Evaluation of the Microstructures of CSP Microjoints with Sn-Ag Lead-Free Solders Ikuo SHOHJI *, Fuminari MORI * *, Shinichi FUJIUCHI * * and Masaru Y

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1 Evaluation of the Microstructures of CSP Microjoints with Sn-Ag Lead-Free Solders Ikuo SHOHJI *, Fuminari MORI * *, Shinichi FUJIUCHI * * and Masaru YAMASHITA * * * *Card Engineering, Yasu, IBM Japan, Ltd. Presently at Gunma University (1-5-1 Tenjin-cho, Kiryu-shi, Gunma ) **Card Engineering, Yasu, IBM Japan, Ltd. (800 Ichimiyake, Yasu-cho, Yasu-gun, Shiga ) ***International Test & Engineering Services Co., Ltd. (800 Ichimiyake, Yasu-cho, Yasu-gun, Shiga ) Abstract The thermal cycle test was performed to CSP microjoints with several Sn-Ag lead-free solders, and the microstructure observation was performed before and after thermal cycle test. In the initial solder joints with Sn-3.5Ag or Sn-3.5Ag-0.76Cu, fine Ag3Sn grains were mainly distributed structure at the grain boundary of Sn and around there. Those grains formed the network in the Sn matrix. After thermal cycle test, a spherical growth of Ag3Sn grain was observed and the network structure was disappeared. In that microstructure, the crack growth was relative fast. On the other hand, as for Sn-Ag-Bi-Cu alloy, Bi phases were finely existed in Sn matrix and those were stable even after the thermal cycle test. The crack growth in Sn-Ag-Bi-Cu solder was relative slow because of the stable microstructure. Key Words: Lead-Free Solder, Sn-Ag Alloy, Chip Size Package, Thermal Fatigue, Microstructure

2 1.Solder balls Probe X-ray Microanalyzer)定 量 分 析 に よ り生 成 相 の 同 定 を行 っ た 3.実 験 結 果 お よび 考 察 3.1接 合部初 期組織 Fig.2に,は 一はん だ と,比 較 の た め にSn-37Pbは ん だ を 加 え た5種 の は ん だ 材 を 試 料 と し て 用 い た な お,CSP側 材 のCuは 無 電 解 め っ き 法 に よ りNi/Au表 て い る も の を 用 い た Ni,AuはCu電 類 の電極端 子 面 処理 が 施 され 極 上 に そ れ ぞ れ6.8, 0.3μmの 厚 み を 持 つ 各CSP試 1.0mmの 料 は,リ フ ロ ー ソ ル ダ リ ン グ 法 に よ り基 板 厚 膨 張 係 数:14.1ppm/ )基 装 時 に は,接 初 期 組 織 観 察 結 果 に つ い て 示 す CSP側 解Ni/Auめ 織 に はAuめ 板 に 合 部 中 へ の ボ イ ドの 発 生 を で き る FR-4側 っ き 層 は 認 め ら れ な い Niめ のCuパ る こ と がEPMA分 Cu/Sn/Ni3元 の 生 