PALL NEWS vol.126 November 2017

［技術論文］ 　リソグラフィ用薬液のポイントオブユース及び材料製造におけるメタル除去

1. はじめに 半導体製造において 1Xnm パターン世代に進むにあたり リソグラフィ用薬液に対するメタル削減への要求が厳しくなっている これはメタルが半導体デバイスの性能低下や 欠陥を引き起こすためである [1,2] 多くのリソグラフィ向け薬液は十分にメタル濃度が低減され供給されているが [3] 薬液は供給システムからシリコンウェハの流路中にある金属性の部材により汚染される可能性もある イオン交換フィルターは半導体プロセス薬液のメタル除去に一般的に用いられている

untitled

NPO 2006( ) 11 14 ( ) (2006/12/3) 1 50% % - - (CO+H2) ( ) 6 44 1) --- 2) ( CO H2 ) 2 3 3 90 3 3 2 3 2004 ( ) 1 1 4 1 20% 5 ( ) ( ) 2 6 MAWERA ) MAWERA ( ) ( ) 7 6MW -- 175kW 8 ( ) 900 10 2 2 2 9 -- - 10

Contents 4 06 IP2 41 Thermo Scientific Nalgene Nalgene

Nalgene & Packaging plastic Bottles & Vials Contents 4 06 IP2 41 Thermo Scientific Nalgene 5 07 42 8 08 43 9 09 45 11 10 46 Nalgene 12 11 50 13 12 53 01 20 13 61 02 28 14 64 03 33 15 66 04 37 16 / 67 05

JAJP

Agilent 7500ce ORS ICP-MS Glenn Woods Agilent Technologies Ltd. 5500 Lakeside, Cheadle Royal Business Park Stockport UK Agilent 7500ce ICP-MS 5 7500ce (ORS) 1 ORS 7500ce ORS ICP-MS ( ) 7500 ICP-MS (27.12

ICP-OES ICP-MS

ICP-OES ICP-MS AGILENT CROSSLAB Agilent CrossLab Agilent CrossLab Agilent CrossLab ICP-OES ICP-MS ICP-OES ICP-MS 24 48 (www.agilent.com/chem/jp) AGILENT CROSSLAB Agilent CrossLab Agilent CrossLab Agilent

1 1 H Li Be Na M g B A l C S i N P O S F He N Cl A e K Ca S c T i V C Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As Se B K Rb S Y Z Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb T e

No. 1 1 1 H Li Be Na M g B A l C S i N P O S F He N Cl A e K Ca S c T i V C Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As Se B K Rb S Y Z Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb T e I X e Cs Ba F Ra Hf Ta W Re Os I Rf Db Sg Bh

36 th IChO : - 3 ( ) , G O O D L U C K final 1

36 th ICh - - 5 - - : - 3 ( ) - 169 - -, - - - - - - - G D L U C K final 1 1 1.01 2 e 4.00 3 Li 6.94 4 Be 9.01 5 B 10.81 6 C 12.01 7 N 14.01 8 16.00 9 F 19.00 10 Ne 20.18 11 Na 22.99 12 Mg 24.31 Periodic

RAA-05(201604)MRA対応製品ver6

M R A 対 応 製 品 ISO/IEC 17025 ISO/IEC 17025は 試験所及び校正機関が特定の試験又は 校正を実施する能力があるものとして認定を 受けようとする場合の一般要求事項を規定した国際規格 国際相互承認 MRA Mutual Recognition Arrangement 相互承認協定 とは 試験 検査を実施する試験所 検査機関を認定する国際組織として ILAC 国際試験所認定協力機構

pall_news116

. はじめに 自己組織化リソグラフィ (DSAL) における ブロックコポリマー (BCP) レイヤーにおいて ゲル状欠陥の低減が一つの課題である [] 従来の化学増幅型レジスト (CAR) においては 粗大分子量のポリマー分子と 難溶解性官能基の偏りによる難溶解性ポリマー成分の凝集がmicrobridge のようなゲル状欠陥の要因と考えられている DSAL においては ポリマーの分子量自体がCARに比べ大きいことから

