EMAX-5770の使用方法

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しらんいさし
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1 H-7650 透過型電子顕微鏡使用方法精密分析室 2013/9/18

2 目次始動 GUN の真空を確認 LaB6 フィラメントのガス出し電圧を印可しビームを出す電圧を印可しビームを出す 2 電子線のセンタリングコンデンサー絞りの調整電子銃の調整試料の Z 位置の調整試料交換取り出し方試料交換入れかた試料ホルダー位置あわせ電圧中心のあわせ方焦点あわせワブラによる焦点あわせ対物レンズの非点補正回折スポットを中心にする方法写真撮影観察終了 ( 試料交換時 ) 使用終了全停止保守作業青字は通常は必要ない終了 2

3 アイコンの説明 Image viewer EM viewer の表示 Modulation モジュレーションの設定 Wobbler ワブラの設定 Transmission image SSCCD 画像の表示 PDS パーソナルデータセット Stage ステージコントロール EVAC 排気系状態表示 View Easy operation の切替 LENS CONTROL LENS 電流の表示制御 HV control 加速電圧の設定 BD CONTROL BD 電流の表示制御 Filament / Bias フィラメント / バイアスの設定 OBJ stigma preset 対物スティグマの記憶読み出し Lens 観察モードの設定 / 変更 Specimen search Magnification 倍率 / カメラ長の拡大表示 Focus step フォーカスステップの設定 Digital AMF 連続画像記録機能 Digital low dose ダメージ低減機能 Auto focus 自動焦点あわせ機能 API 試料予備照射機能 3

4 始動 1. 冷却水を 2 系統 ( 真空排気系レンズ冷却用 ) を流す 2.POWER キーを EVAC ON まで回す 3. 約 20~30 分で高真空状態になり COLUMN EVAC,GUN EVAC,CAMERA EVAC のスイッチがグリーンに点灯するここまでの操作は通常は連続運転しているので不要 4. 電源スイッチキー COL ON にするシステムが自動で起動します 4

5 GUN の真空を確認 1.EVAC ウィンドウをクリック 3.0E-03Pa 以下を確認 5

6 LaB6 フィラメントのガス出ししばらくビームを出さない状態が続いたときは LaB6 フィラメントのガス出しを行ってください ( 通常は必要ありません ) 1.Function Maintenance の LaB6 out gus を呼び出す時間を設定フィラメント交換後は最低 2 時間通常は 30 分以上に設定フィラメント固有値 2. 必要に応じてコールドトラップに液体窒素を入れてください 6

7 電圧を印加しビームを出す 1.Acc Voltage control を表示 2.Preset 値を確認して HV ON ボタンをクリックまたはパネルスイッチの HV ボタンを押す通常は自動的にビームがでる LaB6フィラメントのため5 分かかります 7

8 PDS (Personal data set) から起動する方法 ( レンズ系 BD 系の記憶されているモード ) 通常はあまり使いません 1.PDS(Personal data set) ウィンドウを表示 2. 記憶しておいた条件を選択し Load しビームを出す 8

9 電子線のセンタリング 2.LENS RESET を押す 1. 左操作パネルの ZOOM1 を押す 5.BH を押してマルチノブで電子線を中心にもってくる 3.MAG で倍率を x5000 程度にする 4.BRIGHT で電子線をスポット状にする 9

10 コンデンサー絞りの機械的調整と非点補正 BRIGHT を変えると中心がずれたりゆがんだりするときのみ 1. コンデンサー絞りを入れ BRIGHT で変化しても中心が変わらないよう絞りの X,Y ノブで調整する 2.CS ボタンを押し BRIGHT の変化で中心から均等に変化するよう X,Y ノブで調整 3. 終わったら CS ボタンを解除 10

11 電子銃の調整ビームが暗くなった場合 1.BRIGHTノブで電子線をスポット状にする 2.Filament/Bias ウインドウを開き矢印ボタンでフィラメントの2Vほど電圧を下げる 3.BD control ウインドウでGTをチェックしてマルチノブでフィラメント像が均等になるよう調整する 4. ビームが逃げたらGHをチェックしてマルチノブでビームを中心にする 5. 終わったらGT GHを解除してウインドウを閉じる 6.Filament/Biasウインドウの矢印ボタンで元の電圧に戻す 11

12 試料の Z 位置の調整 1.LENS RESET を押しレンズデータをリセットする 1. は電子線のセンタリング調整ですんでいればしなくて良い 2. 倍率を倍程度にして Z コントロールノブでピントを合わせるこれで機械的 Z 位置があいますこの操作は必ず FOCUS をあわせる前に行なってください 12

13 試料交換 ( 取り出し方 ) 1.Stage から試料位置を X=0,Y=0 位置に戻す STARTを押す 2.Filament-Bias control から Beam をOFFにする 3. 試料ホルダーを止まるまで引き抜き時計方向に時計方向に15 止まるまで回す 4. 止まったら反時計方向に45 止まるまで回す 5. 試料予備排気室をAIRにすると赤ランプが点灯する 6. 試料ホルダーを引き抜く注 : 赤ランプが点灯している間にホルダーを引き抜く消えてしまったらもう 1 回 EVAC にしてから AIR にする 13

