夜間を含む全天候下で 20m 以上先の車両や歩行者等多数の障害物の位置と距離を同時にリ アルタイムで測定できるセンシングデバイス及び三次元積層といった省スペース化と高速信号伝送特性を併せ持つ車載品質のデバイスの小型化技術を開発する 中間目標 ( 平成 27 年度末 ) 20m 以上先の車両や歩行者等

Similar documents
(案)

代センサーネットワーク モバイル情報機器 サーバー等から研究開発実施者が想定するアプリケーションにおいて 劇的な低消費電力化を志向する新しいメモリアーキテクチャ 基本ソフトウェア アルゴリズムのデザインを提示するとともに 必要に応じて間歇動作等に求められる次世代不揮発性素子の性能を提示し システムと

Rev

【NanotechJapan Bulletin】10-9 INNOVATIONの最先端<第4回>

P00041

2 研究開発項目 高信頼リモート管理技術の研究開発 (1) リモート管理プロトコルポータル リモート管理マネージャプロトコル仕様書の作成 およびエージェント向けリモート管理マネージャ API 仕様書の作成を行った (2) リモート管理マネージャ技術リモート管理マネージャ通信基盤基本設計書の作成とリモ

Presentation Title Arial 28pt Bold Agilent Blue

1 日本再興戦略 2016 改革 2020 隊列走行の実現 隊列走行活用事業モデルの明確化ニーズの明確化 ( 実施場所 事業性等 ) 技術開発 実証 制度 事業環境検討プロジェクト工程表技高齢者等の移動手段の確保 ( ラストワンマイル自動走行 ) 事業モデルの明確化 ( 実施主体 場所 事業性等 )

富士通セミコンダクタープレスリリース 2009/05/19

スキル領域 職種 : ソフトウェアデベロップメント スキル領域と SWD 経済産業省, 独立行政法人情報処理推進機構

ハード・ソフト協調検証サービス

大域照明計算手法開発のためのレンダリングフレームワーク Lightmetrica: 拡張 検証に特化した研究開発のためレンダラ 図 1: Lightmetrica を用いてレンダリングした画像例 シーンは拡散反射面 光沢面を含み 複数の面光 源を用いて ピンホールカメラを用いてレンダリングを行った

医療機器開発マネジメントにおけるチェック項目

P00041

新技術説明会 様式例

Rev

2015 TRON Symposium セッション 組込み機器のための機能安全対応 TRON Safe Kernel TRON Safe Kernel の紹介 2015/12/10 株式会社日立超 LSIシステムズ製品ソリューション設計部トロンフォーラム TRON Safe Kernel WG 幹事

Microsoft PowerPoint - 【最終提出版】 MATLAB_EXPO2014講演資料_ルネサス菅原.pptx

<4D F736F F D F193B994AD955C D9E82DD835C EC091D492B28DB8816A2E646F63>

システムの開発は 国内において 今後の普及拡大を視野に入れた安全性の検証等に係る研究開発が進められている 一方 海外展開については 海外の事業環境等は我が国と異なる場合が多く 相手国のユーザーニーズ 介護 医療事情 法令 規制等に合致したきめ細かい開発や保守 運用までも含めた一体的なサービスの提供が

White Paper 高速部分画像検索キット(FPGA アクセラレーション)


スライド 1

Microsoft Word - 回路基板設計製造の高度化に関する戦略策策定_報告書H28.03_JPCA

フロントエンド IC 付光センサ S CR S CR 各種光量の検出に適した小型 APD Si APD とプリアンプを一体化した小型光デバイスです 外乱光の影響を低減するための DC フィードバック回路を内蔵していま す また 優れたノイズ特性 周波数特性を実現しています

平成 28 年度革新的造船技術研究開発補助金の採択結果概要 補助対象 :IoT AI 等の革新的な技術を用いた 生産性向上に資する造船技術の研究開発 ( 補助率 :1/2 以下 ) 事業予算 :0.9 億円 ( 平成 28 年度 2 次補正 ) 7 億円 ( 平成 29 年度要求中 ) 採択案件 :

ACモーター入門編 サンプルテキスト

ニュースレター「SEI WORLD」2016年6月号

PowerPoint プレゼンテーション

NSW キャリア採用募集職種一覧 2018/8/16 現在 求人番号 職種対象業務必要とするスキル 経験 資格等勤務地 1 営業スペシャリスト金融 ( 損保 生保 クレジット ) 業でのソリューション営業 IT 業界での営業経験 金融業界 IT 業界での人脈がある方尚可 渋谷 2 プロジェクトマネー

サーマルプリントヘッド

日本機械学会 生産システム部門研究発表講演会 2015 資料

JICA 事業評価ガイドライン ( 第 2 版 ) 独立行政法人国際協力機構 評価部 2014 年 5 月 1

UL 規格規UL(Underwriters Laboratories.lnc) は 米国の火災保険業者によって 1894 年に設立された非営利の試験機関で 火災 盗難 その他の事故から人命 財産を守ることを目的として 材料 部品 および製品の安全規格の制定 試験 承認登録 検査などの業務を行っていま

3. 回路図面の作図 回路図の作成では 部品など回路要素の図記号を配置し 要素どうしを配線するが それぞれの配線には 線番 などの電気的な情報が存在する 配線も単なる線ではなく 信号の入力や出力など部品どうしを結び付ける接続情報をもたせることで回路としての意味をもつ このように回路図を構成する図面は

