行 動 指 針 WIN-WINの 仕 事 で 世 界 NO.1の 製 品 を 創 ろう 東 京 精 密 のコーポレートブランド は Grow Togetherという 意 味 の ACCRETE と TECHNOLOGY の 合 成 語 で 世 界 中 の 優 れた 技 術 知 恵 情 報 を 融 合

日 本 語 COMPANY PROFILE 2016

行 動 指 針 WIN-WINの 仕 事 で 世 界 NO.1の 製 品 を 創 ろう 東 京 精 密 のコーポレートブランド は Grow Togetherという 意 味 の ACCRETE と TECHNOLOGY の 合 成 語 で 世 界 中 の 優 れた 技 術 知 恵 情 報 を 融 合 して 世 界 No.1 の 商 品 を 作 り 出 し 皆 様 と 共 に 大 きく 成 長 していく という 当 社 の 企 業 理 念 を 一 語 で 表 したものです シンボルマークの 表 現 している 内 容 高 速 回 転 する 金 色 の 物 体 は 世 界 中 から 集 めたリソース ( 人 物 金 情 報 )を 表 しており この 力 を 凝 縮 し 明 確 なターゲットを 持 って 最 先 端 の 強 力 な 製 品 を 市 場 に 投 入 していく 様 を 物 体 中 央 から 噴 出 している 高 速 ジェット 流 で 表 しています ごあいさつ 私 たち 東 京 精 密 グループは 1949 年 の 創 業 から 今 日 に 至 るまで お 客 様 の 生 産 性 向 上 に 寄 与 できる 製 品 開 発 とカスタマー サポートに 注 力 してまいりました 東 京 精 密 グループのモットーは ステークホルダーとの WIN-WIN RELATIONSHIP です お 客 様 をはじめ お 取 引 先 株 主 従 業 員 などステークホルダーの 皆 様 と 共 に 成 長 する WIN-WIN の 関 係 を 構 築 し 持 続 的 に 発 展 していくことを 目 指 しています 近 年 ものづくりの 分 野 では グローバル 化 環 境 問 題 への 対 応 IT の 進 展 など 速 くて 大 きな 経 営 環 境 の 変 化 が 起 こっています 東 京 精 密 グループは グローバル 企 業 として 自 らも 環 境 の 変 化 に 迅 速 2

に 対 応 すると 共 に 培 ってきた 精 密 測 定 技 術 と 精 密 加 工 技 術 を 通 じて お 客 様 のものづくり のイノベーションのお 手 伝 いをしてまいります 東 京 精 密 グループは 健 康 安 全 品 質 環 境 省 エネルギー 全 員 力 を 行 動 指 針 としています これらに 基 づいた 事 業 活 動 により 優 れた 半 導 体 製 造 装 置 と 計 測 機 器 を 開 発 供 給 することを 通 じて お 客 様 にご 満 足 をいただき 社 会 に 貢 献 してまいります 今 後 とも 皆 様 の 温 かいご 理 解 とご 支 援 を 賜 りますよう 宜 しくお 願 い 申 し 上 げます 代 表 取 締 役 社 長 CEO 3

東 京 精 密 は これまで 培 って 世 界 No.1 商 品 を 継 続 的 に 市 東 京 精 密 は 精 密 計 測 機 器 と 半 導 体 製 造 装 置 メーカー として 精 密 位 置 決 め 技 術 精 密 測 定 技 術 をバックボー ンにマシンコントロールゲージ 表 面 粗 さ 測 定 機 ウェーハプロービングマシンなどの 装 置 を 市 場 に 提 供 してきました 今 後 東 京 精 密 は これまで 培 ってき たこれらのコア テクノロジーに 基 づき 世 界 No.1 の 新 商 品 を 続 々と 市 場 に 投 入 していきます 確 かな 技 術 でニーズに お 応 えします 計 測 を 基 盤 に さらなる 成 長 を 精 密 測 定 機 器 High Precision Measuring Instrument 計 測 社 は 世 界 の 自 動 車 産 業 工 作 機 械 航 空 機 等 あら ゆる 産 業 界 において 東 京 精 密 が 提 供 する 高 精 度 精 密 測 定 機 器 は 精 密 測 定 室 あるいは 機 械 加 工 ラインで 用 いら れており お 客 様 に 高 い 評 価 を 頂 いております これから も 耐 環 境 性 の 向 上 小 型 化 オペレーションの 自 動 化 など たゆまぬ 製 品 開 発 をおこなってまいります 4

きたコアテクノロジーに 基 づき 場 に 投 入 していきます 最 先 端 のものづくりを 支 えます 半 導 体 の 技 術 進 化 と 共 に 成 長 を 続 けます 半 導 体 製 造 装 置 Semiconductor Production Equipment 半 導 体 社 は 従 来 のウェーハ 製 造 分 野 及 び テスト 分 野 後 工 程 分 野 で 世 界 のトップシェアを 確 立 してまいりま した これらに 加 え CMP 装 置 や 薄 片 化 分 野 にも 進 出 し 半 導 体 製 造 工 程 における お 客 様 の 最 適 生 産 システム 構 築 をサポートしております 5

事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 三 次 元 座 標 測 定 機 Coordinate Measuring Machines 部 品 の 高 精 度 化 に 対 応 高 スループットを 実 現 するアクティブスキャニング 技 術 簡 単 操 作 を 可 能 にするAI 機 能 高 スループットを 実 現 するアクティブスキャニング 技 術 に 加 え 高 速 スキャニング 精 度 を 飛 躍 的 に 向 上 するNavigator 機 能 を 搭 載 した PRISMO Navigatorシリーズ コストパフォーマンスを 追 求 したザイザックスFUSION NEXシリーズ 簡 単 なオペ レーションを 実 現 するAI 機 能 を 持 ったザイザックスSVA NEX SVF NEXシリーズ など 使 用 目 的 にマッチした 三 次 元 座 標 測 定 機 を 提 供 いたします PRISMO navigator 高 速 スキャニング 精 度 を 飛 躍 的 に 向 上 する Navigator 機 能 を 搭 載 アクティブスキャニングプローブ VAST gold を 採 用 し スキャニング 測 定 ポイント 測 定 のい ずれも 高 速 高 精 度 な 測 定 を 実 現 温 度 の 影 響 を 極 力 避 けた 斬 新 なデザイン ACCURA 大 型 部 品 の 高 精 度 かつ 高 速 測 定 に 対 応 し 各 種 ZEISSスキャニングプローブが 搭 載 可 能 な 新 シリーズ 最 大 移 動 速 度 800mm/s(option)を 実 現 高 精 度 化 対 応 :CAA 補 正 (Computer Aided Accuracy) NEW CONTURA 小 型 スキャニングプローブ VAST XXT と 回 転 プローブヘッドRDSの 組 み 合 わせで 複 雑 形 状 のワークを 高 効 率 高 精 度 で 測 定 することが 可 能 経 済 性 にも 考 慮 した 設 計 で 優 れたコスト パフォーマンス MICURA 最 も 小 さいフットプリントとクラス 最 大 の 測 定 範 囲 を 実 現 医 療 器 具 や 歯 車 等 超 高 精 度 測 定 が 要 求 され る 様 々なアプリケーションに 対 応 6

各 種 プローブ 測 定 するワークや 精 度 効 率 など 用 途 に 合 わせてプローブの 選 択 が 可 能 VAST gold VAST XTR gold VAST XT gold RDS VAST XXT PH10T ラインレーザ センサ ザイザックス FUSION NEX シリーズ 東 京 精 密 のハード 技 術 と カールツァイス 社 の 世 界 唯 一 アクティブスキャニングテクノロジーを 融 合 測 定 精 度 (MPEE = 1.6 + 3L/1000 μ m) スキャニング 精 度 (MPETHP = 2.1 μ m)を 保 証 スキャニング 精 度 は 実 ワークに 即 した 国 内 初 のスタイラス 長 さ 300 mm でも 保 証 回 転 式 プローブ PH10T へ 交 換 可 能 NEW ザイザックス SVA NEX シリーズ SVAシリーズのデザインを 一 新 カールツァイス 社 の 優 れた 制 御 技 術 と 東 京 精 密 の 高 剛 性 設 計 技 術 を 融 合 した 高 精 度 タイプ NEW ザイザックス mju NEX シリーズ Hybrid Guideway Technologyを 搭 載 し 安 定 した 測 定 精 度 と 省 エネ 化 を 実 現 NEW ザイザックス SVF NEX シリーズ RVFシリーズのデザインを 一 新 新 しく 生 まれ 変 わったエントリーモデルの マニュアル 三 次 元 座 標 測 定 機 7

事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 測 定 機 Surface Texture and Contour Measuring Instruments 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 測 定 機 サーフコムCRESTは 高 速 高 精 度 低 振 動 という 相 反 する 要 求 を 当 社 の 独 自 技 術 で 実 現 した 高 精 度 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 統 合 測 定 機 です また 好 評 のリニアモータ 駆 動 部 により 高 速 低 振 動 を 実 現 し 新 開 発 の 高 分 解 能 検 出 器 により 高 精 度 を 実 現 した 世 界 No.1の 性 能 を 持 っ た 測 定 機 です 1 回 の 測 定 で 表 面 粗 さと 輪 郭 形 状 の 両 方 の 評 価 解 析 が 可 能 となるため 検 出 器 の 付 け 替 え 時 間 が 節 約 されるとともに 測 定 部 の 高 速 化 (200 mm/s)による 高 スループットの 向 上 を 実 現 しました また 新 製 品 のサーフコムNEXシリーズや 現 行 のリニアモータ 搭 載 の 普 及 機 サーフコム1500DX3 コンターレコード1700DX3 等 も これまでの 概 念 を 超 えた 低 振 動 で 高 倍 率 測 定 が 可 能 です NEW 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 統 合 測 定 機 サーフコム CREST 最 新 技 術 リニアモータを 採 用 高 精 度 高 速 測 定 を 実 現 世 界 No.1 の 高 精 度 高 性 能 粗 さ 輪 郭 統 合 測 定 機 高 安 定 倍 光 路 型 レーザ 干 渉 センサを 採 用 高 分 解 能 ( 分 解 能 0.31 nm 測 定 レンジ13 mm)を 実 現 1 回 の 測 定 で 粗 さと 輪 郭 の 評 価 解 析 が 高 効 率 で 可 能 データ 処 理 システム ACCTee 粗 さ 輪 郭 ACCTee All in One Document! ACCTee は 新 コンセプトの 測 定 スタイルを 提 唱 すべく 開 発 ドキュメントベースで 測 定 や 解 析 が 行 え 抜 群 の 操 作 性 を 実 現 粗 さ 測 定 AI 機 能 は 規 格 や 評 価 目 的 に 最 適 なパラメータや 解 析 条 件 を 自 動 選 定 が 可 能 輪 郭 解 析 AI 機 能 は 幾 何 要 素 を 自 動 的 に 抽 出 することが 可 能 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 統 合 測 定 機 サーフコム NEX100 ピッチ 計 算 計 算 結 果 クラス 最 高 精 度 を 実 現 した 統 合 測 定 機 新 開 発 デュアルセンサを 搭 載 し 粗 さと 輪 郭 を 一 度 に 測 定 レトロフィット 対 応 による 既 存 機 の 価 値 向 上 (リニアシリーズ) 8

