Ｇ２棟クリーンルーム使用規則

2012.4.27 J2 棟 クリーンルームの 運 営 ( 保 安 安 全 )に 関 する 規 約 ( 第 10 版 ) J2 棟 クリーンルーム 実 行 委 員 会 物 理 電 子 システム 創 造 専 攻 大 見 俊 一 郎 1. 規 約 設 置 の 目 的 J2 棟 クリーンルーム 施 設 ( 以 下 J2CR)の 運 営 維 持 管 理 を 円 滑 に 進 行 し また 防 災 安 全 上 の 自 主 管 理 を 徹 底 する 目 的 から この 規 約 を 設 定 する 2. 規 約 の 構 成 本 規 約 は 以 下 に 示 すⅠ~Ⅴの5つの 規 約 より 構 成 される Ⅰ 施 設 の 保 安 管 理 に 関 する 規 約 [ 保 安 管 理 規 約 ] Ⅱ J2CRを 使 用 するための 規 約 [ 使 用 規 約 ] Ⅲ 装 置 の 設 置 ならびに 改 良 に 関 する 規 約 [ 設 置 規 約 ] Ⅳ 防 災 に 関 する 規 約 [ 防 災 規 約 ] Ⅴ 事 前 教 育 及 び 再 教 育 に 関 する 規 約 [ 教 育 規 約 ] 3. 本 規 約 の 実 施 本 規 約 は 2005 年 9 月 1 日 より 実 施 する また 本 規 約 は 運 営 規 約 にしたがって 実 情 にあった 内 容 に 適 宜 変 更 していくことが 望 まれる が 実 施 後 約 半 年 毎 に 全 体 的 な 見 直 しを 行 うものとする 1

Ⅰ. 施 設 の 保 安 管 理 に 関 する 規 約 [ 保 安 規 約 ] 1. J2CR の 保 安 管 理 の 組 織 形 態 1) J2CR の 保 安 管 理 に 関 しては 安 全 委 員 会 を 設 置 し これにあたる 2) 安 全 委 員 会 は 安 全 統 括 委 員 安 全 委 員 および 項 目 別 管 理 責 任 者 より 構 成 される 1 安 全 委 員 : 安 全 委 員 を 定 め 安 全 委 員 会 の 運 営 を 補 佐 する 2 項 目 別 管 理 責 任 者 : J2CR 内 部 のユーティリティの 項 目 別 に 管 理 責 任 者 を 定 める *2012 年 4 月 1 日 現 在 でユーザ 登 録 している 研 究 室 の 教 員 名 を 下 線 で 示 してある J2CR 実 行 委 員 会 安 全 委 員 会 安 全 統 括 委 員 岩 井 教 授 半 那 教 授 宗 片 教 授 梶 川 教 授 筒 井 教 授 徳 光 連 携 教 授 渡 辺 准 教 授 伊 藤 准 教 授 角 嶋 准 教 授 北 本 准 教 授 大 見 准 教 授 杉 井 連 携 教 授 西 山 連 携 教 授 安 全 委 員 南 雲 支 援 員 ( 大 見 研 ) 庄 司 技 官 ( 筒 井 研 ) 飯 野 助 教 ( 半 那 研 ) 項 目 別 管 理 責 任 者 ユーザ 研 究 室 の 博 士 課 程 学 生 これに 準 じる 学 生 J2CR の 保 安 安 全 管 理 2

