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はじめに 電源の設計エンジニアは 90% あるいはそれ以上の電力変換効率の達成というプレッシャーに直面しています この傾向は 携帯機器のバッテリの長寿命化 IoT グリーン製品による低消費電力化といった要求からきています 多くの設計エンジニアは シリコンによる FET やIGBT から GaN( 窒化ガリウム ) または SiC( 炭化ケイ素 ) のスイッチング デバイスへと置き換えつつあります この場合も 製品の市場投入までの時間に対するプレッシャーがあり より迅速な ( しかし ここでも正確な ) テストが求められています FlexChannel と革新的なグラフィカル ユーザ インタフェースを装備した 5シリーズ MSO は 一度に複数のテスト ポイントがテストできるため テストの時間を短縮できます 拡張パワー測定 / 解析のオプション (Opt. 5-PWR) を装備すると 主なパワー測定のセットアップ手順が自動化でき 電源設計の標準 規格をベースにしたテスト結果を検証するためのツールになります このは テクトロニクスの 5シリーズ MSO と5-PWR 拡張パワー測定 / 解析ソフトウェアによる 重要な電源測定方法の概要を説明します 電源測定の準備 解析やトラブルシュートで正確に測定するためには パワー測定システムを正しくセットアップして 正確な波形を取込む必要がありま す ここで重要となる項目を以下に示します 電圧プローブ 電流プローブ間のスキュー調整 プローブ オフセットの除去 電流プローブのデガウス ( 消磁 ) 電圧プローブと電流プローブ間のスキュー調整 オシロスコープでパワー測定を行う場合 DUT(Device Under Test 被測定デバイス ) にかかる電圧と電流を測定する必要があります この測定には 電圧プローブ ( 多くの場合 高電圧差動プローブが必要になります ) と電流プローブが必要です 電圧プローブと電流プローブには固有の伝播遅延時間があるため 表示されるそれぞれの波形エッジが揃うということはありません 電流プローブと電圧プローブ間にあるこの遅延の差は スキュー と呼ばれ 振幅とタイミング測定の誤差の原因となります スキューはタイミング遅延の原因となるため 時間差 位相 力率の測定において誤差となります 製品内部の遅延を自動校正する測定システムがありますが プローブをシステムに接続した場合 プローブのアンプ ケーブル長の差を補正しなければなりません テクトロニクスの 5シリーズ MSO は プローブ先端から測定システムまでの遅延を補正することができるため 正確なタイミング測定が可能になります マニュアルでのデスキュー手順では プローブを同じ波形ソースに接続し 早い信号に遅延を加えます こうすることで 短いケーブルの方のプローブに物理的なケーブルを追加することなくスキューを合わせることができます 2 JP.TEK.COM/5SeriesMSO

図 1. 差動電圧プローブと電流プローブ間における 調整前の静的スキュー補正 このプローブにはオンボード メモリが備わっており 公称の伝搬遅延データが保存されている 5シリーズ MSO には ワンボタン操作による静的デスキュー機能も備わっています 図 1は 2 本の TekVPI パワー プローブ間のスキューの例を示しています オシロスコープはプローブの公称伝搬遅延情報を読み取り 2 本のプローブ間の遅延差が約 1.48ns であると計算しました OK, Deskew のボタンを押すだけで 信号間の相対タイミングを調整します 図 2は 図 1と同じテスト セットアップで静的デスキュー機能を実行した後の例です テクトロニクスのものでないプローブを使用する場合 手作業で電圧波形と電流波形をデスキューし 電流プローブの換算率などを設定する必要があります 図 2. 調整後の静的スキュー補正 このプローブに保存されている伝搬遅延データをもとに -1.48ns のデスキューが加えられている JP.TEK.COM/5SeriesMSO 3