成 も認 め られ た は 粒 状 のAg3Sn相 る よ う に 調 整 し た こ の と き,ピ 約16sで あ っ た Fig.1に ー ク温 度 で の 保 持 時 間 は 接 合 部 の 断 面 観 察 例 を 示 す が, 今 回 評 価 対 象 と し た 接 合 部 は,イ ンタ ポ ー ザ 基 板 側 の 電 極 部 に ビ ア を も つ 構 造 を と る た め,ビ ア 部 に ボ イ ドが 生 成 し や す い よ う な 接 合 部 形 状 を 呈 し て い た な お,試 は ん だ 材 ご と に5個 2.2熱 料数 は各 Fig.1の よ う な 断 面 形 状 を 持 つCSPは ん だ接 合 部 に 対 恒 温 部 保 持 時 間:13min,移 行 時 間:2min)を サ イ ク ル 試 験 は,約100サ イ ク ル終 了 ご と に 四 端 子 法 に よ り接 合 部 の 電 気 抵 抗 値 を 測 定 し,接 2.3組 CSPは 施 した 熱 れ は リフ ロー ソ ル ダ れ る Sn-3.5Agは 0.76Cuは の 初 晶 と考 え ら ん だ の 場 合 と 同 様 の 組 織 が,Sn-3.5Ag- ん だ を用 い た 接 合 部 に お い て も観 察 さ れ た Fig.3に,は ん だ 材 にSn-2.0Ag-20Bi-0.5Cuを っ き 層 と の 界 面 にSn-3.5Agは Cu/Sn/Ni系 の3元 用 い た とき の 接 合 界 面 に お い て は, ん だ の 場 合 と 同 様, 化 合 物 層 が 認 め ら れ た ま た,FR-4側 もSn-3.5Agは ん だ の 場 合 と 同 様,Cu6Sn5層 の 生 成 が 見 られ た Fig.3の は ん だ 材 中 に お い て 白 色,暗 灰 色,明 灰 色 に 合 部 の 破 断 の 有 無 を確 ん だ接 合 部 の リ フ ロ ー 直 後 の初 期 組 織 お よ び熱 サ メ リ ー 研 磨 と パ フ 研 磨)を 試 料 と し た 各 試 料 に 対 しSEM(Scanning 用 い て 組 織 観 察 を 行 い,同 Electron 合 施 して Micro- 時 にEPMA(Electron Fig.2 134エ も 認 め ら れ た が,こ リ ン グ 中 の 凝 固 過 程 で 生 成 さ れ るAg3Sn相 織観 察 部 断 面 に 機 械 的 研 磨(エ Fig.1 見 ら れ る よ うな 比 較 的 大 き イクルまで行 った イ ク ル 試 験 後 の 組 織 に つ い て 組 織 観 察 を 行 う た め に,接 scope)を な 針 状 のAg Sn相 粒 界お よび粒界近 傍に の は ん だ 材 で 見 られ る特 徴 的 な組 織 を示 し て い る8) ま た,Fig.2(b)に Niめ サ イ ク ル 試 験( ,2cycles/hour,各 認 し な が ら7000サ は 主 にSnの の 接 合 部 の 初 期 組 織 を 示 す CSP側 と した サ イ クル 試 験 し,熱 度 あ る い は サ ブ ミク ロ ン オ ー ダの が ネ ッ トワ ー ク 状 に 分 散 し て い る 組 織 が 観 存 在 し て お り,こ な が 生成 す っ き 層 と の 界 面 部 に は, リ フ ロ ー 条 件 は,ピ ー ク温 度 が 各 は ん だの 液 相 線 温 度 化 合 物 層 が, 化 合 物 層 とNiめ 察 さ れ た こ のAg3Sn相 相 線 温 度 以 上 で の 保 持 時 間 が70±10sと っ き層 とは んだ 示 し た よ う なNi3Sn4相 は 異 な り,表 面 め っ き 処 理 が 施 さ れ て い な い も の を 用 い た +20±2,液 の3元 合 後の組 析 よ り 明 ら か と な っ た さ ら に, ん だ 材 中 で は,1μm程 の もの と フロー ソル ダリ ッ ド と の 界 面 に お い て はCu6S5層 わ ず,基 板 側 の 電 極 材 のCuは,CSP側 極 は無 電 は ん だ 液 相 中 に 溶 解 す る た め,接 だ け 抑 制 す る た め に 基 板 側 へ の は ん だ ペ ー ス トの 供 給 は 行 板 側 ヘ フ ラ ッ クス の み を供 給 して接 合 部 を 形 成 し のCu電 っ き 処 理 が 施 さ れ て い る が,リ ン グ 中 にAuが Fig.2(a)に た7) な お,FR-4基 ん だ を用 い た 接 合 部 の 材 と の 界 面 に お い て はCu/Sn/Ni系 評 価 用FR-4(熱 実 装 し,実 ん だ 材 にSn-3.5Agは Cross sectional view of CSP solder joint (Sn-37Pb) レ ク トロ ニ ク ス 実 装 学 会 誌Vol.4No.2(2001) Microstructures of CSP solder joint with Sn-3.5Ag solder before thermal cycle test