NEW 非 接 触 表 面 粗 さ 輪 郭 形 状 測 定 機 サーフコム CREST Lp オートフォーカス 方 式 を 採 用 NEW 輪 郭 形 状 測 定 機 サーフコム NEX 030/040 リニアモータ 駆 動 部 を 採 用 高 精 度 スケールを 搭 載 表 面 粗 さ 測 定 機 サーフコム 480B 広 視 野 で 鮮 明 なカラー 液 晶 タッチパネルで スムーズな 操 作 性 を 実 現 オペレータにやさしいガイダンス 機 能 カスタマイズ 機 能 等 を 搭 載 した 現 場 向 け 測 定 機 表 面 粗 さ 測 定 機 サーフコム FLEX-50A コンパクト 設 計 により 持 ち 運 び 可 能 現 場 でも 確 認 しやすい 大 きなカラー 画 面 を 搭 載 ワークに 合 わせて 駆 動 部 の 付 け 替 えが 可 能 表 面 粗 さ 測 定 機 ハンディサーフ E-35B, -40A, -45A JIS 2001 その 他 各 国 規 格 の 測 定 パラメータ 装 備 差 し 替 え 可 能 な 変 位 形 ピックアップ 搭 載 あらゆる 姿 勢 で 測 れる 全 姿 勢 タイプ 採 用 汎 用 計 測 機 器 光 学 測 定 機 器 Optical Measuring Instruments NEW 非 接 触 三 次 元 表 面 粗 さ 形 状 測 定 機 Opt-scope 機 械 加 工 部 品 の 表 面 粗 さ 形 状 を 非 接 触 で 短 時 間 に 測 定 NEW 非 接 触 干 渉 変 位 センサー Opt-measure 白 色 干 渉 法 を 原 理 とした 測 長 システム 高 精 度 高 感 度 な 測 定 が 可 能 環 境 温 度 の 変 化 に 強 い 9

事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 真 円 度 円 筒 形 状 測 定 機 Cylindrical Form Measuring Instruments 測 定 室 からラインサイドへの 展 開 ロンコム 65B NEW 世 界 トップクラスの 回 転 精 度 を 実 現 した テーブル 回 転 型 のフラッグシップモデル ベースや 各 軸 にはんれい 岩 を 採 用 世 界 最 高 の 回 転 精 度 を 誇 るロンコム 65B オートセンタリング チルチング 機 能 でハイスループットを 実 現 CNC 検 出 器 でフル オートメーションを 可 能 にしました ロンコム 60A Z 軸 R 軸 にエアベアリングを 採 用 回 転 精 度 0.02 µmを 保 証 オートセンタリング チルチング 時 間 60 秒 以 内 を 実 現 NEW ロンコム NEX Rs DX 真 円 度 と 表 面 粗 さの 高 精 度 測 定 を 実 現 オールインワンの 省 スペース 化 を 実 現 NEW ロンコム NEX SD クラストップの 回 転 精 度 を 実 現 オフセット 型 CNC 検 出 器 ホルダを 採 用 ロンコム 43C 自 動 測 定 機 能 により 生 産 現 場 における 量 産 繰 り 返 し 測 定 に 最 適 なマシン 真 直 度 保 証 付 きコラムを 装 備 円 筒 解 析 が 行 える エコノミータイプ ロンコム TOUCH 入 門 機 に 最 適 なエントリークラスの 手 動 真 円 度 測 定 機 コラム 移 動 型 の 独 創 的 デザイン 設 置 面 積 を 従 来 比 50% 以 下 に 削 減 Windowsタブレットを 採 用 タッチスクリーンにより 誰 で も 使 える 高 操 作 性 を 実 現 10

データ 処 理 システム ACCTee 真 円 度 ACCTee オフ セット 型 CNC 検 出 器 ホルダ All in One Document! ACCTee は 新 コンセプトの 測 定 スタイルを 提 唱 すべく 開 発 ドキュメントベースで 測 定 や 解 析 が 行 え 抜 群 の 操 作 性 を 実 現 Easy モードとExpert モードで 初 心 者 から 高 度 なCNCプログ ラミングまで 柔 軟 に 対 応 ドキュメント 画 面 ロンコム 73A クラス 最 高 精 度 を 実 現 シリンダブロックやクランクシャフト 等 の 測 定 に 最 適 安 全 機 構 や CNC 機 能 が 標 準 搭 載 ロンコム 76A 高 速 駆 動 により 測 定 のハイスループット 化 を 実 現 測 定 箇 所 の 位 置 決 めから 測 定 データの 作 成 まで 完 全 無 人 化 を 実 現 実 績 のあるエアベアリングを 搭 載 7 軸 CNC 制 御 の 最 高 級 機 世 界 最 高 水 準 の 精 度 を 実 現 最 大 積 載 質 量 1トンまで 対 応 可 能 (オプション) シリンダブロックやクランクシャフトの 測 定 例 11

事 業 内 容 / 計 測 汎 用 計 測 機 器 ショップフロア( 生 産 現 場 ) 対 応 測 定 機 Measuring Instruments for Shop Floor 東 京 精 密 がショップフロア( 生 産 現 場 )の ライン 計 測 に 最 新 テクノロジを 提 案 測 定 効 率 の 向 上 コスト 削 減 および 品 質 向 上 を 目 指 し ショップフロア( 生 産 現 場 ) での 測 定 要 求 が 高 まっています この 要 望 に 応 え 東 京 精 密 では 測 定 の 自 動 化 に 対 応 し 耐 環 境 性 に 優 れたショップフロア 向 けの 測 定 機 を 提 供 します CNC 表 面 粗 さ 測 定 機 サーフコムC5 は CNC 5 軸 制 御 により 表 面 粗 さの 自 動 測 定 が 可 能 です また 三 次 元 座 標 測 定 機 CenterMax GageMax は 耐 環 境 性 が 飛 躍 的 に 向 上 し 厳 しい 生 産 現 場 計 測 に 貢 献 します DuraMax コンパクトなボディにZeissテクノロジーを 凝 縮 電 源 1 本 で 測 定 準 備 OK プラグ&プレイを 実 現 スリムで 省 設 置 スペースのデスクトップタイプ スキャニング 技 術 で 信 頼 性 の 高 い 真 円 度 & 評 価 業 界 初 省 エネ 志 向 の 三 次 元 座 標 測 定 機 CNC 表 面 粗 さ 形 状 測 定 機 サーフコム C5 シリンダボア 内 面 の 真 円 度 測 定 に 特 化 可 搬 式 内 径 真 円 度 測 定 機 ピックアップ 駆 動 部 コラムをCNC 5 軸 制 御 生 産 現 場 での 表 面 粗 さの 自 動 化 が 可 能 横 トレース 測 定 機 能 を 搭 載 し 多 種 多 様 なワークの 測 定 が 可 能 ロンコム ZERO1 現 場 のラインサイドへ 持 ち 運 び 可 能 な 軽 量 コンパクト 設 計 シリンダボアの 測 定 部 でのワンタッチセンタリングが 可 能 測 定 子 交 換 方 式 により 35mm 径 差 に 対 応 エア 源 不 要 高 精 度 CNC 三 次 元 座 標 測 定 機 CenterMax navigator 環 境 温 度 15 ~ 35 で 測 定 精 度 を 保 証 温 度 変 化 に 対 して 伸 縮 しない 特 殊 スタイラス ( サ ー モ フィット )を 開 発 ZEISS VASTアクティブスキャニングプローブ を 搭 載 GageMax navigator 耐 環 境 性 を 重 視 した 構 造 設 計 生 産 ライン 計 測 での 高 精 度 測 定 を 実 現 環 境 温 度 15 ~ 40 で 測 定 精 度 を 保 証 ZEISS VAST-XT gold アクティブスキャニングプローブを 搭 載 12

汎 用 計 測 機 器 超 大 型 測 定 機 Measuring Instruments for Large Works 航 空 機 エネルギー 自 動 車 工 作 機 械 印 刷 機 などの 大 型 で 高 精 度 な 部 品 の 測 定 に 最 適 な 測 定 機 超 大 型 三 次 元 座 標 測 定 機 MMZ-G シリーズ(フロア 設 置 型 ) フロアそのものを 測 定 テーブルとし 大 型 重 量 物 の 測 定 ワークの 搬 送 等 が 容 易 大 型 の 三 次 元 座 標 測 定 機 では 最 高 の 測 定 精 度 を 提 供 大 型 三 次 元 座 標 測 定 機 MMZ-T シリーズ( 測 定 テーブル 型 ) 大 型 ギア 等 の 測 定 に 理 想 的 な 精 度 と 測 定 範 囲 大 型 真 円 度 表 面 粗 さ 輪 郭 統 合 測 定 機 ロンコム GRANDE DUO 新 開 発 の 高 精 度 エアベアリング 等 を 採 用 耐 久 性 に 優 れた 風 力 発 電 機 部 品 大 型 ベアリング 等 の 真 円 度 と 形 状 の 同 時 評 価 に 対 応 フレキシブル R 軸 の 採 用 小 径 ~ 大 径 まで 幅 広 い 測 定 径 に 対 応 13

事 業 内 容 / 計 測 自 動 計 測 機 器 In-Line Measuring Systems 100% のアップタイム 100% の 良 品 作 りを 目 指 すユーザーの 信 頼 に 東 京 精 密 は 応 えてまいりました 東 京 精 密 は 1960 年 代 の 日 本 の 自 動 車 産 業 の 勃 興 と 共 に インラインの 計 測 機 器 メーカーとし ての 歩 みを 始 めました それ 以 降 製 造 ラインに 求 められたものは 何 か? それは 1 日 24 時 間 週 7 日 1 年 365 日 のフル 稼 働 100% の 良 品 そして 100% のアッ プタイムです 東 京 精 密 は インプロセスゲージによるリアルタイム 制 御 ポストプロセスゲージ によるフィードバック 制 御 そしてそれらを 統 合 したフィードフォワードシステムにより 計 測 機 器 メーカーとしてお 客 様 のニーズにお 応 えしてきました そして 短 納 期 アプリケーションへの 対 応 能 力 高 い 信 頼 研 削 盤 用 オートバランサ 性 など トータルのサポート 能 力 で 高 い 評 価 を 克 ち 取 りまし た またサイト 毎 の 強 力 なサービス 体 制 も 東 京 精 密 の 大 きな 特 長 です インライン 計 測 システム 作 りでの 経 験 実 績 こそ 現 在 の 半 導 体 製 造 装 置 をも 含 むインラインの 総 合 精 密 測 定 機 器 メーカーとしての 東 京 精 密 のバックグラウンドなのです 研 削 盤 用 測 定 システム リヤ フロント 仕 上 げ 研 削 ジャーナル 中 仕 上 げ 研 削 外 径 測 定 外 径 測 定 クランクシャフト 加 工 ライン 外 径 測 定 前 後 面 切 削 穴 アケ 加 工 基 準 面 切 削 加 工 シリンダブロック 加 工 ライン 品 質 確 認 用 検 査 装 置 14