Fig. ph Si-O-Na H O Si- Na OH Si-O-Si OH Si-O Si-OH Si-O-Si Si-O Si-O Si-OH Si-OH Si-O-Si H O 6

NMR ESR NMR 5 Fig. ph Si-O-Na H O Si- Na OH Si-O-Si OH Si-O Si-OH Si-O-Si Si-O Si-O Si-OH Si-OH Si-O-Si H O 6 Fig. (a) Na O-B -Si Na O-B Si Fig. (b) Na O-CaO-SiO Na O-CaO-B -Si. Na O-. CaO-. Si -. Al O

03J_sources.key

Radiation Detection & Measurement (1) (2) (3) (4)1 MeV ( ) 10 9 m 10 7 m 10 10 m < 10 18 m X 10 15 m 10 15 m ......... (isotope)...... (isotone)......... (isobar) 1 1 1 0 1 2 1 2 3 99.985% 0.015% ~0% E

H1-H4

42 S H He Li H He Li Be B C N O F Ne Be B C N O F Ne H He Li Be B H H e L i Na Mg Al Si S Cl Ar Na Mg Al Si S Cl Ar C N O F Ne Na Be B C N O F Ne Na K Sc T i V C r K Sc Ti V Cr M n F e C o N i Mn Fe Mg

X線分析の進歩36 別刷

X X X-Ray Fluorescence Analysis on Environmental Standard Reference Materials with a Dry Battery X-Ray Generator Hideshi ISHII, Hiroya MIYAUCHI, Tadashi HIOKI and Jun KAWAI Copyright The Discussion Group

Agilent AA ICP ICP-MS ICP-MS AA 55B AA LCD AA PC PC 240 AA / / AA 240FS/280FS AA AA FS 240Z/280Z AA GFAA AA Duo 1 PC AA 2 280FS AA

Agilent Agilent AA 195750 ICP ICP-MS ICP-MS AA 55B AA LCD AA PC PC 240 AA / / AA 240FS/280FS AA AA FS 240Z/280Z AA GFAA AA Duo 1 PC AA 2 280FS AA 1938 HP 1965 HP 1976 GC/MS HP 5992A 1983 GC GC HP 5890A

渡辺(2309)_渡辺(2309)

[ 29 p. 241-247 (2011)] ** *** ** ** Development of a nickel-based filler metal containing a small amount of silicon by WATANABE Takehiko, WAKATSUKI Ken, YANAGISAWA Atsusi and SASAKI Tomohiro Authors tried

2 1 7 - TALK ABOUT 21 μ TALK ABOUT 21 Ag As Se 2. 2. 2. Ag As Se 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 Sb Ga Te 2. Sb 2. Ga 2. Te 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4

untitled

Vol.32 2016.1 Plant Factory 1 Plant Factory ph EC Na + K + NO3 - Ca 2+ Salt ph EC DO TEMP TEMP CO2 Plant Factory 2 Bio Life science Anti-CD19 Anti-CD3 lgg 12 10 8 6 4 Anti-CD19 Anti-CD3 2 Control lgg 0

42 3 u = (37) MeV/c 2 (3.4) [1] u amu m p m n [1] m H [2] m p = (4) MeV/c 2 = (13) u m n = (4) MeV/c 2 =

3 3.1 3.1.1 kg m s J = kg m 2 s 2 MeV MeV [1] 1MeV=1 6 ev = 1.62 176 462 (63) 1 13 J (3.1) [1] 1MeV/c 2 =1.782 661 731 (7) 1 3 kg (3.2) c =1 MeV (atomic mass unit) 12 C u = 1 12 M(12 C) (3.3) 41 42 3 u

元素分析

: このマークが付してある著作物は 第三者が有する著作物ですので 同著作物の再使用 同著作物の二次的著作物の創作等については 著作権者より直接使用許諾を得る必要があります (PET) 1 18 1 18 H 2 13 14 15 16 17 He 1 2 Li Be B C N O F Ne 3 4 5 6 7 8 9 10 Na Mg 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 Al Si P

