粉体貯蔵槽での光センサによる静電気放電の検出 崔 光 石*1 最 上 智 史*2 鈴 木 輝 夫*2 粉体空気輸送 貯蔵など大量の粉体を扱う工程の装置においては 帯電した粉体に起因した静電気放電を着火 源とする爆発や火災を誘発するおそれがある このような静電気放電による災害を防止するためには 静電気放 電を早期に検出し 安全対策を実施する必要がある 本研究では 粉体貯蔵槽で発生する静電気放電を 簡便 かつ的確に検出可能な光センサを利用した静電気放電検出器を開発した 光センサ型静電気放電検出器は 光セ ンサと光増幅装置を主構成装置とし 光センサ保護用石英ガラス 直径 30 mm, 厚み 3 mm 測定環境の外部 光を除去するための干渉フィルタ 中心波長 λ が異なる 9 種類 240 nm 600 nm 直径 30 mm, 厚み 3 mm を具備したもので 光信号はオシロスコープなどの表示装置に表示する 実規模粉体空気輸送実験設備の貯蔵槽 に本静電気放電検出器を取り付けて静電気放電の検出を試みた結果 適切な干渉フィルタを用いることで太陽光 や蛍光灯などのノイズ光の存在する環境下でも 静電気放電を的確に検出できることが確認された また 本研 究では 静電気放電の検出に最適な干渉フィルタの波長は 330 nm であると結論付けた キーワード: 静電気放電 光センサ 干渉フィルタ 粉体 粉体貯蔵槽 1 はじめに 粉体プロセスにおいては 自動化 省力化 クリーン 化が求められ 粉体空気輸送がよく用いられている.しか し 空気輸送時に粉体と配管との摩擦 衝突により発生 amplifier する大量の静電気は 生産障害や災害につながることが oscilloscope ｓignal output ある.特に 帯電した粉体を貯蔵槽に充填する工程では power supply 着火性静電気放電が発生し 粉じん濃度が爆発下限界以 上である場合 粉じん爆発を引き起こす危険性がある 1,2). control voltage このような災害を防止するためには まず 工程内で発 silo roof 生する着火性静電気放電を早期に検出することが最も重 photosensor unit 要であり 引き続いて 窒素ガスでの置換 シール 粉 体用除電器の使用などの災害防止対策を施す必要がある inside of silo inside このような背景から 本報では 粉体貯蔵槽で発生する of silo inside of silo 着火性静電気放電の発光の検出を目的として 実際に現 場で適用可能な光センサを用いた静電気放電検出器 以 図 1 光センサ型静電気放電検出器 下 光センサ型静電気放電検出器という を開発し そ 厚み 3.5 mm を円筒内に配置している.