食肉製品の高度化基準 一般社団法人日本食肉加工協会 平成 10 年 10 月 7 日作成 平成 26 年 6 月 19 日最終変更 1 製造過程の管理の高度化の目標事業者は 食肉製品の製造過程にコーデックスガイドラインに示された7 原則 12 手順に沿ったHACCPを適用して製造過程の管理の高度化を

ITS 安全運転支援システムイメージ

TITAN マルチコンタクト プローブ TITAN マルチコンタクト プローブは MPI の独自の TITAN RF プロービング技術をさらに発展させた RF/ マイクロ波デバイス特性評価用プローブです 最大 15 コンタクトまでのプロービングが可能で 各コンタクトは RF ロジック バイパス電源の

介護ロボットの開発 普及に関する現状 社会保障費は増加の一途 ( 介護に係る社会保障費の推計 :2012 年 8.4 兆円 2025 年 19.8 兆円 ) 2025 年時点の介護職員の需給を推計すると 介護職員は 38 万人不足する見込み 持続的な財政及び社会保障システム維持のためには 介護需要増

Microsoft Word - 3  4端子治具バリエーション.doc

IT スキル標準 V3 2011_ 職種の概要と達成度指標 (7) アプリケーションスペシャリスト 職種の概要と達成度指標 APS 経済産業省, 独立行政法人情報処理推進機構

「蛋白質発現・相互作用解析技術開発」産業科学技術研究開発基本計画

卵及び卵製品の高度化基準

バリデーション基準 1. 医薬品 医薬部外品 GMP 省令に規定するバリデーションについては 品質リスクを考慮し 以下の バリデーション基準 に基づいて実施すること 2. バリデーション基準 (1) バリデーションの目的バリデーションは 製造所の構造設備並びに手順 工程その他の製造管理及び品質管理の

基本的なノイズ発生メカニズムとその対策 電源 GND バウンス CMOS デジタル回路におけるスイッチング動作に伴い 駆動 MOS トランジスタのソース / ドレインに過渡的な充放電電流 及び貫通電流が生じます これが電源 GND に流れ込む際 配線の抵抗成分 及びインダクタンス成分によって電源電圧

記者発表開催について

モータ HILS の概要 1 はじめに モータ HILS の需要 自動車の電子化及び 電気自動車やハイブリッド車の実用化に伴い モータの使用数が増大しています 従来行われていた駆動用モータ単体のシミュレーション レシプロエンジンとモータの駆動力分配制御シミュレーションの利用に加え パワーウインドやサ

目次 1: 安全性とソフトウェア 2: 宇宙機ソフトウェアにおける 安全 とは 3:CBCS 安全要求とは 4: 宇宙機ソフトウェアの実装例 5: 安全設計から得た新たな知見 6: 今後 2

ビッグデータ分析を高速化する 分散処理技術を開発 日本電気株式会社

取組みの背景 これまでの流れ 平成 27 年 6 月 日本再興戦略 改訂 2015 の閣議決定 ( 訪日外国人からの 日本の Wi-Fi サービスは使い難い との声を受け ) 戦略市場創造プラン における新たに講ずべき具体的施策として 事業者の垣根を越えた認証手続きの簡素化 が盛り込まれる 平成 2

資料1:地球温暖化対策基本法案(環境大臣案の概要)

車載式故障診断装置 (OBD) に関する制度と運用の現状 資料 4

(2) 制度の目標 1 過去の取り組みとその評価本事業は 前述の米国のSBIRをモデルに 再生可能エネルギー分野等の技術シーズを提案公募により新規に実施するものである 2 本事業の目標中小企業等 ( ベンチャー含む ) の保有する潜在的技術シーズを活用した技術開発の推進を支援するとともに 新事業の創

Microsoft Word - ESxR_Trialreport_2007.doc

Micro Fans & Blowers Innovation in Motion マイクロファン & ブロワー 有限会社シーエス技研 PTB 事業部東京オフィス 千葉県市原市辰巳台西

プロジェクトマネジメント知識体系ガイド (PMBOK ガイド ) 第 6 版 訂正表 - 第 3 刷り 注 : 次の正誤表は PMBOK ガイド第 6 版 の第 1 刷りと第 2 刷りに関するものです 本 ( または PDF) の印刷部数を確認するには 著作権ページ ( 通知ページおよび目次の前 )

屋内 3 次元 測位 + 地図 総合技術開発 現状 屋内 3 次元測位統一的な測位手法 情報交換手順がなく 共通の位置情報基盤が効率的に整備されない 技術開発 屋内外のシームレス測位の実用化 (1) 都市部での衛星測位の適用範囲拡大 (2) パブリックタグ 屋内測位の標準仕様策定 効果 3 次元屋内

特長 01 裏面入射型 S12362/S12363 シリーズは 裏面入射型構造を採用したフォトダイオードアレイです 構造上デリケートなボンディングワイヤを使用せず フォトダイオードアレイの出力端子と基板電極をバンプボンディングによって直接接続しています これによって 基板の配線は基板内部に納められて

T

Layout 1

富士通セミコンダクタープレスリリース 2013/04/22

大規模災害等に備えたバックアップや通信回線の考慮 庁舎内への保存等の構成について示すこと 1.5. 事業継続 事業者もしくは構成企業 製品製造元等の破綻等により サービスの継続が困難となった場合において それぞれのパターン毎に 具体的な対策を示すこと 事業者の破綻時には第三者へサービスの提供を引き継

