OUTGAS 対策 GIGA フィルタシリーズ ULPA/HEPA フィルタ / 中高性能フィルタ 製品一覧 名称略称特長ウェーハ吸着有機物量ボロン発生量ボロン含有量 GIGA MASTER 上記の数値は シリカ試験一般品との比較値を示す 次世代の半導体 液晶製造環境用として全ての構成材料と製造環境に配慮し 有機物とボロンの発生量を大幅に削減しました 試験粒子も DOP( ジ オクチルフタレート ) PAO( ポリ アルファ オレフィン ) 等の有機物ではなく シリカを使用します 試験粒子には PSL( ポリ スチレン ラテックス ) を使用することも可能ですので お問い合わせ下さい 特長 1/300 GIGA MASTER FILTER * 低ボロンに加え ウェーハへの有機物汚染量を世界で初めて 0.05ng/cm 2 とした最高品質 PTFE * 高効率 99.99999%(N) で低圧損 ボロンを含まない Xtra * 低ボロンに加え ウェーハへの有機物汚染量を 0.3ng/cm 2 とした PTFE GIGA Xtra GA 低有機物 ボロンフリー 1/ 1/40 低ボロン 1/2 * ろ材のボロン含有率をシリカ試験一般品の に削減し ボロン発生量を大幅に低減 ボロンの発生量 GIGA フィルタシリーズ通過後の空気中のボロン濃度は 一般品 ULPA フィルタと比較して はるかに低い値を示します ( 図 1) このため GIGA フィルタシリーズを使用したクリーンルームのボロン濃度は 通常 運転開始直後から継続的に ng/m 3 以下になると予想されます ( 数値は 全てフィルタ使用開始時の値です ) [ng/m 3 ] 400 ボロン濃度 300 200 0 フィルタからのボロン発生量 340 <1 0 標準品 フィルタ通気開始 24 時間後から 24 時間サンプリングフィルタ風量 :0.4m/s 図 1 サンプリング条件 インピンジャーで捕集 温度 23~2 湿度 ~0%RH
有機物の付着量データ下図に示しますデータは 一般用の ULPA フィルタと GIGA MASTER フィルタのウェーハ上に付着する有機物量を比較したものです ( 図 2) 比較試験用フィルタの上流と下流に 暴露したウェーハに付着した有機物の全イオンクロマトグラム (TIC) を示しました シリカ試験一般品下流の有機物の増加に比べ GIGA MASTER では上流 下流の TIC に殆ど差がなく GIGA MASTER を通過することによる有機物の増加はないことが判ります Abundance (x 6 ) 比較試験用フィルタ上流側 Retention Time (min.) Abundance (x 6 ) シリカ試験一般品フィルタ下流側 Abundance (x 6 ) GIGA MASTER フィルタ下流側 Retention Time (min.) Retention Time (min.) 図 2 有機物のウェーハ汚染量シリコンウェーハ表面に付着した有機物が ゲート酸化膜の耐圧劣化の原因になることが知られています 各種フィルタ通過後の空気に 24 時間暴露したシリコンウェーハへの有機物付着量を示しました ( 図 3) GIGA MASTER 通過後では 0.05ng/cm 2 で最も少なく PTFE GIGA は 0.3ng/cm 2 Xtra は 0.3ng/cm 2 は.4ng/cm 2 シリカ試験一般品は 16ng/cm 2 でした ( 数値は 全てフィルタ使用開始時の値です ) フィルタ通気開始 24 時間後から 24 時間ウェーハ暴露 [ng/cm 2 ] ウ ハ吸着有機物量 20 5 0 16 フィルタによるウェーハ汚染量の比較 0.05 0.3 0.3 フィルタ風量 :0.4m/s 標準品 GIGA MASTER PTFE GIGA Xtra.4 図 3
GIGA フィルタ ミニプリーツ ULPA/HEPA フィルタシステム天井用 生産装置用 名称 GIGA MASTER PTFE GIGA Xtra 略称 GA 特長 低有機物 ボロンフリー 低ボロン 省スペースを可能にした軽量設計 システム天井用に推奨 生産装置用として P T F E を推奨 ウェハー吸着有機物量 ボロン発生量 1/300 1/ 1/40 1/2 表現 T ガスケット仕様表示なし : 下流側ガスケット UG: 上流側ガスケット 奥行を示します サイズを示します ミニプリーツタイプを示します 捕集性能を示します 1:HEPA 2:ULPA 略称を示します :GIGA MASTER : Xtra : ボロン含有量 シリカスキャンテスト材質 使用条件略称ろ材スペーサー材質外枠外枠表面処理密封剤ガスケット連続使用最高温度 ( ) 使用条件瞬間使用最高湿度 (%RH) 略称 合格品 グラスファイバー GA PTFE (PTFE 膜 +PET 不織布 ) ホットメルトアルミニウムアルマイト + クリア塗装ウレタン樹脂 60 0( 結露無きこと ) GA ガスケット仕様表示なし : 下流側ガスケット UG: 上流側ガスケット 奥行を示します サイズを示します 捕集性能を示します 5 : ULPA 低圧損型 6 : ULPA 高効率型 8 : HEPA 8L : HEPA 多風量型 PTFEのミニプリーツタイプを示します 材質 使用条件 ろ材スペーサー外枠外枠表面処理密封剤ガスケット連続使用最高温度 ( ) 瞬間使用最高湿度 (%RH) グラスファイバー 低ボロングラスファイバー ホットメルトアルミニウムアルマイト + クリア塗装ウレタン樹脂 60 0( 結露無きこと )