なお 金属製外 の性能評価を行ったので報告する 側円筒は電磁ノイズを防止するため接地している. 2 1) 実験 光センサは光電子増倍管と高圧電源回路を内蔵したも 光センサ型静電気放電検出器 のである.感度波長範囲は 230 nm 700 nm 最大入力電 光センサ型静電気放電検出器は 主に現場での適用の 圧 は 5.5 Ｖ で あ る. 光 電 子 増 倍 管 モ ジ ュ ー ル 用 電 源 し易さおよび高精度を考慮して開発したものである 図 (Hamamatsu Photonics, Ltd.: C-10709)の可変電圧範囲 Va は 1 に光センサ型静電気放電検出器の概略を示す 光セン 0.25 1.8V であ る. フ ォトセ ンサ アン プ Hamamatsu サ型静電気放電検出器は 主に光センサ検出部 光電子 Photonics, Ltd.: C-9329 は微弱な光電流を検出できる電 増倍管モジュール用電源 フォトセンサアンプ オシロ 流 電圧変換アンプであり 今回の実験での光電流検出 スコープから構成されている 光センサ検出部 図 2 感度は 1 109 V/A とした. は 金属製外側円筒 Ø: 31 mm 内に光センサ Hamamatsu 今回の実験で使用した干渉フィルタは 中心波長 λ が Photonics, Ltd.: H10721-210; max. gain, 2,000,000 を取り 異なる 9 種類である.干渉フィルタの中心波長および半値 付けたものであり 光センサ保護用石英ガラス 直径 幅は 後述の表 1 に示すとおりである.なお 光センサ検 30 mm, 厚み 3 mm および干渉フィルタ 直径 30 mm, 出部からの信号はオシロスコープ Textronix, DPO 7254 周波数帯域 最大 2.5 GHz (本実験では 500MHz) 入力イ 本報は Review of Scientific Instruments に投稿中である ンピーダンス: 1 MΩ サンプリング速度:最大 40GS/s(本 *1 労働安全衛生総合研究所 電気安全研究グループ 実験では 10kS/s) サンプル数:100k に入力し 表示さ *2 春日電機株式会社 せた 39
労働安全衛生総合研究所特別研究報告 JNIOSH-SRR-NO.43(2013 శ ࠨ 㕒㔚 㔚ᬌ ࠍ ᮏ ㇱደ ߩ CCD ࡔ 㧔એਅ㧘㜞ᗵᐲ ࡔ ߣ ߁㧕ߢ㕒㔚 㔚 㧔 ᓘ㧦50 mm㧕ߦ ߒߡ ᮏ ㇱߢ ߔࠆ㕒 ߩ ᓇࠍห ߦⴕߞߚ.ߎߩ ࡔ ߪ㧘 ᮏ ㇱደ ߩ 㔚 㔚ߩᬌ ࠍ ߺߚ. ⓹ߦ ߒߡ ᮏ ㇱߢ ߔࠆ㕒㔚 㔚ࠍ ᓇߒߚ. ࡔ ࡈࠔ ࠕߦߪ㧘ᥧⷞⵝ 㧔ᵿ ࡎ 㧘 ࡆࡘࠕ C9016-02㧘ᗵᐲᵄ㐳 㧦280 nm㨪780 nm㧕ࠍ ߒߚ. 3 ታ㛎 ᨐ߅ࠃ ኤ 1) 㜞ᗵᐲ ࡔ ߦࠃࠆ ᮏ ㇱߢ ߔࠆ㕒 㔚 㔚ߩ ኤ 㜞ᗵᐲ ࡔ ࠍ ߒ㧘 ᮏߢ ߔࠆ㕒㔚 㔚ࠍ ᓇ ߒߚ ࠍ 4㧔a,b㧕ߦ ߔ.