ヒーター 交 換 要 領 書 油 拡 散 ポンプ 型 番 ULK-10A ULK-14A 株 式 会 社 アルバック 規 格 品 事 業 部 http://www.ulvac.co.jp/
はじめに この 度 は ULVAC の ULK-10A および ULK-14A をご 使 用 いただき ありがとうございます この はじめに には 本 ポンプのヒーター 交 換 要 領 書 の 内 容 の 記 述 に 関 するルールや 本 交 換 要 領 書 を 読 んで 作 業 を 行 う 上 で 理 解 しておいていただきたいことを 記 述 しました 必 ず 本 交 換 要 領 書 の 最 初 に お 読 みください 作 業 者 の 条 件 ヒーター 交 換 作 業 の 前 に ポンプ 部 材 の 名 称 について 作 業 者 の 条 件 本 ポンプの 分 解 および 組 立 作 業 は 高 真 空 ポンプの 取 り 外 し 取 り 付 け 作 業 の 経 験 が 無 い 方 は 作 業 を 行 わないでください 高 真 空 ポンプの 取 り 外 し 取 り 付 け 作 業 の 経 験 が 無 い 場 合 は アルバックテクノ( 株 )またはアル バック 九 州 ( 株 )に 作 業 を 依 頼 してください ヒーター 交 換 作 業 の 前 に 有 毒 ガスや 活 性 ガスを 排 気 したポンプを 不 用 意 に 分 解 すると 危 険 です それらのガスを 排 気 した ポンプは 装 置 から 降 ろすと 同 時 に 十 分 密 閉 して 専 門 業 者 に 分 解 および 洗 浄 を 依 頼 してくださ い ヒーター 交 換 作 業 を 行 う 前 に 必 要 工 具 ( 使 用 工 具 一 覧 表 )を 準 備 してください ヒーター 交 換 作 業 を 行 う 前 に 組 立 部 品 ( 主 要 部 品 一 覧 交 換 部 品 一 覧 )を 準 備 してください ガ スケット 類 は 経 年 変 化 しやすく 分 解 時 に 傷 がつきやすいので 必 ず 交 換 してください -i-
目 次 はじめに...i 作 業 者 の 条 件...i ヒーター 交 換 作 業 の 前 に...i 1. 使 用 部 品 類...1 1.1. 主 要 部 品 一 覧...1 1.2. 交 換 部 品 一 覧...1 1.3. 使 用 ボルト...2 1.4. その 他...2 2. 使 用 工 具 類...3 2.1. 作 業 工 具 一 覧...3 3. ヒーター 取 り 外 し...4 4. ヒーター 取 り 付 け...6 -ii-
1. 使 用 部 品 類 1.1. 主 要 部 品 一 覧 番 号 名 称 数 量 チェック 1 ヒーター 1 2-1 ボイラーカバー( 端 子 箱 付 ) 1 2-2 ボイラーカバー 1 3 ヒーター( 端 子 )カバー 1 4 5 6 耐 熱 熱 収 縮 チューブ ( 収 縮 前 内 径 15 L=40) グラスウールチューブ φ5 L=185 (ヒーターリード 線 用 ) グラスウールチューブ φ10 L=45 (ヒーター 端 子 用 ) 2 1 2 7 グラスファイバーテープ t0.18 13( 幅 ) 300( 長 さ) 8 ヒーターリード 線 2 9 熱 伝 セメント 120g 1.2. 交 換 部 品 一 覧 番 号 名 称 数 量 チェック 1 ヒーター ( 注 ) 1 2 耐 熱 熱 収 縮 チューブ ( 収 縮 前 内 径 15 L=40) 2 3 熱 伝 セメント 120g ( 注 ): 銘 板 に 記 載 のワット 数 電 圧 の 仕 様 のヒーターをご 使 用 ください -1-
1.3. 使 用 ボルト 番 号 名 称 数 量 チェック ヒーター 固 定 用 (SUS304) 1 六 角 ボルト M6 25 4 2 六 角 ナット M6 7 3 ばね 座 金 M6 7 4 平 座 金 M6(みがき 丸 ) 11 ヒーター 端 子 用 (SUS304) 5 六 角 ナット M4 2 6 ばね 座 金 M4 2 7 平 座 金 M4(みがき 丸 ) 4 ボイラーカバー 固 定 用 (SUS304) 8 十 字 穴 付 きなべ 子 ねじ M5 10 4 9 十 字 穴 付 きなべ 子 ねじ M5 15 1 10 ばね 座 金 M5 5 11 平 座 金 M5(みがき 丸 ) 5 ヒーター 端 子 カバー 取 付 用 12 十 字 穴 付 きなべ 子 ねじ M5 10 2 13 ばね 座 金 M5 2 14 平 座 金 M5(みがき 丸 ) 2 1.4. その 他 数 量 又 はサイズ 番 号 名 称 ULK-10A ULK-14A チェック 1 作 動 液 ULVOIL D-11( 又 は D-31) 800cc 1500cc 2 3 4 吸 気 口 ガスケット (NBR 又 はフッ 素 ゴム) 排 気 口 ガスケット (NBR 又 はフッ 素 ゴム) 二 硫 化 モリブデン (ダウコーニング 製 モリコート 等 ) 8 8 I.D275 8 8 I.D380 W4 I.D99 適 量 -2-