3 量 が 多 い た め,よ 化 合 物 層 がNiめ っ き層 と の 界 面 部 に 生 成 し た も の と 考 え ら れ る 一 方,本 研 究 で用 い た は ん だ 材 中,最 りSn-richの もCu含 有 率 の 高 か っ たSn-3.5Ag-0.76Cu は ん だ に お い て は,Niめ っ き 層 と の 界 面 部 に よ りCu-rich な 層 の 生 成 が 認 め ら れ た こ の 結 果 か ら,Cu含 0.5%を 越 え る 場 合 に は,生 成層 が変化す る可能性が ある こ と が 示 唆 さ れ た 一 方,FR-4側 て は,今 有 量 が のCu電 極 と の 界 面 にお い 回 評 価 し た い ず れ の は ん だ 材 に お い て もCu6Sn5 層 の 生 成 が 見 ら れ た Cu/Sn合 Cu6Sn5とCu3Snが 金 界 面 に お い て は,通 常 生 成 す る こ と が 知 ら れ て い る が,Cu3Sn 層 は 薄 く生 成 す る 場 合 が 多 い 本 研 究 に お い て も,1μm 以 下 の 厚 み の 層 の 検 出 は 困 難 で あ っ た た め,薄 いCu3Sn層 が 生 成 し て い た と して も検 出 さ れ なか っ た 可 能 性 もあ る し か し, 2に 示 し た 生 成 相 は,熱 サ イクル試験 後 も そ の成 長 は 見 られ る もの の 生 成 相 自体 の 変 化 は見 られ な か っ た 3.2熱 Fig.3 Microstructures of CSP solder joint with Sn-2Ag-20Bi-0.5Cu solder before thermal cycle test サ イ クル 試 験 後 の 接 合 部 組 織 本 研 究 の 熱 サ イ ク ル 試 験 条 件 に お い て は,7000サ 終 了 後 も,接 見 え る 相 はEPMA分 Ag3Sn相 析 の 結 果 か ら,そ で あ る こ と が 明 ら か と な っ た し た が っ て,は ん だ 材 はSnを マ ト リ ッ ク ス と し て 数 μm程 度 のBi,Cu6Sn5お よ びAg3Snが 分 散 し た 組 織 を 有 す る Sn-1.9Ag-7.6Bi-0.5Cu は ん だ を 用 い た 接 合 部 の 場 合 に も,Bi相 は,熱 サ イクル試験終 了後 の 各 接 合 部 の 断 面 観 察 結 果 を 示 す Fig.4の 組 織 は,各 展 が 著 し か っ た も の を 選 別 し て い る Fig.4に の 含 有 率 の相 違 は お い て,ク ラ ッ ク の 進 展 度 の み に 注 目 す る と,Sn-3,5Ag,Sn-3.5Ag0.76Cu>Sn-37Pb>Sn-1.9Ag-7.6Bi-0.5Cu,Sn-2Ag-20Bi- 2に 初 期 接 合 部 中 に 見 ら れ た 生 成 相 に 関 し て,各 0.5Cuな は ん だ 材 ご と に ま と め た 結 果 を 示 す 各 生 成 相 はEPMA る傾 向が み られ る 熱 サ イ ク ル試 験 前 後 で の さ ら に詳 細 な 組 織 変 化 を観 察 す 分 析 に よ る 定 量 分 析 結 果 と 各 系 の 平 衡 状 態 図 よ り推 定 し た も の を 示 し て い る CSP側 のNi/Auめ っ き層 とは ん だ との 界 面 に は い ず れ の は ん だ 材 の 場 合 もCu/Sn/Ni3元 化 合物 層 の 生 成 が 認 め ら れ た こ れ ら の 生 成 層 の 組 織 は,本 に お け るSEMに よ る 観 察 で は 一 層 に 見 え る が,透 研究 過 型電 子 顕 微 鏡 を用 い た 観 察 にお い て は複 数 層 の 存 在 が 確 認 さ れ る 可 能 性 も あ る9) 本 研 究 で 得 ら れ た 組 成 比 を も つ3元 合 物 層 の 存 在 はCu-Ni-Sn3元 て お ら ず,こ は,Ni3Sn4層 化 系 状 態 図上 で は 明 らか に な っ れ らの 層 の 同 定 に は透 過 型 電 子 顕 微 鏡 等 を用 い た さ ら な る 調 査 が 必 要 と な る Sn-3.5Agは の 生 成 も認 め ら れ た が(Fig.2参 今 回 使 用 し た は ん だ 