最速 4 秒で 3 次元形状を測定 NEW ワンショット 3D 形状測定機 VR-3000 シリーズ

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こごろうこやぎ
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1 最速 4 秒で 3 次元形状を測定 NEW ワンショット 3D 形状測定機 VR-3000 シリーズ

2 ワンショット 3D 測定最速 4 秒で 3D 測定 NEW ワンショット 3D 形状測定機 VR-3000 シリーズ 2

3 0.1μm の分解能で人によってバラつかない測定速く正確な 3D 測定ワンショットで広範囲の形状平面度粗さがわかる面の 3D 測定国家標準につながる XYZ トレーサビリティ体系高精度 3D 測定 3

4 従来の測定機との比較 [ 従来の測定機 ] 事例 : ボタン電池の凹み 3 次元測定機点でしか測れない全体の情報を知ろうと思うとポイント数を増やす必要があり時間がかかります線でしか測れない狙ったポイントを測定するのは難しく測定ポイントの違いにより測定値にばらつきが出ます輪郭形状測定機点線でしか測定できない今までの測定機では対象物全体の凹凸状況が把握できませんでしたそのため感覚的な狙いでポイントを測るしかなく測定値が安定しませんでした X X X 狙ったポイントが測れない膨大な時間がかかる人により測定結果がばらつく 4

ワンショット 3D 形状測定機 VR-3000シリーズは一瞬で対象物全体の凹凸状況をスキャンします

5 [ ワンショット 3D 形状測定機 ] 面の測定が可能一瞬で面全体の情報をスキャンします狙ったポイントも自由に測定が可能人による測定値のバラつきもありません最低点最高点面でデータ化ワンショット 3D 形状測定機 VR-3000シリーズは一瞬で対象物全体の凹凸状況をスキャンします対象物の測りたいポイントを確実に捉えます最高点最低点がわかる最速 4 秒でスキャン誰が測定しても結果は同じ 5

6 速く正確な 3D 測定クリックするだけ最速 4 秒 6

7 誰でも速く正確に測定最短 4 秒分解能 0.1μm 高い測定再現性サンプルを置いて押すだけセッティングを気にせずさっと測定できる従来の形状測定機ではサンプルの設置やステージの調整など測定に時間がかかります VR-3000シリーズならサンプルをステージに置いたら測定ボタンをクリックするだけ最速 4 秒で完了セッティングを気にすることなく素早く測定できます最低点を狙って測れる面で測定するから正確測り直しがいらない VR-3000シリーズは一度の測定で面全体の3D 情報を取得最も高い場所最も低い場所など全体の形状がわかります狙った場所がわからず何度も測定しなおすといったことがありません従来の形状測定機では測定に時間がかかっていました打痕測定狙い通りの位置決めが難しいサンプルの設置針の選択パラメータの選択などさまざまな調整が必要でしたまた狙ったポイントを測定できているかどうかわかりませんでした人による誤差が大きいトレーニングが必要測定の再現性が取れない 7

8 面の 3D 測定点や線ではなく面で測定 3 次元測定機や輪郭形状測定機では何箇所も測定しないと面の形状がわかりません 3 次元測定機点で測定輪郭形状測定機線で測定 8

今までわからなかったことがわかる面を測定して形状全体を解析従来点や線での測定では 3 次元測定機例えば最高点と最低点の差を知りたくてもどこを測っていいのかわかりません輪郭形状測定機最も高い点低い点がわからないポイントを狙って測定できない VR-3000 シリーズワンショット 3D 測定なら最高点

9 今までわからなかったことがわかる面を測定して形状全体を解析従来点や線での測定では 3 次元測定機例えば最高点と最低点の差を知りたくてもどこを測っていいのかわかりません輪郭形状測定機最も高い点低い点がわからないポイントを狙って測定できない VR-3000 シリーズワンショット 3D 測定なら最高点ワンショットで面全体を測定するから全体の形状うねりがわかります最低点最も高い点低い点が一目でわかる全体の形状がすぐにわかる一度スキャンすればどの場所でも自由に測定できる最高点や最低点など全て把握した状態で狙ったポイントを自由に測定することができます取得した面全体のデータを後日解析し直すことも可能です 9