2. 使 用 工 具 類 2.1. 作 業 工 具 一 覧 番 号 写 真 名 称 番 号 写 真 名 称 1 トルクレンチ 5N m 7 耐 熱 手 袋 2 スパナ 10 : 2 本 5 : 1 本 8 保 護 手 袋 3 プラスドライバー 9 BOX 10mm 4 ショックレスハンマ 10 ヘラ 5 スクレーパ 11 プライヤー ( 又 はペンチ) 6 ワイヤブラシ -3-
3. ヒーター 取 り 外 し 電 源 用 配 線 < 取 り 外 し> 警 告 設 置 および 取 り 外 し 作 業 を 行 う 前 には 確 実 に 電 源 から 切 り 離 してください 冷 却 水 配 管 < 取 り 外 し> ポンプ 運 転 停 止 直 後 に 冷 却 水 のジョイントを 外 すと ポンプ 内 部 に 残 っている 冷 却 水 が 沸 騰 して 噴 出 する 恐 れがあります ポンプの 温 度 が 下 がるまで 冷 却 水 を 供 給 して 下 さい 警 告 ポンプは 運 転 中 や 運 転 停 止 後 のしばらくは 非 常 に 高 温 です 人 体 が 接 触 する と 火 傷 の 危 険 があります ポンプの 温 度 が 下 がるまで 冷 却 水 を 供 給 して 下 さい 冷 却 水 配 管 を 取 り 外 すときは 装 置 などの 冷 却 水 供 給 源 の 視 覚 認 識 できる 流 量 計 (HWFM: 例 えばフローサイトなど)で 流 れていないことを 確 認 してください 吸 排 気 口 配 管 < 取 り 外 し> 警 告 装 置 の 設 置 マニュアルに 従 って 取 り 外 してください ポンプの 吸 排 気 口 を 閉 止 フランジなどで 完 全 に 密 閉 してください 搬 出 搬 送 するためには 安 全 基 準 以 上 の 荷 重 が 必 要 なため 腰 を 痛 める 可 能 性 が 警 告 あります 搬 送 は 荷 役 機 器 ( 例 えば 移 動 式 クレーン)で 吊 り 下 げて 行 うか パレットに 載 せジャッキで 固 定 した 後 パレットトラックで 運 んで 下 さい -4-
1. 作 業 に 適 した 広 い 場 所 までポンプを 搬 送 してください No.090317 2.ヒーターの 取 り 外 しは 表 面 温 度 計 などで 作 動 液 が 雰 囲 気 温 度 近 辺 まで 下 がったことを 確 認 してから 作 業 を 行 ってください 3. 作 動 液 を 排 出 し ジェットを 取 り 外 してください ジェットの 分 解 組 立 方 法 は 取 扱 説 明 書 をご 参 照 願 います 4.ポンプを 逆 さまにするために 吸 気 口 と 排 気 口 が 傷 つかないように フランジ 面 を 閉 止 フラ ンジ 等 で 保 護 してください この 時 内 部 が 密 閉 にならないように 注 意 してください 5.ポンプを 逆 さまにし ボイラーカバー 側 を 上 にしてください 6.ターミナルボックス 内 のヒーター 結 線 の 接 続 端 子 を 全 て 取 り 外 して 下 さい 7.ヒーター 端 子 カバーを 取 り 外 し ヒーターリード 線 を 取 り 外 してください 8.ボイラーカバー 固 定 用 ねじを 取 り 外 し ボイラーカバーを 取 り 外 してください 9.ヒーター 固 定 用 ボルト ナットを 取 り 外 し ヒーターを 取 り 外 してください ヒーターとポンプが 熱 伝 セメントで 固 定 されている 場 合 は ショックレスハンマで 軽 くヒーター を 叩 いてください 10. 保 護 手 袋 を 着 用 し ポンプ 側 のヒーター 設 置 面 に 固 着 している 熱 伝 セメントをスクレーパ やワイヤブラシ 等 で 落 としてください 以 上 でヒーター 取 り 外 し 作 業 は 終 了 です -5-
下 図 の 数 字 の 逆 の 順 序 が 取 り 外 しの 方 向 です 組 立 の 場 合 は 数 字 の 順 序 でおこないます ヒーター 取 り 外 しの 順 序 はナットに 番 号 を 付 けてあります No.090317 ヒーターの 取 り 外 しの 図 4. ヒーター 取 り 付 け 1. 感 電 と 火 傷 に 注 意 してください ヒーターに100V を 通 電 し 90 に 予 備 加 熱 しておいてください 温 度 は 表 面 温 度 計 でご 確 認 ください 2. 熱 伝 セメントを120g 取 り ポンプ 側 の ヒーター 設 置 面 に 塗 布 します このとき 端 から 約 1cmより 内 側 に 平 らに なるように 塗 布 してください -6-