クランクシャフト J.P 径 測 定 刻 印 機 ジャーナル 径 ピン 径 を 専 用 3 連 ヘッドで 測 定 し 所 定 のマーキングを 行 います 加 工 監 視 システム 完 成 品 総 合 自 動 検 査 機 ピン ジャーナル 仕 上 げ 研 削 完 成 品 外 径 マルチ 測 定 + 真 円 度 測 定 シリンダブロック 測 定 刻 印 機 ボア 径 クランク 穴 径 クランク 穴 同 軸 度 等 を 測 定 し 所 定 のマーキングを 行 う 自 動 機 です ライナー 圧 入 穴 中 ぐり 加 工 内 径 測 定 パルコム BG( 内 径 ポストプロセス 測 定 ) 旋 盤 用 測 定 システム 切 粉 マシニングセンタ 用 測 定 システム 15

事 業 内 容 / 計 測 自 動 計 測 機 器 マシンコントロールゲージ Machine Control Gages インラインでの 高 精 度 測 定 機 器 制 御 を リアルタイムに 行 う 強 力 なラインナップ 各 種 測 定 ヘッド マシンコントロールゲージ パルコムは 加 工 中 あるいは 加 工 前 後 に 測 定 したデータをもとに 工 作 機 械 をリアルタイムに 制 御 する 装 置 です 東 京 精 密 のマシンコントロールゲージの 最 大 の 特 長 は 他 を 凌 駕 するその 高 精 度 にあります 従 来 製 品 の 精 度 を 大 幅 に 上 回 る 0.1 μ m という 高 精 度 測 定 システムを 開 発 し ますます 高 精 度 化 する 加 工 技 術 を 強 力 にバックアップ 幅 広 い 環 境 に 設 置 可 能 な 完 全 防 水 構 造 なので さまざまなラインに 対 応 し インラインでの 高 速 測 定 機 器 制 御 を 実 現 します また 各 種 の 自 動 測 定 刻 印 選 別 機 もカスタムメイドで 供 給 しており パルコムとともに 国 内 ではもとより 海 外 でも 広 く 採 用 され 高 い 信 頼 を 得 ています 安 定 性 向 上 ( 温 度 特 性 に 優 れた 測 定 ヘッド) 小 型 省 スペース マシンコントロールゲージ 管 制 部 パルコム V10A + V11 真 円 度 測 定 SPC 制 御 などの 豊 富 な 機 能 パルコム V9 高 い 拡 張 性 タッチパネル&アイコン 表 現 に よる 直 感 的 な 操 作 が 可 能 パルコム V2 単 純 形 状 ワークのインプロセスラインに 最 適 ミニコム X 手 作 業 工 程 半 自 動 機 等 小 規 模 な 検 査 工 程 に 最 適 加 工 監 視 システム 砥 石 オートバランサ アルミ 高 速 切 削 加 工 監 視 装 置 16 パルコム GE-20 小 型 ローコストタイプ どんな 場 所 にも 手 軽 に 設 置 できます パルコム AB-10 砥 石 交 換 時 間 半 分 以 下 誰 でも 安 全 自 動 理 想 的 な 動 バランス 状 態 に びびり 防 止 による 加 工 品 質 の 向 上 ATC 振 れ 測 定 システム 振 れを 検 出 して 加 工 不 良 を 防 止 するシステム

自 動 計 測 機 器 センサおよび 解 析 表 示 部 Sensors, Analyzers and Display Units コンパクトで 高 精 度 そしてラインで 鍛 え 抜 かれた 信 頼 性 東 京 精 密 は 様 々な 測 定 原 理 に 基 づく 豊 富 なセンサを 揃 え ライン 計 測 のあらゆるニーズに 応 えます 長 い 実 績 を 持 ち 高 く 評 価 されているこれらのセンサ 類 は ラインの 中 の 測 定 に 求 められる 扱 いやすさ や 視 認 性 機 器 組 み 込 み に 必 要 な 高 速 応 答 性 検 査 室 用 途 に 求 められる 高 精 度 をすべて 兼 ね 備 えています さらにお 客 様 のニーズをい ち 早 くとらえて 各 種 の 非 接 触 センサなどの 製 品 開 発 を 積 極 的 に 行 っています 空 気 マイクロメータ 高 精 度 デジタル 測 長 器 PHA シリーズ デルテア 22H PC 接 続 型 検 査 装 置 USB 接 続 PC にて 測 定 USB バスパワーにて 動 作 マルチゲージ システム 多 彩 なラインナップ LVDT-USB : コンパクトな 測 定 ヘッド 電 気 マイクロメータ PHA-USB : 高 精 度 広 測 定 範 囲 光 学 スケールゲージ Air micro USB : エアノズルにより 検 出 した 微 小 寸 法 変 化 を 電 気 量 に 変 換 接 触 式 ウェーハ 厚 さ 測 定 機 WT- 425シリーズ 光 ファイバ 結 合 レーザ 干 渉 測 長 器 ディスタックス 300A 小 型 角 度 割 出 測 定 ヘッド 薄 型 3 軸 測 定 ヘッド 17

事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ウェーハプロービングマシン Wafer Probing Machines 世 界 No.1 サプライヤーが 提 供 する 最 上 位 300mm ウェーハ 機 新 アルゴリズムによる 高 速 ウェーハハンドリングとプローバ 用 に 新 開 発 した 専 用 駆 動 ユニットによる 高 速 高 静 粛 XY ステー ジの 相 乗 効 果 により 驚 異 的 なスループットを 実 現 更 に Z 軸 は 世 界 最 高 水 準 の 耐 荷 重 と 高 精 度 を 確 保 し ポジションによる 平 面 度 変 化 を 徹 底 的 に 排 除 するトポロジー 最 適 化 構 造 設 計 により 最 高 のコンタクトを 提 供 します UF3000EX で は OTS 最 新 位 置 決 め 技 術 を 更 に 進 化 させ ウェーハアラ イメント 画 像 のカラー 処 理 化 や 超 高 倍 率 機 能 の 搭 載 により 精 度 や 操 作 性 も 飛 躍 的 に 向 上 しています 高 精 度 300mm ウェーハ 機 独 創 的 な OTS QPU TTG など 最 先 端 の 技 術 を 融 合 した 超 高 性 能 システムにて 次 世 代 デバイスの 微 細 化 多 様 なテスト 環 境 に 対 し お 客 様 のニーズに 合 ったテス トシステムをご 提 供 いたします ダイシング 用 フレームにマウントされた 薄 いウェーハ ダイシング 済 みウェーハ CSP 基 板 をフレームごと 自 動 搬 送 しプロービングテストします 18

最 小 フットプリント ハイスループットを 実 現 した 高 精 度 な XXZ 制 御 システム 機 です カラー 液 晶 タッ チパネルにより 優 れた 操 作 性 と 光 デバイス 高 輝 度 LED 測 定 に 対 応 しています MINIMUM フットプリント ハイスループットを 実 現 した 高 精 度 な XYZ 制 御 システム 機 です マニュアル~セミオート~フルオートまでシステム 構 成 が 自 在 です 2 ステーション 同 時 測 定 高 信 頼 性 高 速 測 定 が 可 能 です 多 種 デバイス(パワーデバイス) ピンデバイ ス 対 応 可 能 です 19

事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ウェーハプロービングマシン Wafer Probing Machines お 客 様 のプローバ 工 程 品 質 とデータの 管 理 テスト 結 果 解 析 自 動 化 に 役 立 つ ACCRETECH ネットワーク System Integration ACCRETECH のプローバは SEMI の GEM(E30) CMS(E87) PJ (E40) CJ(E94)などの 規 格 の 他 オリジナルネットワー クである Vega-Net Light-Veganet 及 び Vega-Planet を 組 み 合 わせることにより ファクトリ オートメーションをリード 致 します UF シリーズでは 次 世 代 リモートターミナル 機 能 を 搭 載 し e-maintenance / e-diagnostic を 提 供 致 します システム 構 成 20

多 様 なデバイス 要 求 に 応 える プローバ バリエーション UF シリーズ 次 代 が 要 請 するデバイス 進 化 に 対 応 最 先 端 のインテリジェント 機 能 を 搭 載 したフルオート プローバ 東 京 精 密 は ウェーハ 製 造 デバイス 検 査 装 置 のトップメーカーとして 常 に 積 極 的 な 技 術 開 発 を 推 し 進 めてきました この 永 年 に 及 ぶ 高 度 なノウハウと 最 新 の 技 術 を 結 集 して 開 発 されたのが 最 新 型 プローバ UF シリーズです 高 精 度 高 性 能 高 機 能 であることはもちろん さらに 完 全 自 動 化 自 己 診 断 機 能 GUI 採 用 など 高 い 操 作 性 と 安 定 性 も 実 現 まさに デバイス 進 化 を 先 取 りした 最 先 端 のプローバです UF2000 高 精 度 200mm ウェーハ 機 FP2000 CSP/WCSP 向 けフレーム 搬 送 対 応 マシン ± 1.5 μ m 精 度 高 剛 性 高 いスループットを 実 現 した 最 新 鋭 機 です 新 プロセッサの 採 用 と 新 しいローダの 性 能 でウェーハ 処 理 に 威 力 を 発 揮 します UF200R メモリ 向 け 超 高 剛 性 マシン UF190R バイポーラ 向 け 高 速 マシン 21

事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 フルオートマチックダイシングマシン Full-automatic Dicing Machine 最 先 端 テクノロジーのコラボレーションとサポート 体 制 が 顧 客 満 足 度 を 向 上 させた 東 京 精 密 のフルオートマチックダイシングマシンは コア 技 術 を 駆 使 した 世 界 最 小 フッ トプリント 高 スループットと 高 加 工 品 質 により 優 れた CoO(Cost of Ownerships) を 実 現 します 独 自 開 発 の 対 向 式 Twin スピンドル 軸 配 置 最 適 化 を 追 求 した 斜 めレイ アウトでのメンテナンス 性 向 上 など トータルバランスに 優 れた 装 置 を 提 供 します さ らに 10BEST 連 続 受 賞 につながったグローバルなユーザーサポート 体 制 もあわせ 東 京 精 密 はフルオートマチックダイシングマシンの 新 たな 世 界 を 拓 きます AD2000T AD3000Tは 従 来 機 と 比 較 して 小 型 化 に 成 功 しました 従 来 機 4 台 必 要 最 小 限 の X 軸 移 動 AD2000T AD3000T 5 台 対 向 型 TWIN スピンドル 従 来 機 AD3000T フルオートマチックダイシングマシン AD3000T/S 対 向 式 Twin スピンドル/ Single スピンドル 搭 載 の 300mm ワーク 対 応 フルオートダイサー 高 出 力 スピンドル 標 準 装 備 フルオートマチックダイシングマシン AD2000T/S 対 向 式 Twin スピンドル/ Single スピンドル 搭 載 の 200mm ワーク 対 応 フルオートダイサー 高 出 力 スピンドル 標 準 装 備 22

