2. 研 究 実 施 内 容 (1) 研 究 のねらい 太 陽 電 池 の 薄 膜 化 と 高 効 率 化 を 同 時 に 実 現 するためには 薄 膜 の 光 吸 収 効 率 を 増 加 させる 必 要 がある 本 研 究 では 吸 収 効 率 の 高 い 材 料 を 実 現 する 手 段 として

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1 太 陽 光 を 利 用 した 独 創 的 クリーンエネルギー 生 成 技 術 の 創 出 平 成 21 年 度 採 択 研 究 代 表 者 H24 年 度 実 績 報 告 堀 越 佳 治 早 稲 田 大 学 先 進 理 工 学 部 教 授 励 起 子 吸 収 による 増 感 を 利 用 した 高 効 率 太 陽 電 池 の 研 究 1. 研 究 実 施 体 制 (1) 堀 越 グループ( 早 稲 田 大 学 ) 1 研 究 代 表 者 : 堀 越 佳 治 ( 早 稲 田 大 学 先 進 理 工 学 部 教 授 ) 2 研 究 項 目 超 格 子 太 陽 電 池 の 理 論 的 検 討 GaAs 系 超 格 子 太 陽 電 池 の 研 究 カルコパイライト 結 晶 成 長 の 研 究 カルコパイライト 系 太 陽 電 池 の 研 究 (2) 松 岡 グループ( 研 究 機 関 別 ) 1 主 たる 共 同 研 究 者 : 松 岡 隆 志 ( 東 北 大 学 金 属 材 料 研 究 所 教 授 ) 2 研 究 項 目 MOVPE 法 による 超 格 子 構 造 作 成 法 の 研 究 InGaAlN 系 超 格 子 太 陽 電 池 作 成 法 の 研 究 InGaAlN 系 結 晶 成 長 および 評 価 の 研 究 デバイス 製 作 と 評 価 に 関 する 研 究 結 晶 成 長 シミュレーション 1

2 2. 研 究 実 施 内 容 (1) 研 究 のねらい 太 陽 電 池 の 薄 膜 化 と 高 効 率 化 を 同 時 に 実 現 するためには 薄 膜 の 光 吸 収 効 率 を 増 加 させる 必 要 がある 本 研 究 では 吸 収 効 率 の 高 い 材 料 を 実 現 する 手 段 として 励 起 子 吸 収 を 積 極 的 に 利 用 する このためには 励 起 子 吸 収 が 大 きい 材 料 や 構 造 を 用 いる 必 要 がある 励 起 子 束 縛 エネルギー の 高 い 材 料 を 用 いることが 最 も 有 効 な 手 段 であるが 励 起 子 束 縛 エネルギーの 低 い 材 料 であって も 超 格 子 構 造 を 用 いることにより 励 起 子 吸 収 を 促 進 することができる 本 研 究 では 励 起 子 束 縛 エネ ルギーの 高 い 材 料 として CuGaSe 2 (CGS)および In x Ga y Al 1-x-y N 超 格 子 材 料 として Al x Ga 1-x As/GaAs 超 格 子 および GaN/In x Ga y Al 1-x-y N 超 格 子 を 取 り 上 げ 吸 収 効 率 増 大 の 確 認 と 高 効 率 太 陽 電 池 の 実 現 を 目 指 して 研 究 を 進 めている とくに GaN/In x Ga y Al 1-x-y N 超 格 子 では この 系 で 最 もバンドギ ャップが 小 さい InN の 高 品 質 化 を 進 めると 共 に 高 い In 組 成 を 持 つ In x Ga y Al 1-x-y N 結 晶 の 実 現 を ねらって 研 究 を 進 めた (2)これまでの 研 究 の 概 要 カルコパイライト 系 の 材 料 の 一 つ CGS は バンドギャップが 比 較 的 小 さい(1.68eV)にも 拘 らず 高 い 励 起 子 束 縛 エネルギー(20meV) をもつ しかし CGS は p 型 伝 導 を 示 し n 型 結 晶 の 成 長 がき わめて 困 難 である pn 接 合 太 陽 電 池 を 実 現 するためには n 型 結 晶 の 取 得 が 必 要 であり このた め CGS の 高 純 度 化 と n 型 ドーピングの 研 究 を 進 めてきた 現 在 までに n 型 化 は 実 現 していないが 添 加 したド-パントがドナーとして 作 用 していることが 確 認 されている AlGaAs/GaAs 超 格 子 太 陽 電 池 に 関 しては 理 論 と 実 験 により 励 起 子 吸 収 による 増 感 を 確 認 すると 共 に 結 晶 性 とプロセス 技 術 の 改 善 により 効 率 20%を 実 現 した 一 方 GaN/In x Ga y Al 1-x-y N 超 格 子 では 太 陽 光 スペクトルに 対 応 した 超 格 子 を 実 現 するために これまでにこの 混 晶 系 の 最 も 長 波 長 に 相 当 する InN 結 晶 の 高 品 質 化 を 実 現 した この 研 究 では InN における 気 相 - 固 相 間 の 高 い 窒 素 平 衡 蒸 気 圧 に 対 処 す るため 本 プロジェクトで 独 自 に 開 発 した 加 圧 型 有 機 金 属 気 相 成 長 (PR-MOVPE) 法 によ り 結 晶 品 質 の 改 善 を 行 った (3) 今 年 度 の 進 捗 情 況 1CGS 高 品 質 化 に 関 する 研 究 : 前 年 度 に 引 き 続 き 高 品 質 CGS の 成 長 を 目 指 して 格 子 整 合 性 の 良 い GaAs 基 板 上 への 成 長 の 研 究 を 進 めた その 結 果 正 孔 濃 度 を cm -3 台 に 低 減 でき たが この 結 晶 に 対 するドナー 不 純 物 のドーピングにも 拘 らず 結 晶 は 依 然 として p 型 伝 導 を 示 した しかしフォトルミネッセンスには 強 いドナー アクセプター 対 発 光 が 観 察 され 不 純 物 原 子 がドナー として 作 用 していることが 確 認 された また ncds/pcgs ヘテロ 接 合 構 造 の 検 討 も 進 めた 2Al x Ga 1-x As/GaAs 超 格 子 太 陽 電 池 : これまでに 二 次 元 電 子 構 造 を 持 つ 超 格 子 太 陽 電 池 の 効 率 と 三 次 元 的 バルク 太 陽 電 池 の 相 違 を 理 論 的 に 明 らかにし AlGaAs/GaAs 超 格 子 太 陽 電 池 の 特 性 より 励 起 子 の 効 果 を 確 認 した さらに p 型 AlGaAs 窓 層 の 組 成 最 適 化 により 1sun 効 率 とし 2