14 試料交換 ( 入れ方 ) 1. 試料ホルダーのガイドピンの位置をあわせとまるまで挿入すると AIR の赤ランプが点灯する 2. 排気スイッチを EVAC にする 3. 排気が完了すると赤ランプが消え緑ランプが点灯して試料ホルダーロック機構が解除されるので次に進む注 : 緑ランプが消えると (15 秒経過すると ) 次に進めませんその際は一度 AIR にしてから再度 EVAC にしてください 4. ホルダーを時計方向に 45 止まるまで回すこの時試料ホルダーが鏡体に引き込まれるのでゆっくり止まる位置まで挿入する 5. 止まった位置で反時計方向に 15 回して止まる位置まで挿入する使用状態ではランプは消えています 14

15 試料ホルダー位置あわせをクリックし Stage パネルを表示標準ホルダーの場合は 7501SS を選択マルチホルダーは 7502MS を選択するマルチホルダーのときは 1,2,3 いずれかを選択する 15

16 電圧中心のあわせ方 1. 倍率を 5000~10000 倍にする 3.BT が点灯していなかったら BT を押す 4. 像全体が中心で動くようにマルチノブで調整する 5. 終わったら BH を押しビームを中心にもってくる 6.MODU を押して電圧中心あわせをおわる 2. 右パネルの MODU を押す 16

17 焦点あわせ 1.DIFF を押し電子回折像を出し対物絞りを入れる ( ダイレクトスポットを中心として同心円状になるように ) 2. 焦点あわせは FOCUS ノブで行う x1,x10,x20, x200 が選択できる 3. ルーペで観察するときは SPOT ボタンを押し小蛍光板で行う 17

18 ワブラによる焦点あわせ 1.Wobbler condition ウインドウを表示 2.Wobbler のラジオボタンをクリックする 3. 右操作パネルの WOB をクリックする 4.Focus ノブを回して像が静止したところを見つける 18

19 対物レンズの非点収差補正 1. 右操作パネルの OS スイッチを押す 2.FOCUS をあわせる 3. マルチノブでフリンジ幅が等しくなるように調整する 4. この状態で BDPS スイッチを押すとメモリされます 5. メモリ値を読み出すには BD RESET を押す 19

20 回折スポットを中心にする方法 1. 制限視野絞りを入れ DIFFを押して回折像をだす 2.BD control ウインドウでPAをチェックしてPL( プロジェクションレンズ ) アライメント調整モードにする 3. ダイレクトスポットをマルチノブで中心にする 5. 終わったらPAを解除してウインドウを閉じる 20

21 写真撮影保存は適当なディレクトリを作成し保存してくださいなおデータはパソコンに残さないでください 1. カメラに切り換えるときは WHOLE を押して蛍光板をあげる 3. 保存後カメラに切り換え 2. 画像取込はポーズで画像保存は File/Save as から 21

22 観察終了 ( 試料交換するとき ) 1.Stage から試料位置を X=0,Y=0 位置に戻す STARTを押す 2.Filament-Bias control から Beam をOFFにする 3. 試料交換がないときは AccVotagecontrol から電圧を下げる 22

使用終了キースイッチを EVAC ON まで戻す PC のスイッチを ON/OFF は不要ですソフトウエアの以下のメッセージがでたら Cancel をクリックしてください COL.OFF は制御ソフトが立ち上がっている状態で電源のキースイッチで操作してください System message Exit H-7650 system.

23 使用終了キースイッチを EVAC ON まで戻す PC のスイッチを ON/OFF は不要ですソフトウエアの以下のメッセージがでたら Cancel をクリックしてください COL.OFF は制御ソフトが立ち上がっている状態で電源のキースイッチで操作してください System message Exit H-7650 system. Are you sure? Please turn off Col-sw after completely finishing PC OK ボタンを押してしまったら電源のキースイッチ操作をせず COL ON のまま制御ソフトを立ち上げ直してから COL.OFF 操作を実施してください通常はここまでです装置全停止 POWER を OFF にする 23

24 電源スイッチを EVAC OFF の位置まで回してしまった場合 COL.ON の位置まで戻し制御ソフトを立ち上げ直してから COL.OFF 操作をしてください EVAC ON の位置のままだとタイマーが動作し約 2 分後に COL 電源を OFF にしますタイマーが終了するまでに Windows のシャットダウン操作をしてください 24

25 保守作業 CCD カメラにゴミが付着した場合 1. 試料がないところにもって行く 2. 赤い波形を BRIIGHT つまみで中央にもっていく 3.Execute を押し Acquire を押すと電気的に取り除いてくれる 25

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SU-8020の使用方法 FE-SEM Su-8020 Operating manual( 暫定版 ) 2016/04/09 精密分析室始動 ( 通常は必要無し ) 1.Display SW を ON にして装置を立ち上げるしばらくすると Windows が起動する 2. SU-8000 をクリック 3. PC-SEM をクリックする ( 通常は自動立ち上げ ) 4. パスワード入力画面が表示されるリターンを押す (