半 導 体 製 造 装 置 セミオートマチックダイシングマシン Semi-automatic Dicing Machine ユーザーフレンドリーな 操 作 で 高 加 工 品 質 を 実 現 東 京 精 密 は 長 年 培 ってきた 切 断 ノウハウを 定 量 化 することによって 切 断 条 件 を 総 合 的 に 判 断 し お 客 様 が 加 工 するそれぞれのウェーハに 最 適 な 加 工 条 件 を 実 現 し 常 に 高 品 質 加 工 を 維 持 します また 消 費 電 力 消 費 エアも 大 幅 に 削 減 したハイコストパフォーマンスマシン です 又 自 動 アライメント 機 能 を 搭 載 しているため オペレータの 負 担 が 少 なく ユーザー フレンドリーな 操 作 性 が 特 長 です 世 界 最 世 小 界 最 のフットプリントを 小 の 実 現! フットプリントを 実 現 フットプリント ダウン 従 来 製 品 AD20T/S SS30 SS20 SS10 当 社 コア 技 術 を 駆 使 した 世 界 最 小 セミオートダイサ SS シリーズ 当 社 従 来 比 で 40%の 省 フットプリント 化 を 達 成 高 出 力 スピンドル 標 準 搭 載 ハイパワー Twin スピンドル 搭 載 モデルと Single スピンドルモデルを 選 択 可 能 高 剛 性 低 振 動 設 計 により 優 れた 切 削 環 境 を 実 現 一 新 した GUI(Graphical User Interface) 17 インチ LCD タッチパネ ルを 搭 載 らくらくオペレーション 200mm ウェーハ 対 応 半 導 体 製 造 装 置 17 インチ LCD タッチパネル 搭 載 による 操 作 性 の 向 上 自 動 アライメント 機 能 標 準 搭 載 各 装 置 世 界 最 小 フットプリント パッケージシンギュレーションマシン Package Singulation Machine シンギュレーション 対 応 機 で 国 内 外 主 要 メーカのピック アンド プレースユニットとの 接 続 が 可 能 独 立 型 2 ステージの 開 発 により 切 削 位 置 決 めの 並 列 処 理 を 可 能 にし 最 大 2 倍 の 高 速 ダイシングを 実 現 しました 接 続 するハンドラーとの 連 携 時 間 短 縮 により システム 全 体 の 作 業 効 率 向 上 と 処 理 時 間 を 大 幅 に 高 速 化 しました Scrap Box ハンドラー PS 280 Cassette Handler Arm 独 立 型 2ステージダイシング 装 置 PS 280 ハンドラーとの 接 続 例 23

事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 精 密 切 断 ブレード Precision ACCRETECH Blade 東 京 精 密 の 精 密 切 断 ブレードは 独 創 的 開 発 技 術 とアプリケーション 技 術 の 融 合 により あらゆる 被 削 材 や 加 工 用 途 に 対 応 できる 製 品 をラインナップし 時 代 が 求 める 高 品 位 低 コスト のニーズにお 応 えします <ニッケルブレード> 電 鋳 法 を 利 用 したニッケル 金 属 ベースのブレードです 世 界 に 認 められたその 性 能 は 抜 群 の 安 定 性 をお 約 束 しま す ニッケルブレードの 持 つ 剛 性 耐 摩 耗 性 を 生 かしつ つあらゆる 分 野 での 可 能 性 を 追 求 し 続 けます <メタルブレード> 金 属 パウダーベースのブレードです 優 れた 材 料 技 術 を 基 に 幅 広 いラインナップを 取 り 揃 えております ガラス 用 には GM シリーズ セラミック 用 には YM シリーズ 等 用 途 に 合 わせてお 選 び 下 さい <ハブタイプブレード> より 速 く より 長 く このシンプルな 要 求 に 高 い 次 元 で 応 えるハブタイプブレード この 切 断 性 能 は 実 際 にお 使 いいただければ 必 ず 実 感 していただけます <レジンブレード> 樹 脂 パウダーベースのブレードです 高 い 切 れ 味 を 維 持 し ハイスピード 長 寿 命 化 を 目 指 しています < 超 硬 メタルソー> さまざまな 金 属 基 盤 を 切 削 切 断 し バリを 発 生 させない 超 硬 メタルソー 切 断 のトータルソリューションで 新 しい 需 要 にお 応 えします <ドレッシングプレート> 品 質 の 安 定 とブレードの 切 れ 味 を 保 つドレッシングプ レート 最 適 な 条 件 下 でのドレスにより ブレードの 性 能 を 最 大 限 に 引 き 出 します 24

半 導 体 製 造 装 置 マホーダイシングマシン MAHOHDICING MACHINE 平 成 18 年 度 優 秀 省 エネルギー 機 器 表 彰 で 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 世 界 初 薄 型 シリコンウェーハを 表 面 に 損 傷 を 与 えず 非 接 触 で 切 断 このレーザダイサは Si ウェーハの 内 部 にレーザを 照 射 して 選 択 的 に 改 質 層 を 形 成 させながら その 改 質 層 を 垂 直 に 成 長 させてチップ 分 割 のためのダイシングラ インを 形 成 します (ステルスダイシング) 脆 く 欠 けやすい 薄 型 単 結 晶 Si ウェーハでも 物 理 的 ストレスを 与 えずにダイシングができます ML200PLUS/ML300PLUS は I ラインを 加 工 するスキャン 数 を 大 幅 に 削 減 することで 2 倍 以 上 のスループット 向 上 が 可 能 となります 完 全 ドライプロセスのため 洗 浄 を 必 要 として いません レーザダイシングマシン ML300PLUS WH レーザ 光 源 集 光 レンズ 改 質 層 Si ウェーハ レーザダイシングマシン ML200PLUS Polish Grinder との 接 続 例 PG3000 ML300 Mosaic cut 例 レーザー 出 力 を ON/OFF 制 御 する 事 により 多 彩 なレーザー 加 工 に 対 応 可 能 です 4 3 1 2 *-** *-** RM 加 工 サンプル :ミラーウェーハ 機 種 名 :ML200 Plus ウェーハサイズ :200mm ウェーハ 厚 さ :300um チップサイズ : 八 角 形 - 10mm 25 0 25

事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ポリッシュ グラインダ Polish Grinders 東 京 精 密 独 自 の 発 想 から 生 まれたポリッシュ グラインダはシステム イン パッケージ(SiP) や 三 次 元 実 装 技 術 に 要 求 されるウェーハの 薄 片 化 とダメージ 除 去 を1 台 の 装 置 で 実 現 することに より 搬 送 によるウェーハの 割 れ 欠 け 問 題 を 解 決 RM モジュール(オプション) ロードポート 連 続 したウェーハ 投 入 を 可 能 にする 2 ロー ドポート ロードポート 毎 又 はウェーハ 毎 の レシピセッティングを 実 現 しています アンロードポート 連 続 したダイシングフレーム 収 納 を 可 能 にする 2 アンロードポートを 採 用 し また 自 動 搬 送 装 置 AGV/OHT/PGV に 対 応 PG200/3000 の 工 程 に 加 えて 薄 板 化 されたウェーハに 貼 り 付 けられた 表 面 保 護 テープの 剥 離 工 程 からダイシングフレームに ウェーハを 貼 り 付 けるまでの 工 程 を 1 台 の 装 置 内 で 実 現 した RM モジュール RM200/3000 です 特 長 工 程 の 集 積 : 粗 研 削 仕 上 研 削 ポリッシング 工 程 仕 上 げ 研 削 部 粗 研 削 部 ウェーハの 両 面 洗 浄 を 1 台 の 装 置 で 実 現 ポリッシュ 部 BGテープクリーニング/ ハンドクリーニング 部 BGテープ 剥 離 部 安 定 した 搬 送 : 研 削 されたウェーハは 着 脱 されること なく 薄 板 化 の 工 程 を 完 了 させて 次 工 程 へ 搬 送 世 界 最 小 のフロアスペース パッドコンディショニング 部 4 3 DCテープ 貼 付 部 環 境 に 配 慮 : 薬 液 を 用 いずにダメージ 層 除 去 1 2 安 全 対 策 : ウェット 工 程 のため 発 塵 無 し 通 信 機 能 : 薄 いウェーハの 受 け 渡 しを 最 小 回 数 に 抑 え *- ** *- ** るための 搬 送 機 構 とインライン 接 続 する RM モジュー ルをも 含 むデータ 管 理 と 通 信 26 スピニング 部 UV 照 射 部 品 質 管 理 : ポストプロセスゲージを 用 いたデータ 管 理 と 通 信

半 導 体 製 造 装 置 高 剛 性 研 削 盤 High Rigid Grinder 短 時 間 でダメージのない 加 工 を 実 現 東 京 精 密 の 高 剛 性 研 削 盤 は 難 削 材 料 として 知 られているサファイア 基 板 やSiC 基 板 などの 硬 脆 性 材 料 を 研 削 する 装 置 です HRG300 は 大 口 径 ワーク(300mm)の 枚 葉 研 削 加 工 や 支 持 基 板 に 取 り 付 けた 小 径 ワークのバッチ 研 削 加 工 が 可 能 です 特 長 高 剛 性 高 加 工 能 率 低 加 工 コスト バッチ 処 理 対 応 IPG 搭 載 常 時 ドレス 機 構 (オプション) 高 剛 性 研 削 盤 HRG300 SiC の 加 工 事 例 研 削 だけで 鏡 面 加 工 が 可 能 になります 自 動 ローダーユニット(オプション) 対 象 材 料 サファイヤ SiC GaN ALN LT 等 の 難 削 材 Ra: 0.247nm PV: 1.829nm 砥 石 :HW8000V 仕 上 げ 対 象 ワーク サ イ ズ : φ2~φ12インチ 最 大 厚 さ : 20mm( 支 持 基 盤 の 厚 さを 含 む) 27

