タ. タ 縺04 縺 [ チ チ , 080

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1 1309ィ , タ タ 縺 縺 縺 チ チ050905ィ タ. タ 縺 ィ ( ィ ), チ チ ( チ チ , ). PACS numbers: g, Kp, Gz (649) ィ タ チ (650). 3. ァ チ ィ チ (657). 4. 閨 タ タ タ (663) ィ (664) (664) , ィ チ050905ィ チ チ , , Cd x Hg 11 7x Te (010507) ィ ィ 縺 ィ ィ ィ : タ ( チ チ ) ィ チ チ ィ , 20, 60, ( ). 05 ィ (C.T. Elliott) (050406) 02 ィ ( ). 05. タ. タ 閨 閨08 タ "04 タ " 縺0509 縺04", , /2, (095) (095) [email protected] ィ チ , , ィ ィ ィ ィ " " チ ィ , , , 閨 ィ チ チ ( ) チ チ N, 6N , ィ ィ チ ィ , o (050804), ィ , 縺 " " チ , , チ " " チ050905ィ , , ィ チ ( タ09, ) A II B VI [1] [2, 3]. 05 # 05. タ. タ

2 タ. タ 縺04 縺 [ チ チ , [4] ィ , , ィ タ チ Cd x Hg 11 7x Te タ " " (E g 1 7 0;23 ィ 05, T 0キ ), (E g 1 7 0;29 ィ 05, T 0キ ) (E g 1 7 0;41 ィ 05, T 0キ ). 05 ィ ィ III 09 V タ , 閨0507ィ ( ), (H. Welker, 閨 ) , A III B V ィ ィ , ィ ィ IV タ ィ 09 チ ィ ィ A III B V チ , ィ [5], kp チ A III B V A II B VI CdS 05 CdSe, ZnTe 05 CdTe, HgS 05 HgSe 05 HgTe , (W.D. Lawson, Royal Radar Establishment) [6], [7] , ィ CdTe 05 HgTe ィ , HgTe ( 0;02 ィ T 0キ3 4;2 01), ィ , ィ ィ ィ ィ ィ CdHgTe , x Cd x Hg 11 7x Te ,2 05 0,5, , " " チ ィャ 1,5 05 2,5; ィ " " , ィ チ ィ , 縺 ィ ィ 09, , " " ( ), , , , チ ィ ィ チ ( チ Honeywell) ( チ Mullard) チ (C. Verie) [8] チ ィ D l max 0キ3 ュ 閨02 1= タ (M. Raudot) (CNRS) , チ タ , [9] , , ィ ィ Cd, Hg 09 Te. タ , ( , ), チ ( " ", ) , チ チ050502, ィ, タ , チ , チ チ Cd 05 Hg 05 Te. 縺 " " : ィャ , ィ , ; , ィ , , , ; ィャ Cd 05 Hg 05 Te

3 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 , , " " , タ0709 ィ , x 0キ3 0; ,21, , C; " " , ィ , C ( ィ ). 縺 ィ C , , ィ , ィ , チ ( ) (00) , タ (01) 縺 , タ ( , 05. タ , 07. タ , ィ 01, , ) , 縺 ィ " " , チ 閨 タ ィ チ , チ , 08 D l max 0キ 閨02 1= ( " ") ィ, ィ " " ( ) ィ ィ ィ チ " " ( タ09, ) PbS, PbSe, InSb , ィ, , , , チ , , , ィ チ チ チ ( 縺09). タ , ィ 09 BLIP (Background Limited Infrared Photodetector), チ ィ , Ge:Hg , ィ ィ ; , , BLIP , ィ タ05ィ チ チ , ィ チ , , , ィ チ チ , ィ チ ィャ ( ,.07. タ , 05. タ , , 07. タ , ィ 01, , , , 05.. 閨 , , , ) CO チ , ィ " " ( ). タ0709 ィ 閨 ,5 05 1,0 陦閨