MP-AES ICP-QQQ Agilent 5100 ICP-OES Agilent 5100 (SVDV) ICP-OES (DSC) 1 5100 SVDV ICP-OES VistaChip II CCD Agilent 7900 ICP-MS 7700 / 10 7900 ICP-MS ICP-MS FTIR Agilent 7900 ICP-MS Agilent Cary 7000 (UMS)

CH 2 CH CH 2 CH CH 2 CH CH 2 CH 2 COONa CH 2 N CH 2 COONa O Co 2+ O CO CH 2 CH N 2 CH 2 CO 9 Change in Ionic Form of IDA resin with h ph CH 2 NH + COO

CH 2 CH CH 2 CH CH 2 CH CH 2 CH 2 COONa CH 2 N CH 2 COONa O Co 2+ O CO CH 2 CH N 2 CH 2 CO 9 Change in Ionic Form of IDA resin with h ph CH 2 NH + COOH COOH COOH COO - CH 2 NH + + CH 2 NH COO - COO - COO

Agilent 7900 ICP-MS 1 1 Ed McCurdy 2 1 Agilent Technologies, Japan 2 Agilent Technologies, UK

Agilent 7900 ICP-MS 1 1 Ed McCurdy 2 1 Agilent Technologies, Japan 2 Agilent Technologies, UK Na P K Ca Co Cu Sr Cd Ce Cs Tl 11 [1]18 [2] (FAO) (WTO) (Codex) Pb Cd As Sn Pb 0.3 mg/kg Cd 0.4 mg/kg 0.2 mg/kg

物理化学I-第12回(13).ppt

I- 12-1 11 11.1 2Mg(s) + O 2 (g) 2MgO(s) [Mg 2+ O 2 ] Zn(s) + Cu 2+ (aq) Zn 2+ (aq) + Cu(s) - 2Mg(s) 2Mg 2+ (s) + 4e +) O 2 (g) + 4e 2O 2 (s) 2Mg(s) + O 2 (g) 2MgO(s) Zn(s) Zn 2+ (aq) + 2e +) Cu 2+ (aq)

CuSO POINT S 2 Ni Sn Hg Cu Ag Zn 2 Cu Cu Cu OH 2 Cu NH CuSO 4 5H 2O Ag Ag 2O Ag 2CrO4 Zn ZnS ZnO 2+ Fe Fe OH 2 Fe 3+ Fe OH 3 2 Cu Cu OH 2 Ag Ag

CuSO POINT S 2 Ni Sn Hg Cu Ag Zn 2 CuCu Cu OH 2 Cu NH 3 4 2 CuSO 4 5H 2O AgAg 2O Ag 2CrO4 ZnZnS ZnO 2+ Fe Fe OH 2 Fe 3+ Fe OH 3 2 Cu Cu OH 2 Ag Ag 2O Cl Cl AgCl PbCl 2 Ag Cl AgCl Pb 2 2Cl PbCl2 Cl Hg22

IS(A3) 核データ表 ( 内部転換 オージェ電子 ) No.e1 By IsoShieldJP 番号 核種核種半減期エネルギー放出割合核種番号通番数値単位 (kev) (%) 核崩壊型 娘核種 MG H β-/ce K A

IS(A3)- 284 - No.e1 核種核種半減期エネルギー放出割合核種通番数値単位 (kev) (%) 1 1 1 MG-28 20.915 H 29.08 27.0000 β-/ce K Al-28 2 1 2 MG-28 20.915 H 30.64 2.6000 β-/ce L Al-28 3 2 1 SC-44M 58.6 H 270.84 0.0828 EC/CE CA-44 4 2