10 高精度 3D 測定非接触高精度測定 [ 測定原理 ] 光切断法対象物にスリット光を当ててできる段差を三角測量で測定投光レンズから照射された縞状の光は対象物の表面で拡散反射します反射した光を別の角度 ( 受光レンズ ) から観察すると縞状であった光は対象物の凹凸形状に応じて折れ曲がって見えますこれをCMOSセンサに結像させ演算 ( 三角測量法 ) を行なうことで各点の高さ位置を測定します 10

世界初の測定アルゴリズム安全安心のトレーサビリティ対応 CMOS 受光レンズ光源投光レンズワンショット 3 D アルゴリズムワンショットで高精度な測定を実現する TMTアルゴリズムとデジタルマイクロスコープで培ったリアルフルカラー 3D 技術をフル活用ワンショットでトレーサブルな 3D 測定を実現した世界初のアルゴリズムです測定対象物 TMTアルゴリズムトリプル

11 世界初の測定アルゴリズム安全安心のトレーサビリティ対応 CMOS 受光レンズ光源投光レンズワンショット 3 D アルゴリズムワンショットで高精度な測定を実現する TMTアルゴリズムとデジタルマイクロスコープで培ったリアルフルカラー 3D 技術をフル活用ワンショットでトレーサブルな 3D 測定を実現した世界初のアルゴリズムです測定対象物 TMTアルゴリズムトリプルテレセントリックレンズと変位計で培った複数の三角測距を駆使し高速で高精度な3D 測定を実現する独自のアルゴリズムです d d の寸法から高さを算出対象物に凹凸があると縞模様が折れ曲がって見えますその曲がり量の寸法より高さを算出しますリアルフルカラー 3D 技術専用のリアルカラー照明ユニット ( 特許出願中 ) から照射される R G Bフルカラー照明を新採用の高精細 CMOSセンサが捉えます色ごとに別々に取得した画像を適切に合成してカラー画像を生成することで通常のカラーカメラ + 白色照明では得られない色鮮やかで緻密なリアルフルカラー画像を実現しました Z 国家基準国立研究開発法人産業技術総合研究所 JCSS 認定機関ゲージブロック段差測定器 X-Y 国家基準国立研究開発法人産業技術総合研究所 JCSS 認定機関基準スケール座標測定装置 XYZトレーサビリティ対応世界初のアルゴリズムで測定された計測結果は国家標準につながるトレーサビリティ体系に基づいています測定機器として安心してお使いいただけますキャリブレーションブロック VR-3000 キャリブレーションチャート校正作業標準で検査成績書校正証明書付きのキャリブレーションゲージを添付ゲージは JCSS 認定事業者の基準スケールにつながりますどなたでも現地で正確に校正をしていただくことが可能です ( 出張点検サービスも承っております ) 11

高精度をささえるテクノロジー業界初の光学ハード技術全エリア超低歪み業界初トリプルテレセントリックレンズ高精度な3D 測定を実現するには光を照射する投影レンズと像を受光する受光レンズにおいて

本の大口径テレセントリックレンズを贅沢に採用測定機やマイクロスコープで培った高度な光学設計により対角 30mmにわたる範囲でも高精度なワンショット 3D 測定を実現していますテレセントリックレンズが生み出す高精度

の高さまで正確に測定が可能です通常のカメラレンズ周辺部に歪みを生じる VR-3000 シリーズ視野内での歪みが少ない周辺部で歪みが少ない受光レンズ対角 30mmという広い範囲をワンショットで測定するには

12 高精度をささえるテクノロジー業界初の光学ハード技術全エリア超低歪み業界初トリプルテレセントリックレンズ高精度な3D 測定を実現するには光を照射する投影レンズと像を受光する受光レンズにおいてレンズと対象物の距離が変わっても像の大きさが変わらないこと像の歪が極めて小さいことが非常に重要です VR-3000 は業界最大級の大判のCMOSに合わせて投影レンズと受光レンズに計 3 本の大口径テレセントリックレンズを贅沢に採用測定機やマイクロスコープで培った高度な光学設計により対角 30mmにわたる範囲でも高精度なワンショット 3D 測定を実現していますテレセントリックレンズが生み出す高精度物体を上から見ると一般的なレンズテレセントリックレンズ高低差により大きさが変わらない高低差がある形状測定には高さが変わっても写る大きさの変わらないことが重要ですテレセントリックレンズを採用し ±5mm の高さまで正確に測定が可能です通常のカメラレンズ周辺部に歪みを生じる VR-3000 シリーズ視野内での歪みが少ない周辺部で歪みが少ない受光レンズ対角 30mmという広い範囲をワンショットで測定するには視野全体で歪みの少ないテレセントリックレンズが欠かせません細部までシャープでクリアより高精度な投影を実現します VR-3000 シリーズ均一均等に照射光を均一均等に照射する投影レンズテレセントリックレンズにより測定範囲全体で対象物に均一な光を均一な間隔で照射しますそのため対象物をどこに置いても高精度に測定が可能です 12

