図 1 現 在 の 実 験 装 置 の 概 略 図 イオン 源 部 のイオン 源 と 四 重 極 質 量 分 析 器 の 間 に 差 動 排 気 用 の 隔 壁 を 移 動 した 持 ち イオン 源 と 四 重 極 質 量 分 析 器 イオン 輸 送 レンズで 構 成 されている 移 動 管 部 は

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1 クラスターイオン 生 成 装 置 の 開 発 2 中 井 陽 一 1 小 島 隆 夫 1 日 高 宏 2 渡 部 直 樹 3,4 藤 田 和 之 5 中 坪 俊 一 5 中 鉢 健 太 5,6 森 章 一 5 新 堀 邦 夫 5 千 貝 健 5 福 士 博 樹 5 1. 独 立 行 政 法 人 理 化 学 研 究 所 2. 低 温 科 学 研 究 所 宇 宙 雪 氷 学 分 野 3. 低 温 科 学 研 究 所 共 同 研 究 推 進 部 4. 低 温 科 学 研 究 所 宇 宙 物 質 科 学 分 野 5. 低 温 科 学 研 究 所 技 術 部 6. 工 学 院 工 学 系 技 術 センター 背 景 と 目 的 微 粒 子 が 生 成 する 際 の 凝 結 核 となるナノスケールの 原 子 や 分 子 の 集 団 (クラスター) は 地 球 大 気 におけるエアロゾルや 雲 粒 子 の 生 成 過 程 に 深 く 関 与 しており 大 気 科 学 に おいて 重 要 な 研 究 対 象 である 微 粒 子 の 凝 結 核 の 生 成 過 程 としては 複 数 のシナリオが 考 えられているが 近 年 注 目 を 集 めているシナリオの 一 つとして イオン 誘 発 核 生 成 過 程 がある これは 大 気 中 に 生 成 されたイオンが 電 荷 を 持 っているために 大 気 中 の 分 子 を 引 き 寄 せ 凝 集 することにより 帯 電 したクラスター(クラスターイオン)を 生 成 す るという 過 程 である 大 気 中 では 宇 宙 線 などの 自 然 現 象 や 人 為 的 要 因 による 分 子 の 電 離 によってイオンが 生 成 されており イオン 誘 発 核 生 成 が 微 粒 子 生 成 に 果 たす 役 割 は 無 視 できないと 考 えられている しかしながら 核 生 成 過 程 は 熱 力 学 的 アプローチによ る 古 典 核 生 成 の 理 論 [1]をもとに 研 究 されることが 多 く 結 合 分 子 数 が 比 較 的 少 ないクラ スターイオンに 関 する 成 長 過 程 は 定 量 的 に 十 分 な 理 解 がなされていない 現 在 のイオン 誘 発 核 生 成 の 実 験 的 研 究 は 放 射 線 源 や 高 エネルギーイオンによって 実 際 の 大 気 また は 疑 似 大 気 ( 試 料 大 気 )の 中 で 電 離 現 象 を 引 き 起 こし 生 成 された 微 粒 子 の 数 密 度 やサ イズの 試 料 大 気 の 化 学 組 成 に 対 する 依 存 性 などを 調 べるものがほとんどである[2, 3] こ の 種 の 実 験 では 様 々なイオンや 反 応 性 の 高 い 中 性 の 原 子 団 (ラジカル)が 同 時 に 生 成 されるため 反 応 経 路 の 絞 り 込 みが 困 難 であり クラスターイオンの 生 成 過 程 をクラス ターイオン 種 ごとに 詳 細 に 研 究 することが 難 しくなる このような 背 景 をふまえて 比 較 的 結 合 分 子 数 の 少 ないクラスターイオンの 生 成 過 程 を 詳 細 に 研 究 するために イオン 誘 発 核 生 成 の 引 き 金 になるイオン( 種 イオン)の 生 成 領 域 とクラスターイオンが 成 長 生 成 する 領 域 を 分 離 し 種 イオンを 選 別 してクラスター イオン 生 成 を 行 うための 装 置 の 開 発 を 行 っている 実 験 装 置 の 概 略 と 装 置 開 発 の 現 状 現 在 テスト 実 験 を 行 っている 実 験 装 置 の 概 略 図 を 図 1に 示 す 実 験 装 置 は 昨 年 度 の 技 術 報 告 [4]に 記 載 されている 通 り 真 空 容 器 内 部 で イオン 源 部 移 動 管 部 分 析 管 部 に 分 かれている イオン 源 部 は 種 イオンを 生 成 選 別 し 移 動 管 部 に 入 射 する 役 割 を 44