ߎࠇࠄߩ 2 శ ࠨᬌ ㇱߩ ᚑ ᨐߦࠃࠆߣ㧘 ᮏ ߩ 㕙ߢ ߔࠆ㕒㔚 㔚ߣߒߡߪ㧘ࡉ 㔚ߣࡃ 㕙 㔚ߩ 2 㘃 2) ャㅍ ᢱ ߇ ߐࠇߚ.ࡉ 㔚ߪ㧘 ᮏ ოߦ ߔࠆ ታ㓙ߩశ ࠨ 㕒㔚 㔚ᬌ ߩ ႐ ߩㆡ ࠍ 㔚ߢ㧘 ߦߪ 10 kv ᐲએ ߩᏪ㔚 ߦ㧘ᦛ ᘦߒߡ㧘ታⷙ ャㅍታ㛎 ࠍ ߒ㧘ߘߩ ඨᓘ߇ 3㨪50 mm ߩዉ ߇ 10 cm ᐲ ߢធㄭߒߚߣ߈ ᕈ ࠍ ଔߒߚ㧚 ャㅍታ㛎 ߪ 3 ߩࠃ߁ߦ㧘 ߦ ߎࠆࡉ ߩ శࠍ ߁ 㔚ߢ ࠆ.ࡉ 㔚 ᮏ㧔SUS 㧘 ᓘ㧦1.5 m㧘 㐳㧦3.3 m㧘ኈ ߪ 㔚 ࡀ ߇ᦨᄢ 4 mj ᐲߢ ࠆߣႎ๔ߐࠇߡ ㊂㧦3.8 m3㧕㧘㈩ 㧔᧚ 㧦SUS㧘 ᓘ㧦0.1 m㧘 㐳㧦 3 ࠆ 3). ߩนΆᕈߩ 㧘ṁ ߩ ߆ߦ㧘 ᓘ߇ 30 m㧕㧘ャㅍ ߩ ᓮ 㧔ᦨᄢ㘑㊂㧦11 m /min㧘 ᢙච ȝm એਅߩ ㇱߩนΆᕈ ߩ ἫḮߦߥࠅᓧࠆ߇㧘 ࡃ ᓮ 㧕㧘 (ャㅍ ߩ ᐲ 30 㧘 ߦ Ἣෂ㒾ᕈ߇㜞 นΆᕈ એᄖߦߪนΆᕈ ߩ ኻḨᐲ 30 %ߦ ቯ) ߆ࠄ ᚑߐࠇߡ ࠆ㧚ታ㛎ߪ㧘 ἫḮߦߪߥࠄߥ. వߕ㧘 ᮏ ߦ ᢱࠍలႯߒ㧘 ᮏᐩㇱߦ ᣇ㧘ࡃ 㕙 㔚ߪ㧘ਥߦ ᮏ ߦၸ ߒߚ ߒߚ ࡃ ࡉࠍ ߐߖ㧘 ࠍ ᮏᐩㇱ߆ ߩ 㕙ߦᴪߞߡ ߔࠆᒝ శࠍ ߁ 㔚ߢ ࠆ. ࠄឃ ߒ ャㅍ㈩ ଏ ߔࠆ㧚ߘߩᓟ㧘 ᮏ߆ࠄ ࡃ 㕙 㔚ߩ 㔚 ࡀ ߪ㧘 ᮏߩ ᓘ D ㈩ ଏ ߐࠇߚ ࠍ ャㅍߒ㧘 ᮏ ㇱ߆ࠄ [m]ߣ ᓘ d [mm]ߦଐሽߔࠆ. ߃ 㧘0.5 m㧨d㧨3 m㧘 ᮏ ߦᛩ ߔࠆᣇᴺߢⴕߞߚ㧚ታ㛎 ߩ ߩන 0.8 mm㧨d㧨3.0 mm㧕ߢ ࠇ 㧘 㔚 ࡀ W [mj] 㑆 ߚࠅߩଏ ㊂ߪ㧘0.38 kg/s ߣߒߚ㧚 ߩ 㒢ߦ㑐ߒߡ ߩታ㛎ᑼ߇ਈ߃ࠄࠇߡ ࠆ 3). W=5.22 D3.36 d1.46 ߥ߅㧘 ᢱ ߪൻቇᎿ႐ߢᐢߊ ߐࠇߡ ࠆࡐ ࡊ ࡇ (PP) ࡍ 㧔ᐔဋ ᓘ㧦 2 mm㧕ߢ 300 kg ࠍ ߒߚ㧚 (1) 㧘 ߒߚ ᮏߩ ᓘ D ߪ 1.5 m㧘 ᢱ ߩ ᓘ d㧔(pp) ࡍ 㧕ߪ 2 mm ߢ ࠅ㧘 ᑼ(㧝) ࠃࠅ W ߪ 56 mj ߣߥࠆ.ߎߩ୯ߪ㧘 ᮏ ߦᓸ ߇ᄙ㊂ߦ ࠇࠆ႐วߪ ߓࠎ ࠍᒁ߈ ߎߔน ᕈ ߇㜞ߊෂ㒾ߢ ࠆ. ߎߩࠃ߁ߦ㧘 ᮏ ߢ㕒㔚 㔚ࠍᬌ ߒ㧘ߘ ߩෂ㒾ᕈࠍ ଔߔࠆ㓙ߦ㧘㜞ᗵᐲ ࡔ ߪ߆ߥࠅ ലߢ ࠆ.ߒ߆ߒ㧘㜞ᗵᐲ ࡔ ࠍ ߔࠆᣇᑼߦߪએਅߩࠃ ߁ߥ ㇱᡷༀߔߴ߈ὐ߇ ࠇߡ ࠆ. 