材 中 でSn-3.5Agは 2. んだの場合 に 照),こ れ は ん だ が 最 もSn含 Probable は ん だ材 を用 い た接 合 部 の 観 察 結 果 の 中 で 最 も ク ラ ッ クの 進 認 め られ た もの の 同 様 の 組 織 が 観 察 さ れ た 合 部 の 電 気 抵 抗 測 定 結 果 か ら は接 合 部 の 破 断 は 確 認 さ れ な か っ た Fig.4に れ ぞ れBi,Cu6Sn5, イクル formation *. Cu : Sn : Ni=35:45:20. Fig.4 Microstructures thermal 有 phases in initial joints **. Cu : Sn : Ni=27:64:9. of cycle by EPMA ***. test CSP solder joints (-40 `125 Ž, after 7000 cycles) analysis Cu : Sn : Ni=45:45:10 エ レ ク ト ロ ニ ク ス 実 装 学 会 誌Vol.4No (at%).2(2001)135

4 7.6%添 加 し た は ん だ の 場 合 に も認 め られ た 以 上 の よ う に, Bi添 加 は ん だ の 場 合 に は,熱 サ イ ク ル 試 験 後 も接 合 部 の 組 織 変 化 が 少 な く,は ん だ 材 の 強 度 劣 化 が 小 さい もの と考 え られ る そ の た め,本 研 究 で 対 象 と し た よ うな,パ ッケ ー ジサ イ ズが 比 較 的 小 さ くか つ 接 合 部 寸 法 が 大 き な場 合,す な わ ち接 合 部 の 受 け る負 荷 応 力 が 小 さ な場 合 に は,ク ク の 進 展 が 遅 くな っ た もの と考 え る Sn-Ag系 ラッ は ん だ にBi を添 加 して い く と,Bi添 加 量 と と もに は ん だ材 自身 の 強 度 が 上 昇 し,伸 び が 低 減 す る こ とが 報 告 され て い る11) そ の 結 果 と し て,接 合 部 の 受 け る熱 応 力 を は ん だ材 自 身 で は 十 Fig.5 Microstructures of CSP solder joints with Sn-37Pb, Sn-3.5Ag and Sn-2.0Ag-2OBi-0.5Cu solders before and after thermal cycle test 分 に緩 和 で きな くな り,接 合 界 面 部 で の 破 断 が 起 こ りや す くな る12),13) 本 研 究 に お い て は,接 な か っ た が,接 る た め に,よ り 高 倍 率 で の 観 察 を 行 っ た 結 果 をFig.5に す Sn-37Pbは ん だ に 関 し て は,熱 に お い て は,Snお よ びPb相 示 サ イ ク ル 試 験 前 の組 織 は 数 μmの オ ー ダ で 微 細 相 を 形 成 し典 型 的 な 共 晶 組 織 を形 成 して い る 熱 サ イ ク ル 試験 後 合 部 は 破 断 に まで 至 ら 合 部 にか か る熱 応 力 が よ り大 き くな る と, は ん だ 内 部 を ク ラ ッ クが 進 行 して 破 断 に 至 る モ ー ドか ら, よ り低 サ イ ク ル 数 にお い て 破 断 に 至 る 界面 破 断 モ ー ドへ 移 行 す る た め 実 用.上は 注 意 を要 す る13) Fig.6に は,Fig.4に 示 した 熱 サ イ ク ル試 験 後 のSn-2Ag- の 組 織 に お い て は 両 相 が 数 十 μmの オ ー ダ に 粗 大 化 し た 組 20Bi-0.5Cuは ん だ の イ ン タポ ー ザ 側 接 合 部 表 面 近 傍 の 断 面 織 に 変 化 し て お り,そ 組 織 を示 す こ の は ん だ 材 にお い て は,熱 の 結 果,は ん だ 材 自身 の 機 械 的 強 度 サ イ ク ル試 験 終 が 低 下 し,ク ラ ッ ク の 進 展 が 速 く な っ た も の と 考 え ら れ る 了 後 に,接 合 部 表 面 が樹 枝 状 に 変 化 した 形 跡 が 認 め ら れ る Sn-37Pbは Fig.6よ ん だ に お け るSn,Pb相 の 粗 大 化 過 程 は熱 平 衝 よ り,樹 枝 状 部 に はSn(灰 色),Bi(白 色)の 両相 り も ひ ず み 誘 起 の 影 響 度 が 大 き い こ と が 確 認 さ れ て お り10), の存 在 が 確 認 さ れ る た め,Snめ 本 研 究 の 接 合 部 に お い て も,熱 ウ イ ス が}と は 異 な る もの で あ る