リサイクルデータブック2016

AppendixEU SDGs2159EU 21512UNEPOECD2165G7 2165 213 Appendix 1 EU 2 EU 3 215 i CONTENTS i 1 213 1 213 2 1 4 2 2 6 3 3 6 4 213 7 4 5 9 6 213 9 5 7 1 8 213 1 9 11 1 213 11 11 213 11 6 6.1 12 213 14 6.2 13

PowerPoint プレゼンテーション

ICP-AES, AA ppb - 1% ICP-MS ppt - 100ppm SEM-EDX 0.1% - 100% B - U XRF 0.01% - 100% Na - U EMIA ppm - 100% C, S EMGA EMIA : EMGA ppm - 100% O, N, H Carbon Sulfur Nitrigen Oxygen ISO ISO/TC 17/SC ISO 9556

現場での微量分析に最適 シリーズ Spectroquant 試薬キットシリーズ 専用装置シリーズ 主な測定項目 下水 / 廃水 アンモニア 亜硝酸 硝酸 リン酸 TNP COD Cr 重金属 揮発性有機酸 陰イオン / 陽イオン界面活性剤 等 上水 / 簡易水道 残留塩素 アンモニア 鉄 マンガン

現場での微量分析に最適 シリーズ Spectroquant 試薬キットシリーズ 専用装置シリーズ 主な測定項目 下水 / 廃水 アンモニア 亜硝酸 硝酸 リン酸 TNP COD Cr 重金属 揮発性有機酸 陰イオン / 陽イオン界面活性剤 等 上水 / 簡易水道 残留塩素 アンモニア 鉄 マンガン カドミウム 鉛 六価クロム シアン化物等 飲料 用水管理 残留塩素 鉄 マンガン 等 ボイラー シリカ

1/120 別表第 1(6 8 及び10 関係 ) 放射性物質の種類が明らかで かつ 一種類である場合の放射線業務従事者の呼吸する空気中の放射性物質の濃度限度等 添付 第一欄第二欄第三欄第四欄第五欄第六欄 放射性物質の種類 吸入摂取した 経口摂取した 放射線業 周辺監視 周辺監視 場合の実効線 場合

1/120 別表第 1(6 8 及び10 関係 ) 放射性物質の種類が明らかで かつ 一種類である場合の放射線業務従事者の呼吸する空気中の放射性物質の濃度限度等 添付 第一欄第二欄第三欄第四欄第五欄第六欄 放射性物質の種類 吸入摂取した 経口摂取した 放射線業 周辺監視 周辺監視 場合の実効線 場合の実効線 務従事者 区域外の 区域外の 量係数 量係数 の呼吸す 空気中の 水中の濃 る空気中 濃度限度

日本電子News vol.44, 2012

2_R_新技術説明会（佐々木）

% U: 6.58%, Np, Am:.5%, Pu:.% 5.8% Cs 6.5% Sr %.9%Mo 8.74% Tc.9% TODA C 8 H 7 C 8 H 7 N CH C CH N CH O C C 8 H 7 O N MIDOA C 8 H 7 DOODA NTA + HN(C 8 H 7 ) + H O DCC + SOCl + HN(C 8 H 7 ) + Cl TODA (TODA)

温泉の化学　１

H O 1,003 516 149 124 2,237 1974 90 110 1km 2,400 ( 100 Mg 200 (98 ) 43,665 mg 38,695 mg 19,000 mg 2000 2000 Na-Ca-Cl 806 1970 1989 10 1991 4 ph 1 981 10,000 1993... (^^; (SO_4^{2-}) " " 1973-1987 1970

% 1% SEM-EDX - X Si Ca SEM-EDX SIMS ppm % M M T 100 % 100 % Ba 1 % 91 % 9 % 9 % 1 % 87 % 13 % 13 % 1 % 64 % 36 % 36 % 1 % 34 46

Review on Hair Analysis in the Wakayama Arsenic Case Jun KAWAI Department of Materials Science and Engineering, Kyoto University Sakyo-ku, Kyoto 606-8501, Japan Received 6 December 2014, Revised 29 December

