KMPDC0178JB 228
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- てるえ たかはし
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1 X線検出器 第 9章 1 Siフォトダイオード 2 Siフォトダイオードアレイ 構造 特長 応用例 新たな取り組み 3 CCDエリアイメージセンサ ダイレクト式CCDエリアイメージセンサ シンチレータ式CCDエリアイメージセンサ 使い方 応用例 章 9 線検出器 X 4 CMOSエリアイメージセンサ 特長 構造 使い方 応用例 5 フラットパネルセンサ 特長 構造 動作原理 特性 使い方 応用例 227
2 KMPDC0178JB 228
3 1. KSPDC0003JD KPDC0037JA 229
4 2. KSPDB0018JA
5 KSPDB0330JB KPDB0023JB KSPDB0331JB
6 KPDC0038JA 232
7
8 KMPDB0236JA KMPDC0295JA KMPDB0154JA
9 KMPDB0297JA KMPDB0293JA 3-3 KMPDB0299JA KMPDB0298JA 235
10 236 KMPDA0251JA
11
12 4. KMPDC0308JA KMPDC0307JB 4-1 KMPDC0309JB 238
13 DQE = (SNROUT)2 (SNRIN) 2... (1) DQE = MTF 2 Φ WS... (2) MTF : Modulation Transfer Function Φ : X WS : (Wiener spectrum) 4-2 KMPDB0387JA KMPDB0388JA KMPDB0386JA KMPDC0310JB 239
14
15 V(t) = G Q(t) = G I(t) t1 = G I(t) 1/Sf... (1) G : Q(t) : I(t) : t1 : Sf : KACCC0224JA KACCC0308JA 241
16 242 KACCC0270JB KACCC0271JB 5-3 KACCC0386JB
17 KACCC0225JB KACCB0062JB 5-4 KACCB0063JB ID = K/G [C/s]... (2) K : G : 243
18 2 V Ct Kf Ct tot(rms) = k T β1 + β2... (3) gm Cf Cox 2 W L Cf 3 ( ) ( ) 2 Ct 8 1 Kf Vtot(rms) = k T β1 + β2... (4) Cf 3 gm Cox 2 W L Ct = Cp + Cf + Cd... (5) Vtot : T : gm : β1, β2: Kf : 1/f Cox : W : W L : L KACCB0064JA VWO - VBO CTF = 100 [%]... (6) VW - VB KACCB0065JA VWO : VBO : VW : VB : 244 KMPDC0070JA
19 KACCB0193JA 5-5 KACCC0642JA KACCC0341JD 245
20 Tprdy = Tvd + Tvc - Tvdpw... (7) Tvdpw: Vsync+ Low 5-6 = D1... (8) D2 D1: X D2: X KACCC0460JA 246
21 KACCC0245JB KACCC0462JA KACCC0461JA 247
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Siフォトダイオード 第 2章 1 Siフォトダイオード 章 1-1 動作原理 1-2 等価回路 1-3 電流ー電圧特性 1-4 直線性 1-5 分光感度特性 1-6 ノイズ特性 1-7 感度均一性 1-8 応答速度 1-9 オペアンプとの接続 1-10 応用回路例 2 フォトダイオード S i 2 PSD 位置検出素子 2-1 2-2 2-3 2-4 2-5 2-6 2-7 特長 構造 動作原理
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16 素子 Si フォトダイオードアレイ S12362/S12363 シリーズ X 線非破壊検査用の裏面入射型フォトダイオードアレイ ( 素子間ピッチ : mm) 裏面入射型構造を採用した X 線非破壊検査用の 16 素子 Si フォトダイオードアレイです 裏面入射型フォトダイオードアレ イは 入射面側にボンディングワイヤと受光部がないため取り扱いが容易で ワイヤへのダメージを気にすることなくシ ンチレータを実装することができます
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1 2 3 4 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12-5.0-5.1-1.4 4.2 8.6 12.4 16.9 19.5 16.6 10.8 3.3-2.0 6.6 16.6 16.6 18.6 21.3 23.8 26.6 28.5 28.2 27.2 24.9 21.7 18.4 22.7 5 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 2.2 3.5 7.7 11.1
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10 1 575 10 12 586 B B 10 1 575 10 2 576 B B 10 4 578 10 5 579 10 3 577 B 10 6 580 B B B 10 7 581 10 8 582 10 9 583 B B 10 11 585 10 12 586 B 10 10 584 B 11 1 587 11 12 598 B B 11 1 587 11 2 588 11 3 589
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2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 1 1 1 1 5 1 6 533 4 505 722 13 3325 475 1 2 3 13 10 31 1 1 1 (1) 1 (2) 2 (3) 3 (4) 4 5 5 6 7 8 8 8 9 11 11 12 13 14 15 16 19 (1) (2) (3) (1) (5 ) 1 (10 ) ( ) (2) 2 4 (3) 3 3,100
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27 29 2 IT 1,234 1,447 2,130 1,200 3,043 4 3 75 75 70-74 -10 J00 J101 J110 J111 J118 J300 J302-304 J301 26,475,118 155,290,311 1,234 14,472,130 75,784,748 12,003,043 79,505,563 1 1.00% 0.62% 1.31% 9 12
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2006 5 642 7 2,671 35 732 1,727 602 489 386 74 373 533 305 1,210 9,786 2004 1,024 43.7 16.4 2004 978.6 40.2 2003 1 2006 5 1997 1998 1999 774 3,492 11 2,603 35 843 5,118 1,686 476 358 2000 738 3,534 11
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1914 11 1897 99 16 41 17 22 12 10 11 10 18 11 2618 12 22 28 15 1912 13 191516 2,930 1914 5,100 43 1.25 11 14 25 34364511 7.54 191420 434849 72 191536 1739 17 1918 1915 60 1913 70 10 10 10 99.5 1898 19034.17.6
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1. (1) 2. 2 (1) 4. (1) 5. (1) 6. (1) 7. (1) 8. (1) 9. (1) 10. (1) 11. (1) 12. (1) 13. (1) 14. (1) 15. (1) (3) 16. (1) 1 17. (1) 18. (1) 19. (1) 20. (1) 21. (1) (3) 22. (1) (3) 23. (1) (3) 24. 1 (1) (3)
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