2 図 1 現 在 の 実 験 装 置 の 概 略 図 イオン 源 部 のイオン 源 と 四 重 極 質 量 分 析 器 の 間 に 差 動 排 気 用 の 隔 壁 を 移 動 した 持 ち イオン 源 と 四 重 極 質 量 分 析 器 イオン 輸 送 レンズで 構 成 されている 移 動 管 部 は ガスで 満 たされた 容 器 の 軸 に 沿 った 方 向 へ 一 様 な 電 場 が 加 えられている 移 動 管 と 移 動 管 の 温 度 を 調 節 する 冷 凍 機 とヒーター および 熱 電 対 からなる 移 動 管 内 部 では イオ ンはガス 分 子 と 衝 突 し ある 確 率 で 結 合 反 応 を 起 こし クラスターイオンを 形 成 してい く クラスターイオンは 移 動 管 内 部 の 電 場 によって 移 動 管 内 を 通 過 し 移 動 管 から 出 る と 分 析 管 部 へ 入 射 される 分 析 管 部 では 移 動 管 部 から 入 射 して 来 たクラスターイオン などの 各 種 イオンの 質 量 分 析 を 四 重 極 質 量 分 析 器 を 用 いて 行 う イオン 源 部 は 昨 年 度 の 技 術 報 告 [4]の 段 階 からいくつかの 変 更 を 行 った 一 つ 目 は イ オン 輸 送 レンズの 下 流 にあったイオン 源 部 と 移 動 管 部 の 真 空 差 動 排 気 の 隔 壁 を イオン 源 と 四 重 極 質 量 分 析 器 の 間 に 移 したことである 以 前 の 隔 壁 の 位 置 では 差 動 排 気 のた めの 小 さな 孔 にイオンを 効 率 よく 通 過 させるためには どうしてもイオン 輸 送 レンズと 隔 壁 との 間 で 非 常 に 大 きな 加 速 を 要 した この 場 合 質 量 分 析 後 にイオン 源 に 導 入 され た 気 体 との 衝 突 によるイオンの 解 離 を 誘 発 する 恐 れがあった そのため 隔 壁 を 移 動 さ せることにより イオン 輸 送 中 での 大 きな 加 速 部 分 を 取 り 除 いた また その 際 に 隔 壁 をイオン 源 が 格 納 される 真 空 クロス 管 側 に 取 り 付 けることにより イオン 源 部 を 簡 単 に 装 置 から 切 り 離 すことができ メンテナンスが 容 易 となった 45

3 図 2 新 しく 製 作 導 入 したイオン 源 a) イオン 源 の 概 略 図 フィラメントから 放 出 された 熱 電 子 がグリッドメッシュに 向 かって 加 速 され グリッドメッシュ 内 部 およ び 周 辺 を 飛 び 回 り 分 子 を 電 離 することにより イオンを 生 成 する b) セル 内 部 の フィラメントとグリッドメッシュの 写 真 二 つ 目 は イオン 源 を 電 子 線 交 差 型 イオン 源 から 図 2 に 示 すような 形 式 のイオン 源 を 製 作 し それに 変 更 したことである フィラメントから 放 出 された 熱 電 子 はフィラ メントとグリッドメッシュ 間 の 電 圧 によって 加 速 され イオン 源 の 構 造 物 のいずれかに 衝 突 するまでグリッドメッシュ 内 部 および 周 辺 を 飛 び 回 り イオン 源 内 部 の 気 体 分 子 を 電 離 する このイオン 源 の 変 更 により 希 ガスのイオンの 場 合 質 量 分 析 後 のイオン 量 は 数 倍 から 10 倍 程 度 かそれ 以 上 の 向 上 が 見 られ 移 動 管 部 および 分 析 管 部 のテストが 容 易 になった 移 動 管 部 の 構 造 については 昨 年 度 の 技 術 報 告 [4]に 詳 しく 述 べられているので ここ では クラスターイオンの 質 量 分 布 測 定 時 の 移 動 管 内 部 各 電 極 への 電 圧 供 給 と イオン の 移 動 管 内 部 での 移 動 速 度 測 定 のための 方 法 を 紹 介 する クラスターイオンの 質 量 分 布 測 定 時 の 移 動 管 への 電 圧 供 給 は 図 3 に 示 すような 抵 抗 分 割 回 路 を 製 作 し 行 っている この 抵 抗 分 割 回 路 による 電 圧 供 給 と 高 精 度 で 製 作 された 移 動 管 によって 移 動 管 中 心 軸 上 に 一 様 電 場 が 形 成 される ガスで 満 たされた 移 動 管 内 部 での 各 種 イオンの 移 動 速 度 を 測 定 することが 可 能 なよう に 図 3 に 示 した 2 ヶ 所 のシャッターメッシュ 対 の 片 側 メッシュに 電 圧 パルスを 加 える ことが 可 能 になるようにしている( 図 4) パルスが 加 えられていない 時 は シャッター メッシュの 所 に 電 圧 のくぼみが 生 じるようになっている イオンはガス 中 での 多 数 回 の 衝 突 により 十 分 エネルギーが 低 くなっているため このくぼみに 捕 まえられてシャッ ターメッシュなどの 電 極 に 衝 突 し ほとんどのイオンはなくなる そこに 電 圧 パルスを 加 えることで シャッターメッシュの 電 圧 が 上 昇 している 間 だけ 移 動 管 内 に 一 様 電 場 が 46

