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4 代替フロンガス代替フロンガス代替フロンガス 従来型システム 代替フロンガス代替フロンガス代替フロンガス中国側半導体製造工場 地球温暖化効果ガス ( 代替フロンガス ) CDM 活用型システム 地球温暖化効果ガス ( 代替フロンガス ) 90% % 除去 中国側半導体製造工場 除害装置 除害装置の資金 / 技術 排出権獲得

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23 < 北京市 > 首鋼日電電子 三菱四通集成電路 東光電東光電 Ⅱ 廠 SMIC < 天津市 > 天津モトローラ < 吉林省 > HUAWEI < 遼寧省 > 光電子光電子 沈陽科希 珪技 < 山東省 > ハイアール 正大 < 四川省 > MOY 楽山 楽山 < 陜西省 > 西岳微電子 < 広東省 > 広東硅峯電子 深セン深センSTSMicroelctronics 妖貝 深愛 深セン高科集積 大王電子 : 既存工場 (2004 年 1 月時点稼働中 ) : 新規工場 < 淅江省 > 華越微電子 寧波明華微電子 寧波明華微電子 土蘭 高端科技 中緯 寧波聰微半導体 < 江蘇省 > 三星電子 蘇州モトローラ 日立半導体蘇州 ハリス セミコンダクター 蘇州蘇州 ADM ADM 南通華達微電子 中国華晶電子集団 上華半導体 無錫華芝 江陰長江実業 CSMC 和艦和艦 (UMC) (UMC) 南京高新半導体 < 上海市 > 中芯国際集成電路製造 上海宏力半導体製造 上海新進半導体製造 上海貝嶺微電子製造 上海先進飛利浦半導体 上海阿法泰克 上海華旭 金朋上海 上海華虹 NEC NEC 電子電子 上海現代 TSMC 茂基半導体 優特半導体 モセルハ イテリック 漠昇科漠昇科

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36 回路設計 前工程 後工程 パターン設計 マスク製作 ウェハープロセス 組立工程試験工程信頼性試験工程製品出荷 工程工程の流れ 繰り返し ( ) 12

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58 代替フロンガス代替フロンガス 地球温暖化効果ガス ( 代替フロンガス ) 90% % 除去 代替フロンガス代替フロンガスの 半導体製造工場 除害装置 レシピとガスの流量 代替フロンガスの除去状況を測定 エッチング後の代替フロンガスの質と流量 ポータブル測定器

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60 前 提 年間削減量 ( tonton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 3 CER 収益 USD 273,021 分担金 USD 5,460 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 100,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 273, , , , , , , , , ,021 分担金 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 100, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 155, , , , , , , , , ,561 設備費 -550, 資金収支 -550, , , , , , , , , , ,561 IRR 2 年 #NUM! 5 年 5% 7 年 18% 10 年 24% 前 提 年間削減量 ( tonton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 5 CER 収益 USD 455,035 分担金 USD 9,101 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 100,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 455, , , , , , , , , ,035 分担金 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 100, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 333, , , , , , , , , ,934 設備費 -550, 資金収支 -550, , , , , , , , , , ,934 IRR 2 年 -39% 5 年 48% 7 年 57% 10 年 60%

61 前 提 年間削減量 ( tonton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 7 CER 収益 USD 637,049 分担金 USD 12,741 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 100,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 637, , , , , , , , , ,049 分担金 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 100, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 512, , , , , , , , , ,308 設備費 -550, 資金収支 -550, , , , , , , , , , ,308 IRR 2 年 -7% 5 年 85% 7 年 91% 10 年 93% 前 提 年間削減量 ( tonton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 9 CER 収益 USD 819,063 分担金 USD 16,381 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 100,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 819, , , , , , , , , ,063 分担金 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 100, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 690, , , , , , , , , ,682 設備費 -550, 資金収支 -550, , , , , , , , , , ,682 IRR 2 年 26% 5 年 120% 7 年 125% 10 年 125%

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63 前 提 年間削減量 ( ton ton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 3 CER 収益 USD 273,021 分担金 USD 5,460 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 200,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 273, , , , , , , , , ,021 分担金 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 5,460 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 200, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 設備費 -550, 資金収支 -550,000 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 55,561 IRR 2 年 #NUM! 5 年 -28% 7 年 -13% 10 年 -2% 前 提 年間削減量 ( ton ton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 5 CER 収益 USD 455,035 分担金 USD 9,101 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 200,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 455, , , , , , , , , ,035 分担金 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 9,101 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 200, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 233, , , , , , , , , ,934 設備費 -550, 資金収支 -550, , , , , , , , , , ,934 IRR 2 年 #NUM! 5 年 25% 7 年 36% 10 年 41%

64 前 提 年間削減量 ( ton ton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 7 CER 収益 USD 637,049 分担金 USD 12,741 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 200,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 637, , , , , , , , , ,049 分担金 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 12,741 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 200, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 412, , , , , , , , , ,308 設備費 -550, 資金収支 -550, , , , , , , , , , ,308 IRR 2 年 -25% 5 年 65% 7 年 72% 10 年 74% 前 提 年間削減量 ( ton ton/ 年 91 GWP na 10,000 CO2 換算削減量 ton 91,007 CER 価格 USD 9 CER 収益 USD 819,063 分担金 USD 16,381 LPガス USD 4,800 電気 USD 2,400 水道 USD 4,800 人件費 USD 200,000 除害装置 USD 450,000 測定器 USD 100,000 年 収入 819, , , , , , , , , ,063 分担金 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 16,381 経費 LPガス 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 電気 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 2,400 水道 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 4,800 人件費 200, , , , , , , , , ,000 税引前利益 0 590, , , , , , , , , ,682 設備費 -550, 資金収支 -550, , , , , , , , , , ,682 IRR 2 年 7% 5 年 101% 7 年 106% 10 年 107%

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