ナノテクを支える極小の基準 ~ 原子 1 個分の誤差もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル評価用標準物質創成技術プロジェクト(ナノ加工計測技術 ) ( 平成 14 年度 ~ 平成 18 年度 ) 他技術の詳細 4

ナノテクを支える極小の基準 ~ 原子 1 個分の誤差もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル評価用標準物質創成技術プロジェクト(ナノ加工計測技術 ) ( 平成 14 年度 ~ 平成 18 年度 ) 他技術の詳細 4 万分の1ミリメートル刻みの微細な目盛りが刻まれたミクロのものさしの開発 ( 世界初 ) 目盛間隔を原子の大きさより小さい0.04ナノメートル以下の誤差で計測し保証する技術も開発ナノテク製品の心臓部である半導体回路をより正確に検査でき将来さらに小さくなる半導体製品の欠陥品を減らすことができる 4 万分の1ミリメートル刻みのものさしを開発半導体工場などで使われる電子顕微鏡 2 種類の薄膜を交互に重ねたくり返し構造 25ナノメートルものさしの断面顕微鏡写真 25 nm 半導体電子回路の超微細配線を寸法管理 ITデバイス片方の物質だけを酸で溶かして刻みを作る酸化シリコン層ココがすごい!! 2 mm 100 nm 発想の転換 : 刻線と隙間となる2 種類の材料を交互に薄膜で堆積させ垂直に立ててものさしを実現 25ナノメートル刻みは世界初 JCSS 供給中の100nm 刻みスケールは現在の半導体プロセスの標準次世代半導体プロセスおよびナノテク産業向けに供給体制を構築中国内半導体産業市場規模 :2 兆円 2

素材エネルギー産業支える高温の標準 ~2500 の温度を0.2 で再現 ~ 産総研運営交付金次世代高温度標準の開発金属炭素共晶点による高温度目盛の高度化 ( 平成 11 年度 ~ 平成 21 年度 ) 他技術の詳細 1100 を超える高温には今まで温度計を校正できる温度の参照点がなかったここに新たに16 個の温度参照点 ( 温度定点 )を実現提案した炭素合金をグラファイトるつぼ中で溶かすことで物質が激しく反応する高温でも再現性の良い融解温度を実現できるようにした WC-C C (2749 o C) Cr 3 C 2 -C C (1826 o C) Mn 7 C 3 -C C (1331 o C) ココがすごい!! HfC-C C (3185 o C) ZrC-C C (2883 o C) 3000 o C 2500 o C 2000 o C 1500 o C 1000 o C TiC-C C (2761 o C) δ(mo ( Carbide)-C (2583 o C) Re-C C (2474 o C) Ir-C C (2290 o C) Ru-C C (1953 o C) Pt-C C (1738 o C) Rh-C C (1657 o C) Pd-C C (1492 o C) Ni-C C (1329 o C) Co-C C (1324 o C) Fe-C C (1153 o C) Cu (1084.62 o C) Au (1064.18 o C) Ag (961.78 o C) 百年近く誰も作れなかった1100 以上の温度参照点を実用化温度計の校正が3000 まで高精度化される素材産業等に向け校正サービスを世界に先駆け開始 2012 年頃国際温度標準に採択見込み 2800 までの高温定点装置国内素材産業 3

2 () 2 ( ) ( ) 4

CHRIP( Chemical Risk Information Platform) 822 19 25 70 90% CHRIP GHS MSDS NITE20 MSDS 化学物質管理における総合的な情報提供に貢献事業者の自主管理を支援産業力向上国民の安全確保 5

福祉用具共通試験方法 6

( ite Biological Resource Center) NBRC NBRC JIS 11 33 7 41 1 2 2 4 DOGAN DOGAN (Database of the Genomes Analyzed at NITE) DDBJ/EMBL/GenBank 3,300 () Pyrococcus horikoshii OT3() 7

INTERGLAD INTERGLAD 7 10 17 18 28.6 5 90 4 1991.4 Ver.1 Ver.2 Ver.3 Ver.5 Ver.4 Ver.6.1 Ver.6 2009 Ver. 7 8

ナノテクを 支 える 極 小 の 基 準 ~ 原 子 1 個 分 の 誤 差 もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル 評 価 用 標 準 物 質 創 成 技 術 プロジェクト(ナノ 加 工 計 測 技 術 ) ( 平 成 14 年 度 ~ 平 成 18 年 度 ) 他 技 術 の 詳 細 4

ナノテクを支える極小の基準 ~ 原子 1 個分の誤差もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル評価用標準物質創成技術プロジェクト(ナノ加工計測技術 ) ( 平成 14 年度 ~ 平成 18 年度 ) 他技術の詳細 4