J2CR 利 用 にあたって 1. はじめに J2CRは 本 年 度 は13 研 究 室 で 運 営 することになるので ユーザ 各 位 は 単 に 利 用 者 ということで はなく 協 力 して 運 営 するという 認 識 を 各 研 究 室 で 徹 底 していただくように 御 願 いします 本 講 習 会 の 出 席 者 が 責 任 者 として 各 研 究 室 での 説 明 を 行 ってください 欠 席 の 場 合 には 使 用 許 可 を 出 しません 2. 利 用 に 関 して (1) ユーティリティ( 超 純 水 窒 素 ガスほか) 空 調 メンテナンスなどに 関 しては 各 研 究 室 に 負 担 し ていただく CR 運 営 にかかわる 必 要 事 項 も 順 次 負 担 していただく (2) J2CRの 入 り 口 の 鍵 を 各 利 用 研 究 室 に1つ 配 布 (コピー 不 可 ) すみませんが 実 費 (525 円 )で 御 願 いします( 紛 失 した 場 合 は 弁 償 していただきます またコピーは 不 可 です) 鍵 の 引 き 渡 し により 実 使 用 開 始 とみなし 掃 除 他 を 分 担 していただく (3) 30 分 以 上 あける 場 合 消 灯 を 確 認 し 他 の 研 究 室 の 鍵 がない 場 合 は 施 錠 する 節 電 対 応 のため 使 用 するエリアのみ 蛍 光 灯 をつける 使 用 後 は 消 灯 (4) J2CR 内 に 保 管 するものに 関 しては 研 究 室 名 を 明 記 する (5) ドラフト 他 共 通 装 置 の 予 約 はJ2CRのWebにて 運 用 (6) J2CR 内 のゴミ 廃 液 薬 品 に 関 しては 庄 司 さんの 指 示 を 仰 ぐこと (7) 掃 除 当 番 は 毎 週 もちまわりで 行 う( 掃 除 内 容 は 前 室 の 掲 示 参 照 ) 3. CR 入 退 室 に 関 しての 注 意 事 項 (1) 入 室 の 際 には 手 を 洗 い サニメントなど 手 袋 着 用 後 クリーン 服 を 着 る 退 室 時 は 最 後 に 手 袋 をとる CR 内 での 共 通 部 分 は 素 手 で 触 らない 各 研 究 室 の 装 置 は 任 せます (2) ユーティリティ 窒 素 使 用 者 は 機 械 室 のエルフ 残 量 を 確 認 25% 以 下 の 残 量 の 場 合 は 南 雲 さんに 連 絡 (3) ユーティリティ 超 純 水 使 用 者 は 超 純 水 水 質 を 目 視 で 確 認 異 常 がある 場 合 は 南 雲 さんか 大 見 に 連 絡 4. 各 研 究 室 への 御 願 い 各 研 究 室 の 掃 除 連 絡 代 表 者 を 決 めてください 装 置 を 搬 入 する 場 合 事 前 に 関 係 教 員 の 了 解 をとり 事 前 に ML にて 連 絡 のこと 5. 連 絡 体 制 薬 品 > 庄 司 技 官 ( 筒 井 研 )に 連 絡 ユーティリティ 窒 素 用 エルフ 超 純 水 > 南 雲 支 援 員 に 連 絡 その 他 CRに 関 する 件 > 南 雲 さん 大 見 に 連 絡 職 員 不 在 の 場 合 CR 異 常 に 関 しては 下 記 小 糸 工 業 担 当 者 に 連 絡 してください 小 糸 工 業 株 式 会 社 横 浜 製 造 部 住 設 製 造 課 環 境 担 当 加 藤 守 男 244-8571 横 浜 市 戸 塚 区 前 田 町 100 TEL. 045-826-6814 FAX. 045-826-6735 E-mail:morio_katou at koito-ind.co.jp ( at =@) URL: http://www.koito-ind.co.jp 3

利 用 者 登 録 1. 利 用 開 始 の 際 には e-mail による 事 前 申 請 をしてください 研 究 室 名 利 用 者 氏 名 学 年 リスト 連 絡 先 ( 内 線 ) 利 用 目 的 を 大 見 までまとめて 連 絡 してください また 前 室 PCの 入 室 ログのユーザを 逐 次 更 新 してくださ い 2. 連 絡 は 原 則 として e-mail により 行 ないます ただし 研 究 室 単 位 で 利 用 者 のMLを 作 成 していた だき 学 生 個 人 のアドレス 管 理 は 研 究 室 単 位 で 御 願 いします 3. ML at =@ J2 クリーンルーム 用 ML: j207 at lsi.ip.titech.ac.jp 登 録 されている 各 研 究 室 の ML 岩 井 / 角 嶋 研 :member at iwailab.ep.titech.ac.jp * 杉 井 研 西 山 研 半 那 研 :hanna_j2cr at isl.titech.ac.jp 梶 川 研 :kajikawa.k.aa-lab2 at m.titech.ac.jp 筒 井 研 :tsutsui.k.ac-lab_all at m.titech.ac.jp 徳 光 研 :fresh_tokulab_20xx at neuro.pi.titech.ac.jp 渡 辺 研 :watanabe-ml at quantum.pe.titech.ac.jp ( 真 島 研 ) 伊 藤 研 :itolab at ml.allserver.jp 宗 片 研 :munelab_j2cr at isl.titech.ac.jp 北 本 研 :j2cr-kitamoto at iem.titech.ac.jp 大 見 研 :ohmi-lab07 at lsi.ip.titech.ac.jp 4. J2CR 関 連 情 報 内 線 : 5198 装 置 予 約 : http://131.112.188.76:20202/bltschedule/index.cgi WebCam: http://camera X -j2cr.ep.titech.ac.jp/ ( X =1, 2, 3, 4) 薬 品 庫 鍵 番 号 : 5481 説 明 用 スライド: http://www.lsi.ip.titech.ac.jp/ohmi/j2cr/h24.pdf 運 営 ( 保 安 安 全 ) 規 則 : http://www.lsi.ip.titech.ac.jp/ohmi/j2cr/ver10.pdf 5. J2CR 入 り 口 名 札 作 成 の 御 願 い * テプラなどで 作 成 のこと * 入 室 時 に 白 退 室 時 に 赤 とし 中 に 誰 がいるか 分 かるようにする * 研 究 室 によってユーザ 数 の 違 いがあるので 学 生 研 究 員 他 については 実 際 に 使 用 するユー ザのみ 作 成 してください * とりあえず 研 究 室 の 表 示 を 入 れてありますが 人 数 のバランスによりずらしますのでご 了 承 くださ い 4