図 維持管理の流れと診断の位置付け 1) 22 22

地図情報の差分更新・自動図化 概要版

EC-1 アプリケーションノート 高温動作に関する注意事項

(2) 技術開発計画 1 実施体制 環境省 明和工業株式会社 ( 共同実施者 ) 国立大学法人東京工業大学 (2) ガス利用システムの技術開発エンジン発電機の試験運転における稼働状況の確認 評価 (3) 軽質タール利用技術開発エンジン発電機を用いた燃焼試験 (4) トータルシステムの技術開発物質 熱

<4D F736F F D DC58F4994C5816A8C9A8DDE E9197BF88EA8EAE2E646F6378>

20 m Au 2. 現行のマイクロバンプ形成技術における課題 Au Au Au 2 WB 11 m m 1 m 2008 Au FC m 10 m 30 m OTK Au 表 1 マイクロバンプ形成におけるめっき法の比較 3. 無電解めっきによる Au

<4D F736F F D DC58F49817A81698EC08E7B95FB906A816A816988C482C882B5816A836F B838B2E646F63>

<4D F736F F F696E74202D AC89CA95F18D9089EF975C8D658F F43945A A CC8A4A94AD298F4390B394C5205B8CDD8AB B83685D>

Microsoft PowerPoint - tpms_session_matsuura

国土技術政策総合研究所 研究資料

プロジェクトを成功させる見積りモデルの構築と維持・改善 ~CoBRA法による見積りモデル構築とその活用方法について~

PowerPoint Presentation

UL(Underwriters Laboratories lnc.) は 1894 年に米国の火災保険業者によって 設立された非営利の試験機関で 火災 盗難 その他の事故から人命 財産を守ることを目的として 材料 部品 および製品の安全規格の制定 試験 承認登録 検査などの業務を行っています 当業界

Microsoft PowerPoint - Renesas_AdvancedPPmL(2010_11_11_rev).ppt [互換モード]

等価回路図 絶対最大定格 (T a = 25ºC) 項目記号定格単位 入力電圧 1 V IN 15 V 入力電圧 2 V STB GND-0.3~V IN+0.3 V 出力電圧 V GND-0.3~V IN+0.3 V 出力電流 I 120 ma 許容損失 P D 200 mw 動作温度範囲 T o

FANUC i Series CNC/SERVO

審査の品質管理において取り組むべき事項 ( 平成 27 年度 ) 平成 27 年 4 月 28 日 特許庁 特許 Ⅰ. 質の高い審査を実現するための方針 手続 体制の整備 審査の質を向上させるためには 審査体制の充実が欠かせません そこで 審査の効率性を考慮しつつ 主要国と遜色のない審査実施体制の確

<4D F736F F F696E74202D E291AB8E9197BF A F82CC8A A390698DF42E707074>

事例2_自動車用材料

本章では 衝突被害軽減ブレーキ 車線逸脱警報 装置 等の自動車に備えられている運転支援装置の特性 Ⅻ. 運転支援装置を 備えるトラックの 適切な運転方法 と使い方を理解した運転の重要性について整理しています 指導においては 装置を過信し 事故に至るケースがあることを理解させましょう また 運転支援装

JTAG バウンダリスキャンテストの容易化設計を支援する OrCAD Capture の無償プラグイン 21 July 2017 ( 富士設備 / 浅野義雄 )


Microsoft Word - r0703.doc

個人依存開発から組織的開発への移行事例 ~ 要求モデル定義と開発プロセスの形式化 による高生産性 / 高信頼性化 ~ 三菱電機メカトロニクスソフトウエア ( 株 ) 和歌山支所岩橋正実 1

Oracle Un お問合せ : Oracle Data Integrator 11g: データ統合設定と管理 期間 ( 標準日数 ):5 コースの概要 Oracle Data Integratorは すべてのデータ統合要件 ( 大量の高パフォーマンス バッチ ローブンの統合プロセスおよ

はじめに 構成シミュレーションと注文 受け取り 1

4 研修について考慮する事項 1. 研修の対象者 a. 職種横断的な研修か 限定した職種への研修か b. 部署 部門を横断する研修か 部署及び部門別か c. 職種別の研修か 2. 研修内容とプログラム a. 研修の企画においては 対象者や研修内容に応じて開催時刻を考慮する b. 全員への周知が必要な

どのような便益があり得るか? より重要な ( ハイリスクの ) プロセス及びそれらのアウトプットに焦点が当たる 相互に依存するプロセスについての理解 定義及び統合が改善される プロセス及びマネジメントシステム全体の計画策定 実施 確認及び改善の体系的なマネジメント 資源の有効利用及び説明責任の強化

CANapeを用いたラピッドコントロールプロトタイピングのバイパス手法による制御モデル開発

DumpsKing Latest exam dumps & reliable dumps VCE & valid certification king

移動通信の将来像と ドコモのネットワーク戦略

完成版_セミナー発表資料110928

ISID教育サービスのご案内(Autodesk用)

