RELM 高精度リニアスケールデータシート

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まいえくだら
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L-9517-9222-05-C RELM 高精度リニアスケール RELM ZeroMet スケールは熱膨張率がほとんどゼロの素材から製造されているため広範な温度範囲で高い精度を維持することができます RELM スケールは機械式クリップ / クランプか両面テープで機械に直接固定することができ位相調整が自動で早く行える IN-TRAC オプティカル ( 光学式 )

1 L C RELM 高精度リニアスケール RELM ZeroMet スケールは熱膨張率がほとんどゼロの素材から製造されているため広範な温度範囲で高い精度を維持することができます RELM スケールは機械式クリップ / クランプか両面テープで機械に直接固定することができ位相調整が自動で早く行える IN-TRAC オプティカル ( 光学式 ) リファレンスマークを使用することもできます 20 µm ピッチの RELM スケールはレニショーの VIONiC TONiC SiGNUM シリーズと組み合わせて使用できその性能はファインピッチのスケールを用いたエンコーダシステムと同程度です高精度 1 m 以下の長さでの精度等級は ±1 µm ( 国際規格に沿って較正 ) 堅牢性に優れた ZeroMet は 0.75 ±0.35 µm/m/ 20 C と低い熱膨張率を持つだけでなく取り扱いと取り付けも簡単スケールは両面テープまたはクリップ / クランプにより固定可能 IN-TRAC 両方向自動位相オプティカルリファレンスマークデュアルリミットにより測定軸両末端を検出

仕様スケール形状 1.6 mm 14.9 mm( 高幅 ) スケール長 (L) 80 mm ~ 1.

5 m ML = L - mm ML = L -20 mm ML = L -22.5 mm 精度長さ 1 m 以下で ±1 µm 長さ 1 m から 1.

35 µm/m/ C @20 C 取付方法エポキシ基準点と両面テープまたはデータムクランプと取り付けクリップ全スケールに両面テープ ( 公称厚 0.

仕様の温度と速度範囲において分解能単位までの繰返し精度を実現取り付けや固定方式オプションについて詳しくは RELM 取り付けガイド (M-6195-9235 M-9572-9113 M-9653-9228)` を参照してくださいこれについては www.renishaw.

jp からダウンロードできます VIONiC VIONiCplus TONiC SiGNUM リードヘッドで使用可能 u オプティカルフィルター機構と自動ゲインコントロールにより高い信頼性と確実なリサジュー信号を取得 u

2 仕様スケール形状 1.6 mm 14.9 mm( 高幅 ) スケール長 (L) 80 mm ~ 1.5 m ( mm 単位の長さをご用意 ) 測定長 (ML) 最大長 L 測定長 ML (mm) - リミットなし測定長 ML (mm) VIONiC と TONiC - デュアルリミット mm SiGNUM - デュアルリミット mm 1.5 m ML = L - mm ML = L -20 mm ML = L mm 精度長さ 1 m 以下で ±1 µm 長さ 1 m から 1.5 m で ±1 µm/m を保証較正は国際基準に対してトレーサブルです材質安定性が高い低熱膨張率のニッケルと鉄の合金熱膨張係数 0.75 ±0.35 µm/m/ C 取付方法エポキシ基準点と両面テープまたはデータムクランプと取り付けクリップ全スケールに両面テープ ( 公称厚 0.2 mm) を付属 ) 質量 184 g/m リファレンスマークタイプ IN-TRAC オプティカルリファレンスマーク位置 RELM スケールの中心 RELE スケールの端から 20 mm 位相調整キャリブレーション ( 較正 ) 作業により自動で早く調整可能繰返し精度仕様の温度と速度範囲において分解能単位までの繰返し精度を実現取り付けや固定方式オプションについて詳しくは RELM 取り付けガイド (M M M )` を参照してくださいこれについてはまたはからダウンロードできます VIONiC VIONiCplus TONiC SiGNUM リードヘッドで使用可能 u オプティカルフィルター機構と自動ゲインコントロールにより高い信頼性と確実なリサジュー信号を取得 u ダイナミック信号制御により非常に低いサブディビジョナルエラー (SDE) を確保結果 : よりスムーズなスキャニング性能 u 高い S/N 比によりジッタを抑え位置決め安定性を最適化 u IN-TRAC リファレンスマークにより位相調整を自動化 u 業界標準の 1 Vpp アナログ信号出力および RS422 デジタル信号出力が可能 u クロック出力により業界標準の様々なコントローラで全ての分解能で速度性能を最適化 VIONiC VIONiCplus TONiC SiGNUM 出力リードヘッドから分解能 5 µm ~ 20 nm のデジタル信号を出力リードヘッドから分解能 0.1 µm ~ 2.5 nm のデジタル信号を出力アナログ 1 Vpp のみ Ti TD DOP インターフェースとの接続時に 5 μm ~ 1nm の RS422 デジタル信号を出力 SiGNUM インターフェース使用時の出力 : 1 Vpp アナログ 5 µm ~ 5 nm の RS422 デジタル信号を出力 FANUC シリアル SDE ( 平均 ) <±30 nm <± nm ±30 nm ±30 nm ジッタ ( RMS) 1.6 nm まで 1.6 nm まで 0.5 nm まで 7.5 nm まで最高速度 12 m/s 12 m/s m/s 12.5 m/s 2