13 [ ありのままの撮像 ] 高精細 CMOSセンサ業界最大級の大判高精細 CMOS を採用することで 1 画素サイズが大きくなり低ノイズのデータ取得が可能リアルカラー照明ユニット R G B の 3 色から成る色再現性の高い照明光源ミキシング光学系と光ファイバーを組み合わせることでカラー合成時の色ムラを低減 [ 防振台不要 ] 高い耐振動設計防振台不要を目指し強度解析により高剛性ボディを実現筐体強度解析図専用設計の防振ゴム従来比 4 倍以上の防振効果がある防振材を採用低周波から高周波まで幅広い領域の振動を吸収し安定した条件で高倍率の撮影が可能です 13

14 解析機能あらゆる解析をこの一台で形状粗さから体積 2 次元測定まで [ 高さ幅角度 R を測る ] プロファイル測定面のデータを用いて狙った箇所を自由に測定することができます 12 項目の測定を自由に行なえます [ 段差 / 平面度を測る ] 平均段差測定 1 ショット 78 万点のデータを用いて面と面の段差を測定できます面内のデータを使用して平面度の測定も可能です [ 体積 / 面積 /XY/ 個数を調べる ] 体積表面積測定高さデータを用いて対象物の体積や面積指定高さのXY 径を測定することができます個数のカウントも同時に実行できます 14

15 2 次元測定から 3 次元測定まで幅広く対応形状測定機 / 粗さ計三次元測定機投影機測定顕微鏡うねり線粗さ (2001JIS) 面粗さ (ISO25178) [ 線の粗さを測定する ] 線粗さ測定 RaやRzなどの代表的なパラメーターを測定できるようになっています狙ったポイントを測定でき接触式では難しい円周状をなぞるような測定も可能です [ 面の粗さを測定する ] 面粗さ測定 ISO25178 に則った面粗さの測定が可能です多数のポイント数で測定するためより安定した測定結果が得られます [ 形状の違いを数値化できる ] 平面計測 2 点間の距離から直線間の距離円心間の距離までさまざまな平面の計測に対応します画面で見ながら特定の点の高さも測定可能です 15

測定条件のズレによる評価ミスを防ぎます位置合わせ画像処理計測内容の統一一括高さ表示設定一括グラフ表示設定複数のファイルを一括解析 Auto Arrange Auto Arrangeを使えば

16 新機能複数サンプルの違いを早く正確に解析 NEW マルチファイル解析機能サンプル A サンプル B サンプル C サンプル D 複数のファイルを一度に開き断面体積面積平面度粗さ測定などを行なえます評価サンプルが多数あっても一瞬で同一条件での解析を実行製造条件の異なる試作品や摩耗による形状の変化などがどこにどんな違いがあるかを一目で見ることができます測定作業が大幅に削減するだけでなく測定条件のズレによる評価ミスを防ぎます位置合わせ画像処理計測内容の統一一括高さ表示設定一括グラフ表示設定複数のファイルを一括解析 Auto Arrange Auto Arrangeを使えば一度の操作ですべてのデータが一括処理されます繰り返し同じ作業をすることによる時間のロス設定ミスなどがなくなります形状の違いが瞬時にわかる 3D 一覧表示機能 3D 形状も並べて表示できより視覚的に複数サンプル間の比較ができます並べた状態を画像として保存もできるため関係者への説明もスムーズに行なえます 16