4 タ. タ 縺04 縺 [ チ 閨 n , チ , ィ チ , 02 チ p 05 n , ィ , ィ チ チ チ00 t d チ p 05 n , t t p 05 n t RC ィ チ ィ ィ e ィ ィ m n > 閨 チ ィ ィ チ CO ( " ", " ", " ", " ", " チ0507", 縺0105 " " ィャ チ050502) ィ ィ 0800 ( 閨 ( 閨 ) ィャ 07. タ , ィ , , ,.05. タ ; 閨 ( 閨09 タ ) ィャ 03. タ , , ; (090709) チ チ05 ィャ 縺 , 縺 , 01. タ ; タ ( ) ィャ 03. タ , ィ ; ィャ , タ ; (09 タ0304) ィャ ; (03 閨08) ィャ , 09.. タ ; ィャ ) ィ ィ チ , チ ( ) ( , ) , ィ , ィ チ : , , , p , チ 閨 陦閨 閨 閨 ィ ィ ィ ィ ( ). タ , " " チ , , 閨 , チ チ 縺 チ , チ050905ィ , , チ チ ィ チ チ ィ , ィ チ チ チ- チ Hg, Cd ィ [ ] p 05 n , : チ チ チ チ チ [13] ィ HgTe CdTe チ チ ィ [14, 15] ィ , チ , 閨 (080103, , ) , ィ , , チ ィ ィ ィ ィ タ , , n 縺040405ィ チ " " ( タ09, ), チ ィ (00) ィ チ " " ( タ09, ), チ ィ (01). 01

5 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 , , , タ , 閨 ィ チ , " タ " 09 " " ( ィ , チ050502) , チ , 閨09 タ, チ チ05, 閨 チ , , , , , チ ィ ( n n 0キ3 ュ ) ィ ィ Cd, Hg 09 Te, HgTe 09 CdTe, CdHgTe C , , : チ , チ ( チ000800) チ , ィ 0, , 閨 縺 チ , ィ , , ィ ィャ ィ ィ , チ タ05ィ ィ n ィ ( Pb 05 Sn 05 Te, Pb 05 Sn 05 Se ) チ050905ィ , チ 閨 チ , ( , 閨 ィ 01, , , ) n チ , , ィ チ , , p , n , チ , チ ( ). 縺 , チ , Cd 05 Hg 05 Te, , ィ , ィ, , ィ ィ , チ ( ) : (00) ィ チ000807, , p ; (01) p タ p ィ : n ィ , , ィ , ュ0;81 71; , チ ィャ , ィ チ チ p 05 n ィ ィ R 0 A (R 0 ィャ 0409 チ チ , A ィャ チ ) ィ p 05 n 縺 ィ チ , , 01

6 タ. タ 縺04 縺 [ , タ ィ チ , (" ") ィ チ , ィ ィ ( ), チ : n 6ヲ0 1 7 p ( Ga, Al In) チ チ , チ チ ィ チ チ0909 ( , 6) ィ チ " " ( タ09, ) チ ィ YScO (00) ィ チ " " ( タ09, ); (01) チ " " ィ チ ; 閨 閨 ィ チ , ( ), チ t a 0キ3 L=m a U sm (L ィャ , U sm ィャ チ , m a 0キ3 m n m p ュn 1 7 p6 9 ュnm n 6ヲ0 pm p ィャ ). タ チ L 1 7 0;3 0303, m n , m p , p 4 n, pm p 4 nm n, t a In n 6ヲ , チ , ュ0;81 71; 閨 閨 , チ n チ 閨 = ュ 閨 閨02 [16] , タ05ィ C ィ チ , n (n ) [17]. タ , p (p ), , , ィ 縺 , , ィ , ィ ィ ィ , ィ (ィ , チ02ィ ), ィ 縺 ィ , ィ ィ ィ ィ ィ , タ ィ チ チ ィ , ィ ( , ) [18] YScO 3 ZnSe CdTe 01 n , : (00) 10-ィ " " ( ) ( タ09, ); (01) チ ィ