ULPA フィルタ標準仕様表 高さ幅奥行 2T600F 2T600G 2T600A 0 以下 1 以下 140 以下 9 (5N) 66T 140 以下 1.6 9(5N) GA5 66E 66F 66G 90 以下 5 以下 85 以下 35 2.1 99 (6N) GA6 66F 66G 0 以下 1 以下 6 6 999 (N) 0.1 2T600F 2T600G 2T600A 0 以下 1 以下 140 以下 9 (5N) 2T600F 2T600G 2T600A 0 以下 5 以下 130 以下 3.5 4 9 (5N) HEPA フィルタ標準仕様表 GA8 GA8L GA8LV 1T600F 1T600G 1T600A 1T600F 1T600G 1T600A 1T600F 1T600G 1T600A 66E 66F 66G 66F 66G 200 1 56.6 160 以下 1 以下 5 以下 160 以下 1 以下 5 以下 0 以下 120 以下 0 以下 90 以下 以下 55 以下 1 以下 0 以下 1 以下 高さ幅奥行 6 6 G M,GA5,GA6 は UL 対応品も製造可能 35 3.5 4 2.1.5 99.9 99.9 99.9 0.3 GA8 は UL 対応品も製造可能,, 製造可能寸法表 GA5,GA6,GA8,GA8L 製造可能寸法表 プリーツ ( ろ材折り目 ) プリーツ ( ろ材折り目 ) 奥行 H W H W 奥行 H W ~6 ~6 ~9 ~1219 ~1219 ~24 H W 35 ~6 ~6 ~62 ~62 /6 ~6 ~6 ~1219 ~24 6 水平気流ではプリーツが垂直になるよう取付けて下さい 上記以外の寸法についてはご依頼内容により製造可能となりますのでお問い合わせ下さい 水平気流ではプリーツが垂直になるよう取付けて下さい 上記以外の寸法についてはご依頼内容により製造可能となりますのでお問い合わせ下さい
外調機 空調機用 省スペースを可能にした多風量設計 表現 LEA ガスケット仕様表示なし : 下流側ガスケット UG: 上流側ガスケット サイズを示します 外枠材質を示します 多風量タイプを示します 捕集性能を示します 1:HEPA 2:ULPA 略称を示します :GIGA MASTER : Xtra : GIGA フィルタ セパレータ ULPA/HEPA フィルタ外調機 空調機用 名称 略称 特長 ウェーハ吸着有機物量 1) ボロン発生量 ボロン含有量 シリカスキャンテスト 材質 使用条件 材質 使用条件 GIGA MASTER 略称 ろ材セパレータ外枠外枠表面処理密封剤ガスケット連続使用最高温度 ( ) 使用瞬間最高湿度 (%RH) 1/300 1) シリカ試験一般品との比較値 Xtra 1/40 合格品 低ボロン 1/2 グラスファイバー低ボロングラスファイバーアルミニウムアルミニウムアルマイト + クリア塗装ウレタン樹脂 60 0( 結露無きこと ) セパレータ 中高性能フィルタ外調機 空調機用 GIGA CP FILTER 有機物 ボロンの発生量を大幅に削減 型 式 GCPTEA9 S 試験方法 JIS B 9908 : 2011 形式 2 表現 GCP T EA 9 S サイズを示します 外枠材質を示します CPフィルタを示します 平均捕集率 材質 使用条件 略称ろ材セパレータ外枠材質外枠表面処理密封剤ガスケット連続使用最高温度 ( ) 使用条件使用瞬間最高湿度 (%RH) 0.4μm % 以上 /0.μm 90% 以上 GCP 不織布アルミニウムアルミニウムアルマイト + クリア塗装ウレタン樹脂 43 0( 結露無きこと ) GIGA フィルタシリーズを示します
ULPA/HEPA フィルタ標準仕様表 1EA4 1EA6C 1EA00 1EA4 1EA6C 1EA00 1EA4 1EA6C 1EA00 2EA4 2EA6C 2EA00 2EA4 2EA6C 2EA00 2EA4 2EA6C 2EA00 1LEA5 1LEA6C 1LEA1 1LEA5 1LEA6C 1LEA1 1LEA5 1LEA6C 1LEA1 14 32 14 32 14 32 13 12 28 13 12 28 13 12 28 HEPA フィルタ多風量仕様表 中高性能フィルタ標準仕様表 GCPTEA9AS GCPTEA9CS GCPTEA96CS プリーツ ( ろ材折り目 ) 2 以下 2 以下 285 以下 以下 最終 0 0 最終 0 高さ 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 高さ 6 6 6 6 6 6 幅 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 6 幅 6 6 6 6 6 6 奥行 6.9. 11.5 6.9. 11.5.0.8 11..5 8.3 12..5 8.3 12..5 8.4 1 99.9 9 (5N) 0.3 0.1, は UL 対応品も製造可能 奥行.3 8.1 12.3.3 8.1 99.9 0.3 12.3.4 8.2 12.6, は UL 対応品も製造可能 平均捕集率 最終 高さ 幅 奥行 0.4μm (1) 0.μm (2) 56 6 6 28 0 以下 343 6 90 6 11.6 6.9.8 (1)0.3~0.5μm の幾何平均値 (2)0.5~1.0μm の幾何平均値 W 製造可能寸法表 H 奥行 H W ~6 ~9 水平気流ではプリーツが垂直になるよう取付けて下さい