48 13 13 13 38 21 13 3 13 3.1 l l l l l l 4.1.1 5mm 0.5mm 5mm 10 500mL 500mL 500mL 20 1 200 / 4 5 6 3000G 20 G1118 R N 2 10-8 GG Rcm Nrpm 1μm 2 3000G 1 /1 4.1.2PCB PCB 5mm 0.5mm 5mm 10 500mL 500mL 500mL

ッ ー ー ー() () 2.5 () () 21 1) -1 2) -2 10 m 5 7 23 6 1)2) 3) -1-2 H23.4.25 -15-20 4 75 5 1) -1 (5) (3) (3) (2) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (1) (1) 1) ( 23 6 8 ) 2) 22 3)

コロイド化学と界面化学

x 25 1 kg 1 kg = 1 l mmol dm -3 ----- 1000 mg CO 2 -------------------------------------250 mg Li + --------------------------------1 mg Sr 2+ -------------------- 10

RN201602_cs5_0122.indd

ISSN 1349-1229 No.416 February 2016 2 SPECIAL TOPIC113 SPECIAL TOPIC 113 FACE Mykinso 113 SPECIAL TOPIC IUPAC 11320151231 RI RIBFRILAC 20039Zn30 Bi83 20047113 20054201283 113 1133 Bh107 20082009 113 113

1 WSV SIR m/z Analyte RT (Min) SIR m/z Cone voltage (V) Ascorbic Acid (C).91 177 2 Thiamine (B1) 1.1 265 5 Nicotinic Acid (B3) 1.27 124 15 Pyridoxal (

ACQUITY UPLC H-Class ACQUITY QDa Mark E. Benvenuti, Dimple Shah, and Jennifer A. Burgess Waters Corporation, Milford, MA, USA MS ACQUITY QDa UPLC HPLC UV ACQUITY QDa LC EC 1925/26 CFR 21 HPLC 1 LC-MS ACQUITY

JFE JXTG NUC JXTG JX JX 68 4 5-10cm 20m 2 1 1,000 150 33.2 10.6 m/s TIG 1 1,200mm 1,200mm 1 20 2 3 TIG TIG Tungsten Inert Gas 1 1 2 3 TIG 4,000-5,000 33.2 60 JIS A 1323 C C 3.2mm 1,000 150 3m

研究成果報告書

10m 2m Ge Si BaF2 ZnSZnSe Sb-Ge-Sn-S IIR-SF1 1 2 Tungsten SilicideWSi WSi () IIR-SF 1 Sb-Ge-Sn-S 0.85~11μm2.710μm 253 C Al Al 220μm He-Cd laser 1 Exposure Photoresist WSi (a) 500 nm Development RIE WSi

スライド 1

High-k & Selete 1 2 * * NEC * # * # # 3 4 10 Si/Diamond, Si/SiC, Si/AlOx, Si Si,,, CN SoC, 2007 2010 2013 2016 2019 Materials Selection CZ Defectengineered SOI: Bonded, SIMOX, SOI Emerging Materials Various

12-7 12-7 12-7 12-7 12-8 12-10 12-10 12-10 12-11 12-12 12-12 12-14 12-15 12-17 12-18 10 12-19 12-20 12-20 12-21 12-22 12-22 12-23 12-25 12-26 12-26 12-29 12-30 12-30 12-31 12-33 12-34 12-3 12-35 12-36

Fig. 1. Structures of NM394, NAD-358 and NAD-245 Fig. 2. Typical HPLC chromatograms of NM394 in human plasma by organic solvent extraction method (a): Blank plasma (b): Plasma spiked with NM394 and internal

日立評論2008年1月号 : 基盤技術製品

Infrastructure Technology / Products HIGHLIGHTS 2008 HDD 2.5 HDD3.5 HDD 1 Deskstar 7K1000 HDD Hard Disk Drive 2006 5 PC 2.5 HDD HDD 3.5 HDD1 1 2007 3Deskstar 7K1000 3.5 HDD 1149 Deskstar 7K500 2 GMR Giant