解析業務を効率化する細やかなサポート機能従来測定解析測定解析測定解析効率的にデータ収集を行なう連続測定モード連続してデータ取りだけを行なえる

誰が使っても高い再現性を実現位置決めサポート & 高精度マッチング基準となるマスター画像が常に半透明で表示されますこの付近にサンプルを置いてクリックするだけで

後工程でも使いやすいデータ出力に対応 Excel データ出力 /CAD 出力解析内容は見た目そのままに Excel 出力が可能測定値ごとに並べ替えたり

17 解析業務を効率化する細やかなサポート機能従来測定解析測定解析測定解析効率的にデータ収集を行なう連続測定モード連続してデータ取りだけを行なえる連続測定モード連続測定モードを搭載測定測定測定一括解析作業工数を削減他の画面に一切移らずに測定作業ができるので効率的に業務を進められます誰が使っても高い再現性を実現位置決めサポート & 高精度マッチング基準となるマスター画像が常に半透明で表示されますこの付近にサンプルを置いてクリックするだけで自動的に位置決めが完了しますまた微妙な位置ズレを高精度なパターンマッチングにより自動的に補正し自動調整 & パターンマッチング正確な測定を実施します後工程でも使いやすいデータ出力に対応 Excel データ出力 /CAD 出力解析内容は見た目そのままに Excel 出力が可能測定値ごとに並べ替えたりピポットを組んで集計するなどより詳細な検討がスムーズに進められますまた CADデータとしては STEP ASCIIに加えて STL 形式の出力にも対応幅広いデータ活用が可能となります Excel CAD 17

新機能面形状の差分を視覚化数値化 NEW 形状比較計測機能良品と不良品 CAD データと試作品などの形状比較が簡単にできるようになりました 2 つのデータの同じ箇所に差がどの程度あるのか面形状全体から測定をすることができます複雑な設定不要自動位置合わせ機能 3 次元での位置合わせも自動で精度高くフィッテングを行ないます

18 新機能面形状の差分を視覚化数値化 NEW 形状比較計測機能良品と不良品 CAD データと試作品などの形状比較が簡単にできるようになりました 2 つのデータの同じ箇所に差がどの程度あるのか面形状全体から測定をすることができます複雑な設定不要自動位置合わせ機能 3 次元での位置合わせも自動で精度高くフィッテングを行ないます傾きや基準面高さのズレなどさまざまな要素を加味して微調整が簡単に行なえます形状の違いが目に見えてわかる差分カラー表示機能 2つの形状を重ね合わせて基準よりも高いところを赤く低いところを青く表現します視覚的に違いが把握できるようになりましたデータ比較機能にはVR-H2P CAD 比較にはVR-H2CAが必要です 18

19 立体形状の検査が 1 クリックで NEW OK/NG 判定機能測定値に対して公差設定に基づいた OK/NG 判定ができるようになりました検査機としての使い勝手が大きく向上しこれまで以上にさまざまなシーンで利用いただけるようになりました簡単操作で検査設定が完了プログラミングレス設定シンプルな操作で検査設定を完了特別なトレーニングは不要ですまた一度登録した検査設定ファイルを他の機体で使うことも可能です測定結果の管理業務を効率化統計解析機能測定結果は自動的にデータベースに保存されトレンドグラフやヒストグラムが自動生成されますまた関係者に提出するレポートも自動作成できるため検査後の各種業務にかける時間が最小限で済みます 19

20 広範囲連結広い範囲での形状うねりがわかる画像連結機能高速電動 XY ステージが自動で動いて広範囲を測定 100mm[ 最大 ] 広い範囲を高速連結 200mm[ 最大 ] 連結でもバラつかない測定傾き補正ワーク荷重によるステージ傾斜をセンシング技術により正確に補正 AF モード XY 連結時にオートフォーカスをしながら測定画像を取得します部分撮り直し万が一測定を失敗した箇所があればそこだけを再度測定できます 20