3. 感 電 と 火 傷 に 注 意 してください 耐 熱 手 袋 を 着 用 し 90 に 予 備 加 熱 したヒーターを 取 り 付 けてください ヒーターを 取 り 付 ける 時 は 通 電 を 切 っていください ヒーター 端 子 がポンプの 給 排 油 口 のほぼ 中 央 になるようにヒーターを 置 き ボルト ナッ トを 取 り 付 けてください ボルト ナットには カジリ 止 めの 二 硫 化 モリブデンを 塗 布 してください 4. 耐 熱 手 袋 をして ヒーター 固 定 用 ボルト ナットを 締 め 付 けてください 締 め 付 けトルクは 10Nm です 1 最 初 に 内 側 の3 本 を 均 等 に10Nm で 締 め 付 けます 2 次 に 外 側 の4 本 を 均 等 に10Nm で 締 め 付 けます 3 次 に 内 側 の3 本 を10Nm で 増 し 締 めします 4 最 後 に 外 側 の3 本 を10Nm で 増 し 締 めします 感 電 と 火 傷 に 注 意 してください 5. ヒーターに100V を 通 電 し 170 まで 昇 温 してください 温 度 は 表 面 温 度 計 でご 確 認 ください 感 電 と 火 傷 に 注 意 してください 6. 170 に 昇 温 中 に 内 側 の3 本 のナット 部 や ヒーター 外 周 から 熱 伝 セメントが 噴 出 します 火 傷 に 十 分 に 注 意 しながら 噴 出 物 を 取 り 除 いて ください 7. ヒーターが170 になったら 通 電 を 切 り ヒーターが 常 温 になるまで 放 置 してください 8. ヒーターが 常 温 になったら ボイラーカバーを 仮 組 みしてください -7-
9. ボイラーカバーとヒーター 端 子 の 位 置 を 調 整 します ヒーター 端 子 が ボイラーカバーの 穴 の 中 央 になるようにヒーター 端 子 の 位 置 を 調 整 して ください ヒーター 端 子 の 位 置 の 調 整 は パイプ 等 をヒーター 端 子 に 引 っ 掛 けて 動 かして ください ヒーター 端 子 調 整 方 法 10.ボイラーカバーを 仮 組 みした 状 態 でボイラーカバーとヒーター 端 子 の 絶 縁 抵 抗 が 500Vメガーで10MΩ 以 上 であることを 確 認 してください 500Vメガーで10MΩ 以 上 でない 時 はヒーター 端 子 とボイラーカバーが 接 触 し ている 可 能 性 があります 11. 仮 組 みしたボイラーカバーを 取 り 外 します ヒーターの 端 子 部 のそれぞれに グラス ファイバーテープを 巻 きつけてください 12.ヒーター 端 子 のそれぞれに グラスウールチューブを 被 せてください 13.ヒーターリード 線 の 接 続 側 端 子 が 折 れ 曲 がって いる 側 が ヒーター 側 になります 14.ヒーターの 端 子 部 に 折 り 曲 がったヒーターリード 線 が 施 工 時 に 上 側 ( 給 排 油 口 とは 逆 側 )になるよう にバネ 座 金 平 座 金 ナットを 施 工 してください -8-
15. 耐 熱 熱 収 縮 チューブを ヒーター 端 子 部 に 挿 入 してください このとき 上 記 11 項 で 取 り 付 けた グラスウールチューブの 内 側 に 耐 熱 熱 収 縮 チュー ブを 入 れてください 16. 耐 熱 熱 収 縮 チューブをホット ガンで 密 着 させてください 施 工 後 は 右 の 写 真 のように なります 端 子 台 へ 耐 熱 熱 収 縮 チューブ ヒータ 端 子 部 17.ボイラーカバーを 取 り 付 けます ヒーター 端 子 がボイラーカバーの 穴 の 中 央 になるように 取 り 付 けてください 18.ヒーター 端 子 とボイラーカバーの 絶 縁 抵 抗 が500Vメガーで10MΩ 以 上 であることを 確 認 してください 500Vメガーで10MΩ 以 上 でない 時 は ヒーター 端 子 の 施 工 状 態 に 問 題 がある 可 能 性 があります 再 度 ヒーター 端 子 の 施 工 を 行 ってください 19.2 本 のヒーターリード 線 をグラスウールチューブで 纏 めてください 20.ヒーターリード 線 を 端 子 台 に 接 続 してください 21.ポンプを 通 常 の 姿 勢 に 戻 してください 以 上 で ヒーター 交 換 作 業 は 終 了 です ポンプ 作 動 前 に 必 ずジェットの 組 立 ( 組 立 方 法 は 取 扱 説 明 書 参 照 )を 行 い 作 動 液 を 給 油 してください -9-