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1 X線検出器 第 9章 1 Siフォトダイオード 2 Siフォトダイオードアレイ 構造 特長 応用例 新たな取り組み 3 CCDエリアイメージセンサ ダイレクト式CCDエリアイメージセンサ シンチレータ式CCDエリアイメージセンサ 使い方 応用例 章 9 線検出器 X 4 CMOSエリアイメージセンサ 特長 構造 使い方 応用例 5 フラットパネルセンサ 特長 構造 動作原理 特性 使い方 応用例 227

2 KMPDC0178JB 228

3 1. KSPDC0003JD KPDC0037JA 229

4 2. KSPDB0018JA

5 KSPDB0330JB KPDB0023JB KSPDB0331JB

6 KPDC0038JA 232

7

8 KMPDB0236JA KMPDC0295JA KMPDB0154JA

9 KMPDB0297JA KMPDB0293JA 3-3 KMPDB0299JA KMPDB0298JA 235

10 236 KMPDA0251JA

11

12 4. KMPDC0308JA KMPDC0307JB 4-1 KMPDC0309JB 238

13 DQE = (SNROUT)2 (SNRIN) 2... (1) DQE = MTF 2 Φ WS... (2) MTF : Modulation Transfer Function Φ : X WS : (Wiener spectrum) 4-2 KMPDB0387JA KMPDB0388JA KMPDB0386JA KMPDC0310JB 239

14

15 V(t) = G Q(t) = G I(t) t1 = G I(t) 1/Sf... (1) G : Q(t) : I(t) : t1 : Sf : KACCC0224JA KACCC0308JA 241

16 242 KACCC0270JB KACCC0271JB 5-3 KACCC0386JB

17 KACCC0225JB KACCB0062JB 5-4 KACCB0063JB ID = K/G [C/s]... (2) K : G : 243

18 2 V Ct Kf Ct tot(rms) = k T β1 + β2... (3) gm Cf Cox 2 W L Cf 3 ( ) ( ) 2 Ct 8 1 Kf Vtot(rms) = k T β1 + β2... (4) Cf 3 gm Cox 2 W L Ct = Cp + Cf + Cd... (5) Vtot : T : gm : β1, β2: Kf : 1/f Cox : W : W L : L KACCB0064JA VWO - VBO CTF = 100 [%]... (6) VW - VB KACCB0065JA VWO : VBO : VW : VB : 244 KMPDC0070JA

19 KACCB0193JA 5-5 KACCC0642JA KACCC0341JD 245

20 Tprdy = Tvd + Tvc - Tvdpw... (7) Tvdpw: Vsync+ Low 5-6 = D1... (8) D2 D1: X D2: X KACCC0460JA 246

21 KACCC0245JB KACCC0462JA KACCC0461JA 247

24

24 Siフォトダイオード 第 2章 1 Siフォトダイオード 章 1-1 動作原理 1-2 等価回路 1-3 電流ー電圧特性 1-4 直線性 1-5 分光感度特性 1-6 ノイズ特性 1-7 感度均一性 1-8 応答速度 1-9 オペアンプとの接続 1-10 応用回路例 2 フォトダイオード S i 2 PSD 位置検出素子 2-1 2-2 2-3 2-4 2-5 2-6 2-7 特長 構造 動作原理

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