拡大観察機能測定だけでなく拡大観察にも対応マイクロスコープ機能高精細画像撮影 900 万画素 3CMOS カメラ搭載各画素で R G B

倍での拡大観察が可能です観察画像は撮影ボタンを押すだけで高精細な900 万画素相当で撮影保存できます 8bit (256 階調 ) 従来方式 1

] 問題点取得できる明るさの幅が狭く範囲を超えた明るさはハレーションとなる階調が粗いため微細なコントラストが表現できない効果

だった観察データを R G B 各画素 16bit 階調で取得今までとらえることができなかった対象物の状態を忠実に再現することができます

21 拡大観察機能測定だけでなく拡大観察にも対応マイクロスコープ機能高精細画像撮影 900 万画素 3CMOS カメラ搭載各画素で R G B のデータを取得しているので色再現性に優れた鮮明な観察ができます [900 万画素相当 3CMOS カメラ搭載 ] 12 倍 ~ 最大 160 倍での拡大観察が可能です観察画像は撮影ボタンを押すだけで高精細な900 万画素相当で撮影保存できます 8bit (256 階調 ) 従来方式 1 回のシャッターで得られる階調 16bit (65536 階調 ) HDR 機能従来の 256 倍の階調光学の限界を超える観察 [16bit HDR 機能搭載 ] 問題点取得できる明るさの幅が狭く範囲を超えた明るさはハレーションとなる階調が粗いため微細なコントラストが表現できない効果取得できる明るさの幅が広いためハレーションがおきない細かな階調データで微細なコントラストを表現できる進化した高性能エンジンにより従来 8bit 階調だった観察データを R G B 各画素 16bit 階調で取得今までとらえることができなかった対象物の状態を忠実に再現することができます深度合成機能も搭載従来 VR-3000 シリーズ基板 12 勾配の大きなサンプルや倍率を高くした際に被写界深度が足りなくなった場合はテレセントリックレンズと深度合成機能により全面に位置ズレなくピントを合わせることが可能です 21

22 アプリケーション輸送金属台形ネジ ( ネジ山の角度 ) 金属保持部材 (3D-CAD データとの比較 ) 22

23 金属延性破面 ( 表面積 / 断面積 ) ギア ( 形状 ) ブレーキパッド ( 平面度 ) 工具刃先 ( 形状 ) 23

24 アプリケーション電機電子ハンディーターミナル ( フレームの反り ) ハンディーターミナル設置台 ( 形状 ) 7 インチタブレット ( ケースのうねり ) ウェブワッシャー ( 高低差 ) 24

25 基板 ( 外観全体うねりメッキ部うねり ) コネクタピン ( ピン高さ ) IC( リードの浮き ) BGA( 高さのばらつき ) 金属部品 ( うねり 2 次元寸法 ) 25

26 アプリケーション化学樹脂 NG 品比較 ( 良品と NG 品 ) 比較 (CAD と NG 品 ) ゴムハンドル (NG 品の解析 ) 比較計測機能 3D-CAD 比較計測機能光学部品 ( 樹脂成型品のヒケ ) 樹脂ケース ( 溝の平均深さ ) 振動板 ( 形状と歪み ) ファン ( 基準からの高さ ) 26

27 その他ウェザーストリップ ( 線粗さ面粗さ ) ガラス繊維コンソール ( ボタンの高さ ) 繊維凹み ( 繊維をガラスで抑えて測定 ) 元データうねり除去後元データうねり除去後シボ ( 全体のシボの深さ ) SOFC( 固定酸化物形燃料電池 )( 体積 ) 27

28 選べるラインナップ電動 XY ステージを搭載したハイエンドモデル VR-3200 XY 軸電動 Z 軸電動カラ画像広視野 / 高倍率カメラカラー観察高倍率観察ができるスタンダードモデル VR-3100 XY 軸手動 Z 軸電動カラ画像広視野 / 高倍率カメラ測定の基本性能を備えたシンプルモデル VR-3050 Z 軸手動広視野カメラ 28

29 オプション 100mm 高さスペーサ OP 測定部と台座部の間に高さ 100mmのスペーサを挿入することで最大で188mmの対象物まで対応が可能またスペースを利用して加熱ステージや特殊治具をセッティングすることもできますチルトステージ OP ステージに設置することで対象物を触ることなく自由なアングルで観察測定が可能です表面も対象物が滑らないよう工夫がしてあります 188 mm 100 mm 画像連結用手動スライダー OP より広い視野範囲を測定したい際に連結モジュール ( オプション ) と使用することで最大 270mmの範囲まで測定することが可能です 270 mm VR-S200 装着時は最大高さ 170mm となります電動 XY ステージ VR-S200 連結モジュール ( オプション ) を利用する際よりスピーディかつ正確に画像連結をすることができます大型サンプルステージお客様の要望にあわせて各種大型特殊ステージをご提案いたします 29