3 TONiC と併用する場合のスケールの取り付け ( 接着式取り付けを表示 ) 詳細については VIONiC TONiC SiGNUM の RSLM/RELM 取り付けガイドを参照してください別のリファレンスマークの位置 (RELE) ダウエルピン 20 ±0.25 L/2 ± ±0.15 オプティカルセンターライン ( インクリメンタルおよびリファレンスマーク ) 注 : 接着取り付けのスケールは取り付け後に再利用しないでください /50 F = 移動軸 F データムエッジ 6 ± ±0.2 L 1.7 ±0.1 測定長, ML = (L-25) mm リミットの場合 17.5 ML = (L-) リミットなし 5 リミットセンサーの位置 RGG-2 2 液混合タイプのエポキシ接着剤両面テープ = エポキシ接着剤の塗布領域は通常 IN-TRAC リファレンスマークと一致します = スケール長に関らず取り付け用両面テープが付属していますスケールを垂直に取り付ける場合はデータムエッジをサポートするようにダウエルを配置してください 3

4 SiGNUM と併用する場合のスケールの取り付け ( クリップ / クランプ式取り付けを表示 ) 詳細については SiGNUM VIONiC TONiC の RSLM/RELM 取り付けガイドを参照してください RELM ( 中央リファレンスマーク ) L/2 ± 取り付けクリップ RELE ( 端リファレンスマーク ) ±0.25 取り付けクリップ (A ) 1.5 mm 六角ソケットの専用 M3 小型ネジ (A パック 25 本 ) 1.8 ( クリップの高さ ) 23 ± 全ての固定穴 ( 最低深さ 6 mm) に対しザグリ ( 直径 3.2 mm 深さ 1 mm ~ 1.5 mm) が必要 L /50 F = 移動軸データムクランプ ( 注参照 ) データムクランプ (A ) 1.9 ( クランプの高さ ) 1.5 mm 六角ソケットの専用 M3 小型ネジ (A パック 25 本 ) 8 ± ±0.25 スケールのセンターライン全ての固定穴 ( 最低深さ 6 mm) に対しザグリ ( 直径 3.2 mm 深さ 1 mm ~ 1.5 mm) が必要 F データムエッジ 14.9 ±0.2 6 注 : データムクランプは通常 IN-TRAC リファレンスマークと一致しますただし位置はアプリケーションに応じてユーザーが選択できます長さ 80 mm 以上で 190 mm 未満の場合スケールの両端だけでなくその間でも固定して下さいリミットとリファレンスマーク選択については別の項目をご覧ください最適な性能を得るためにリードヘッドを設計最適位置に取り付けてくださいリードヘッド及び取り付けブラケットとクリップ及びデータムクランプの間に十分な間隔をあけるよう注意して下さいクリップとクランプの固定には付属の専用ネジのみを使用して下さい必要に応じてスペアもお求めいただけます 4

