TX M - / T TX M - 20 / T X Y TXMTX

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1 高精密位置決めテーブル TX TX M Points スライドテーブル スライドテー 転がり案内方式で究極の高精度テーブル ボールねじ 1 2 高精度 高剛性な精密位置決めテーブルHをベースに 究極の転がり案内CルーブリニアローラウェイスーパーXを 組み込み 各部精度を徹底的に追求し エアステージに迫る位置決め精度を実現した位置決めテーブルです リニアローラウェイ リニアエンコーダ 分解能0.016μmの超高精度リニアエンコーダから 位置情報をダイレクトにフィードバックすることにより ヘッド スケール フルクローズドループ制御を構成し ストローク全域の 位置決め精度を保証しています ローラタイプ直動案内機器の採用で 究極の走行性能を実現 3 高精度に加工 組付けされた構成部品と 転がり案内で 最高レベルの走行性能を発揮するCルーブリニアロー ラウェイスーパーXを組み合わせているので 究極の 走行精度が得られます Yテーブル ベッド TX M シンプルなシステム構成が可能 エアステージのように駆動用のエア供給装置などは不要なので システム構成がシンプルとなり 省スペースや装置 コストの削減が可能です バリエーション Xテーブル 形状 主な製品仕様 精 度 ストローク長さ 形式と大きさ テーブル幅寸法 単位 駆動 精密ボールねじ 繰返し位置決め精度 ± 直動案内機器 リニアローラウェイ ローラタイプ 位置決め精度 潤滑部品の内蔵 潤滑部品 Cルーブ 内蔵 ロストモーション テーブル ベッドの材質 鋳鉄 テーブル運動の平行度 センサ 標準装備 テーブル運動の平行度B 姿勢精度 11 秒 真直度 バックラッシ Ⅱ Ⅱ 16 TX M TX M 超高精度リニアエンコーダの搭載により 高い位置決め精度と分解能を実現 リミットセンサ

2 TX M - / T TX M - 20 / T X Y TXMTX TXMTX 2 2 cmxy 3 XY XY Y TXMTXM

3 W SGMV T01 SGMV T02 - SGMV-06 0 T03 SGMV T0 HF-KP T01 60 J3 HF-KP3 00 T02 T03 HF-KP T0 MSME T0 60 MINS MSME0 00 T06 T07 MSME T08 R66 T09 60 R69 T09 R98 T11 T12 8 R911 T11 T12 S66 T 60 S69 T S98 T11 T12 8 S911 T11 T12 RK6 60 T RK RK9 8 T11 T12 X Y XY TXMTXM J - m 2 T01 R T02 R T03 R T0 R T0 R T06 R T07 R T08 R T09 R T R T11 R T12 R

4 6 /s m/pulse JZDP-D E IP81 IP81R / 8-6 m/m 1 Vpp/m 1 m/s /s m/pulse PE371TT PE371TT /s m/pulse PE371TT PE371TT IP81 IP81 JZDP-D E 1/26 khz PE371TT0 PE371TT W H TXMTXM 9 min -1 /s H

5 1 /2 / N 1 0 N /2 Y Z /2 1 3 N 0 N X X Z Y d Z d Y d Y Z d J T - m XY J - m 2 T S Nm TXMTXM 13 1

6 M PD M PD7090 W W T T M8 PD M8 PD B ON T T06 1 S/2 1 ON G OFF S/2 1 OFF W T09 T M T M6 8 TXMTXM OFF W 1 E B E F G 3 / / / / F T03 T M PD M8 PD M6 8 T0 T M612 PD M PD9090 T

7 TX 13 -M 90 -M 3.2 -M M n-m n-m 1 90 TXMTXM 1 S/2 S/ S/2 13 S/ S B n T01T0 B 12. B S n

8 TX -M20 -M M20 -M M n-m TXMTXM 1 S/2 20 S/2 1 1 S/2 320 S/ S S n

9 TX Y M n-m 1 Y 180 -M TXMTXM n-m8 -M -M X X 1 S X Y X Y n T01T0 S X Y X Y n

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untitled 精密位置決めテーブル Points スライドテーブルは 高精度 高剛性な一体構造 新発想のU字形トラックレールを採用 コンパクトでスリムな位置決めテーブル スライドテーブルは直動案内機器と一体構造 大径の 鋼球が条列にバランス良く配置され軌道と点で接触 する構造のため 変動荷重や複合荷重が作用する用途 1 した コンパクトでスリムな位置決めテーブルです U字形トラックレールの採用で モーメントやねじりに

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