事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 CMP 装 置 Chemical Mechanical Planarizers 多 様 なプロセス 要 求 に 応 える 最 新 鋭 の CMP 装 置 hemical ighly ccurate echanical lanarizer 東 京 精 密 は これまで 培 ってきた 精 密 計 測 機 器 及 び 半 導 体 製 造 装 置 の 技 術 を 融 合 し さまざまな 要 求 されるプロセス 性 能 に 十 分 に 応 えると 共 に 最 先 端 量 産 工 場 における 要 求 にも 応 えた CMP 装 置 ChaMP シリーズを ご 提 供 します ( 対 応 ウェーハサイズ:300mm 200mm 150mm 100mm) 標 準 モデル 200mm/150mm/100mm ウェーハ 対 応 300mm ウェーハ 対 応 3 プラテン 2 ヘッド 構 成 により あらゆるアプリケーションに 対 応 しています 300mm/200mm/150mm/100mm ウェーハ 対 応 機 は 全 て 同 一 コンセプトの 研 磨 ヘッドと EPD システムを 搭 載 しています 28

低 圧 かつ 高 平 坦 化 高 スループット 研 磨 を 実 現 したエアフロート 式 ヘッド Sylphide Sylphide エアフィルム 形 成 によるウェーハ 面 内 で 非 常 に 均 一 な 加 圧 エアフィルムと 独 立 したエアバッグを 持 つことで 低 圧 での 安 定 性 を 実 現 独 立 したリテーナ 加 圧 エアバッグにより 良 好 なエッジプロ ファイル 制 御 を 実 現 リテーナ メンブレンのワンタッチ 交 換 による ダウンタイムの 低 減 ( 下 記 参 照 ) ゾーンコントロール 機 能 の 追 加 可 能 (オプション) 弊 社 の CMP 装 置 のヘッド 性 能 の 高 さはプロセス 性 能 の 向 上 だ けでなく 生 産 性 の 向 上 やコストの 低 減 につながります 例 え ば 平 坦 性 の 高 い 硬 質 パッドが 適 用 できることにより 研 磨 時 間 の 短 縮 とそれに 伴 う 消 耗 材 コストの 低 減 ウェーハ 有 効 面 積 の 拡 大 が 実 現 できます ウェーハ 加 圧 の 制 御 性 と 再 現 性 エッジ1mmまで 均 一 に!! メンテナンスが 簡 単 な 研 磨 ヘッド: 研 磨 ヘッドの 交 換 は 不 要 1 分 でメンテナンス 完 了 簡 単 なリテーナ メンブレンの 交 換 作 業 は 装 置 の 停 止 時 間 を 大 幅 に 低 減 します 両 手 でスナップリングカバーを 上 にずらす スナップリングを 親 指 で 広 げる リテーナは 落 ちる リテーナが 外 れたところ 29

事 業 内 容 / 半 導 体 半 導 体 製 造 装 置 ウェーハマニュファクチャリングシステム Wafer Manufacturing Systems シリコンウェーハ 製 造 機 器 のトップメーカーとして 蓄 積 してきた 技 術 による ウェーハ 製 造 プロセスのシステム 化 半 導 体 デバイスの 微 細 化 が 進 むのに 伴 い シリコンウェーハに 対 する 更 に 精 密 な 加 工 技 術 が 求 められています 東 京 精 密 では ウェー ハ 製 造 工 程 におけるインゴットスライス 後 のウェーハ 剥 離 洗 浄 面 取 り 工 程 等 品 質 と 生 産 性 の 向 上 を 図 るウェーハ 製 造 ラインで の 装 置 を 提 供 し その 自 動 化 及 びプロセス 管 理 に 最 適 なシステムの 提 案 ならびにサポートを 行 っています 主 力 製 品 の 大 口 径 300mm ウェーハ 対 応 の 面 取 り 機 及 び 剥 離 洗 浄 機 はお 客 様 の 高 い 評 価 を 受 け 世 界 販 売 シェア No.1 の 地 位 を 確 保 しています ウェーハエッジグラインディングマシン W-GM シリーズ 新 開 発 研 削 部 によりスピンドル 回 転 精 度 が 向 上 し 加 工 面 粗 さを 改 善 アライメントを 非 接 触 化 し 安 定 したアライメントを 実 現 加 工 前 のウェーハ 厚 さ 多 点 測 定 加 工 後 のウェーハ 直 径 ノッチ 深 さ を 非 接 触 測 定 モジュラーコンセプトにより 最 適 な 加 工 ラインが 構 成 可 能 加 工 ダメージを 軽 減 させる 低 歪 み 研 削 (オプション) 等 が 可 能 W-GM-6200 ウェーハサイズΦ 450mm コンパクトな 設 計 でスペース 効 率 アップ 新 X 軸 Y 軸 θ 軸 の 同 期 補 完 制 御 による 高 精 度 な 研 削 タッチパネルによる 簡 単 操 作 30

W-GM-5200 300mm(φ 12 ) 及 び 200mm(φ 8 )のウェーハ 対 応 機 高 精 度 高 品 質 な 300mm ウェーハ 加 工 を 実 現 新 開 発 のビルトイン インスペクション システム(オプション)により 研 削 後 のウェーハの 品 質 管 理 を 装 置 内 においてリアルタイムでモニタ 可 W-GM-4200 50mm(φ 2 )~ 200mm(φ 8 )ウェーハ 対 応 機 新 開 発 研 削 部 によりスピンドル 回 転 精 度 が 向 上 し 加 工 粗 さを 改 善 加 工 前 のウェーハ 厚 や 直 径 ノッチの 深 さを 非 接 触 測 定 剥 離 洗 浄 機 C-RW-200/300 ワイヤソーで 切 断 したウェーハをスライスベースから 剥 離 洗 浄 し カセットに 収 納 するまでを 全 自 動 で 行 います 31

環 境 活 動 環 境 配 慮 型 製 品 への 取 り 組 み Enviromental Philosophy 東 京 精 密 グループでは 環 境 に 配 慮 したモノづくり をキーワードに 新 たに 開 発 する 全 ての 製 品 には 一 定 水 準 以 上 の 環 境 対 応 を 義 務 付 け 半 導 体 製 品 計 測 製 品 や 部 品 まで 全 ての 製 品 を 環 境 配 慮 型 製 品 にすることを 目 標 に 製 品 づくりを 推 進 しています 具 体 的 には 東 京 精 密 技 術 標 準 Tokyo Seimitsu Engineering Standard(TES) のもと 消 費 電 力 の 低 減 水 や 燃 料 の 使 用 低 減 を 図 っています また 環 境 影 響 が 大 きい 化 学 部 物 質 の 使 用 禁 止 や 使 用 削 減 を 行 っています 環 境 マネジメント 消 費 量 排 出 量 エ ネ ル ギ ー 水 電 気 20,483 MWh ガス(LPG) 5,181 m 3 燃 料 ( 重 油 軽 油 灯 油 ガソリン) 81,821 l 市 水 17,147 m 3 井 水 90,597 m 3 開 発 設 計 CAD 運 用 による 作 成 図 面 のペーパーレス 化 部 品 の 一 体 化 および 集 積 化 による 点 数 の 削 減 環 境 配 慮 型 製 品 の 開 発 サービス メンテナンス サービスステーションの 新 設 移 設 で 顧 客 への アクセススピードアップ 燃 料 節 約 輸 送 アイドリングストップ グリーン 経 営 認 定 業 者 の 使 用 計 画 的 運 行 で 輸 送 回 数 を 削 減 リサイクル 率 84.3% 資 材 調 達 グリーン 調 達 グリーン 購 入 による 環 境 負 荷 の 低 減 納 品 梱 包 資 材 の 削 減 通 い 箱 の 運 用 加 工 組 立 検 査 動 線 改 善 による 作 業 効 率 化 検 査 自 動 化 による 作 業 効 率 アップ 工 場 設 備 の 改 善 による 省 電 力 化 梱 包 回 収 梱 包 廃 材 の 廃 棄 物 リサイクル 化 環 境 にやさしいトウモロコシ 原 料 の 緩 衝 材 を 使 用 温 暖 化 ガ ス 水 廃 棄 物 CO 2 排 出 量 9,623 t 電 気 9,422 t 軽 油 4 t ガス(LPG) 8 t 灯 油 0 t 重 油 0 t ガソリン 190 t 工 場 排 水 61,069 m 3 廃 棄 物 ( 推 計 量 ) 590 t 最 終 処 分 量 92 t 対 象 範 囲 / 東 京 精 密 八 王 子 工 場 土 浦 工 場 電 力 の CO2 排 出 係 数 0.46にて 算 出 エコファクトリー 社 会 的 責 任 電 力 量 環 境 実 績 値 電 力 ( 電 力 MWh) 原 単 位 ( 原 単 位 kwh/ 百 万 ) 25,000 800.00 689.22 700.00 20,000 19,419 19,611 20,482 600.00 16,739 17,002 583.91 14,767 480.25 483.57 15,000 500.00 400.00 10,000 412.11 344.46 300.00 200.00 5,000 100.00 ステークホルダーと WIN-WIN の 関 係 ステークホルダーとのWIN-WINの 関 係 株 主 お 客 様 社 員 代 理 店 0 2008 2009 2010 2011 2012 0.00 2013( 年 度 ) 地 域 社 会 協 力 会 社 対 象 範 囲 / 東 京 精 密 八 王 子 工 場 土 浦 工 場 32