システム構成図 / 外形寸法図 VR-3200 VR-3100 VR-3050 コントローラ制御用 PC VR-3000 ヘッドモニタ ( オプション ) 型式コントローラ VR-3000

画像連結用手動スライダー OP-87717 オプションオプション 100mm 高さスペーサ OP-87708 オプションオプションオプションチルトステージ OP-87709 標準搭載

VR-H2A 必須必須必須 NEW 連結モジュール VR-H2J オプションオプションオプション NEW 比較計測モジュール VR-H2P オプションオプションオプション NEW

30 システム構成図 / 外形寸法図 VR-3200 VR-3100 VR-3050 コントローラ制御用 PC VR-3000 ヘッドモニタ ( オプション ) 型式コントローラ VR-3000 ヘッド VR-3200 VR-3100 VR-3050 電動 XYステージ VR-S200 標準搭載オプションオプション XYθ ステージ OP 標準搭載オプション画像連結用手動スライダー OP オプションオプション 100mm 高さスペーサ OP オプションオプションオプションチルトステージ OP 標準搭載標準搭載オプションキャリブレーションブロック OP 標準搭載標準搭載標準搭載 NEW 観察アプリケーション VR-H2V 必須必須必須 NEW 解析アプリケーション VR-H2A 必須必須必須 NEW 連結モジュール VR-H2J オプションオプションオプション NEW 比較計測モジュール VR-H2P オプションオプションオプション NEW 3D-CAD 比較計測モジュール VR-H2CA オプションオプションオプションヘッド VR-3200 電動 XY ステージ VR-S200 ヘッド VR-3100 ヘッド VR-3050 コントローラ VR

仕様 V R ヘッドコントローラ型式コントローラ VR-3000 ヘッド VR-3200 VR-3100 VR-3050 広視野モード高倍率モード広視野モード高倍率モード広視野モード 15 型モニタ上倍率 12 25 38 50 40 80 120 160 12 25 38 50 40 80 120 160 12 25 38 50 観察測定範囲ズーム横 (H):mm 24.0 12.0 8.0 6.

5mm) 10mm(±5mm) 1mm(±0.5mm) 10mm(±5mm) 表示分解能 2 0.1μm 0.5μm 繰り返し精度 (σ) 3 測定精度 3 高さ測定 1 焦点位置を中心に低倍側 ±5mm 高倍側 ±0.

測定部単体 10.8kg 1~4 倍 0.5μm 幅測定 1μm 0.5μm 1μm 0.