㧔㧝㧕 㕒㔚 㔚ߦࠃߞߡ ߔࠆశߩᒝᐲߪ㧘ᄖㇱ ߆ࠄߩశ㧘 ߃ 㧘ᄥ㓁శ㧘 శἮ㧔એਅ㧘ࡁ శߣ ߁㧕ߣ ߴߡᒙ ߚ 㧘ߘࠇࠍᱜ ߦ ᓇߔࠆߚ ߦ㜞ᗵᐲ ࡔ ᮏ ࠍᥧ ߢⷒ߁ᔅⷐ߇ ࠆ 㧔㧞㧕 㕒㔚 㔚ߦࠃࠆ శࠍ ᓇߔࠆߚ ߦߪ㧘 శㇱ ߦᱜ ߦࡇ ࠍวࠊߖߥߌࠇ ߥࠄ 3 ታⷙ ャㅍታ㛎 ߥ ߦ㧘 ᮏ߇ᄢ ൻߒ㧘 ࠆ ߪ㧘 ᮏ ߩ ߩၸ ࡌ ߦᄌൻ߇ ࠆ ႐วߦߪ㧘ࡇ ࠍวࠊߖࠆߎߣ߇ਇน ߥ႐ 3) ࡔ ࡈࠔ ࠕ ߈ CCD ࡔ ว ࠆ శ ࠨ 㕒㔚 㔚ᬌ ߆ࠄᓧࠄࠇߚ ภߩ ല ᕈࠍ ߔࠆߚ 㧘 ࡔ ࡈࠔ ࠕ ߈ 40 㧔㧟㧕 ᥧⷞⵝ 㧘ᐢ 㧘 ࡔ ߥߤ߇ᔅⷐߢ ࠆߎߣ ߢ ߦ ߇㜞ଔߢ ࠆ.
粉体貯蔵槽での光センサによる静電気放電の検出 上記の事項から, 産業現場において 高感度カメラを 結果を図 6 に示す.この図 6 の結果は 図 5 a のパルス 使用し 静電気放電を撮影 検出することは 困難であ 状の信号 以下 パルス状の信号という と同様であっ るのが現状である. たため 検出器の放電光検出性能にはノイズ光の影響が 少ないことがわかった.また このとき 光センサ型静電 気放電検出器から得られたパルス信号が バルク表面放 電に対応していることを確認するため 当該検出器によ る放電検出と同時に高感度カメラによってバルク表面放 電の撮影も行い 両者の結果を比較した.その結果 光セ ンサ型静電気放電検出器からの検出信号 図 6 と CCD カメラで撮影された静電気放電 図 7 とは 検出信号 の検出時刻とバルク表面放電の発生観測時刻がよく一致 した.したがって 光センサ型静電気放電検出器からのパ ルス信号がバルク表面放電であることが確認された. (a) top view (a) when silo is getting loading (b) side view 図 4 粉体貯蔵槽で観測されたブラシ放電とバルク表面放電 露出: 2 s 2) 光センサ型静電気放電検出器による粉体貯蔵槽内 部で発生する静電気放電の検出 粉体の貯蔵槽内に外部からノイズ光が入射する状況下 で この貯蔵槽の天井に光センサ型静電気放電検出器を (b) when silo has stopped loading 取り付けて着火性バルク表面放電の検出を試みた.この 光センサには ノイズ光をカットするために干渉フィル 図 5 タが取り付けられている.今回の実験で使用した干渉フ 電気放電の検出 (ノイズ光あり) ィルタは中心波長 λ が 330 nm である λ に 330 nm の干 光センサ型静電気放電検出器を用いたバルク表面放電静 渉フィルタを選定した理由は 後節で述べる.また 検 出した放電光の信号を増幅する光電子増倍管モジュール 用電源の印加電圧 Va は 0.35 V である. 