エコプロダクツ 環 境 配 慮 型 製 品 半 導 体 製 造 装 置 :レーザダイシングマシン MAHOHDICING MACHINE 東 京 精 密 は 優 れた 環 境 配 慮 型 製 品 によって 環 境 保 全 に 努 めることが 当 社 の 使 命 と 考 え ています その 東 京 精 密 がシリコンウェーハの 内 部 にレーザを 照 射 し 形 成 した 改 質 層 を 垂 直 に 成 長 させてチップ 分 割 を 行 う 世 界 初 のレーザダイシングマシンを 開 発 しました 特 徴 を 最 大 限 に 生 かす 設 計 により 100 μ m 以 下 の 極 薄 ウェーハの 高 速 切 断 を 可 能 にした この 新 しいレーザダイシングマシン MAHOHDICING MACHINE の 特 徴 をご 紹 介 します ブレードダイシング AWD-200T/300T レーザダイシングマシン ML200/300 スループットを 考 慮 した 消 費 電 力 削 減 率 消 費 電 力 (200Vの 場 合 ) 超 純 水 消 費 量 3.2kWh 12 リットル 1.92kWh 0.48kWh ---- 85% 100% 新 しいレーザダイシングマシンは 超 純 水 は 不 要 で 消 費 電 力 も 1.92kWh と 低 く また スループットもブレードダイシングと 比 較 し 四 分 の 一 程 度 の 時 間 で 加 工 が 可 能 従 って ブレードダイシングと 同 等 のウェーハ 処 理 量 で 考 えると 実 質 的 に 消 費 電 力 は 85% の 消 費 電 力 量 削 減 を 実 現 しています また 超 純 水 製 造 の 電 力 を 加 味 す ると 合 計 で 90% の 電 力 量 削 減 となります 更 には 切 削 廃 液 処 理 のエネルギー コスト 削 減 にも 貢 献 します 電 力 換 算 ( 参 考 値 ) 0.028kw/ 分 ---- ---- Total 比 較 (1 時 間 当 り) 4.87kWh 1.92kWh 0.48kWh 90% フルオートマチックウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE)が 平 成 18 年 度 優 秀 省 エネルギー 機 器 表 彰 で 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 社 団 法 人 日 本 機 械 工 業 連 合 会 が 主 催 する 平 成 18 年 度 ( 第 27 回 ) 優 秀 省 エネルギー 機 器 表 彰 において 当 社 の フルオート マチック ウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE) に 対 して 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 し ました ウェーハから 各 デバイスを 切 り 出 すダイシング 工 程 では 高 速 回 転 のダイヤモンド 砥 石 が 用 いられ 砥 石 自 体 と 加 工 対 象 が 摩 擦 により 発 熱 するため 冷 却 と 切 削 屑 の 排 出 に 多 量 の 超 純 水 を 消 費 していましたが 当 社 の フルオートマチック ウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE) では 半 導 体 シリコン 素 材 での 吸 収 効 率 の 良 いレーザ 光 を 用 い 最 適 な 照 射 条 件 による 加 工 によって 高 速 回 転 スピンドル 自 体 が 不 要 になると 共 に 切 削 屑 の 排 出 砥 石 の 冷 却 加 工 後 の 洗 浄 等 に 必 要 とされた 超 純 水 が 一 切 不 要 となったため 電 力 超 純 水 の 消 費 量 を 大 幅 に 削 減 できます 今 回 の 受 賞 では 当 該 装 置 の 省 エネルギー 効 果 環 境 への 配 慮 経 済 性 が 高 く 評 価 されました 当 社 は 今 後 とも 環 境 へ 十 分 配 慮 した 省 エネルギー 機 器 の 開 発 に 努 めてまいります フルオートマチック ウェーハ レーザダイシング 装 置 (MAHOHDICING MACHINE) 33

会 社 概 要 会 社 商 号 株 式 会 社 東 京 精 密 TOKYO SEIMITSU CO., LTD. 事 業 目 的 1. 各 種 測 定 機 器 試 験 機 ならびに 装 置 の 製 造 修 理 および 販 売 2. 精 密 機 械 工 作 機 械 ならびに 各 種 専 用 機 の 製 造 修 理 および 販 売 3. 各 種 精 密 部 品 工 具 治 具 ゲージの 製 造 販 売 4. 電 気 機 器 自 動 制 御 機 器 の 製 造 修 理 および 販 売 5. 材 料 物 性 分 析 用 小 型 加 速 器 の 製 造 販 売 6. 自 動 販 売 機 の 製 造 販 売 7. 不 動 産 の 売 買 賃 貸 仲 介 管 理 および 倉 庫 業 8. 動 産 不 動 産 のリース 業 9. 損 害 保 険 代 理 業 および 生 命 保 険 の 募 集 業 務 10. 古 物 の 売 買 リース 交 換 又 は 委 託 による 同 業 務 11. 上 記 各 号 に 関 連 する 一 切 の 業 務 設 立 年 月 日 昭 和 24 年 ( 1949 年 )3 月 28 日 資 本 金 10,373 百 万 円 (2015.12.31 現 在 ) 株 式 東 京 証 券 取 引 所 市 場 第 一 部 に 上 場 従 業 員 数 674 名 ( 単 体 ) 1,552 名 ( 連 結 ) (2015.12.31 現 在 ) 取 締 役 監 査 役 代 表 取 締 役 会 長 太 田 邦 正 代 表 取 締 役 社 長 CEO 吉 田 均 代 表 取 締 役 副 社 長 COO 木 村 龍 一 代 表 取 締 役 CFO 川 村 浩 一 取 締 役 遠 藤 章 宏 取 締 役 友 枝 雅 洋 取 締 役 伯 耆 田 貴 浩 取 締 役 梅 中 茂 取 締 役 ウォルフガング ボナッツ 取 締 役 ( 社 外 ) 松 本 弘 一 取 締 役 ( 社 外 ) 齋 藤 昇 三 監 査 役 澤 田 栄 夫 監 査 役 ( 社 外 ) 菊 池 克 治 監 査 役 ( 社 外 ) 井 上 直 美 監 査 役 ( 社 外 ) 林 芳 郎 (2016.4.1 現 在 ) 主 要 取 引 銀 行 みずほ 銀 行 大 手 町 営 業 部 三 井 住 友 銀 行 本 店 営 業 部 みずほ 信 託 銀 行 本 店 営 業 部 三 菱 東 京 U F J 銀 行 新 宿 中 央 支 社 商 工 組 合 中 央 金 庫 東 京 支 店 常 陽 銀 行 土 浦 支 店 筑 波 銀 行 本 店 八 千 代 銀 行 本 店 関 係 会 社 ( 株 ) 東 精 エンジニアリング ( 株 )トーセーシステムズ ( 株 )アクレーテク クリエイト ( 株 ) 東 精 ボックス ( 株 )アクレーテク ファイナンス Accretech America Inc. Accretech (Europe)GmbH 東 精 精 密 設 備 ( 上 海 ) 有 限 公 司 Accretech Korea Co., Ltd. Accretech (Malaysia)Sdn. Bhd. Accretech (Singapore)Pte. Ltd. Accretech Taiwan Co., Ltd. Accretech (Thailand) Co., Ltd. Accretech Vietnam Co., Ltd. PT Accretech Indonesia Accretech do Brasil Ltda. 東 精 計 量 儀 ( 平 湖 ) 有 限 公 司 TOSEI (Thailand)Co., Ltd. TOSEI Korea Co., Ltd. TOSEI America, Inc. TOSEI Engineering Pvt. Ltd. PT TOSEI Indonesia. TOSEI Taiwan Co., Ltd. TOSEI Mexico, S.A. de C.V. TOSEI Engineering Malaysia Sdn. Bhd. TOSEI BRAZIL ENGENHARIA E REPRESENTACAO COMERCIAL LTDA. TOSEI Philippines Corp. Accretech-Tosei Hungary Kft. Tosei Canada Measuring Inc. カンパニー 制 及 び 執 行 役 員 体 制 半 導 体 社 計 測 社 業 務 会 社 管 掌 取 締 役 木 村 龍 一 管 掌 取 締 役 吉 田 均 管 掌 取 締 役 川 村 浩 一 執 行 役 員 専 務 遠 藤 章 宏 執 行 役 員 専 務 友 枝 雅 洋 執 行 役 員 秋 本 伸 治 執 行 役 員 常 務 伯 耆 田 貴 浩 執 行 役 員 常 務 神 崎 努 執 行 役 員 臼 田 真 也 執 行 役 員 三 橋 明 生 執 行 役 員 矢 向 秀 一 執 行 役 員 小 泉 公 人 執 行 役 員 藤 田 太 一 執 行 役 員 飯 田 昭 彦 執 行 役 員 ティー ケン ホイ 執 行 役 員 陳 浩 執 行 役 員 ロミ プラダン 執 行 役 員 塚 田 修 一 執 行 役 員 酒 井 広 幸 執 行 役 員 峰 尾 正 人 34

沿 革 1949 1951 東 京 精 密 工 具 設 立 メカニカルゲージを 応 用 した 各 種 測 定 機 の 製 作 販 売 開 始 1995 計 量 法 トレーサビリティ 制 度 に 基 づく 端 度 器 (ブロックゲージ)の 校 正 認 定 事 業 者 として 土 浦 工 場 が 認 定 取 得 1952 1957 高 圧 流 量 式 空 気 マイクロメータのわが 国 初 の 工 業 化 に 成 功 差 動 変 圧 器 式 電 気 マイクロメータのわが 国 初 の 工 業 化 に 成 功 米 国 に 現 地 法 人 ACCRETECH America, Inc. およびACCRETECH Manufacturing Company 設 立 第 一 精 機 設 立 カールツァイス 社 ( 独 )と 精 密 測 定 機 器 分 野 で 全 面 提 携 1958 1962 1963 ゲルマニウムペレット 厚 さ 自 動 選 別 機 の 開 発 株 式 会 社 東 京 精 密 に 社 名 変 更 東 京 証 券 取 引 所 市 場 第 二 部 に 株 式 上 場 表 面 粗 さ 測 定 機 の 開 発 内 周 刀 式 ウェーハスライシングマシンのわが 国 初 の 開 発 に 成 功 1996 1997 1998 1999 半 導 体 製 造 装 置 サプライヤー 顧 客 満 足 度 調 査 (VLSIリサーチ 社 調 べ)で10BEST 賞 を 受 賞 台 湾 新 竹 市 にテクニカルセンター 開 設 Tokyo Seimitsu (Singapore) Pte. Ltd. 設 立 八 王 子 土 浦 工 場 一 括 でISO 14001の 認 証 取 得 アクレーテク ファイナンス 設 立 1964 ウェーハプロービングマシンの 開 発 2001 コーポレートブランド ACCRETECH(アクレーテク) を 導 入 1967 真 円 度 測 定 機 の 開 発 東 精 ボックス 設 立 1969 1970 1985 1986 1987 1989 東 精 エンジニアリング 設 立 三 次 元 座 標 測 定 機 のわが 国 初 の 開 発 ウェーハダイシングマシンの 開 発 ソフトウェア 開 発 専 門 会 社 トーセーシステムズ を シーイーシーと 共 同 で 設 立 東 京 証 券 取 引 所 市 場 第 一 部 に 株 式 上 場 技 術 研 究 所 設 立 ドイツに 現 地 法 人 Tokyo Seimitsu Europe GmbH 設 立 2002 2005 2007 2 部 門 にておいて10BEST 賞 を 受 賞 Test & Material Handling Equipment 部 門 で は7 年 連 続 受 賞 Assembly Equipment 部 門 では 初 受 賞 中 国 に 現 地 法 人 東 精 精 密 設 備 ( 上 海 ) 有 限 公 司 の 設 立 と 営 業 開 始 浜 松 ホトニクスと 半 導 体 製 造 装 置 分 野 で 業 務 提 携 新 型 レーザダイシング 装 置 M AHOH DICING MACHINE を 共 同 開 発 カールツァイス 社 ( 独 )との 提 携 を5 年 更 新 ACCRETECH Korea, Co., Ltd. 設 立 米 国 に 現 地 法 人 Tokyo Seimitsu America, Inc. 設 立 MAHOH DICING MACHINEが 第 27 回 優 秀 省 エネル ギー 機 器 表 彰 で 日 本 機 械 工 業 連 合 会 会 長 賞 を 受 賞 1992 韓 国 に 現 地 法 人 ACCRETECHサービスセンター 開 設 第 一 精 機 を マイクロテクノロジに 社 名 変 更 計 量 法 トレーサビリティ 制 度 に 基 づく 長 さ 測 定 用 レーザの 校 正 および 三 次 元 座 標 測 定 機 の 定 置 校 正 認 定 事 業 者 として 土 浦 工 場 が 認 定 取 得 1994 八 王 子 土 浦 両 工 場 一 括 でISO 9001の 認 証 取 得 計 量 法 トレーサビリティ 制 度 に 基 づく 長 さ 測 定 用 レーザの 校 正 認 定 事 業 者 として 八 王 子 工 場 が 認 定 取 得 北 京 駐 在 事 務 所 開 設 マレーシアに 現 地 法 人 Tokyo Seimitsu(Malaysia) Sdn. Bhd. 設 立 2008 2009 2010 2 部 門 において10BEST 賞 受 賞 Test&Material Handling Equipment 部 門 では 13 年 連 続 受 賞 Assembly Equipment 部 門 では7 年 連 続 受 賞 非 接 触 センサで 三 鷹 光 器 と 技 術 提 携 東 京 精 密 USA 支 店 設 立 本 社 を 八 王 子 に 移 転 35