と考 え る こ の よ う な 形 サ イ ク ル負 荷 に よる ひ ず み っ き表 面 な ど に 発 生 す る 状 の 生 成 メ カ ニ ズ ム は まだ 不 明 で あ るが,本 研 究 に お い て 誘 起 型 の 相 成 長 が 支 配 的 に 起 こ っ た も の と推 測 さ れ る サ イクル は熱 サ イ ク ル 試験 中 に樹 枝 状 部 が 接 合 部 よ り分 離 して 基 板 粒 界 部 を 中心 に サ ブ 表 面 に 粉 状 に 付 着 す る現 象 が 確 認 され て お り,電 極 ピ ッチ ミ ク ロ ン の オ ー ダ で ネ ッ ト ワ ー ク 状 に 分 散 し て お り, が よ り狭 ピ ッチ に な る と電 極 間短 絡 の 危 険性 が あ る した Sn-3.5Agは ん だ を 用 い た 接 合 部 に 関 し て は,熱 試 験 前 の 組 織 で は,Ag3Snが Ag3Sn相 主 にSnの の は ん だ 中 へ の微 細 分 散 に よる 分 散 強 化 効 果 が 期 待 さ れ る し か し,熱 サ イ ク ル 試 験 後 に はAg3Sn相 μm程 度 の 粒 状 に 成 長 し て お り,Ag3Snの ネ ッ トワ ー ク 構 造 は 崩 れ て い る こ と が わ か る そ の た め,熱 終 了 後 の 組 織 に お い て は,微 細Ag3Sn相 は数 サ イ クル 試 験 の 分 散 に よる は ん が っ て,Sn-2Ag-20Bi-0.5Cuは んだ の狭 ピ ッチ接 合 部へ の 応 用 は,困 難 で あ る こ とが 明 らか と な っ た 3.3接 合部電気抵 抗測定結 果 Fig.7にSn-3.5Agは ん だ を用 い た あ る特 定 の 接 合 部 の 電 気抵 抗 値 変 化 の 観 察 例 を示 す Fig.7で は,初 期抵抗 値 に だ 材 の 強 度 強 化 は 期 待 で き な い 同 様 の 組 織 が,Sn- 対 す る抵 抗 変 化 率 と熱 サ イ ク ル試 験 の サ イ ク ル数 との 関 係 3.5Ag-0.76Cuは を 示 して い る 熱 サ イ ク ル試 験 の サ イ クル 数 増 加 に 伴 い, ん だ を 用 い た 場 合 に も 観 察 さ れ た Fig.5 で 示 し た よ う な 組 織 に 変 化 す る と,Ag3Sn相 ク ス 中 に 微 細 分 布 し な い た め,は ッ ク はSnマ がSnマ ト リ ッ ク ス 中 を 進 展 しや す く な る そ の た め, ク ラ ッ ク の 進 展 度 がSn-37Pbは ん だ と 同程 度 に な っ た も の と 考 え る こ のAg3Sn相 の 粒 状 成 長 に 関 し て は,さ 研 究 を 遂 行 中 で あ り,そ の 結 果 は 別 途 報 告 す る 一方 は,熱 トリ ッ ん だ材 中 に生 成 した ク ラ,Sn-2.0Ag-20Bi-0.5Cuは 結 果,Fig.5で 前 と 同 様,Snマ 上 の 変 化 率 を示 した と きに 初 め て接 合 部 の 抵 抗 変 化 が 意 味 の あ る もの と解 釈 した 抵 抗 値 変 化 は 接 合 部 の 断 面 が は熱 サ イ クル試 ん だ 中 に 微 細 に 分 散 して い る そ の 見 ら れ る よ う に,熱 サ イ ク ル 試 験 後 も試 験 ト リ ッ ク ス 中 にBi,Ag3Sn,Cu6Sn5が 的 微 細 に 分 散 し た 組 織 を 呈 し て お り,微 比較 細 相分 散 によるは ん だ 材 の 分 散 強 化 効 果 が 期 待 で き る 同 様 の 組 織 が,Biを 136エ 1%以 満 の 抵 抗 変 化 率 は測 定 誤 差 範 囲 と判 断 し, らなる よ びCu6Sn5相 度 に 成 長 し て い る が,Bi相 験 前 の 組 織 と 同 様,は い て は,1%未 ん だ に よ る接 合 部 に お い て サ イ ク ル 試 験 後 の 組 織 中 にAg3Snお 粒 状 に5μm程 接 合 部 の 抵 抗 値 も上 昇 して い くこ とが わ か る 本 研 究 にお レ ク ト ロ ニ ク ス 実 装 学 会 誌Vol.4No.2(2001) Fig.6 Microstructure of CSP solder joint with Sn-2.0Ag-2OBi-0.5Cu solder after thermal cycle test

5 Fig.7 Joint resistance measurement result (Sn-3.5Ag)

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