoto, Journal of the Mass Spectrometry Society of Japan 46(1998)228 高 エネルギーCID-MS/MS 法 による 構 造 解 析 まとめ JMS-S3000 SpiralTOF で 測 定 を 行 うことで 高 エネルギーCIDでしば しば 観 測 されるチャージリモートフラグメンテーション 由 来 のシグナルが 観 測 され 今 回 示 した3つの 脂 肪 酸 が 同 じTAGだけでなく より 複 雑 な3つ の 脂 肪 酸 が 異 なるTAGやリン 脂 質 糖 脂 質 についても 構 造 解 析 を 行 うこ とが 可 能 となる 参 考 資 料 MS Tips No. 173 SpiralTOFを 用 いた 低 分 子 量 化 合 物 のMS/MS 測 定 例 MS Tips No. 178 "SpiralTOF" TOF-TOFオプションを 用 いたトリス テアリンの 解 析 例 MS Tips No. 182 "SpiralTOF" TOF-TOFオプションを 用 いたトリオ レインの 解 析 例 59th ASMS Conference on Mass Spectrometry and Allied Topics MP ANALYTICAL NEWS

11 誘 起 解 離 による 脂 質 の 構 造 解 析 型 質 量 分 析 計 JMS-S3000 MALDI-SpiralTOF 図 2. トリステアリンのプロダクトイオンスペクトル ( 上 段 : 全 体 下 段 : 高 質 量 域 ) 図 3. トリオレインのプロダクトイオンスペクトル ( 上 段 : 全 体 下 段 : 高 質 量 域 ) ANALYTICAL NEWS 11