実験は 空気輸送 した PP ペレットを貯蔵槽内に投入して 堆積粉体表面 でバルク表面放電を発生させて この放電光を光センサ 型静電気放電検出器で検出する方法で行った.実験結果 の一例を図 5 a, b に示す.結果によると 貯蔵槽に PP ペ レットを投入すると図 5 a のような４本のパルス状の 信号が観測された.また PP ペレットの貯蔵槽への投入 を停止すると 図 5 b に示すようにパルス状の信号は 消えた. 次に 貯蔵槽を暗幕で覆いノイズ光が入らない状態に して 再度 着火性バルク表面放電の検出を行った.この 図 6 光センサ型静電気放電検出器を用いたバルク表面放電の 検出 (ノイズ光なし) 41
労働安全衛生総合研究所特別研究報告 JNIOSH-SRR-NO.43(2013 る. 粉体試料の投入を開始すると 3 秒程度後から小さな パルス信号が発生するのが観測された.これについても バルク表面放電の観側実験と同様に映象で確認した結果 小さなパルス信号がブラシ放電であることがわかった 一方 バルク表面放電の大きなパルス信号は ブラシ放 電が発生した後に発生し ブラシ放電とバルク放電が混 在して発生する状態が観測された.また 粉体の供給を停 止すると両放電のパルス信号共に消滅することも確認さ れた. (a) 以上のことから 光センサ型静電気放電検出器は粉体 1.5 s の貯蔵槽の中で発生するバルク表面放電やブラシ放電の 検出に有効である. さらに 光センサ型静電気放電検出 器の感度を調整し 着火性バルク表面放電の発生前にブ ラシ放電を検出 即座に粉体用除電器を使用するなど災 害防止対策を施し 爆発 火災を未然に防止することが 可能になる.粉体用除電器については 本報告書の 小型 防爆構造除電器の開発 を参照のこと. (b) 3.8 s (a) (c) when silo is getting loading 5.5 s (b) when silo has stopped loading 図 8 光センサ型静電気放電検出器を用いたブラシ放電の検出 (ノイズ光あり) (d) 8.1 s 図 7 高感度カメラを用いた静電気放電の検出 最後に ノイズ光の下で光センサ型静電気放電検出器 3) によりブラシ放電を検出した結果を図 8 a b に示す. 今回は Va を 0.35 V を 0.4 V に上げて 放電検出器の検出 感度を高くし オシロスコープの感度も上げて観測した 結果である.この結果によると 放電光の検出を開始する と外部光のノイズ値Ｎが 100 mv あるため 検出信号は ベースラインより 100 mv シフトした位置で推移してい 光センサ型静電気放電検出器の検出特性に干渉フ ィルタの波長が及ぼす影響 光センサ型静電気放電検出器の干渉フィルタの波長が 検出特性に及ぼす影響について定量的に調べた.実験は 前述した着火性静電気放電 バルク表面放電 の検出を 試みた実験と同じ方法で 干渉フィルタを変えて放電光 の検出信号とノイズ信号を観測した.この実験の目的は 42