実験題吊  「加速度センサーを作ってみよう《

本事業の意義 実効性 ( 見直しの必要性 ) 医療情報データベース基盤整備事業 ( 平成 23 年度 ~ 10 協力医療機関 ) 日本再興戦略 ( 平成 25 年 6 月 14 日 ) 医療 介護情報の電子化の促進 医薬品の副作用データベースシステムについて データ収集の拠点となる病院の拡充や地域連

Microsoft Word - 【プレス】 _ミツウロコ・京セラ・NEC_IoT協業_Final-2.docx

スライド 1

Transcription:

P13005 平成 26 年度実施方針 電子 材料 ナノテクノロジー部 1. 件名 : ( 大項目 ) 次世代スマートデバイス開発プロジェクト 2. 根拠法独立行政法人新エネルギー 産業技術総合開発機構法第 15 条第 1 項第 1 号ニ 3 号 3. 背景及び目的 目標 3.1 研究開発の背景 目的次世代交通社会の実現には 自動車の燃焼システムの環境対応に加え 急発進 急停止 渋滞等による非効率な燃料消費の改善及び人の飛び出しや走行中の急な割り込み等による衝突事故の削減など 一層の省エネ化と安全走行の高度化が重要である その実現には 自動車の周辺情報を集め即座に状況を把握するシステムの構築が必要となり そのための技術開発が求められている 欧州では一層の安全性向上のために衝突回避技術に重点が置かれ 米国では平成 32 年度頃の実現を目指し 各種センサーを活用した自律走行技術の開発が進んでいる 我が国では衝突回避に加え車車間通信 路車間通信技術を用いた渋滞緩和に関する技術開発が進行している これらのキーデバイスになる障害物センシングデバイス プロセッサ等の市場は 材料 チップ モジュール 製造装置事業の総額では平成 32 年度で約 1 兆円と試算されている 本事業では このような次世代交通社会の実現に必須となるエレクトロニクス技術の開発を行う 具体的には 平成 30 年度頃の市場投入を目指し 安全運転支援を実現するためのセンシングデバイスの開発 車載センサーの情報から障害物を認識し危険度を判別するアプリケーションプロセッサの開発 多くの車から収集した情報を分析するプローブデータ処理プロセッサの開発を行うことで 渋滞緩和 交通事故低減に寄与し 低炭素かつ安全な次世代交通社会の基盤を整備する 併せて 我が国の自動車関連企業の競争力強化に資する 3.2 研究開発目標自動車の周辺情報を把握するシステムのキーデバイスである車載用障害物センシングデバイス 障害物検知 危険認識アプリケーションプロセッサ及びプローブデータ処理プロセッサを開発し 自動車関連企業の競争力強化に貢献する 研究開発項目 1 車載用障害物センシングデバイスの開発 [ 委託事業 助成事業 ( 助成率 :1/2 以下 ) ] 産官の複数事業者が互いのノウハウ等を持ちより協調して実施する基盤的内容について委託事業として実施し それ以外の場合は 助成事業 ( 助成率 1/2 以下 ) として実施する 1

夜間を含む全天候下で 20m 以上先の車両や歩行者等多数の障害物の位置と距離を同時にリ アルタイムで測定できるセンシングデバイス及び三次元積層といった省スペース化と高速信号伝送特性を併せ持つ車載品質のデバイスの小型化技術を開発する 中間目標 ( 平成 27 年度末 ) 20m 以上先の車両や歩行者等多数の障害物の位置と距離を同時に測定できるセンシングデバイスを開発し 性能評価を行う その評価結果から最終目標達成のための課題を抽出し 解決の技術的見通しを明確にする センシングデバイスの省スペース化に資するデバイスの小型化技術の技術的見通しを明確にする 最終目標 ( 平成 29 年度末 ) 走行中に夜間を含む全天候下で 20m 以上先までの車両や歩行者等多数の障害物の位置と距離を同時にリアルタイムで高精度に測定するセンシングデバイスを開発する 車載環境下で上記のセンシング特性を有し バックミラー裏やバンパー等限られたスペースに搭載できるデバイスの小型化技術を開発する なお 目標は市場等を踏まえ必要に応じて見直しを行う 研究開発項目 2 障害物検知 危険認識アプリケーションプロセッサの開発 [ 助成事業 ( 助成率 :1/2 以下 )] センシングデバイスからの大量のデータを高速かつ低消費電力で処理できるアーキテクチャを搭載した車載用のプロセッサを開発する 上記のプロセッサをプラットフォームとして より多くの車両や歩行者等の障害物の動きを予測し その衝突の危険度を判別するアプリケーションソフトを開発する 中間目標 ( 平成 27 年度末 ) 車両や歩行者等多数の障害物の動きを予測するアルゴリズムを開発し その危険度を判別するソフトウェアの仕様を作成する センシングデバイスからの大量のデータを高速かつ低消費電力で動作するプロセッサのアーキテクチャを設計し 技術的見通しを明確にする 最終目標 ( 平成 29 年度末 ) 以下の機能を有するアプリケーションソフトを開発する 走行車両周辺の歩行者 自動車 二輪車など多数の障害物の認識 それぞれの障害物の動きの予測 それぞれの障害物の衝突危険度の判別 2