4 図 3 a) クラスターイオンの 質 量 分 布 測 定 時 の 移 動 管 内 部 の 各 電 極 への 電 圧 供 給 回 路 の 概 念 図 移 動 管 軸 上 付 近 で 一 様 電 場 が 形 成 されるように 抵 抗 値 を 決 めて いる b) 移 動 管 内 部 の 断 面 図 14 枚 のリング 電 極 と 上 流 側 下 流 側 にそれぞ れ 1 対 のシャッターメッシュを 備 えている c) クラスターイオンの 質 量 分 布 測 定 時 の 移 動 管 軸 上 の 電 位 の 概 念 図 青 破 線 はシャッターメッシュ 位 置 を 表 す 47

5 図 4 a) イオンの 移 動 速 度 測 定 時 のシャッターメッシュへのパルス 電 圧 供 給 回 路 の 概 念 図 3 枚 目 もしくは 12 枚 目 のリング 電 極 に 取 り 付 けられたメッシュへ 電 圧 を 供 給 する 電 位 にくぼみを 作 るため パルスを 重 畳 する DC 電 位 は 5 枚 目 もしくは 14 枚 目 の 電 極 電 位 とする パルス 幅 より 十 分 長 い 時 定 数 の CR 微 分 回 路 を 通 して 重 畳 するとパルス 形 状 をほぼ 損 なわず 重 畳 できる b) シャッターメッシュへ 供 給 されるパルス 電 圧 波 形 の 概 念 図 c) イオンの 移 動 速 度 測 定 時 の 移 動 管 軸 上 の 電 位 の 概 念 図 上 流 側 シャッ ターメッシュにパルス 電 圧 が 供 給 される 場 合 を 示 す 黒 線 はパルスが 加 えられていな いときで シャッターメッシュの 付 近 に 電 位 のくぼみが 生 じ イオンは 通 過 できない 赤 線 は パルスによりシャッターメッシュの 電 圧 が 上 昇 しているときで この 時 だけ 一 様 電 場 になり イオンは 通 過 できる 48

6 形 成 されるようにすると イオンがメッシュ 対 を 通 過 することができ パルスを 加 えた タイミングと 通 過 したイオンが 分 析 管 部 のイオン 検 出 器 に 検 出 したタイミングとの 時 間 差 を 測 定 することができる 上 流 側 のシャッターメッシュにパルスを 加 えた 際 の 時 間 差 (t1)と 下 流 側 のシャッターメッシュにパルスを 加 えた 際 の 時 間 差 (t2)の 差 (t1 - t2) を 取 ることによって 移 動 管 内 部 でのイオンの 移 動 速 度 が 測 定 できる パルスを 加 えた タイミングは 絶 縁 カプラを 通 してパルスジェネレータから 取 得 する 現 在 は 装 置 全 体 の 信 頼 性 を 確 かめる 目 的 で 移 動 管 内 部 に 数 十 Pa のヘリウムガスを 満 たし イオン 源 部 からアルゴンイオンを 導 入 して ヘリウムガス 中 のアルゴンイオンの 移 動 速 度 測 定 を 行 っている また 移 動 管 の 冷 却 試 験 を 行 い マイナス 200 程 度 までは 問 題 なく 冷 却 でき この 実 験 の 目 的 には 十 分 な 冷 却 能 力 をもつことを 確 かめた ヒーターによる 温 度 調 節 を 準 備 しているところである まとめ イオン 誘 発 核 生 成 過 程 を 詳 細 に 研 究 するために クラスターイオン 生 成 装 置 の 開 発 を 継 続 している 現 在 は 各 種 テスト 実 験 を 行 い 装 置 各 部 分 について 問 題 点 の 洗 い 出 し と 修 正 を 行 っている 今 年 度 中 もしくは 来 年 度 の 早 期 に 装 置 を 完 成 し 来 年 度 には 本 格 的 な 実 験 へ 移 行 したいと 考 えている 参 考 文 献 1. Thomson, J. J., Conduction of Electricity through Gases, Cambridge University Press, London. 2. Nagato, K., Kim, C. S., Adachi, M. and Okuyama, K, An experimental study of ion-induced nucleation using a drift tube ion mobility spectrometer/mass spectrometer and a cluster-differential mobility analyzer/faraday cup electrometer, Journal of Aerosol Science 36, Imanaka, M., Tomita, S., Kanda, S., Fujieda, M., Sasa, K., Olaf Pepke Pederson, Kudo, H., Nanoparticle formation in H2O/N2 and H2O/Ar mixtures under irradiation by 20 MeV protons and positive corona discharge, Journal of Aerosol Science 41, 日 高 宏, 小 島 隆 夫, 中 井 陽 一, 渡 部 直 樹, 中 鉢 健 太, 藤 田 和 之, クラスター イオン 生 成 装 置 の 開 発, 北 海 道 大 学 低 温 科 学 研 究 所 技 術 部 技 術 報 告 15, 2009,

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