粉体貯蔵槽での光センサによる静電気放電の検出 ᬌ ภߣࡁ శߩ ภߩᏅ߇ᄢ߈ߊߥࠆᵄ㐳 ߩᐓ ߢߪ 48㧘360 nm ߢߪ 28㧘400 nm ߢߪ 3.2 ߢ ߞߚ.ࡁ ࡈ ࠍㆬቯߔࠆߎߣߢ ࠆ㧚ታ㛎ߢ ߒߚᐓ శߩᓇ㗀ࠍ S/N ߢ ᘦߔࠆߣ㧘ࡃ 㕙 㔚ߩ ࡈ ߪ㧘ታ㛎ߩ ߆ࠄඨ୯ ߪ 20 nm 㨪 30 nm ᬌ ߦᦨㆡߥᐓ ࡈ ߩᵄ㐳ߪ 330 nm ߢ ࠆߣ ᐲߢචಽߣ ߃㧘ㅢㆊᵄ㐳߇㊀ߥࠄߥ ߩࠍㆬቯߒ ߢ߈ࠆ. ߚ. 㧘 ߒߚ 9 㘃ߩᐓ ࡈ ߩㅢㆊᵄ㐳ߩਛ ᔃᵄ㐳 Ȝ ߣඨ୯ ᵄ㐳 Ȝ1/2 ࠍ 1 ߦ ߔ. Relative output intensity, V [mv] 100000 1 ߒߚᐓ ࡈ ߩㅢㆊᵄ㐳 Optical band-pass filter [ nm] center wavelength, Ȝ FWHM, Ȝ1/2* 240 r 3 230 to 250 270 r 3 257 to 282 300 r 3 287 to 312 330 r 3 315 to 345 360 r 3 345 to 375 400 r 3 390 to 410 450 r 3 440 to 460 500 r 3 492 to 508 600 r 3 590 to 610 Va: 0.35 V noize values ave. values* 10000 1000 100 Detectable range 10 1 200 300 400 500 600 center wavelength of band-pass filter, O [nm] 9 ᐓ ࡈ ߩਛᔃᵄ㐳ߣᬌ ภߣߩ㑐ଥ (*: 3 ߟߩᬌ ภ㧔ࡇ 㔚 ୯㧕ߩᐔဋ୯) (ࡁ శ ࠅ) 4 ߣ *:Ȝ1/2, or full width at half maximum (FWHM) ࠍขࠅᛒ߁Ꮏ ߢߩ㕒㔚 㔚ߦࠃࠆ Ἣἴ ᢱࠍᛩ ߒߚߣ߈ߦ㧘 ࡊߢ ߐ ࠇߚࡄ ߩࡇ 㔚 ୯ࠍࡃ 㕙 㔚ߦࠃࠆࡄ ᬌ ภߣߒ㧘 ᛩ ࠍ ᱛߒߚߣ߈ߦࡌ ࠃࠅ ࡈ ߒߚ㔚 ୯ࠍࡁ ภߣߒߡ ߒߚ. ታ㛎 ᨐࠍ 9 ߦ ߔ. ห ߩਛߢ㧘ࡃ 㕙 㔚ߩ ᬌ ภࠍƔߢ ߒ㧘ࡁ ภࠍƑߢ ߒߚ.ߚߛߒ㧘 ࡄ ᬌ ภߩ୯ߪ㧘ᬌ ߒߚ 3 ߟࡄ ภߩࡇ 㔚 ୯ߩᐔဋ୯ߢ ࠆ.