報告書 H22-2A-09

061-0293 1757 TEL 0133-23-1211 2.0% 0.5% in vitro QOL Quality of Life 1 MCE-400 400 mpa s Duck Algin 350M M/G 0.8 70 80 C 20% 50 C 1.0% 5 C SV-10 5 C 10 ml E TV 20H model E 1 34 R24 1 ml 5 C 30 6 12 30

% %

4 8 4 5 414.5 172.1 41.5% 39.8 10% 17 186.4 70.8 4 9 10 11 3 1-1 - 2-2 - - 3 - 10% - 4 - 4060% 5560% 60% 40% 3040 1520 1015 411 7 4 11 610 7080 5060 100 3040 13-5 - 1015 4045 3.04.0 5.06.0 1.52.0 1.01.5

000..\..

Bull. Nagoya Univ. Museum No. 20, 79 91, 2004 Quantitative chemical analysis of rocks with X-ray fluorescence analyzer XRF-1800 NAKAZAKI Mineko TSUBOI Motohiro KANAGAWA Kazuyo KATO Takenori SUZUKI Kazuhiro

J. Jpn. Inst. Light Met. 65(6): 224-228 (2015)

65 62015 224 228 ** Journal of The Japan Institute of Light Metals, Vol. 65, No. 6 (2015), 224 228 2015 The Japan Institute of Light Metals Investigation of heat flow behavior on die-casting core pin with

[Ver. 0.2] 1 2 3 4 5 6 7 1 1.1 1.2 1.3 1.4 1.5 1 1.1 1 1.2 1. (elasticity) 2. (plasticity) 3. (strength) 4. 5. (toughness) 6. 1 1.2 1. (elasticity) } 1 1.2 2. (plasticity), 1 1.2 3. (strength) a < b F

表紙030313.PDF

H2 CO (1) (3) (4) () () ( ) ( : 11 ) [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ] [ ]......... [ ] [ ] [ ] [ ] [] [ ] [ ] [ ] [ ] (g) [ ] ) [ ] [ [ ] [ ] [ ] ) ) ) )... [ ] [] [ ] [] [ []........

C el = 3 2 Nk B (2.14) c el = 3k B C el = 3 2 Nk B

I [email protected] 217 11 14 4 4.1 2 2.4 C el = 3 2 Nk B (2.14) c el = 3k B 2 3 3.15 C el = 3 2 Nk B 3.15 39 2 1925 (Wolfgang Pauli) (Pauli exclusion principle) T E = p2 2m p T N 4 Pauli Sommerfeld

1) Y. Kobuke, K. Hanji, K. Horiguchi, M. Asada, Y. Nakayama, J. Furukawa, J. Am. Chem. Soc., 98, 7414(1976). 2) S. Yoshida, S. Hayano, J. Memb. Sci.,

1) Y. Kobuke, K. Hanji, K. Horiguchi, M. Asada, Y. Nakayama, J. Furukawa, J. Am. Chem. Soc., 98, 7414(1976). 2) S. Yoshida, S. Hayano, J. Memb. Sci., 11, 157(1982). 3) J. D. Lamb, J. J. Christensen, J.

170907_BRO_Corning Single-use Technology.indd

Corning Corning Corning / SIP/CIP cgmp ISO 13485 50 ml 500 L 2D 3D Corning HYPERStack 2 Visit www.corning.com/lifesciences/bioprocess for additional product and technical information. EVA ULDPE PE CPC

NewBead_no63_fix.indd

2018 July No.63 C O N T E N T S 7 11 1 5 1 The Interview 2 3 4 2 AW YM-26 YM-55C YM-55CR SM-1FT 1952 27 2007 19 1 7,820 243 004-0879 9 1-1-6 011-883-8400 061-1112 542 011-372-2211 061-3244 1-28-14 0133-64-2227