プローブ オフセットの除去 差動プローブは わずかですが電圧オフセットを持つことがあります このオフセットは測定確度に影響することがあるため 測定前にキャンセルしておく必要があります ほとんどの差動電圧プローブにはDC オフセットの調整機能が内蔵されており 簡単な手順でオフセットをキャンセルすることができます 同様に 測定前に電流プローブのオフセット調整が必要になる場合があります 電流プローブでは 0A 時の平均 DC 電圧をキャンセルすることでオフセットを調整し できる限り 0A( アンペア ) に近づけます 図 3に示す TCP0030A 型 AC/DC 電流プローブのような TekVPI プローブには 自動デガウス / オートゼロ機能が備わっており プローブの補正ボックスにあるボタンを押すだけで実行することができます 電流プローブのデガウス ( 消磁 ) 電流プローブには 操作が簡単なデガウス ( 消磁 ) 機能も備わっている必要があります デガウスでは 大きな入力電流によって発生する内蔵変圧器コアの残留 DC 磁束を除去します この残留磁束はオフセット エラーの原因となるため 測定確度を上げるために測定前にデガウスによって除去する必要があります 図 3. デガウス / オートゼロ機能を備えた当社 TCP0030A 型 AC/DC 電流プローブ TekVPI インタフェース対応電流プローブにはデガウス警告用インジケータがあり デガウスを実行するように促してくれます 電流プローブは時間と共に無視できないようなドリフトが発生することがあり 測定に大きな影響を及ぼすことから パワー測定ではこの警告インジケータ機能は非常に重要になります ワイドバンド ギャップのテスト課題への対応 つい最近まで ハーフブリッジ スイッチング ステージのハイサイドのスイッチング測定はほとんど不可能でした ハイサイド VDS 電流シャントの電圧を含む スイッチング ノードに関する測定では 差動信号にのる非常に大きなコモンモード電圧信号による歪みが問題になります GaN や SiC のトランジスタなど ワイドバンド ギャップのデバイスでは スイッチング周波数が高くなるため この問題はさらに悪化し 新しい回路の最適化が必要になります IsoVu プローブの優れたコモンモード除去性能と自動拡張パワー測定 / 解析機能は 最新の GaN SiC 設計の最適化には欠かせない組み合せです 図 4. 多くの電源測定では 大きなコモンモード信号があるなかで小さな差動電圧信号を測定する必要がある 例えば ハーフブリッジ スイッチング ステージのハイサイドの VGS と VDS は 基準電位がグランドに対して電圧が数百 V または数千 V も上下することがある 5 シリーズ MSO で IsoVu 光アイソレーション型測定システムを使用すると 非常に大きなコモンモードも除去が可能 4 JP.TEK.COM/5SeriesMSO

図 5. 5-PWR によるスイッチング損失測定の例 上 ( オレンジ ) の波形は 電流と電圧を掛けて求めた瞬時電力 損失測定は 瞬時電力波形を基に計測される それぞれの損失計算領域は 測定ラベルに対応したカラー マーカ ( カーソル ) で明示される 下の 2 つの波形は スイッチングの電圧とスイッチを流れる電流 スイッチングの解析 電源のスイッチング ステージの測定では コンバータが正しく機能し 損失ソースを定量化し 通常のレンジ内でデバイスが動作していることを確認します スイッチング損失測定 ターンオン損失は さまざまな物理的容量および寄生容量がチャージされ インダクタによって磁界が発生し 関連する過渡的抵抗損失が発生することによって生じます 同様に ターンオフになる場合 メイン パワーが切り離されても放電されるエネルギーがまだ残っていて さまざまなコンポーネントとの関係で損失が発生します 測定方法スイッチング損失を測定するには オシロスコープでスイッチング デバイス間の両端の電圧と デバイスを流れる電流を測定する必要があります スイッチング損失は 図 5のように表示されます 測定結果 Ton: 各サイクルのターン オン パワー損失およびエネルギー損失のそれぞれの平均値 Toff: 各サイクルのターン オフ パワーおよびエネルギー損失のそれぞれの平均値 Total: 各サイクルのトータル平均パワー損失および平均エネルギー損失のそれぞれの平均値 左右の矢印ボタンにより スイッチング サイクル間を移動し 問題エリアに照準を合わせることができる 測定結果は 結果の表としても表示できる 表では すべてのスイッチング サイクルの蓄積された測定結果も表示される JP.TEK.COM/5SeriesMSO 5

最大電流 最大電力 最大電圧 図 6. トランジスタの SOA( 安全動作領域 ) グラフ SOA( 安全動作領域 ) スイッチング電源のスイッチング トランジスタの SOA( 安全動作領域 ) は 特定の電圧条件で安全に流すことのできる電流を規定しています 通常 SOAはBJT MOSFET または IGBT のスイッチング トランジスタのデータ シートに記載されています VCE( または FET では VDS) 対 I CE(IDS) のX-Yプロットで表わされ 性能低下または損傷なしにトランジスタが動作できる範囲を示します パワー解析ソフトウェアは データ シートにある SOA を5シリーズ MSO に入力することができます 次に 電源設計の動作条件を変えながら回路内デバイスの実際の電圧と電流を測定します オシロスコープは V-I プロットを記録し パラメータが SOA から外れていないかを示すことができます 測定方法動作中のトランジスタのSOA 測定で難しいのは さまざまな負荷条件 温度変化 商用電圧の変動があるなかで電圧 電流のデータを正確に取込むことです 5-PWR は データ取込みと解析を自動化することでこの作業を簡単にします 測定のセットアップは スイッチング トランジスタに電圧プローブと電流プローブを接続するだけです 6 JP.TEK.COM/5SeriesMSO