ネットワーク 本 社 工 場 本 社 192-8515 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 TEL(042)642-1701 FAX(042)642-1798 八 王 子 工 場 192-0032 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 TEL(042)642-0381 FAX(042)642-0386 中 央 自 動 車 道 八 王 子 IC より 約 10 分 ( 約 3km) JR 八 高 線 北 八 王 子 駅 下 車 徒 歩 3 分 JR 中 央 線 日 野 駅 下 車 京 王 バス 八 王 子 北 口 行 乗 車 コニカミノルタ 前 下 車 徒 歩 10 分 JR 中 央 線 豊 田 駅 下 車 タクシー 約 10 分 ( 約 3km) 国 内 営 業 サービスネットワーク 半 導 体 製 造 機 器 取 扱 営 業 所 東 京 営 業 所 192-0032 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042)631-5211 FAX(042)631-5234 大 阪 営 業 所 564-0063 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 1-18-27 TEL(06)6821-0361 FAX(06)6821-0210 九 州 営 業 所 870-0045 大 分 県 大 分 市 城 崎 町 1-3-31 ( 富 士 火 災 大 分 ビル1F) TEL(097)538-1985 FAX(097)538-1989 サービスステーション 仙 台 出 張 所 984-0816 宮 城 県 仙 台 市 若 林 区 河 原 町 2-6-22(ロイヤルヒルズ 河 原 町 ) TEL(022)224-0177 FAX(022)224-7083 山 形 出 張 所 990-0056 山 形 県 山 形 市 錦 町 3-20 ( 須 藤 ビル) TEL(023)631-5125 FAX(023)625-4129 鶴 岡 出 張 所 997-0015 山 形 県 鶴 岡 市 末 広 町 29-20 TEL(0235)29-8020 FAX(0235)29-8022 東 京 CE 課 / 土 浦 出 張 所 300-0006 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 内 ) TEL(029)834-8550 FAX(029)831-6808 東 京 CE 課 192-0032 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042)642-0358 FAX(042)642-0367 北 陸 出 張 所 939-8015 富 山 県 富 山 市 中 川 原 31-1 ウインドスクエア101 TEL(076)422-6756 FAX(076)422-6757 四 日 市 出 張 所 510-8122 三 重 県 三 重 郡 川 越 町 豊 田 270-8 (クリエイトB 1 階 ) TEL(0593)61-6610 FAX(0593)66-2210 大 阪 CE 課 564-0063 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 1-18-27 TEL(06)6821-0225 FAX(06)6821-0210 東 広 島 出 張 所 739-0025 広 島 県 東 広 島 市 西 条 中 央 7-1-7 (アークヒルズ 渡 辺 6-102 号 室 ) TEL(082)493-5618 FAX(082)493-5619 熊 本 出 張 所 862-0950 熊 本 県 熊 本 市 中 央 区 水 前 寺 3-3-25 ( 増 永 ビル105) TEL(096)387-5188 FAX(096)386-1592 九 州 CE 課 870-0045 大 分 県 大 分 市 城 崎 町 1-3-31 ( 富 士 火 災 大 分 ビル1F) TEL(097)534-3291 FAX(097)538-1989 国 分 出 張 所 899-5117 鹿 児 島 県 霧 島 市 隼 人 町 見 次 515 ( 秀 保 ビル101 号 ) TEL(0995)43-2510 FAX(0995)43-2586 八 王 子 パーツセンター 192-0032 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042)642-0381 FAX(042)642-0397 株 式 会 社 東 精 エンジニアリング (ウェーハマニュファクチャリングシステム) 土 浦 半 導 体 工 場 300-0015 茨 城 県 土 浦 市 北 神 立 町 2-14 TEL(029)830-1882 FAX(029)832-5742 土 浦 半 導 体 工 場 /パーツセンター 300-0015 茨 城 県 土 浦 市 北 神 立 町 2-14 TEL(029)830-1882 FAX(029)832-5742 計 測 機 器 取 扱 営 業 所 東 北 営 業 所 984-0816 宮 城 県 仙 台 市 若 林 区 河 原 町 2-6-22 (ロイヤルヒルズ 河 原 町 ) TEL(022)224-0121 FAX(022)224-7083 北 関 東 営 業 所 300-0006 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 内 ) TEL(029)831-6801 FAX(029)831-6808 埼 玉 営 業 所 331-0814 埼 玉 県 さいたま 市 北 区 東 大 成 町 1-497 MJ 赤 柴 ビル8 階 TEL(048)667-8583 FAX(048)667-8578 東 京 営 業 所 192-0032 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042)642-0186 FAX(042)642-0385 厚 木 営 業 所 243-0014 神 奈 川 県 厚 木 市 旭 町 4-11-26 (ジェントビル) TEL(046)229-7031 FAX(046)229-7033 36

Tokyo Seimitsu Supports Customers Production Lines 24 Hours a Day, 365 Days a Year. 土 浦 工 場 300-0006 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 TEL(029)831-1234 FAX(029)831-4453 ( 株 ) 東 精 エンジニアリング 本 社 工 場 300-0006 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4-6 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 隣 ) TEL(029)830-1888 FAX(029)830-1881 ( 株 ) 東 精 エンジニアリング 土 浦 神 立 工 場 300-0015 茨 城 県 土 浦 市 北 神 立 町 2-14 TEL(029)830-1882 FAX(029)832-5742 ( 株 ) 東 精 エンジニアリング 名 古 屋 事 業 所 470-0213 愛 知 県 みよし 市 打 越 町 新 池 浦 96 TEL(0561)32-3601 FAX(0561)34-2744 常 磐 自 動 車 道 土 浦 北 IC より 約 10 分 ( 約 4km) JR 常 磐 線 神 立 駅 下 車 タクシー 約 10 分 ( 約 3km) JR 常 磐 線 土 浦 駅 下 車 タクシー 約 20 分 ( 約 6km) JR 常 磐 線 土 浦 駅 下 車 関 東 鉄 道 バス 石 岡 行 き 乗 車 清 水 南 下 車 徒 歩 3 分 長 野 営 業 所 390-0815 長 野 県 松 本 市 深 志 2-8-6 OTKビル1F TEL(0263)44-7770 FAX(0263)44-7771 新 潟 営 業 所 959-0132 新 潟 県 燕 市 分 水 あけぼの1-1-74 TEL(0256)97-4665 FAX(0256)97-1773 浜 松 営 業 所 435-0045 静 岡 県 浜 松 市 中 区 細 島 町 7-5 ( 東 山 第 6 ビル) TEL(053)460-7131 FAX(053)460-7132 名 古 屋 営 業 所 470-0213 愛 知 県 みよし 市 打 越 町 新 池 浦 96 TEL(0561)32-8501 FAX(0561)32-8618 北 陸 営 業 所 939-8015 富 山 県 富 山 市 中 川 原 31-1 ウインドスクエア101 TEL(076)422-6755 FAX(076)422-6757 大 阪 営 業 所 564-0063 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 1-18-27 TEL(06)6821-0221 FAX(06)6821-0210 姫 路 営 業 所 670-0948 兵 庫 県 姫 路 市 北 条 宮 の 町 385 ( 永 井 ビル201) TEL(079)222-5480 FAX(079)222-5489 広 島 営 業 所 733-0011 広 島 県 広 島 市 西 区 横 川 町 1-10-18 (シャルマン 辻 ) TEL(082)293-5660 FAX(082)292-2218 九 州 営 業 所 810-0022 福 岡 県 福 岡 市 中 央 区 薬 院 1-13-8 ( 九 電 不 動 産 ビル5F) TEL(092)737-1821 FAX(092)737-1822 サービスステーション 株 式 会 社 東 精 エンジニアリング 本 社 300-0006 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4-6 ( 東 京 精 密 土 浦 工 場 隣 ) TEL(029)830-1888 FAX(029)830-1881 東 北 出 張 所 990-0056 山 形 県 山 形 市 錦 町 3-20 ( 須 藤 ビル) TEL(023)625-3957 FAX(029)832-4053 太 田 営 業 所 373-0818 群 馬 県 太 田 市 小 舞 木 町 454-2 TEL(0276)48-5221 FAX(029)832-4053 さいたま 営 業 所 331-0814 埼 玉 県 さいたま 市 北 区 東 大 成 町 1-497(MJ 赤 柴 ビル8 階 ) TEL(048)669-0055 FAX(029)832-4053 東 京 営 業 所 192-0032 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 ( 東 京 精 密 八 王 子 工 場 内 ) TEL(042)631-9757 FAX(029)832-4053 厚 木 出 張 所 243-0014 神 奈 川 県 厚 木 市 旭 町 4-11-26 (ジェントビル) TEL(046)229-2448 FAX(029)832-4053 長 野 出 張 所 390-0815 長 野 県 松 本 市 深 志 2-8-6 OTKビル1F TEL(0263)33-2004 FAX(029)832-4053 浜 松 営 業 所 435-0045 静 岡 県 浜 松 市 中 区 細 島 町 7-5 ( 東 山 第 6 ビル) TEL(053)460-9260 FAX(029)832-4053 名 古 屋 営 業 所 470-0213 愛 知 県 みよし 市 打 越 町 新 池 浦 96 TEL(0561)32-3601 FAX(029)832-4053 北 陸 出 張 所 939-8015 富 山 県 富 山 市 中 川 原 31-1 (ウインドスクエア101) TEL(076)422-6401 FAX(029)832-4053 大 阪 営 業 所 564-0063 大 阪 府 吹 田 市 江 坂 町 1-18-27 TEL(06)6821-0231 FAX(029)832-4053 広 島 営 業 所 733-0011 広 島 県 広 島 市 西 区 横 川 町 1-10-18 (シャルマン 辻 ) TEL(082)291-8501 FAX(029)832-4053 福 岡 駐 在 所 810-0022 福 岡 県 福 岡 市 中 央 区 薬 院 1-13-8 ( 九 電 不 動 産 ビル5F) TEL(092)713-2155 FAX(029)832-4053 九 州 出 張 所 862-0950 熊 本 県 熊 本 市 中 央 区 水 前 寺 3-3-25 ( 増 永 ビル105) TEL(096)383-2788 FAX(029)832-4053 パーツセンター FAX(0120)995-611 Email: partcall@toseieng.co.jp コールセンター TEL(0120)995-633 Email: sgijutsu@toseieng.co.jp お 客 様 の 御 要 望 受 付 ( 社 長 付 ) Email: kanri5@toseieng.co.jp 37