0911_hyo1.eps

Microsoft Word - 目次注意事項2.doc

I II 2009 1. 2. 12 50 3. 1. 2. 3 ( 0.1g, 0.01g, 0.001g ) 3. 4. 1. 2. ()A4 3. 000005 19 5 11 () 19 5 15 () EDTA " # $ 1000 500 =... mol/l Web 1) p.159 2) 1987pp.14-15 3) 1989pp.58-60 4) http://www.chem.zenkyo.h.kyoto-u.ac.jp/operation/

土木工事共通仕様書（その２）

2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 1 2 3 22 578 582 27 4 5 6 567 7 21 8 9 (9), 10 11 12 13 14 (1) (2) 16 532 35 15 (3) (4) (1) (1) 16 (4) () () () 17 () 18 170 19 20 21 10 22 23 24 25 26 27

Pa Pa Pa MPa Pa Pa Pa Pa Pa Pa MPa 0 0.01739 0.1087d.0126 V L 2 V d 2 g 2 d 4Q 2 4 d ッ 1.85 Q k 4.87 D k Q k 4.87 D k 1.85 /min Q /min Pt Pe Pf Pv Pn EL 90 TB 90 GV CV RV ST DV AL

2 Zn Zn + MnO 2 () 2 O 2 2 H2 O + O 2 O 2 MnO 2 2 KClO 3 2 KCl + 3 O 2 O 3 or 3 O 2 2 O 3 N 2 () NH 4 NO 2 2 O + N 2 ( ) MnO HCl Mn O + CaCl(ClO

1 [1]. Zn + 2 H + Zn 2+,. K Ca Na Mg Al Zn Fe Ni Sn Pb H Cu Hg Ag Pt Au H (H + ),,. [2] ( ) ( ) CO 2, S, SO 2, NH 3 () + () () + () FeS Fe S ( ) + ( ) ( ) + ( ) 2 NH 4 Cl + Ca(OH) 2 Ca O + 2 NH 3,.,,.,,.,.

平成26年度 化学物質分析法開発報告書

N,N- N,N-Dimethylacetamide Acethyldimethylamine CAS 127-19-5 C 4 H 9 NO 87.12 ~ 87.14 87.68413 163-165 C 1) - 18.59 C 2) 1 mg/l 25 C 3) 3.3 hpa 2 C 4) log P ow -.77 2).9429 2/4 C 1) 3.1 4) 1.31E - 8 atm-m

Agilent 5100 ICP-OES ICP-OES Agilent 5100 (SVDV) ICP-OES ICP-OES (DSC) ICP-OES 1 1 Vista Chip II (DSC) (CCI) RF Agilent ICP Expert DSC Agilent

Agilent 5100 ICP-OES ICP-OES Agilent 5100 ICP-OES ICP-OES Agilent 5100 (SVDV) ICP-OES ICP-OES (DSC) ICP-OES 1 1 Vista Chip II (DSC) (CCI) RF Agilent ICP Expert DSC Agilent 5100 3 (SVDV) : (VDV) : SVDV

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9 1-1 9 9 10 11 13 17 1-2 18 18 19 20 21 21 22 23 24 26 2-1 26 26 26 30 33 35 2-2 36 36 38 40 44 44 45 3-1 45 45 47 49 51 53 58 3-2 59 59 60 62 64 68 69 70 4-1 70 70 72 4-2 73 73 74 74 75 76 77 77 79 80

JTA108fiü“e02/3.3/CID

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GE Measurement & Control Solutions DPI620 HART - 95% 2 MPa ( 20 bar ) - 95% 10 MPa ( 100 bar ) - 0 +100 MPa ( 0 1000 bar ) 0.0025% rdg + 0.002% FS ( ma ) ( mv V ) HART PC Windows CE USB WiFi IEEE802.11

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R OPA OPA OPA OPA OPA OPA OPA OPA OPA µ µ ± ± µ OPA ±± ±± ± µ Offset Trim Offset Trim In OPA +In -Pin DIP, SO- Output NC OPA Out A In A +In A A D Out D In D +In D Out A In A +In A A B Out B In B +In B