5 VIONiC リードヘッドの取り付け図オプティカルセンターライン ( インクリメンタルおよびリファレンスマーク ) スケールを固定しリードヘッドを動かした際のカウント増加方向リファレンスマークセレクター (A ) ( 寸法は P リミットの磁石と同じ ) 15 ± ヨー公差 : ±0.4 (VIONiC と VIONiCplus) ±0.125 (VIONiCplus のみ ) = 0.25 ( ロール公差 ±0.5 ) * ±0.2 取り付け面 13.5 P リミットの磁石 (A ) P リミットの公称トリガーポイント (±3) ±0.5 Q リミットの磁石 (A ) ( 寸法は P リミットの磁石と同じ ) Q リミットの公称トリガーポイント (±3) リファレンスマークセレクターセンサーの位置最低 6 P と Q リミットスイッチセンサーの位置セットアップ LED 12.1 R>30 動的曲げ半径 R> 静的曲げ半径 35 M2.5 取付通し穴 2 ヶ所両側に Ø3 深さ 2.3 のザグリ Ø4.25 ± ピッチ公差 : ±1 (VIONiC と VIONiCplus) ±0.5 (VIONiCplus のみ ) = オプティカルセンターラインマーカー取り付け高さ : 2.1 ±0.15 (VIONiC と VIONiCplus) 2.1 ±0.05 (VIONiCplus のみ ) = 1.6 ( クリップ / クランプ固定 ) 1.8 ( 接着固定 ) * 取り付け面 = 最適なサブディビジョナルエラー (SDE) を確保するための推奨アライメント公差詳細については VIONiC シリーズエンコーダシステムのデータシート (L ) を参照してください 5

6 TONiC リードヘッドの取り付け図 ( ヨー公差 ±0.4 ) P と Q リミットスイッチセンサーの位置スケールセンターラインとオプティカルセンターライン ( ロール公差 ±0.5 ) 上面の取り付け面 * 14.9 ± * P リミットの磁石 (A ) スケールを固定しリードヘッドを動かした際の信号増加方向 15 最低 M2.5 の通し穴 2 ヶ所上面の取り付け面から Ø3 深さ 2.75 のザグリオプティカルセンターライン ( インクリメンタルおよびリファレンスマーク ) セットアップ LED Q リミットの磁石 (A ) 推奨取り付け面 R>20 動的曲げ半径 R> 静的曲げ半径 CAL/AGC LED M2.5 取付通し穴 2 ヶ所両側に Ø3 深さ 2.3 のザグリ Ø4.25 ±0.25 ( ピッチ公差 ±1 ) 取付高さ 2.1 ± ( クリップ / クランプ固定 ) 1.8 ( 接着固定 ) * 取り付け面 TONiC リードヘッドの詳しい取り付け手順については TONiC T1x RSLM/RELM 取り付けガイド ( M ) を参照してください 6

7 SiGNUM リードヘッドの取り付け図 ( ヨー公差 ±0.4 ) ± 最低 * 取り付けた基材の表面が基準推奨最小捻じ込み長さ 5 mm ( ザグリ含み 8 mm) 推奨締め付けトルク 0.5 ~ 1.0 Nm SiGNUM リードヘッドの詳しい取り付け手順については SiGNUM RSLM/RELM 取り付けガイド ( M ) を参照してください = 14 固定通し穴 (M3 深さ 6) 2 ヶ所 M3 固定通し穴 2 ヶ所両側に深さ 3 のザグリ = ( ピッチ公差 ±0.5 ) 0.32 Ø4.7 ± R>20 動的曲げ半径 R> 静的曲げ半径 ( ロール公差 ±0.5 ) ( クリップ / クランプ固定 ) 1.8 ( 接着固定 ) 8 ±0.25 スケールセンターラインとオプティカルセンターラインオプティカルセンターライン ( インクリメンタルおよびリファレンスマーク ) セットアップ LED 平均 6* 取付高さ 0.8 ±0.08 リミットセンサーの位置 7