ネットワーク 世 界 に 広 がるセールス サービス ネットワーク Accretech Korea Co., Ltd. Accretech (Europe) GmbH Accretech (China) Co., Ltd. Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Accretech Taiwan Co., Ltd. Accretech (Thailand) Co., Ltd. Accretech Vietnam Co., Ltd. Accretech (Malaysia) Sdn. Bhd. Accretech (Singapore) Pte. Ltd. PT Accretech Indonesia Accretech America Inc. Accretech do Brasil Ltda. 38 海 外 営 業 部 海 外 拠 点 海 外 営 業 部 ( 半 導 体 社 ) 192-0032 東 京 都 八 王 子 市 石 川 町 2968-2 TEL:(042)642-0381 FAX:(042)631-5234 ( 計 測 社 ) 300-0006 茨 城 県 土 浦 市 東 中 貫 町 4 TEL:(029)831-1240 FAX:(029)831-1461 North America USA Accretech America Inc. (Head Office) 1778 N. Plano Road, Suite 212 Richardson, TX 75081, U.S.A. Tel: +1-214-459-1688 Fax: +1-214-459-1696 (Fremont Office) 47265 Fremont Blvd, Fremont, CA 94538-6502, U.S.A. Tel: +1-510-344-5411 Fax: +1-510-344-5410 (Boise Office) 8620 W. Emerald St., Suite 130 Boise, ID 83704, U.S.A. Tel: +1-208-429-6500 Fax: +1-208-429-6555 South America Brazil Accretech do Brasil Ltda. (Sao paulo Office) 77 Room, 7th Floor, Rua Nove de Julho 72 Santo Amaro, Sao Paulo 04739-010, Brazil Tel: +55(0)11-3360-9531 Fax: +55(0)11-3360-9531 Europe Germany Accretech (Europe) GmbH (Head Office) Landsberger Str. 396, D-81241 Munich, Germany Tel: +49(0)89-546788-0 Fax: +49(0)89-546788-10 (Dresden Office) Hugo-Junkers-Ring 9, D-01109 Dresden, Germany Tel: +49(0)351-89024-11 Fax: +49(0)351-89024-12 France Accretech (Europe) GmbH (French Office) 223 rue des Bécasses Cidex 112F 38920 Crolles, France Tel: +33(0)4-76-04-40-80 Fax: +33(0)4-76-04-07-30 Italy Accretech (Europe) GmbH (Italian Office) Via Giotto 7 20032 Cormano(MI), Italy Tel: +39-02-2316-3291 Fax: +39-02-2316-3099 Asia China Accretech (China) Co., Ltd. (Head Office / Shanghai) Room 2101C, No.1077, ZuChongZhi Road, Zhang Jiang Hi-Tech Park, Pudong New Area, Shanghai, China, 201203 Tel: +86(0)21-3887-0801 Fax: +86(0)21-3887-0805 (Shanghai Office) Ground floor, No.118 Fu Te Bei Road, Pudong New Area, Shanghai,China, 200131 Tel: +86(0)21-5064-0258 Fax: +86(0)21-5064-0356 (Beijing Office) Room 404, Building 1#,China Supply And Marketing Foreign Trade Building, No.1 Shui An South Street. Chaoyang District, Beijing, China, 100012 Tel: +86(0)10-8490-4771 Fax: +86(0)10-8447-7010 (Tianjin Office) Room 606, Brilliant Crystal Tower, 53-1 Weidi Road, Hexi District, Tianjin, China, 300201 Tel: +86(0)22-8822-7220 Fax: +86(0)22-2833-2125 (Changchun Office) Room 1905, Unit 1, No.1, Huayihongfu, Hong Qi Street, Changchun, Jilin Province, China, 130021 Tel: +86(0)431-8896-1051 Fax: +86(0)431-8896-0661 (Dalian Office) Room 715,Building 3#, Yifeng Modern City,Jin Ma Road,Development Zone,DaLian City,Liaoning Province, China, 116000 Tel: +86(0)411-8756-5414 Fax: +86(0)411-8756-5414 (Shenzhen Office) Room 1507, Tianliao Tower, No.A Tianliao Industrial Park, Shenzhen, Guangdong Province, China, 518055 Tel: +86(0)755-2515-9842 Fax: +86(0)755-2515-7737

Accretech America Inc. Accretech (Europe) GmbH Accretech Korea Co., Ltd. Accretech (China) Co., Ltd. Accretech (Malaysia) Sdn. Bhd. Accretech (Singapore) Pte. Ltd. (Guangzhou Office) Room 1903, Building 1, Jin Xiu Hua Ting, No.12 Guang Ming Bei Road, Panyu District, Guangzhou, Guangdong Provincee, China, 511400 Tel: +86(0)20-3887-0975 Fax: +86(0)20-3887-0627 (Chongqing Office) Room 1804, Building 42, Area 3, Hengda City, No.9 Banan Avenue, Banan District, Chongqing, China, 400054 Tel: +86(0)23-6295-5061 Fax: +86(0)23-6295-5060 (Chengdu Office) 2-1-1405 Qingjiangyaju, No.122 East Qingjiang Road Qingyang District, Chengdu, China, 610072 Tel: +86(0)28-8738-2279 Fax: +86(0)28-8738-2279 (Suzhou Office) Room302, NO. 72 Youngor Future Garden, No. 588 Shenhu Street,Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province, China, 215027 Tel: +86(0)512-6265-6436 Fax: +86(0)512-6265-6435 (Wuxi Office) Room 7-407, No12, Changjiang Road, Wuxi, Jiangsu Province, China, 214028 Tel: +86(0)510-8101-7346 Fax: +86(0)510-8101-7346 (Nanjing Office) Room 602,Buiding 4, Tongxi International Plaza, No.1222, Shuanglong Avenue Jiangning Area, Nanjing, Jiangsu Province, China, 211100 Tel: +86(0)25-5867-9932 Fax: +86(0)25-5867-9931 (Ningbo Office) Room 902,No.151,Cangsong Road,Haishu District, Zhejiang Province, China, 315000 Tel: +86(0)574-8772-7550 Fax: +86(0)574-8772-7660 (Jinan Office) Room 3024, North Tower Shangri-La Plaza, No.88 Exhibition West Road Hi-Tech Zone, Jinan City, Shandong Province, China, 250101 Tel: +86(0)531-6668-8196 Fax: +86(0)531-6668-8190 (Wuhan Office) No.1202, Unit1, Building 3, Hailunchuntian Residential Quater, No.19 Fangcao Road 1st, Hanyang District, Wuhan, Hubei Province, China, 430056 Tel: +86(0)27-8665-9291 Fax: +86(0)27-8665-9291 (Xi'an Office) Room 11705, Unit 1, Building 1, Wei Lan Ling Yu Community, NO.11, Da Qing Road, Lian Hu District, Xi'an, Shaanxi Province, China, 710082 Tel: +86(0)29-8886-3499 Fax: +86(0)29-8886-3499 Accretech (PINGHU) Co., Ltd. Building 2#, No 1389, Xinqun Road, Pinghu Economic Development Zone, Pinghu City, Zhejiang, PRC. China, 314200 Tel: +86(0)537-8520-8060 Fax: +86(0)537-8520-8065 Korea Accretech Korea Co., Ltd. (Head Office / Seongnam) (3F, Fine Venture Bldg., Yatap-dong) 41, Seongnam-daero 925 beon-gil, Bundang-gu, Seongnam-si, Gyeonggi-do, 463-828, Korea Tel: +82(0)31-786-4000 Fax: +82(0)31-786-4090 (Ulsan Office) (1F 841-8, Myeongchon-dong) 30, Myeongchon 7-gil, Buk-gu, Ulsan, 683-390, Korea Tel: +82(0)52-268-2136 Fax: +82(0)52-268-2137 Taiwan Accretech Taiwan Co., Ltd. 2F, No.199, Zhonghe St., Zhubei City, Hsinchu County 30267, Taiwan(R.O.C) Tel: +886(0)3-553-1300 Fax: +886(0)3-553-1319 Singapore Accretech (Singapore) Pte. Ltd. 140 Paya Lebar Road, #06-07 AZ@Paya Lebar, Singapore 409015 Tel: +65-6341-6052 Fax: +65-6341-6054 Thailand Accretech (Thailand) Co., Ltd. (HQ & Metrology) 2/3 Moo 14, Bangna Tower A, 16th Fl., Bangna-Trad Road. K.M. 6.5, Bangkaew, Bangplee, Samutprakarn 10540 Thailand Tel: +66(2)751-9573, 9574 Fax: +66(2)751-9575 (Semiconductor) 21 TST Tower 12th Fl., Soi Choei Phuang, Vibhavadi-rangsit Rd., Jompol, Chatuchak, Bangkok 10900 Thailand Tel: +66(2)617-9497, 9498 Fax: +66(2)617-9499 Malaysia Accretech (Malaysia) Sdn. Bhd. (Head Office) NO.39, Jalan PJS 11/2, Subang Indah, 46000 Petaling Jaya, Selangor, Malaysia Tel: +60(3)5632-7488 Fax: +60(3)5632-7489 (Kulim Office) 464, Lorong Keranji 9/3, Taman Keranji Bukit Kulim, 09000 Kulim, Kedah, Malaysia Tel: +60(4)493-0082 Fax: +60(4)493-0082 Vietnam Accretech Vietnam CO., LTD. (Representative Office / Hanoi) 356 room, 6thFloor, Office Building, 85 Nguyen Du St, Hai Ba Trrung Dist, Hanoi, Vietnam Tel: +84(4)3941-3309 Fax: +84(4)3941-3310 (Ho Chi Minh Office) Room 1101-1102, 11th Floor, Broadcast Office building,343 Dien Bien Phu Street, Ward,15, Binh Thanh District, Ho Chi Minh City, Vietnam Tel: +84(8)3512-6760 Fax: +84(4)3941-3310 Indonesia PT Accretech Indonesia Komplek Rukan Cikarang Square Block D No.68 JL. Raya Cikarang-Cibarusah KM 40 No.1 Cikarang Bekasi 17530, Indonesia Tel: +62(0)21-2961-2375 Fax: +62(0)21-2961-2376 39

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