7 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 ィ チ [19], ィ TeO 2, (Cd, Hg) TeO 3, (Cd, Hg) TeO , ィ ZnSe 09 YScO 3 ィャ , チ 縺 ィ p 05 n p , ィ , ィ ィ チ チ ィ [20] p 05 n チ チ L ( ィ ィ L n ) ィ , , ィ ィ 縺 p 05 n ィ (w 0; ) ィ , , p 05 n T 0キ ィ ィ ィ チ チ タ ィ ィ ィ " ィ " チ タ. タ ィ , チ ィ ィ , 閨 ィ ( , , , , ) , , [21, 22] , ィ 縺 , ィ (N a ) ィ , , 閨 , ィ ( , ィ " " ) [23]. タ ィ ィ [24, 25] ィ ィ チ ィ チ < hn < 60 03ィ 05, チ [26] ィ , チ チ , チ , , タ ィ チ チ ィ チ " ", " ", " ", " 縺 " ( ), 10-ィ チ " ", 10-ィ ィ チ " " ( , ) ィ チ " タ" ィ ( , ィ ィャ ) ィ チ " " ( ) ィ , ィ , チ " " ィ , n ィ チ " " ( タ , , ), 128-ィ チ " " ( タ , , ) , ィ チ , (Common Modules) ィ (050406) 02 ィ ( SPRITE) [27] チ ィ ( ) , ( , )

8 タ. タ 縺04 縺 [ ィ ( チ ), ( ) タ , チ ( ), ィ , チ ィ ( ) , ィ , チ , チ ィ チ ィ , ィ " " チ , チ SPRITE (Signal PRocessing In The Element) チ / ィ チ ィ , ィ , , タ ( " ") タ " 閨0505 チ " ィ ( ) ィ ュ 閨02 1= ( ) D l max (> ). 縺 チ , ィ , チ , , ィ D l max 0キ3 ュ1;51 72; 閨02 1= ( " ", タ ) ィ ィ チ , , ィ ( ) " " チ チ , チ ィ チ ィ , ( ,.07. タ ) [28] , , ィ ィ , " " チ タ ( ) ィ ィ Ge n " " ィ ィ チ , " " ( タ09, ) ィ ( タ09, ). タ ィ チ , , , ( ) ィ , ィ チ , ィ ィ ィ [13]. 05 ィ CdTe ィャ CdTe HgTe ィ , ィ , ィ [25, 29], p 05 n

9 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 タ チ (04 タ " 縺 ") , 閨 , ィ ィ , 縺 , 0803 閨02 1= , , , , , , , , , , c , ; タ : ィャ , ィャ 0409 チ チ , ィャ , ィャ ィ チ チ , ィ , ; ィ " " チ タ タ " 縺 " ィ , チ [30] ィ 縺 チ ,0 0,8 0,6 0,4 0, ,2 1 70,4 1 70,6 1 70,8 1 71, , チ チ ィ p , ィ : 1 ィャ , 2 ィャ チ ィ : x 0; , , チ , , チ ィ ィ チ ィャ , , , x 1 7 0; チ ィ ( ) [15] ィ ィ ィ , ( ) [31], チ ィ ( 縺0208ィ 01, ) [32]. 3. ァ チ ィ チ ィ, チ050905ィ , ィ : ィャ チ ィ , , チ チ , ィ , ,

10 タ. タ 縺04 縺 [ , "08ィ " "Common Modules" ィ ( , , ィ ) , ィ ュ 閨02 1= ; ィャ ィ チ ィ , ィ , , " " 09 " " [33]. 縺 " チ0907", タ " 縺 ", タ " 縺 " " チ00" チ ィ , ィ i , ィ , チ , ( ) チ N N, M N, 2 2N タ ィ , , , , ィ ; チ , , ィ ; ィ ; ィ チ ; チ , チ ィ , ィ タ タ0809, , チ タ チ 縺 チ ィ タ ィ ィ , , 縺 チ " 縺 ", タ チ ィ チ ィ ( ) ィャ , , タ ィ ィ タ チ ( , 05. タ. タ , , ) , ィ チ タ " 縺 " , チ ィ ( ), , , タ. タ , , , タ チ チ , チ チ050905ィ チ タ , "09 縺04-1-2", ィ " " ィ チ , ィ ィ , ィ ( ) ィャ チ (090603) ィ , ィ , ( タ タ08) ィャ タ0806 ( ィ ) タ0809 ( ) タ [ ] チ p タ タ n 縺 チ チ , ィ ィ 0306 タ , n ィ , 0409 チ タ , ィ ィ , ィ ィ チ タ タ タ