8 スケール上のリミット VIONiC および TONiC システム (TONiC を図示 ) P リミット ( mm, A ) Q リミット ( mm, A ) リミットの磁石は長さ mm 20 mm 50 mm のものをご利用いただくことができバックプレートに両面テープを付けてお届けします注 : リミットを使用すると測定長の表 (2 ページ ) に示したように測定長に影響が出ます SiGNUM システム P リミット Q リミットバッキングペーパーに貼り付けられた状態のリミットマーカーをペアとして長さ mm 20 mm 50 mm で提供しております (A ). 注 : リミットを使用すると測定長の表 (2 ページ ) に示したように測定長に影響が出ます注 : Si インターフェースはリミットが機能する物を選定頂く必要がありますリファレンスマークの位置外部検出器や物理的調整は不要です RELM: IN-TRAC リファレンスマークをスケールの中心に配置 RELE: IN-TRAC リファレンスマークをスケールの端から 20 mm に配置注 :VIONiC または TONiC システムを使用する場合にはすべてのリファレンスマークを出力できるようにリードヘッドをご注文いただく必要がありますアクチュエータの磁石は不要です 8

レニショー株式会社 160-0004 東京都新宿区四谷 4-29-8 レニショービル T 03-5366-5318 F 03-5366-5329 名古屋支社 461-0005 愛知県名古屋市東区東桜 1-4-3 大信ビル 4 階 T 052-961-2430 F

使用可能な長さ変更可能な単位長さ発注方法 A-9660-xxxx 80 mm ~ 1500 mm mm xxxx は mm 単位の長さです例えば A-9660-0450 は 450 mm の長さになります RELE 1 つの IN-TRAC

使用可能な長さ変更可能な単位長さ発注方法 A-9661-xxxx 80 mm ~ 1500 mm mm xxxx は mm 単位の長さです例えば A-9661-0450 は 450 mm の長さになります RELM/RELE に使用できるリードヘッド RELM/RELE

インストレーションガイド M-6195-9235 データシート L- 9517-9681 世界各国でのレニショーネットワークについては弊社の Web サイトをご覧下さい www.renishaw.

9 レニショー株式会社東京都新宿区四谷レニショービル T F 名古屋支社愛知県名古屋市東区東桜大信ビル 4 階 T F E japan@renishaw.com スケールのパーツ No. RELM 1 つの IN-TRAC リファレンスマークをスケール中央に配置した 20 µm ピッチの ZeroMet スケールパーツ No. 使用可能な長さ変更可能な単位長さ発注方法 A-9660-xxxx 80 mm ~ 1500 mm mm xxxx は mm 単位の長さです例えば A は 450 mm の長さになります RELE 1 つの IN-TRAC リファレンスマークをスケールの端から 20 mm に配置した 20 µm ピッチの ZeroMet スケールパーツ No. 使用可能な長さ変更可能な単位長さ発注方法 A-9661-xxxx 80 mm ~ 1500 mm mm xxxx は mm 単位の長さです例えば A は 450 mm の長さになります RELM/RELE に使用できるリードヘッド RELM/RELE TONiC RSLM/RELM インストレーションガイド M データシート L SiGNUM RSLM/RELM インストレーションガイド M データシート L VIONiC RSLM/RELM インストレーションガイド M データシート L 世界各国でのレニショーネットワークについては弊社の Web サイトをご覧下さいレニショーでは本書作成にあたり細心の注意を払っておりますが誤記等により発生するいかなる損害の責任を負うものではありません RENISHAW および Renishaw ロゴに使用されているプローブシンボルは英国およびその他の国における Renishaw plc の登録商標です apply innovation とその他のレニショー製品および技術の名称や呼称は Renishaw plc またはレニショー子会社の登録商標です Renishaw plc 2017 年 07 月内容は予告無く変更される場合があります *L *

RTLC システムの特長 µm Error (µm) Error plot Position mm (mm) 3400mm RTLC ±6.2µm 高精度 RTLC と RT

RTLC システムの特長 µm Error (µm) Error plot Position mm (mm) 3400mm RTLC ±6.2µm 高精度 RTLC と RT L-9517-9483-04-A RTLC 高精度インクリメンタルリニアスケールレニショーの RTLC リニアエンコーダテープスケールは ±5µm/m の精度を誇り硬化ステンレススチール製による頑丈さを兼ね備えていますテープスケールは両面テープを裏面に貼り付けた RTLC-S とレニショーの革新的な FASTRACK トラックシステムに組み込んで使用する RTLC という 2 種類のスケールを用意しています

RELM 高精度リニアスケール データシート

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