J2CR 入 退 室 方 法 前 室 PCのExcelファイルに 名 前 研 究 室 使 用 目 的 を 記 入 する(1 日 1 回 でよい) 警 報 が 鳴 っていないことを 確 認 する ( 赤 ランプがついていたり 警 報 が 鳴 っていたら いか なる 理 由 があっても 入 室 は 厳 禁 ) 前 室 の 微 差 圧 ダンパーが 陽 圧 を 示 していることを 確 認 する 1. クリーンウェア 着 用 方 法 1 手 を 洗 う(30 秒 : 半 導 体 のため) 2 手 袋 をつける 3 マスクをつける 4 フードをかぶる 5 スーツを 着 る 6 シューズをはく 2. 入 室 方 法 1 鏡 で 服 装 を 確 認 する( 髪 の 毛 などが 出 ていないように) 2 エアシャワー 室 に 入 室 する( 入 室 時 は 1 人 ずつ) 3 エアシャワーが 作 動 する( 体 をよく 回 して 浴 びる) 4 エアシャワー 停 止 後 5 秒 程 度 したら CR 内 に 入 室 する 5 入 室 後 ドアを 確 実 に 閉 める 3. 退 室 方 法 1 エアシャワー 室 に 入 室 する( 退 室 時 は3 人 まで 可 ) 2 CR 側 のドアを 完 全 に 閉 める 3 更 衣 室 側 のドアを 開 ける 4 全 員 退 出 したらドアを 完 全 に 閉 める 4. クリーンウェア 脱 衣 手 順 1 手 袋 をつけたまま シューズ スーツ フード マスクを 順 にはずし もとの 位 置 にもどす 2 手 を 洗 う( 自 分 のため) 5. 入 室 の 際 の 持 ち 込 み 品 について 1 原 則 としてエアシャワーを 通 して 搬 入 のこと 搬 入 扉 から 入 れる 場 合 は 大 見 に 連 絡 のこと 2 クリーンペーパー ボールペン またはそれらに 類 するものは 可 3 見 学 者 による 撮 影 用 カメラは 原 則 的 に 可 4 原 則 として 塵 を 発 生 する 物 品 は 不 可 5 原 則 として 有 機 溶 媒 は 有 機 系 ドラフト 内 に 限 り 使 用 可 5

J2CR クリーンウェアの 管 理 について 1. 保 管 場 所 前 室 内 ( 別 紙 参 照 ) 2. クリーンウェアの 補 充 1 クリーンウェアの 破 損 汚 染 を 発 見 したら 速 やかに 各 研 究 室 の 担 当 者 まで 申 し 出 て 新 しい ものと 交 換 すること 破 損 したまま CR 内 に 入 室 することは 厳 禁 3 手 袋 に 関 しては 破 損 汚 染 したものは 廃 棄 し 新 しいものを 使 用 すること 3. クリーンウェアの 洗 濯 1 クリーンウェアの 洗 濯 は 毎 週 水 曜 日 10 時 半 までにフロンティア 棟 まで 週 当 番 が 運 搬 する 2 手 袋 に 関 しては 破 損 汚 染 したものは 廃 棄 し 新 しいものを 使 用 すること 3 週 当 番 については 搬 入 室 内 の J2CR 洗 濯 表 を 参 照 のこと 4 洗 濯 に 出 したクリーンウェアは 翌 週 の 月 曜 日 に 戻 ってくるので 当 番 が J2CR まで 運 ぶ * 現 状 南 雲 さんが 搬 出 入 をご 担 当 してくれております * 日 本 CIC 技 研 ( 小 林 八 郎 社 長 )のご 厚 意 で 洗 濯 及 びクリーンパックをしていただいております 薬 品 使 用 規 約 1. 保 管 場 所 新 品 の 薬 品 は 搬 入 室 内 の 薬 品 保 管 庫 に 保 管 する 使 用 する 薬 品 はドラフト 内 の 指 定 された 場 所 に 保 管 し 使 用 する 2. 薬 品 使 用 上 の 注 意 1 薬 品 使 用 時 廃 液 処 理 時 は 必 ず 保 護 面 及 びサクラメント 手 袋 を 着 用 する 2 ドラフトに 開 封 後 の 薬 品 がある 場 合 は 原 則 としてそれを 先 に 使 用 する 3 新 品 の 薬 品 を 薬 品 庫 より 持 ち 出 す 場 合 は 必 ず 備 え 付 けの 記 録 簿 に 日 付 研 究 室 名 使 用 者 使 用 本 数 を 記 入 すること 4 薬 品 ボトル 廃 液 タンクの 移 動 に 際 しては 専 用 カート ケースを 使 用 すること 5 万 一 薬 品 に 触 れた 場 合 には 直 ちに 以 下 の 措 置 を 行 うこと 皮 膚 に 触 れた 場 合 : 十 分 に 水 洗 する ウェアに 付 着 した 場 合 :ウェアを 脱 ぐ 3. 使 用 後 1 使 用 後 の 薬 品 ボトルはドラフト 内 の 指 定 個 所 に 保 管 する 2 空 ボトルは 完 全 に 空 にして キャップをしっかり 閉 め 外 側 を 水 洗 した 上 で 前 室 のカゴに 返 却 する 4. 薬 品 の 補 充 使 用 したい 薬 品 が 薬 品 庫 に 無 い 場 合 には 薬 品 担 当 者 まで 連 絡 すること * 現 状 庄 司 さんがご 担 当 してくれています 6