11 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 , ィ チ Q fc > 6ヲ N ss > ィ , ィ , Al 2 O 3, SiO 2, YScO , ィ ィ e , d i 0; ; ィ C i 1 7 ュ タ チ チ , , ィ ィ , チ , ィャ , ィ ィ タ [37] タ n-cd 0,21 Hg 0,79 Te ィ ( ), タ Al 2 O 3 ( " ", " ") チ ( ) D l max 1 7 ュ 閨02 1= タ タ タ タ ィ , ィ ィ ィ e ィ , ィ , ィ , p , ィ p 05 n , , " " [38] ィャ ィ チ , 閨 ィ チ ィ [39], , , ィ チ , ィ チ 縺 ィ : , ィ , チ Cd 05 Hg 05 Te , ィ ィ ィ , , T 0キ C , , T 0キ C タ ィ ィ チ チ (" ") ィ ィ ィ , ィ タ タ n-cd 0;21 Hg 0;79 Te ィ ( タ09, ) % タ CdTe Cd x Hg 11 7x Te , タ , ィ ィ ( タ- チ ) , チ チ ィ p , , * % % % ィ Cd Hg

12 タ. タ 縺04 縺 [ (Si) (GaAs) , "0100 チ " (010007) Cd y Zn 11 7y Te (y 0キ3 0;021 70;05) , , ィ チ 閨 ( ) CdZnTe C ィ C , , ィ ュ ィ チ [40] ィ チ ィ 閨 ( ) チ ィ チ チ "09 縺04-1-2", " タ", " ", " ", " " ( ) : ィ ィ ( ) チ Cd x Hg 11 7x Te (x 0キ3 0;21 70;3), ィ ィ ィ チ " " (T 0キ ) 09, , ィ チ ィ ィ タ チ ィ ィ (ィ , , チ050905ィ ) チ ィ , 0605ィ ィ ィ p 05 n チ B 6ヲ0 08 ィ ィ 05. タ0709 ィ チ , ィ ィ , n p チ , " ", ィ [38, 41] ィ チ ィ ィ ィ ィ タ ィ ィ ィ チ n チ , チ ( ) ィ ィ ィ , Al 2 O 3, SiO チ タ ィ , , チ ィ ィ CdTe, ( ), " " ( , 閨 ) [42] Si チ 罍タ ィ , ィ 08 タ , ィ チ n-03 罍タ ィ SiO 2, ィ ( チ050502, , ) [43, 44]. タ チ チ I f ( ), ィ 0300ィ C n, VT7, C h ィ 0309 VT8, VT5, VT3 09 VT4, C n 09 C h ; U sm ィャ VT ィ 03 VT 罍タ ィ ィ , , , チ ィ VT1 VT2 VT3 C 01 VT4 C 04 VT5 VT7 U 0803 VT チ チ チ I チ

13 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 タ , 0603 閨 = , 閨 チ ( ) ( ) , ィ 罍タ-0102ィ ィ ィ タ チ ィ , チ ( ). 縺 " " チ チ ィ ィ チ タ0709 ィ チ Si , , , ィャ , チ Si ( ), " " p 05 n ( ), チ Mullard [45] Si , p 05 n ィ : ィ ( ), ィャ チ チ チ0909, ( ) p 05 n n " " ( , 閨 ) " " p 05 n チ : (00) ; (01) " " p 05 n ; 1 ィャ ィ ; 2 ィャ n 6ヲ チ ; 3 ィャ ィ ; 4 ィャ ; 5 ィャ ; 6 ィャ ; 7 ィャ ; 8 ィャ ; 9 ィャ p 縺 ィ , チ チ " " ( 閨 , ) チ ィ ,5 05 2,5; ィ , ィ CdTe チ ィ CdZnTe [46, 47] チ050905ィ ィ ィ (> 98 %) % " " チ タ チ ィ ィ チ , タ 縺 チ チ ( タ09, ) 閨 , ,8 4,0 9,4 1,5 13, , , ,1 1,5 3,0 4,0 5,2 9 5 縺 , 0803 閨02 1= , , , , , T rab,