図 8. 5-PWR による SOA データ ポイントがマスク領域内に入ると黄色になって Pass が表示され マスク領域から外れてると赤になって Fail が表示される この例では V-I プロットが SOA を外れており スイッチング デバイスが過度のストレスに晒されていることを示す 次のステップでは SOA マスクを設定します 図 7 に示すように SOA マスク エ ディタを使用することで データ シートまたはユーザ独自の基準をもとに トラン ジスタの SOA リミットを設定できます 測定結果設定を完了すると SOA のテスト結果は図 8のように表示されます 電圧と電流の波形は XY モードによる一つの波形として表示されます このプロットは 1 回の取込みサイクルのすべてのデータを示しています 測定結果バッジには SOA のマスクから外れた回数とパス / フェイルの判定が表示されます 図 7. SOA マスク エディタ ウィンドウ マスクは スイッチング デバイスのデータ シートまたはユーザ定義のセット ( 電圧 電流 ) によって定義する JP.TEK.COM/5SeriesMSO 7

入力解析 ライン測定では 入力変化に応じた設計電流 電力 およびライン電流の歪みなど の特性を評価します 消費電力などの測定項目は 非常に重要な仕様です その他 力率や高調波などは法令による規制で制限されています 電源品質測定 5-PWR では 電源品質測定は標準の電力測定機能です AC ライン入力で測定しま すが パワー インバータなどのデバイスの AC 出力で測定することもあります 測定項目を以下に示します 周波数 電圧と電流の実効値 クレスト ファクタ ( 電圧と電流 ) 有効電力 無効電力 皮相電力 力率と位相 測定方法差動プローブでシステムのライン電圧にプロービングし 電流プローブでシステムのライン電流にプロービングして測定することで電源品質を簡単に測定できます 同じプロービングで高調波電流も測定できます 8 JP.TEK.COM/5SeriesMSO

図 9. 電源品質測定は AC ラインの詳細が測定できる ライン電圧は上の波形 電流は赤の波形 瞬時電力はオレンジの波形 結果バッジ ( 右上 ) にはライン特性の概要が表示され Result Table をクリックすると詳細なデータと統計値が表示される 測定結果 Frequency: 電圧波形の周波数 単位はヘルツ (Hz) V RMS: 表示された電圧波形の二乗平均平方根 (Root-Mean-Square) I RMS: 表示された電流波形の二乗平均平方根 (Root-Mean-Square) VCrest Factor: 電圧のピーク値を電圧の実効値で割った値 ICrest Factor: 電流のピーク値を電流の実効値で割った値 True Power: システムの有効電力 単位はワット (W) Reactive Power: 誘導または容量素子に一時的に蓄積される無効電力であり VAR(Volt-Amperes-reactive) の単位で測定される Apparent Power: 皮相電力 電圧の実効値 電流の実効値 単位は VA(Volt-Ampere) Power Factor: 有効電力 ( 真の電力 ) と皮相電力の比 Phase: 有効電力と皮相電力のベクトル間の角度 単位は ( 度 ) JP.TEK.COM/5SeriesMSO 9