アプリケーションソフトを搭載した以下の性能を有するアプリケーションプロセッサを開発する メモリースループット :80 GByte/s 以上 単位消費電力当たり演算性能 : 1,000GOPS/W 以上 GOPS(Giga Operations per Second) 検出処理時間 :50msec 以下 なお 目標は市場等を踏まえ必要に応じて見直しを行う 研究開発項目 3 プローブデータ処理プロセッサの開発 [ 助成事業 ( 助成率 :1/2 以下 )] 車両からのリアルタイム情報と過去の渋滞モデル等から個々の自動車に安全で効率的な運転支援情報を提供するハイエンドサーバーシステムに搭載されるプロセッサ ( ) を開発する 具体的には 平成 32 年度頃の実用化を目指し テレマティクス向けサーバーシステムが扱うエクサバイト規模の情報をリアルタイムで処理する低消費電力プロセッサ技術を開発する ( ) 本事業では 回路 システム 設計技術 組立技術を重点的な対象とし 専ら新材料 新デバイス構造 新プロセスの開発を目的とするものは対象としない 中間目標 ( 平成 27 年度末 ) 大容量データを高速かつ低消費電力で処理するプロセッサの要素技術を開発し 最終目標達成に必要な技術的見通しを明確にする 最終目標 ( 平成 29 年度末 ) 以下の性能を有する高性能で低消費電力のプロセッサを開発する 単位消費電力当たり演算性能 : 3Gflops/W 以上 ピーク演算性能 : 1Tflops 以上 メモリースループット : 0.3Byte per flop 以上 flops(floating-point operations per second) なお 目標は市場等を踏まえ必要に応じて見直しを行う 4. 実施内容及び進捗 ( 達成 ) 状況平成 25 年度は以下の研究開発項目 1 2 及び3における公募 採択を行い 実施体制を決定するとともに 以下の研究開発を開始した 4.1 平成 25 年度事業内容研究開発項目 1 車載用障害物センシングデバイスの開発 ( 委託 ) 1-1: 測距センサデバイス 回路技術 ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ( 株 ) 豊田中央研究所 ) シミュレーションを実施し 本事業で開発する測距センサの目標仕様およびデジタ 3

ル信号処理回路のアーキテクチャ仕様を策定した 1-2: 三次元統合設計環境の開発 ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ( 株 ) 図研 ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) 三次元半導体に関する技術 文献の調査や現状の技術分析を実施し 開発アイテムリストを作成した また 設計プラットフォームLSI(Large Scale Integration) とパッケージの設計ツール間 I/F(InterFace) の開発と DB(DataBase) 拡張のための調査 検討を行った 1-3: 印刷 TSV 技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) 住友精密工業( 株 ) ( 有 ) ナプラ ( 株 ) デンソー ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) TSV(Through Silicon Via) 金属充填技術および装置について 実験装置仕様を策定した また 実験装置によるTEG(Test Element Group) サンプル充填加工を実施し 初期金属充填技術成立性を確認した TSV 用絶縁層形成技術および装置について 予備実験機器にて要素技術を習得した またTEGサンプル充填加工を通じ 実験装置作成の為の基本仕様を策定した 1-4: 印刷バンプ 反り対策技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ( 有 ) ナプラ ( 独 ) 産業技術総合研究所 ( 株 ) デンソー ) 三元以上の組成によるバンプ印刷の目標仕様を策定し 予備実験を実施した また 印刷によるウエハ裏面反り対抗層印刷の目標仕様を策定し 予備実験を実施した 1-5:TSVプロセスインテグレーション技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ( 株 ) デンソー 住友精密工業 ( 株 ) ( 有 ) ナプラ ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) アニュラー絶縁体と導体 Viaから構成されるTSV 構造における懸念点を抽出するとともに 要素プロセスTEGを作成して検証した 1-6: 低応力積層 / 接続技術の開発 ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) チップtoチップ (C2C) チップtoウエハ(C2W) ウエハtoウエハ(W2W) 等の積層技術のベンチマークを行い 本プロジェクトで開発する方式を選定した また 積層における懸念点を抽出し プロセスTEGを作成して検証した また 作成したTEGを分析し 成立性の見通し判断を行った 1-7: 三次元実装検査技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ルネサスエレクトロニクス( 株 ) ( 株 ) デンソー ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) マイクロバンプ接合に支障が無いようバンプ潰れがなく 電気的コンタクトが可能 4