14 タ. タ 縺04 縺 [ A B 1 2 F11 73 Vdc A B 128 I II Si Si C D タ チ " " チ ( タ09, ) ィ [48] ( ) T 0キ ィ 09 4; 閨02 1= , チ % ィ , DT < 0;1 01. タ " " チ チ M N (M ィャ , N ィャ ィ ) o (050804) チ M N: 4 N N チ ィ , p M チ N N , , , ィ チ N. タ チ N ィ 09 01o ィ ィ , ィ N 2 2N チ N N チ ィ (090107) チ : A ィャ ィ ; B ィャ ィ ; C, D ィャ ; I, II ィャ チ ; 1, 2 ィャ ; F 11 73, V dc ィャ ; 3, 7 ィャ チ ; ィャ チ チ , ィ ィ チ ( ), チ , ィ ( ) チ チ チ , 2 32, 4 48, 2 96, 4 128, ィ , ィ ィ , チ ( チ ) , ィ ィ , ィ ィ チ ィ , , ィ チ ィ ィ , ィ , チ ィ チ , ィ ( , ) ィ チ

15 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 タ ( タ09, ) ィ ィ , , 閨 , 縺 , 0803 閨02 1= N N ,5 60 (3 05 4) N N ,5 60 (3 05 4) N N ,5 60 (2 05 3) N , N , N ,5 11,5 12,5 64 (4 05 5) チ ィ ( 縺06, ), , ィ チ チ , ィ , , , チ ィ ィ , , , , ィ ィ , ィ, チ ィ , " " 0405 チ ( 閨 , タ , ) [50] チ ィ チ050905ィ チ , チ ィ チ チ , ィ チ 閨 タ タ タ チ ィ チ , ィ 縺 チ ィ チ , , ( " ", " ", タ. タ ) チ ィ チ チ ィ チ チ (" ") ィ ( タ09, ) チ チ ィ , 罍タ ィ ィ ィ チ p 05 n , ィャ チ ィ ( タ), " " , , ィ ィ ィ ィ タ ィ , ィ , , ィ タ ィ

16 タ. タ 縺04 縺 [ チ , , " " 0409ィ Al 2 O 3 09 SiO チ ィ タ- チ D l max 0キ 閨02 1= [56] タ ィ チ チ ィ , ィ p タ [57]. タ ィ [51, 52], チ , [53] ィ チ ( " ") n タ L 0キ [54] ( ). 縺 タ ィ , ィ チ チ ィ : チ , Al 2 O 3, SiO Al 2 O ィ Al 2 O : チ Q fc 0キ3 ュ , N fs < ィ , N ss ィ ィ p-cd 0;2 Hg 0;8 Te g 0キ3 1; ; ( , , 05. タ. タ ) ィ ィ チ チ n 6ヲ Al 2O タ , タ09 ( ): (00) n タ p-cd 0;2 Hg 0;8 Te; (01) n タ 0908 p-cd 0;2 Hg 0;8 Te ィ p ィ チ チ ィ l n 0キ3 h=2p ュm n kt6 91= タ l n 0キ3 kt=qe s (E s ィャ タ ) ィ ィ ( ) ィ , ィ ィ , [55] ィ タ 縺 , チ , 閨 , 縺06, , , ィ ィ ィ ィ , , , ィ チ チ ( , ), ィ チ InSb, PbSe, PbS, PtSi ィ ィ チ チ , チ ィ ィ チ , チ , ィ ィ チ ィ , チ , A II B VI ( タ 閨 , ) (03.: , 1986) , XI (1 タ 2) 3 (1998) タ チ (3) 5 (1999) ( : タ , 2000) 5. Kane E O J. Phys. Chem. Solids (1957) 6. Lawson W D et al. J. Phys. Chem. Solids (1959) , 閨 (1960) 8. Verie C, Ayas J Appl. Phys. Lett (1967)