高調波 ノンリニアのデバイスが回路内の電流を歪ませる場合に高調波電流が発生します リニア回路では基本波のライン周波数でのみ電流が流れますが ノンリニア回路では基本周波数の整数倍の周波数で 各高調波において異なった振幅 位相で電流が流れます 高調波を持った電流が配電システムのインピーダンスに流れると電圧歪みが発生し ケーブルと変圧器が過熱します また 電力網に接続されるスイッチング電源の数が増えると 電力網に戻る高調波歪みも増えます したがって 電力システムの高調波制御が重要になります このため ノンリニア負荷からの電源品質の影響を制限するように規格は設計されています IEC61000-3-2 MIL-STD-1399 などの規格では 高調波を規制するように制定されています IEC61000-3-2 規格は 公共の基幹電力システムに入る高調波電流を規制しています 各相につき最大 16A の入力電流までのすべての電気 / 電子機器で 公共の低電圧配電システム (100V AC 200V AC 230V ACまたは 200V 三相 AC 415V 三相 AC など ) に接続されるものに適用されます この規格はさらに Class A( 平衡三相機器 ) Class B( 携帯機器 ) Class C( 照明器具 調光機器 ) Class D( 特殊な電流波形要件を持つ機器 ) に分かれています MIL-STD-1399 は コンピュータ 通信機器から空調機器までの 船舶や航空機のAC 電源システムとの互換性を維持するための機器 ( 負荷 ) の仕様とテスト要件を規定しています 5-PWR 拡張パワー測定 / 解析アプリケーションは 電流の高調波を簡単に測定することができます 測定結果は 表 グラフの両方で表示できます 設計したデバイスがこれらの適合性規格に適合することを確認するのは時間や費用のかかる作業ですが 5-PWR を使用 図 10. 簡単な設定だけで実行可能な 基本的な高調波電流解析 この例では 法令規格に対するプリコンプライアンス チェックの設定を示している することで この検証作業がすばやく行えます このような測定機能がオシロスコープで利用できるため デバッグがすばやく行えるだけでなく 規制要件に適合させるためにぎりぎりまで設計変更することを避けられます 10 JP.TEK.COM/5SeriesMSO

図 11. 5-PWR による高調波の測定結果の例 正弦波でない電流波形が右下に表示されている 高調波バーにより高調波成分がデシベルのスケールで表示されている 奇数次の高調波が大きくなっているが IEC 61000-3-2 のリミット内に十分に入っている 測定方法差動電圧プローブでライン電圧を測定し 電流プローブでライン電流を測定します 設計による高調波を IEC 61000-3-2の規格リミットと比較するには ライン周波数を設定し クラス タイプを選択する必要があります Class C Dでは さらに入力電力 力率 基本波電流を入力します 解析パッケージはあらかじめ定義されたリミット テーブルをロードして 測定された高調波とリミット値を比較します プリコンプライアンス テストの結果の例を 図 12に示します JP.TEK.COM/5SeriesMSO 11

図 12. 100 次までの高調波がバー グラフ形式で表示される 表には IEC 61000-3-2 のプリコンプライアンスのテスト結果が表示される 設定をもとに 解析パッケージはあらかじめ定義されたリミット テーブルをロードして 測定された高調波とリミット値を自動比較する 測定結果 測定バッジには 選択された高調波の規格 基本波 三次高調波の振幅 THD-F THD-R 実効値 パス / フェイルの結果が表示されます それぞれの高調波を選択でき 測定値は測定バッジ バー グラフ 結果テーブル間でリンクされます 高調波の結果テーブルには 以下が含まれます 選択された高調波の規格 高調波の次数と周波数 Magnitude (RMS): 測定された高調波の実効値振幅 単位は dbμa または A Magnitude (%): 基本波に対する 測定された高調波振幅 Phase: 周波数基準波形に対する高調波の位相 単位は ( 度 ) Limit: 指定された規格における高調波リミット Status: プリコンプライアンスのパス / フェイルの結果 Margin: 測定値とリミットの差 電流高調波は dbμa または A の単位で表示されます 12 JP.TEK.COM/5SeriesMSO

出力解析 DC 電源の出力は レギュレーションとノイズを検証しなければなりません 5-PWR 拡張パワー測定 / 解析ソフトウェアは リップルを定量化し 分類するツールを含んでいます ライン リップル スイッチング リップル簡単に言うと リップルは電源の DC 出力に重畳する AC 電圧であり 通常の出力電圧に対する比 またはピーク ピーク電圧で表されます 電源の主な出力リップルは2 種類あります ライン リップルでは ライン周波数に関連するリップルの量を測定します 一方 スイッチング リップルでは スイッチング電源の出力から検出されるスイッチング周波数に関連するリップルの量を測定します 出力ライン リップルは 通常 ライン電源の 2 倍の周波数であり スイッチング リップルは khz 以上の周波数レンジで ノイズも結合しています スイッチング リップルからライン リップルを分離することは 電源の出力特性評価で最も難しい課題です 拡張パワー測定 / 解析ソフトウェアは この作業を大幅に軽減します 測定方法 システム リップルは 電圧プローブがあれば測定できます 差動電圧プローブをシステムの出力に接続し 出力ライン リップル電圧とスイッチング リップル電圧を測定します 図 13. 5-PWR によるライン リップルの設定タブ ライン リップルとスイッチング リップルの Configuration タブは 非常によく似ています ( 図 13を参照 ) どちらのリップル測定でも カップリング (ACまたは DC) 帯域制限 (20MHz 150/250MHz Full) オシロスコープのアクイジション モード ( サンプル ピーク ディテクト ハイレゾ ) を設定します ライン リップル測定では システムのライン周波数 (50Hz 60Hz 400Hz) も設定する必要があります スイッチング リップル測定では 大まかなスイッチング周波数の設定が必要になります JP.TEK.COM/5SeriesMSO 13