31 仕様 V R ヘッドコントローラ型式コントローラ VR-3000 ヘッド VR-3200 VR-3100 VR-3050 広視野モード高倍率モード広視野モード高倍率モード広視野モード 15 型モニタ上倍率観察測定範囲ズーム横 (H):mm 縦 (V):mm 測定可能高さ 1 10mm(±5mm) 1mm(±0.5mm) 10mm(±5mm) 1mm(±0.5mm) 10mm(±5mm) 表示分解能 2 0.1μm 0.5μm 繰り返し精度 (σ) 3 測定精度 3 高さ測定 1 焦点位置を中心に低倍側 ±5mm 高倍側 ±0.5mm の範囲 2 高さ測定の分解能 3 当社規定の標準ゲージを使用し当社規定の測定モードにて測定した場合の値 ( 周囲温度 23±1 ) 4 連結モジュール (VR-H2J) が必要 5 画像連結用手動スライダー (OP-87717) 使用時 6 VR-3050 は XYθ ステージ (OP-87715) が必要 7 Windows7 Professional および Ultimate 8 測定部単体 10.8kg 1~4 倍 0.5μm 幅測定 1μm 0.5μm 1μm 0.5μm 1μm 高さ測定 ±3μm 幅測定 ±5μm ±2μm ±5μm ±2μm ±5μm 連結機能 4 全自動 (XY 自動制御 + オートフォーカス ) 測定手動 (XY Z) 自動調整自動テンプレート解析 - ステージ作動距離撮像素子 XY ストローク 184 x 88mm( 電動 ) 70mm(200mm 5 )( 手動 ) 6 Z ストローク 90mm( 電動 ) 90mm( 電動 ) 88mm( 手動 ) 回転機構 ±180 ( 試料回転ステージ ) ±90 (θ ステージ ) - チルト機構 ±30 以上 ±30 以上 - 75mm 1 型 400 万画素モノクロ CMOS 投光レンズダブルテレセントリックレンズ x 2 受光レンズ照明系画像サイズダブルテレセントリックレンズ観察用光源 LED リング照明 ( 赤, 緑, 青 ) LED リング照明 ( 白 ) 測定用光源白色 LED pix, pix データ処理部弊社指定専用 PC (OS は Windows7) 7 電源耐環境性質量電源電圧消費電力 AC100~240V±10% 50/60Hz 150VA 使用周囲温度 15~30 使用周囲湿度 35~80%( ただし結露なきこと ) コントローラヘッド kg 22.5kg 20.6kg 3.8kg 電動 XY ステージ VR-S200 移動速度移動量ステージサイズ質量 10mm/sec(max) mm 上面 mm( 回転プレート φ140mm) 6.5kg VR-3100 VR-3050 にオプション装着可ソフトウェア部 eプレビューソフトウェア測定モードを自動的に変えながらプレビュー画像を表示するソフトウェア 3 次元計測ソフトウェア測定した 3D 上で簡易的なプロファイル計測をおこなうためのソフトウェア平面計測ソフトウェア観察画像や静止画像の寸法計測をおこなうためのソフトウェアスケール表示ソフトウェア観察画像や静止画像にスケールを表示させるソフトウェアコメント機能ソフトウェア観察画像や静止画像にコメントを表示させるソフトウェア HDR 機能ソフトウェア 16bitでデータを取得し画像の見栄えを最適化するソフトウェアフォーカスガイドソフトウェアピント合わせや測定時の位置合わせをおこないやすくするためのソフトウェア直販体制ならではのお客様サポート当社は販売店や代理店を介さないメーカー直販体制です豊富な専門知識を持った技術力のある技術営業がスピーディーな対応きめ細かいアフターサービスやサポートを行ないます無償現地点検サービスや万が一の故障時の無償代替機もご用意しております購入後の安心をご提供いたします一般メーカーの場合お客様販社代理店メーカーキーエンスの場合お客様直販キーエンスアフターサポート資料を各種ご用意しております本体内の簡易マニュアルとは別にフルカラーのマニュアルを用意 31

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022-791-5233 330-0063 2-2-3 Tel 048-831-4211 Fax 048-831-4555

045-640-0977 Fax 045-640-0988 422-8061 1-35 Tel 054-202-4111 Fax

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32 より細かい形状測定観察ならレーザ顕微鏡 NEW 形状解析レーザ顕微鏡 VK-X250/150/120 対象物を選ばないミリ ~ナノオーダーの高精度 3D 粗さ測定 60~28800 倍のカラー観察全自動測定 AI-SCAN & 解析自動化ツールAI-ANALYZER 搭載 Tel Fax Tel Fax Tel Fax Tel Fax Tel Fax Tel Fax Tel Fax Tel Fax Tel Fax 高さのあるサンプルをまるごと 3D 測定 NEW 3Dスキャナ型三次元測定機 VLシリーズ 360 全方向から数百万ポイントのデータをスキャンワークを置いて数秒待つだけの簡単測定測定空間全てを精度保証できる気軽に接触式三次元測定機を使うなら NEW ハンディプローブ三次元測定機 XMシリーズ測りたい場所にプローブをあてるだけで測定が完了現場で測れる卓上型三次元測定機コンパクトな設計なのに大型対象物の測定が可能 Copyright C 2016 KEYENCE CORPORATION. All rights reserved

3D 自動外観検査装置 BF-3Di 全部品の高さ計測により検査効率が飛躍的に向上

3D 自動外観検査装置 BF-3Di 全部品の高さ計測により検査効率が飛躍的に向上 BF-3Di 全部品の高さ計測により検査効率が飛躍的に向上 Inspection Ability 3Dで基板検査を容易に正確に BF- 3Di Efficiency 従来の 2DAOI に加え高さという概念を導部品形状を自動で認識しデバッグ中ヒストグラムで入また検査結果を数値化し判定するこ検査データを自動作成確認する事で適切な閾値を設定とでいままで検査が難しいとされていた