ߎߩ ᨐߦࠃࠆߣ㧘Ȝ ߇ 270 nm 㨪 400nm ߩ ߢߪ㧘ᬌ ภߣࡁ ภߦᏅ߇ ࠅ㧘ࡃ 㕙 㔚ߩᬌ ߇น ߢ ߞߚ. ߚ㧘ߎߩ ᵄ㐳 ߪ㧘⓸ ಽሶ (N2) ߩ 2 ᱜᏪ㧔Second Positive System; SPS㧕ߩㆫ⒖ߢ ߐࠇࠆᵄ㐳 㧔300 nm 㨪 ߩ㒐ᱛࠍ ߣߒ㧘శ ࠨ 㕒㔚 㔚ᬌ ࠍ㐿 ߒߚ ᧄ ߢߪ㧘ታⷙ ャㅍታ㛎 ߩ ᮏ ߦ㕒㔚 㔚ᬌ ࠍขࠅ ߌߡߘߩ ലᕈࠍ ߴߚ ታ㛎 ᨐߦࠃࠆߣ㧘ㆡ ߥᵄ㐳㧔270 nm㨪 400 nm㧕ߩ ᐓ ࡈ ࠍ ࠆߎߣߢ㧘ᄥ㓁శߥߤߩࡁ శߩ ࠆⅣႺਅߢ 㕒㔚 㔚ࠍ ߦᬌ ߢ߈ࠆߎߣ߇ࠊ ߆ߞߚ㧚 ߚ㧘 㔚శߣࡁ శߩ ภ ജߩᏅ߇ ᄢ߈ߊߥࠅ㧘㕒㔚 㔚ߩᬌ ߦᦨㆡߥᐓ ࡈ ߩ ᵄ㐳ߪ 330 nm ߢ ߞߚ㧚ߐࠄߦ㧘 Ἣᕈ߇ᒝ ࡃ 㕙 㔚ߩ ೨ߩ శߩᒙ ࡉ 㔚ࠍᬌ ߢ߈ߚ ߎߣ߆ࠄ㧘ᧄᬌ ߪ ߓࠎ Ἣἴߩ㒐ᱛߦᓎߦ ߟ ߩߢ ࠆߎߣ߇ ߐࠇߚ. 420nm㧕4)ߣ ߒߡ ࠆ.ߒߚ߇ߞߡ㧘ࡃ 㕙 ᢥ ₂ 㔚ߩ శߪ N2 ߦࠃࠆ ߩ߇ਥߢ ࠆߣ ߃ࠄࠇࠆ. ᣇ㧘 ߩᵄ㐳 ᄖ㧘 ߃ 㧘Ȝ ߇ 240 nm 450 nm㨪600 nm ߩ႐วߪࡁ ภ߇㜞ߊࡃ 㕙 㔚 1. during the gravitational compaction of powders, J. ߩᬌ ߇ߢ߈ߥ߆ߞߚ.ࡁ ภߩᵄ㐳ߦኻߔࠆᄌൻ ߪ㧘ᄥ㓁శߩ ࡍ 5) ߦ㘃 ߒߡ ࠆߩߢ㧘ࡁ ߩਥߥ ߩߪᄥ㓁శߢ ࠆߣᕁࠊࠇࠆ. ߚ㧘ࡃ 㕙 㔚 ߩ ࡄ ภ ߇ ᬌ ߐ ࠇ ߚ ᵄ 㐳 㧔 300 nm 㨪 420nm㧕ߢ㧘ࡄ ᬌ ภ㧔S㧕ߣࡁ ภ㧔N㧕ߩ S/N ࠍ ߴߚ.ߎߩ S/N ߩ୯߇ᄢ߈ ߤ㧘ࡄ ภߣࡁ ภߣߩᏅ߇ᄢ߈ߊ㧘㕒㔚 㔚ߦࠃࠆࡄ ภࠍᬌ ߒ ߔ ߣ ߃ࠆ.ߘߩ ᨐ㧘270 nm ߩᐓ ࡈ ߩ႐ว㧘㧿/㧺 ߪ 10㧘300 nm ߢߪ 33㧘330 nm M.Glor: conditions for the appearance of discharges electrostatics, 15, pp.223-235(1984). 2. R. Siwek, C. Cesana: Ignition behavior of dusts, Process Safety Progress, 14, 2, pp.107-119, (1995). 3. IEC50404:Electrostatic -Code of practice for the avoidance of hazards due to static electricity (2003). 4. R.W.B. Pearse: The identification of molecular spectra, London : Chapman and Hall, p.217 (1976). 5. 43 JIS-C8911:Secondary reference crystalline solar cells, p.1310 (1988).