なプローブ材料等プローブピン仕様を設計し マイクロバンプの直接プローブ検査に必要な検査装置の仕様を検討した また 非破壊測定技術に関しては 現状技術の調査 デモによる課題抽出を行い 目標技術の実現性について見通し判断を行った 1-8: 三次元実装評価技術の開発 ( 実施体制 :( 独 ) 産業技術総合研究所 ( 株 ) デンソー ) 想定する車載センサシステム用三次元 LSI 積層実装システムからの要求仕様 ( 電気 熱 応力 ) を抽出した また積層チップを含む三次元実装構造全体に関する解析評価技術仕様を策定した 更に 三次元実装機構造の全体解析に向けた電気 熱 応力の解析評価環境を構築した 研究開発項目 1 車載用障害物センシングデバイスの開発 ( 助成 ) ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ) シミュレーションを実施し 測距センサモジュールの各構成部品に対する開発仕様を策定した 研究開発項目 2 障害物検知 危険認識アプリケーションプロセッサの開発 ( 助成 ) 2-1: 画像意味理解プロセッサプラットフォーム技術の開発 ( 実施体制 : ルネサスエレクトロニクス ( 株 )) 2-1-1: 画像意味理解プロセッサ技術プロセッサによる処理作業を要素機能に分類し 各機能に対応する回路を画像意味理解処理が有する特徴に特化して 電力性能比およびメモリスループットが専用設計に匹敵する汎用型の用意周到型アーキテクチャを設計した 2-1-2: 画像意味理解プロセッサに向けたソフトウェア開発環境技術上記の用意周到型アーキテクチャに基づき プロセッサ性能を十分かつ容易に引き出せるプログラミングフレームワークを設計した 更に 業界標準開発環境 OpenVX 策定活動に対し 本フレームワークを提案し 用意周到型アーキテクチャに基づく画像意味理解プロセッサ普及を可能にした 2-1-3: 前方監視用画像意味理解アプリケーションの実時間動作実証前方監視用画像意味理解アプリケーションに用いられる特徴抽出処理や識別処理を対象とした解析から得られた演算種 メモリアクセス種等の情報を 用意周到型アーキテクチャの設計に反映した 2-1-4: 画像意味理解リファレンスデータ取得システムの設計種々異なるアプリケーションの開発に共通使用可能なリファレンスデータを取得するための画像意味理解リファレンスデータ取得システムを設計し 有効性評価を行った 2-2: 車両周辺監視用画像意味理解アプリケーションソフトウェア技術の開発 ( 実施体制 : クラリオン ( 株 )) 対象物の認識ロジックのおよび衝突予測ロジックの検証を中心に 車両周辺監視アプリケーションソフトウェアの基礎検討を実施した 5

研究開発項目 3 プローブデータ処理プロセッサの開発 ( 助成 ) ( 実施体制 : 富士通 ( 株 )) 3-1: 三次元対応 SI/PI 設計技術の開発本事業で使用するテクノロジ向けに プロセッサ用マクロセル構成規模の見積もり TSVセルのレイアウトサイズおよびコンストレイント等のTSVセル案の作成 適用する周波数帯域におけるTSV 接続チップ内の信号配線の高速電気特性解析の最適な解析手法の摘出等を実施した 3-2: バックサイド設計技術の開発 モデル試作および解析を積み重ね TSV を収束した 2 層のバックサイド電極構造 における大電流供給時の課題を抽出した 3-3: バックサイドウエハ処理技術の開発リセスプロセスにおいて TSV 基板の簿層化に伴う厚さばらつきを抑制するための課題を抽出し 開発指針を明確化した また再配線技術の点から ウエハの反りを抑制するための開発課題の抽出も行った 3-4: 大電流対応の微小端子接合技術の開発チップオンチップ構造でCu-Sn 合金接合体を解析し 合金状態と電流密度耐性の関係を明らかにすると同時に 材料面から最適な接続部構成を明示した 3-5: チップ積層プロセス技術の開発ボンディング装置において 大面積 薄チップの搬送工程中のハンドリングにおける課題を抽出した 特に20mm 以上の薄化大面積チップに於ける課題を明確化した 3-6: 積層チップのパッケージング技術 冷却技術の開発シミュレーションにより積層チップの反りと接合部の熱応力の推定を行い 材料候補の絞り込みと配線仕様 層構成の検討を行った また クーリングプレートにはプロセッサチップの熱分布に最適化したマイクロチャネルを配するため 候補となる材料および加工方法の調査を行うのと同時に 熱解析用積層チップモデルを用いて熱輸送方式及び熱交換器の内部流路検討を実施した 4.2 実績推移 平成 25 年度 委託 助成 需給勘定 ( 百万円 ) 1,264 263 特許出願件数 ( 件 ) 4 - 論文発表件数 ( 件 ) 0 - 講演件数 ( 件 ) 0 0 プレスリリース ( 件 ) 0 0 2 月現在 6

5. 事業内容 5.1 平成 26 年度事業内容平成 26 年度は以下の研究開発を行う また 必要に応じ市場等の現状把握及び将来動向調査を目的とした調査を行う 研究開発項目 1 車載用障害物センシングデバイスの開発 ( 委託 ) 1-1: 測距センサデバイス 回路技術 ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ( 株 ) 豊田中央研究所 ) 平成 25 年度に策定した測距センサの目標仕様に基づき 単一の受光デバイス及び回路を設計し TEG 試作により成立性検証を行う 同じく 平成 25 年度に策定したデジタル信号処理回路のアーキテクチャ仕様に基づき信号処理回路および制御ソフトウェアを設計し 信号処理 LSIのFPGA (field-programmable gate array) プロトを開発する また センサモジュールを想定した評価システムにより成立性検証を行う 1-2: 三次元統合設計環境の開発 ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ( 株 ) 図研 ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) 三次元積層のチップ間やインターポーザー等を含んだパッケージについて課題抽出と解析技術の確立に取り組む 設計プラットフォーム開発において解析ツールなどとのI/F 開発 DBの一時拡張を行う 1-3: 印刷 TSV 技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) 住友精密工業( 株 ) ( 有 ) ナプラ ( 株 ) デンソー ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) TSV 金属充填技術および装置について 実験装置によるTEGサンプル充填加工試作を実施し 装置改善点の把握および対策を検討する TSV 用絶縁層形成技術および装置についても同様に 実験装置を開発 作成し TEGサンプル充填試作を行い 初期技術成立性の確認を行う 1-4: 印刷バンプ 反り対策技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ( 有 ) ナプラ ( 独 ) 産業技術総合研究所 ( 株 ) デンソー ) 10μmピッチ以下のバンプ特性の確認と 基礎評価用チャンバーの試作を行う また 工程別反り対策の特性確認と基礎評価用チャンバーの試作を行う 1-5:TSVプロセスインテグレーション技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ( 株 ) デンソー 住友精密工業 ( 株 ) ( 有 ) ナプラ ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) 平成 25 年度の要素プロセス評価結果を基にTSVインテグTEGの設計 試作を実 7