17 , 02 6] 縺05 縺07 タ 縺01 縺 タ 縺05 縺05 09 縺07 縺 縺 タ (03.: , 1971) , , チ , タ チ A II B VI ( ) ( ィ 08: 閨08, 1972) , , チ , (12) 2232 (1973) , , チ , III ィ ( : 閨08, 1972) , タ チ A II B VI ( ) ( ィ 08: 閨08, 1972) , III ィ ( : 閨08, 1972) タ (1973) 16. 閨 タ チ (3) 47 (1999) 17. 閨 タ, , タ , VII ィ ( : 閨08, 1986) " ", , , V ィ ( : 閨08, 1980) タ タ, チ , ィ (1974) , , チ タ (1975) タ ァ (1974) ァ (1974) , タ タ, チ タ (1978) 25. タ タ タ (1979) タ (1982) 27. Elliott C T, in Int. Electron Devices Meeting, San Francisco, CA (1982) p タ チ (2) 63 (1999) タ 7 40 (1973) 30. 閨 縺 (6) 56 (1996) ィ タ ァ (6) 59 (1989) 32. Ovsyuk V N et al. Proc. SPIE (2001) 33. 縺 ィ ( タ ) ( : , 1997) 34. Kinch M A et al. Infrared Phys (1980) 35. Lewis A, Roberts G, in Int. Electron Devices Meeting, Washington, DC (1981) p Jamison J A Opt. Eng (1986) 37. タ ィ ( タ ) (03.: , 1982) , タ チ ィ " " ( タ : , 1987) タ, , タ , VII チ , , ィ ( : , 1986) Lakeenkov V M et al. J. Cryst. Growth (1999) , VIII ィ ( : 閨08, 1991) , 閨 , VIII ィ ( : 閨08, 1991) タ チ (3) 25 (1999) タ チ (1) 3 (1999) 45. Koehler T et al. Proc. SPIE (1980) 縺 (12) 33 (1992) 47. Khryapov V T et al. Opt. Eng (1992) タ チ (3) 41 (1999) , チ タ チ (2) 58 (1999) 50. Gibin I S Proc. SPIE (1993) 51. Nemirovsky Y, Margalit S, Kidron I Appl. Phys. Lett (1980) 52. Williams G M, Gertner E R Electron. Lett (1980) 53. Schiebel R A, Dodge J, Gooch R Electron. Lett (1989) 54. タ タ, , チ タ (1988) 55. タ タ タ (1989) 56. タ タ, , タ , VIII ィ ( : 閨08, 1991) , タ タ, チ タ (1988) Cadmium mercury telluride and the new generation of photoelectronic devices V.P. Ponomarenko State Research Center of Russian Federation, Federal State Unitary Enterprise "RD&P Center "Orion" 46/2 Entuziastov sh., Moscow, Russian Federation Tel. (7-095) , Fax (7-095) [email protected] Progress over the period in developing semiconductor solid solutions of cadmium mercury tellurides (single crystals and epitaxial layers) and in designing IR photodetectors based on this technology (photoresistors and photodiodes, including matrix ones) is reviewed. Bibliography ィャ 57 references PACS numbers: g, Kp, Gz Received 4 December 2002

縺05, 縺05 縺 [ : チ

縺05, 縺05 縺 [ : チ 1306050100010708 2006 03. 070503 176, 02 12 0806 タ07 09 090908090107060109 04030801 縺0408 縺0505 030107080302060405 タ05 縺04020703 0702050109070504090100 090504010901 0802050502 040907050105080504040701

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