ドラフトの 使 用 規 約 1.ドラフト 及 び 治 具 の 区 分 け 使 用 する 薬 品 によって 使 用 できるドラフトは 酸 ドラフトと 有 機 ドラフトに 区 分 けされる また Si デバ イス 系 と 化 合 物 デバイス 系 で 分 けられている フォトリソ 室 のドラフトは 現 像 プロセス 専 用 2. 使 用 方 法 (1) 使 用 前 準 備 1 排 気 ファンが 運 転 していることを 確 認 する(ベンコットなどで 確 認 ) 2 照 明 を 入 れる (2) 薬 品 処 理 ( 無 機 系 ) 1 ドラフト 内 右 手 前 側 の 廃 液 口 に 使 用 した 薬 品 及 び 超 純 水 による 一 次 置 換 までを 行 う 2 純 水 系 では 超 純 水 によるリンスのみを 行 い 酸 アルカリなどは 流 さないこと 3 市 水 用 のバルブがあるが 緊 急 時 以 外 は 使 用 不 可 4 万 一 薬 品 に 触 れた 場 合 には 直 ちに 以 下 の 措 置 を 行 うこと (ア) 皮 膚 に 触 れた 場 合 : 十 分 に 水 洗 する (イ) ウェアに 付 着 した 場 合 :ウェアを 脱 ぐ (3) 薬 品 処 理 ( 有 機 系 ) 薬 品 処 理 を 行 った 廃 液 は 指 定 の 廃 液 タンクに 入 れること 3. 保 護 具 ドラフトで 薬 品 を 扱 う 場 合 には 必 ず 保 護 面 とサクラメント 手 袋 を 着 用 すること 4. 使 用 後 1 使 用 済 みの 空 ボトルは 前 室 のカゴにもどしておくこと 2 使 用 した 治 具 などは 元 の 場 所 にもどし そのままにしておかないこと 3 ドラフトスペースは 超 純 水 ベンコットで 水 洗 しておくこと 4 フードを 下 ろしておく 5 照 明 を 切 る 当 番 について 1. 掃 除 毎 週 前 室 および CR 内 の 掃 除 整 理 をする 掃 除 機 粘 着 シールによる 前 室 エアシャワー 内 の 清 掃 ゴミ 袋 の 取 り 替 え ドラフト 内 の 超 純 水 による 拭 き 掃 除 Air shower 内 更 衣 室 床 面 搬 入 室 の 掃 除 機 による 清 掃 及 び 超 純 水 による 拭 き 掃 除 2.ゴミ 袋 交 換 したゴミは 各 研 究 室 に 持 ち 帰 る 実 験 系 廃 棄 物 については 研 究 室 名 を 明 記 しドライエリア の 保 管 場 所 に 保 管 可 能 3. 廃 液 各 週 火 曜 各 担 当 研 究 室 が 廃 液 タンクを 搬 出 する 戻 ってきたタンクの 外 側 を 超 純 水 で 洗 浄 した 後 CRにもどす 4.クリーンウェア 毎 週 水 曜 各 担 当 研 究 室 がフロンティア 棟 まで 運 搬 する 翌 週 月 曜 戻 ってきたコンテナを J2CRまで 運 搬 する 7