12 INFORMATION 場 所 : 日 本 電 子 ( 株 ) 本 社 昭 島 製 作 所 日 本 電 子 ( 株 )データムソリューション 事 業 部 時 間 :9:30 17:00 電 子 光 学 機 器 計 測 検 査 機 器 分 析 機 器 装 置 コース 期 間 主 な 内 容 8 月 9 月 10 月 11 月 装 置 コース 期 間 主 な 内 容 8 月 9 月 10 月 11 月 基 T 本 E M 応 用 S 基 E 本 M E P M A 基 本 (1)TEM 操 作 の 基 礎 と 原 理 1 日 TEMに 携 わる 方 の 入 門 コース (2)1011 標 準 2 日 TEMの 基 礎 知 識 と 操 作 技 術 (3)1400 標 準 2 日 基 本 操 作 技 術 の 習 得 (4)2100F 標 準 3 日 基 本 操 作 講 習 (1) 生 物 試 料 固 定 包 埋 1 日 生 物 試 料 の 固 定 包 埋 法 と 実 習 (2)ウルトラミクロトーム (3)IS 試 料 作 製 (1)6700F FE-SEM 標 準 2 日 ミクロトームの 切 削 技 法 と 実 習 2 日 ISによる 各 種 薄 膜 試 料 作 製 3 日 FE-SEMの 基 本 操 作 (2)7000F TFE-SEM 標 準 3 日 TFE-SEMの 基 本 操 作 (3)6510/6610SEM 標 準 (4)LV-SEM 標 準 (5)EDS 分 析 標 準 (6)CP 試 料 作 製 * 3 日 JSM-6510/6610 SEM 基 本 操 作 1 日 LV-SEM 基 本 操 作 2 日 JED-2300EDS 基 本 操 作 2 日 CPによる 断 面 試 料 作 製 技 法 と 実 習 (1) 定 性 分 析 標 準 4 日 JXA-8000シリーズEPMA 基 本 操 作 (2) 定 量 分 析 標 準 2 日 JXA-8000シリーズ 定 量 分 析 基 本 操 作 (3)カラーマップ 標 準 2 日 JXA-8000シリーズ 広 域 マップ 基 本 操 作 / / * 全 く 新 しい 断 面 試 料 作 製 法 で 従 来 までの FIB 法 機 械 研 磨 法 よりも 精 度 の 高 い 断 面 が 簡 単 に 得 られます 定 期 講 習 にない 機 種 におきましては 出 張 講 習 を 行 ないます 上 記 コース 以 外 にも 特 別 コースを 設 定 することは 可 能 です 講 習 会 は 計 画 停 電 の 影 響 で やむを 得 ず 中 止 とさせていただく 場 合 があります 今 後 の 講 習 会 スケジュールに 関 しましては 弊 社 ホーム ページでご 確 認 頂 くようお 願 いいたします 講 習 会 のお 申 し 込 みは 日 本 電 子 ( 株 )データムソリューション 事 業 部 ホームページにての 受 付 をご 利 用 下 さい ホームページ 電 子 光 学 機 器 計 測 検 査 機 器 分 析 機 器 講 習 会 のお 問 い 合 わせは 日 本 電 子 ( 株 )データムソリューション 事 業 部 R&D 企 画 推 進 室 R&Dビジネスサポート 部 講 習 受 付 まで TEL FAX 基 本 N M R 応 用 M S このパンフレットは 大 豆 油 インキを 使 用 しています 基 本 応 用 (1)ECA/ECX/ECSシリーズ 3 日 1D/2Dの 1 H 13 Cの 基 本 操 作 (2)ECA/ECX/ECSシリーズ (Delta V5.0) 3 日 1D/2Dの 1 H 13 Cの 基 本 操 作 (3)NMRビギナーズ 2 日 NMR 装 置 の 基 礎 知 識 の 整 理 (1)NOESY(1D&2D) 1 日 NOE 測 定 知 識 の 整 理 と 確 認 (2)NOESY(1D&2D) 1 日 NOE 測 定 知 識 の 整 理 と 確 認 (Delta V5.0) (3)NMR 緩 和 時 間 測 定 1 日 緩 和 時 間 測 定 と 注 意 点 (4)NMR 緩 和 時 間 測 定 1 日 緩 和 時 間 測 定 と 注 意 点 (Delta V5.0) (5) 固 体 NMR(Delta) 2 日 固 体 NMR 測 定 基 本 操 作 (6) 固 体 NMR(Delta) 2 日 固 体 NMR 測 定 基 本 操 作 (Delta V5.0) (7)DOSY(Delta) 1 日 DOSY 測 定 と 注 意 点 (8)DOSY(Delta) 1 日 DOSY 測 定 と 注 意 点 (Delta V5.0) (9)qNMR(Delta) 1 日 qnmrの 概 要 測 定 操 作 (10) 多 核 NMR 測 定 2 日 多 核 測 定 のための 知 識 と 基 本 操 作 (11) 多 核 NMR 測 定 (Delta V5.0) (12)No-D NMR 2 日 多 核 測 定 のための 知 識 と 基 本 操 作 1 日 No-D NMRの 概 要 測 定 操 作 (1)T100LC/CS/LP 基 本 2 日 T100LPシリーズの 基 礎 解 説 と 基 本 操 作 (2)T100GC 基 本 (WinXP) 2 日 T100GCの 基 礎 解 説 と 基 本 操 作 (WinXP) (3)T100GC 基 本 (Win7) 2 日 T100GCの 基 礎 解 説 と 基 本 操 作 (Win7) (4)Q1000GCMkⅡ 基 本 2 日 MSの 基 礎 解 説 と 定 性 定 量 測 定 (5)Q1000GC(K9) 基 本 (6)MStation 基 礎 (7)GC/MSビギナーズ 2 日 MSの 基 礎 とK9の 定 性 定 量 測 定 3 日 MS700の 基 礎 解 説 と 低 分 解 能 測 定 1 日 GC/MSの 基 礎 知 識 (1)T100GC(FD)(WinXP) 1 日 T100GC FDの 基 礎 解 説 と 基 本 操 作 (2)MS700/800 定 量 (3)MS-700 精 密 質 量 測 定 (4)Q1000GC MKⅡCI/DI 3 日 MSの 基 礎 的 なSIM 測 定 1 日 EI/FABの 精 密 質 量 測 定 1 日 化 学 イオン 化 法 および 直 接 導 入 による 測 定 (5)Q1000GCMkⅡ 定 量 応 用 1 日 Escrimeの 応 用 操 作 (6)Escrime 基 礎 (7)Escrime 応 用 (8)ヘッドスペースStrap 1 日 Escrimeの 基 本 操 作 1 日 Escrimeの 応 用 操 作 1 日 H.S. 法 によるVOC 分 析 qnmr(delta) コースを 新 設 しました 定 量 的 NMR 測 定 の 解 説 と 実 習 を 行 います GC/MS ビギナーズコース と NMR ビギナーズコース では 装 置 に 関 する 基 礎 知 識 の 解 説 を 行 います 操 作 実 習 は 行 いません NMR 応 用 コースは ECA/ECX/ECS シリーズ(Delta) 対 象 です その 他 の 装 置 の 基 本 と 応 用 コースに ついては 別 途 お 問 い 合 わせください 各 コースの 詳 細 については ホームページをご 参 照 ください ANALYTICAL NEWS 2011 年 7 月 発 行 No. 088 編 集 発 行 / 日 本 電 子 ( 株 )データムソリューション 事 業 部 ご 意 見 ご 質 問 お 問 合 わせ 日 本 電 子 ( 株 ) 営 業 戦 略 本 部 営 業 企 画 室 sales@jeol.co.jp FAX No. 0201H147C (Kp)

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