測定を設定すると 結果が図 14 のように表示されます 測定結果 Pk-Pk RMS のリップル値 : システムのライン周波数成分またはスイッチング周波数成分のピーク ピークおよび実効値のリップル電圧値が表示されます レポート作成 設計 開発プロセスでは データ収集 保存 文書化という作業は 時間がかかりますが 必要な作業です 5-PWR にはレポート自動生成機能が備わっており 測定結果を簡単に文書化することができます Generate Report ボタンを押すと 設定したレイアウトでレポートが作成され ディスプレイに表示されます まとめ 図 14. 5-PWR によるスイッチング リップルの測定結果の例 5シリーズ MSO で5-PWR を使用すると 短時間のセットアップで 正確性 再現性に優れた測定が簡単に実行できます 手作業による計算も不要になります アプリケーション ソフトウェアが測定画面を取込み レポートを自動作成するため エンジニアは機器のセットアップ 波形 測定結果をまとめた文書を簡単に作成できます アプリケーションに適したプローブの選択 5シリーズ MSO は 適切なプローブと組み合わせることで優れた測定性能を発揮します 5シリーズMSOはTekVPI プローブ インタフェースを装備しており オシロスコープはこのインタフェースでプローブと通信します テクトロニクスは IsoVu 光アイソレーション型測定システム ロゴスキー プローブなどの差動プローブ 電流プローブ また豊富なプローブ アダプタを取り揃えています 詳細については 当社ウェブ サイト (jp.tek.com/accessories) をご覧ください 図 15. レポートは MHT または PDF のフォーマットで自動生成される 14 JP.TEK.COM/5SeriesMSO

プローブの種類 高電圧差動プローブ 概要 THDP0100/THDP0200/TMDP0200 型高電圧差動プローブは グランド基準でない測定 フローティング測定に適しています プローブの最高帯域は 200MHz 最大電圧レンジは 6000V(THDP0100 型 ) です P5200A/P5202A/P5205A/P5210A 型高電圧差動プローブは グランド基準でない測定 フローティング測定 または絶縁測定に適しています 最高周波数帯域は 100MHz 最大電圧レンジは 5600V(P5210A 型 ) です 光アイソレーション型測定システム TIVM1 型 TIVH08 型 TIVH05 型 TIVH02 型光アイソレーション型測定システムは広帯域差動信号のコモン ノイズの分離に優れており ワイドバンド ギャップ設計のテストに最適です ケーブル長は 3m と 10m が用意されています TIVM1 型の周波数帯域は 1GHz であり 最大 60kV のコモンモード信号がある状態で 最大 ±50Vpk の差動信号を測定できます TIVH08 型 TIVH05 型 TIVH02 型の周波数帯域はそれぞれ 800MHz 500MHz 200MHz であり 最大 60kV のコモンモード信号がある状態で 最大 ±2500Vpk の差動信号を測定できます 電流プローブ テクトロニクスは 最高周波数帯域 120MHz 最高クランプ感度 1mA の業界トップクラスの電流プローブを含む 豊富なラインアップを取り揃えています さまざまなロゴスキー プローブが用意されており TRCP300 型 (9Hz ~30MHz 250mA~300Apk) TRCP600 型 (12Hz~30MHz 500mA ~600Apk) TRCP3000 型 (1Hz~16MHz 500mA~3000Apk) があります ミッドレンジ電圧差動プローブ TDP0500/TDP1000 型ミッドレンジ電圧差動プローブは グランド基準でない測定 フローティング測定 または絶縁測定に適しています 最高周波数帯域は 1GHz(TDP1000 型 ) 最大電圧レンジは ±42V(DC+ ピーク AC) です JP.TEK.COM/5SeriesMSO 15

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