高精密位置決めテーブル ＴＸ TX M Points スライドテーブル スライドテー 転がり案内方式で究極の高精度テーブル ボールねじ 1 2 高精度 高剛性な精密位置決めテーブルHをベースに 究極の転がり案内ＣルーブリニアローラウェイスーパーＸを 組み込み 各部精度を徹底的に追求し エアステージに迫る位置決め精度を実現した位置決めテーブルです リニアローラウェイ リニアエンコーダ 分解能0.016μmの超高精度リニアエンコーダから 位置情報をダイレクトにフィードバックすることにより ヘッド スケール フルクローズドループ制御を構成し ストローク全域の 位置決め精度を保証しています ローラタイプ直動案内機器の採用で 究極の走行性能を実現 3 高精度に加工 組付けされた構成部品と 転がり案内で 最高レベルの走行性能を発揮するＣルーブリニアロー ラウェイスーパーＸを組み合わせているので 究極の 走行精度が得られます Yテーブル ベッド TX M シンプルなシステム構成が可能 エアステージのように駆動用のエア供給装置などは不要なので システム構成がシンプルとなり 省スペースや装置 コストの削減が可能です バリエーション Xテーブル 形状 主な製品仕様 精 度 ストローク長さ 形式と大きさ テーブル幅寸法 200 20 0 00 00 600 800 320 20 単位 駆動 精密ボールねじ 繰返し位置決め精度 ±0.000 0 直動案内機器 リニアローラウェイ ローラタイプ 位置決め精度 0.003 0.020 潤滑部品の内蔵 潤滑部品 Ｃルーブ 内蔵 ロストモーション テーブル ベッドの材質 鋳鉄 テーブル運動の平行度 0.00 0.011 センサ 標準装備 テーブル運動の平行度B 姿勢精度 11 秒 真直度 0.003 0.008 バックラッシ Ⅱ 1 320 20 Ⅱ 16 TX M TX M 超高精度リニアエンコーダの搭載により 高い位置決め精度と分解能を実現 リミットセンサ
1 2 1 3 6 TX M - / T02 0 1 2 1 3 6 7 8 TX M - 20 / T01 0 1 18 1 17 2 18 2 17 3 X Y 18 18 3 17 17 17 6 17 1 2 3 6 17 TXMTX 1 1 3 0 0.0160.00 1 0..2 2 0.0.0 18 6 18 7 18 8 18 1 2 3 6 7 8 TXMTX 2 2 cmxy 3 XY XY Y200 0 0.0160.00 1 0..2 2 0.0.0 18 TXMTXM
1 2 3 200200 20020000 320 00000 20 00600800 W 200 200 200 0 200 200 200 0 200 0 0 00 0 SGMV-02 200 T01 SGMV-0 00 60 T02 - SGMV-06 0 T03 SGMV-08 70 80 T0 HF-KP23 200 T01 60 J3 HF-KP3 00 T02 T03 HF-KP73 70 80 T0 MSME02 200 T0 60 MINS MSME0 00 T06 T07 MSME08 70 80 T08 R66 T09 60 R69 T09 R98 T11 T12 8 R911 T11 T12 S66 T 60 S69 T S98 T11 T12 8 S911 T11 T12 RK6 60 T RK RK9 8 T11 T12 X Y0.009 9 0.008 1 0.003 0.006 0.000 200 0.00 20 0.008 0 0.003 0.006 200 0.000 0.00 20 0.008 0 00 0.00 0.013 0 0.00 0.000 0.008 00 0.00 00 0.013 00 0.00 0.013 600 0.000 0.006 0.016 800 0.008 0.020 0.00 0.007 0.000 200 0.00 200 200 0.0 0 200 200 200 0 200 0 0 00 0 0.000 1 2 0.006 0.0 0.008 0.0 2 0.00 0.003 0.006 6 0.00 0.00 0.003 0.006 6 0.00 0.007 7 0.00 0.006 6 0.00 0.007 7 0.00 0.007 7 0.00 0.008 8 0.006 0.008 8 0.00 0.009 9 0.006 0.011 11 0.008 XY 0.00 0.0 0.00 0.0 TXMTXM J - m 2 T01 R-- 81 0.281 T02 R-3-121 0.87 T03 R-3-11 0.87 T0 R-0-119 1.36 T0 R-- 811 0.281 T06 R-3-121 0.87 T07 R-3-11 0.87 T08 R-0-119 1.36 T09 R-- 8 0.281 T R-- 8 8 0.281 T11 R-3-121 0.87 T12 R-3-11 0.87 19
6 /s m/pulse 0.016 62. 62. 0.0312 12 12 0.062 2022 2022 0.12 2022 008 0.20 2022 008 0.00 008 1 1. 2. 3. 1 JZDP-D003-000-E IP81 IP81R / 8-6 m/m 1 Vpp/m 1 m/s 1.2. 0 11 7 /s m/pulse 1 0.01 26. 26. 0.02 2 2 PE371TT0 0.0 0.0 132 132 0.1 2022 26 PE371TT 0.2 2022 008 1 1. 2. 3. 8 /s m/pulse 1 0.01 0 0 0.02 80 80 PE371TT0 0.0 160 160 0.0 200 200 0.1 2022 00 PE371TT 0.2 2022 008 1 1. 2. 3. IP81 IP81 JZDP-D003-000-E 1/26 khz 20 906023 0.1 12 PE371TT0 PE371TT 80217 8217 1 000 0.20 13 W H TXMTXM 9 min -1 /s 3 000 20 00 2 690 22 8 1 800 0 H 0 200 0 327 7 200 266 6 0 179 200 160 3 0 07 167 200 07 166 0 272 131 200 272 127 0 816 623 200 816 618 0 378 378 200 378 378 0 799 799 200 799 799 0 361 361 200 361 361 11 12