施すると共に TSV/ 内部配線接続部の諸物理特性の評価を行い 特性値の安定性を分析する 更に変動要因の掌握と対策指針の立案も行う この後 本指針を基にTSV 構造の改良まで検討を進め 初期特性 信頼性の改善度を評価する事で 中間年度の目標達成に向けての課題抽出を行う 1-6: 低応力積層 / 接続技術の開発 ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) 平成 25 年度実施のTEGの信頼性評価を行い 特性劣化要因を把握し対策指針を立てる また 本指針を基にバンプ構造を改良した場合の特性劣化の改善度を評価する事で 中間年度の目標達成に向けての課題抽出を行う 1-7: 三次元実装検査技術の開発 ( 実施体制 : ラピスセミコンダクタ ( 株 ) ルネサスエレクトロニクス( 株 ) ( 株 ) デンソー ( 独 ) 産業技術総合研究所 ) 平成 25 年度に設計したプローブピン仕様より 微小ピッチのバンプにコンタクト可能なプローブカードの構造設計及び開発を行い 導入予定である検査設備を用いて 実現性を評価する また 非破壊測定技術に関しては 平成 25 年度に抽出した課題の対策を検討し 対策実現性の評価を進める 1-8: 三次元実装評価技術の開発 ( 実施体制 :( 独 ) 産業技術総合研究所 ( 株 ) デンソー ) 車載センサシステムの動作安定性を想定したシグナルインテグリティ (SI) パワーインテグリティ (PI) 解析評価技術を開発する また 車載センサシステムに対応する三次元 LSI 積層実装システムのチップレベル及びパッケージングレベルによる放熱解析評価技術の開発を行う 更にトランジスタ動作によって生じるホットスポットの解析評価技術を開発し これらを基にTSV 及び積層接続構造の不良解析評価に向けた応力 熱の連成解析評価技術を開発する 研究開発項目 1 車載用障害物センシングデバイスの開発 ( 助成 ) ( 実施体制 :( 株 ) デンソー ) 測距センサモジュールの以下構成部品に対するTEG 試作を実施する 高出力 LD+ 駆動回路 電子スキャナ + 駆動回路 発光レンズ 研究開発項目 2 障害物検知 危険認識アプリケーションプロセッサの開発 ( 助成 ) 2-1: 画像意味理解プロセッサプラットフォーム技術の開発 ( 実施体制 : ルネサスエレクトロニクス ( 株 )) 2-1-1: 画像意味理解プロセッサ技術用意周到型アーキテクチャに基づくメニーコア型画像意味理解プロセッサRTLを開発し 電力性能比の改善効果を検証する 併せて画像意味理解プロセッサを備えた評 8

価用チップの設計検証を行う 2-1-2: 画像意味理解プロセッサに向けたソフトウェア開発環境技術用意周到型プロセッサに向けた最適化マシンコードを生成するCコンパイラを開発し 画像意味理解を構成する処理のうちOpenVXの次期規格として搭載が予定される処理関数を用意周到型アーキテクチャー上に実装した 画像意味理解拡張 API (Application Programming Interface) ライブラリ一式を開発する 2-1-3: 前方監視用画像意味理解アプリケーションの実時間動作実証前方監視用画像意味理解アプリケーションに使用される特徴抽出処理や識別処理を構成するためのAPIを検討し 画像意味理解拡張 APIライブラリの設計と実装に反映させる 2-1-4: 画像意味理解リファレンスデータ取得システムの設計開発したテストベッド評価に基づき 高精度化するための課題と改善策をまとめる 2-2: 車両周辺監視用画像意味理解アプリケーションソフトウェア技術の開発 ( 実施体制 : クラリオン ( 株 )) 平成 25 年度の基礎検討を基に 既存プラットフォーム上で車両周辺監視ベースアプリケーションソフトウェアの開発し 車両周辺監視ベースアプリケーションソフトウェア評価を行う 研究開発項目 3 プローブデータ処理プロセッサの開発 ( 助成 ) ( 実施体制 : 富士通 ( 株 )) 3-1: 三次元対応 S/PI 設計技術の開発平成 25 年度に作成したTSVセル案と 論理計算上必要となるマクロセルを対象として 現状で可能なサイズのレチクルにこれらをレイアウト配置設計する また基板 システムボードを含むSI,PI 解析から伝送信号配線 電源 GND(Ground) 配線 パスコン搭載位置 / 数量を最適化する 全体でシステムボード相当のTSV 経由伝送品質の検証を進める 並行して論理設計を流用可能なブロックについてレイアウト設計を開始する 3-2: バックサイド設計技術の開発二層のバックサイド電極構造を実現する上で 最大限にTSVを収束できる一層目電極構造 パシべーションを目的とした絶縁有機膜構造 はんだ接合を行う二層目電極構造を決定する また バックサイド設計の電気特性評価技術として 裏面バンプから表面バンプに至る電源 GND 配線の電流密度分布解析技術を確立し 解析結果をバックサイド設計にフィードバックするとともに プロセッサ回路を有するチップへの給電能力が不足とならない事を確認する 更に 構造目標の裏面層数 裏面層構成について 製造性を確認し 許容電流密度目標を達成することのできる設計構造を確定する 3-3: バックサイドウエハ処理技術の開発リセスプロセスにおいて 処理品質が高く コスト的にベストバランスなウェット 9

エッチングレートを探求することにより 量産展開可能なプロセスの確立を目指す また 最配線技術の確立において 電解めっきによる端子形成に対し 最適手法について新手法開発を含め検討するのと同時に ウエハの反りを抑制でき かつ大電流の供給が可能な電極を有するプロセッサに最適な電極構造 絶縁膜 メッキ材料等を開発する 更に 評価プロセスの確立において 狭ピッチバンプの裏面プロービングと薄化チップ両面プロービング技術の開発を行い TSV バックサイド およびチップ化の一連のプロセスでのインプロセスのテストを可能とし 高歩留りでの試作環境を構築する 3-4: 大電流対応の微小端子接合技術の開発 TSVの収束構造を考慮した電流密度耐性評価により チップ間接合部構造案を策定する 特に束ね構造において 電流集中する箇所の推定と 回避できる構造の仕様検討も行う 3-5: チップ積層プロセス技術の開発加熱履歴による積層チップの変形挙動を明らかにし チップの性能や品質に与える影響評価基準を明確化する また 大型 簿化 脆弱チップへのダメージを回避するチップハンドリング基本仕様を決定する その他 封止樹脂充填仕様 ダイシング仕様 はんだ接合仕様等も最適化を図る 3-6: 積層チップのパッケージング技術 冷却技術の開発配線仕様 層構成を基にパッケージ基板を原理設計し 試作 検証よりメカニカルチップ接合による接合耐久性の基礎確認を行う また チップ上の発熱ばらつき 局所発熱を配慮したクーリングプレートのマイクロチャネル流路設計の適正化を行う さらにクーリングプレートの腐食 浸食ヘの耐久性検証 システムボードレベルの冷却性能検証のための評価ボードの設計も行う 3-7: 三次元プロセッサの設計開発 実証確認三次元実装に向けた要件の抽出 方式検討を行い 理論上最終目標を満たす基本仕様の検討を行う また 従来と同程度のコストでも十分なカバレッジが確保できる三次元実装 LS1 向けのテストの仕様検討を行う 更に 設計資産として流用できる論理設計を使用してレイアウト設計環境の確認を実施し 併せて流用可能な回路のレイアウト設計を開始する 5.2 平成 26 年度事業規模需給勘定 1,985 百万円 ( 継続 ) 事業規模については変動があり得る 10

6. その他重要事項 (1) 評価 NEDOは (1) 事業の位置付け 必要性 (2) 研究開発マネジメント (3) 研究開発成果 (4) 実用化 事業化に向けての見通し及び取り組みの4つの評価項目について 外部有識者による評価を行う 中間評価は平成 27 年度に 事後評価は平成 30 年度に実施する なお 中間評価等の結果を踏まえ 必要に応じてプロジェクトの加速 縮小 中止等 見直しを迅速に行う 評価の時期については 当該研究開発に係る技術動向 政策動向や当該研究開発の進捗状況等に応じて 前倒しする等 適宜見直すものとする (2) 運営 管理研究開発全体の管理 執行に責任を有するNEDOは 経済産業省及び研究開発実施者と密接な関係を維持しつつ 本事業の目的及び目標に照らして適切な運営管理を実施する 具体的には 本プロジェクトの成果の受け手である事業部門関係者が参画して年 1 回以上開催する技術推進委員会 必要に応じ年数回開催する技術連絡会等において プロジェクト全体の成果の進捗 事業化に向けた課題等を確認する事により進捗の確認及び管理を行うものとする また 必要に応じて ユーザーとの連携を促す等 成果の早期達成が可能になるよう努める 成果の早期達成が可能と認められた研究開発については 期間内であっても研究を完了させ 実用化へ向けた実質的な研究成果の確保と普及に努める (3) 複数年度契約等の実施委託事業原則として 平成 25~27 年度の複数年度契約を行う 助成事業原則として 平成 25~27 年度の複数年度交付を行う (4) 知財マネジメントにかかる運用 NEDOプロジェクトにおける知財マネジメント基本方針 に従ってプロジェクトを実施する ( 研究開発項目 1の委託事業のみ ) 7. 実施方針の改定履歴平成 26 年 3 月制定 11

別紙実施体制 研究開発項目 1 車載用障害物センシングデバイスの開発 株式会社デンソー 委託 再委託 再委託 株式会社豊田中央研究所 株式会社図研 ラピスセミコンダクタ株式会社 委託 再委託再委託再委託再委託 株式会社デンソー住友精密工業株式会社有限会社ナプラルネサスエレクトロニクス株式会社 独立行政法人産業技術総合研究所 委託 NEDO 株式会社デンソー 助成 研究開発項目 2 障害物検知 危険認識アプリケーションプロセッサの開発 ルネサスエレクトロニクス株式会社助成クラリオン株式会社助成 研究開発項目 3 プローブデータ処理プロセッサの開発 富士通株式会社 助成 12