1 /2 /2 1.1 1 2 1 N 1 0 N 890 00 88 82 0 2 11 00 20 000 17 1 0 1 32 6 0 20 2 0 6 38 200 70 0 0 290 0 0 1 /2 Y Z /2 1 3 N 0 N 7 070 12 800 1 0 7 070 12 800 8 2 17 20 0 900 21 700 16 700 3 00 2 0 1 800 32 700 16 700 3 00 2 0 1 800 32 700 X X Z Y d Z d Y d Y Z d 1.2 2 16 26 6 200 1 36 20 06 0 6 370 200 20 20 20 70 0 20 00 620 0 616 00 2 716 00 816 00 916 600 2 1 016 800 1 216 J T - m 2 1.3 1.8 1. 2.0 200 1.6 2.2 20 1.8 2. 0 2.0 2.6.2 7.0 200.8 7.6 20 6. 8.2 0 7.1 8.8 00 8.3 0 20 26 00 23 29 00 26 32 00 39 600 33 2 800 39 2.1.7 200 2..1 200 200 2. 8.8 0 200 2.9 6.2 200 200 8.2 16.9 0 200 9. 18.1 0 0 9.8 19.3 00 0 11.0 20. XY J - m 2 T S Nm 0.29 0.07 0.8 0.12 0.8 0.26 0.8 0. 0.29 0.07 0.8 0.13 TXMTXM 13 1
17 20 37 6 -. -M PD7090 60 2 8 0 0.039 0 -M PD7090 W W T01 8 3 0.039 0 0 T02 12 8 1 1 21 20 37 6 -. -M8 PD7090 60 2 8 12 0 0.039 0 -M8 PD7090 8 B ON T0 8 3 0.039 0 0 T06 1 S/2 1 ON G OFF S/2 1 OFF W T09 T 1 21 20 31 9. 8 0.039 36 0 -M8 60 0 T11 2 1 12 1 0 60 0.06 0 8 70 -M6 8 TXMTXM OFF W 1 E B E F G 3 /2 1 7.. 60 3 1 /2 1 7 12 8 3 /2 1 7 20 1 80 3 /2 1 7 18 1 1 17162 1. 2. F T03 T07 12 1 1 1 1 1 0 0 0.039 0 0.039 0 0 60 0.06 0 8 8 8 70 -M PD7090 8 -M8 PD7090 8 -M6 8 T0 T08 2. 10 -M612 PD9090 2. 1 1 1 1 70 0.06 0 70 0.06 0 10 -M PD9090 T12 1 1 16
TX 13 -M 90 -M 3.2 -M816 180 -M 18 9. n-m8 80 1 21 1 2. 6 6.6 12 n-m 1 90 TXMTXM 1 S/2 S/2 1 20 S/2 13 S/2 20 7 12. S B n - 27 7 8 12-32 8 13-200 200 37 12 8 1-20 20 2 7 7 12 16-0 0 7 17 7 12 17 1 T01T0 B 12. B 33 2 180 2 S n - 00 8 8 3-200 200 0 1 8 37-20 20 00 13 8 39-0 0 0 160 8 2-00 00 60 22 12 7 17 18
TX -M20 -M816 2 1.2 -M20 -M20 19.2 320 290 280 180 320 20 390 380 280 20 290 1 8-M 290 390 10 n-m TXMTXM 1 S/2 20 S/2 1 1 S/2 320 S/2 1 60 7 3 380 3 2 S 280-0 0 60 160-00 00 70 2 11-00 00 80 260 12 2 S n -00 00 90 20 8 183-600 600 1 00 0 8 197-800 800 1 20 000 12 223 19 160
TX Y 21 1 1 3.7 13 90 80 -M n-m 1 Y 180 -M TXMTXM n-m8 -M -M16 3.7 13 6 12 6.6 180 1 7-20 7-20 90 18 9. 7 12. 12. 1 X 21 1 2 180 2 X 1 S X Y X Y n - 27 27 7 8 23-20 200 37 27 12 8 26-2020 200 200 37 37 12 8 28-20 0 200 7 37 17 12 31 1 T01T0 S X Y X Y n -2020 200 200 0 0 1 8 73-20 0 200 0 0 160 8 78-0 0 0 0 160 8 83-0 00 0 60 0 22 12 88 161 162