3 て20% V OC = 1.08 V を 実 現 した 3 高 品 質 InN の 成 長 :InN 結 晶 の 高 品 質 化 のため 加 圧 下 で 成 長 できる 有 機 金 属 気 相 成 長 装 置 (PR-MOVPE)を 開 発 し InN 薄 膜 結 晶 の 高 品 質 化 を 進 めた これによって 超 格 子 の 形 成 に 不 可 欠 な 平 坦 な 成 長 面 を 持 つ 高 品 質 InN 結 晶 薄 膜 の 成 長 に 努 めた 4In x Ga y Al 1-x-y N の 混 和 領 域 の 拡 大 :この 系 のバンドギャップを 太 陽 電 池 に 適 した 値 に 近 づけるためには In 分 率 の 増 大 が 不 可 欠 である このために PR-MOVPE に 加 えて 結 晶 表 面 のステップを 利 用 することによる 結 晶 中 への In の 取 り 込 み 効 率 の 上 昇 を 図 った (4) 今 期 の 研 究 成 果 1CGS 高 品 質 化 に 関 する 研 究 : 残 留 正 孔 濃 度 を cm -3 台 に 低 減 できたにもかかわらず n 型 結 晶 は 得 られていない しかしドナー 不 純 物 の 添 加 により 強 いドナー アクセプター 対 発 光 が 観 察 されたことから 確 実 にドナーは 増 加 していると 考 えられる n 型 化 実 現 の 研 究 と 並 行 して ncds/pcgs ヘテロ 接 合 の 試 作 を 試 み CGS のバンド 構 造 から 予 想 される 効 率 スペクトルを 得 た 2Al x Ga 1-x As/GaAs 超 格 子 太 陽 電 池 : Al x Ga 1-x As/GaAs 超 格 子 吸 収 層 の 厚 さを 増 加 させるとと もに p 型 AlGaAs 窓 層 構 造 を 最 適 化 し 1sun 効 率 として20% V OC = 1.08 V を 実 現 した 同 時 に 製 作 した2 倍 の 吸 収 層 厚 を 持 つ GaAs pin 太 陽 電 池 を 凌 駕 する 特 性 を 得 た( 図 1 2) さらなる 高 効 率 を 狙 って AlSb/GaSb 系 超 格 子 を 用 いた 間 接 バンド 伝 導 太 陽 電 池 を 提 案 した 3 高 品 質 InN の 成 長 :PR-MOVPE 法 を 活 用 するとともに サファイア 基 板 上 での InN 成 長 における 表 面 極 性 依 存 性 を 調 べ 平 坦 な 成 長 層 を 得 る 上 で N 極 性 が 特 に 優 れていること を 発 見 した これにより 平 坦 な 成 長 面 を 持 つ InN 薄 膜 結 晶 の 成 長 に 成 功 した( 論 文 10) 4In x Ga y Al 1-x-y N の 混 和 領 域 の 拡 大 :この 問 題 の 解 決 にも N 極 性 面 への 成 長 が 極 めて 有 効 であることを 見 出 した 具 体 的 に 得 られた In 組 成 は Ga 極 性 面 上 の In x Ga y Al 1-x-y N では 4% であるのに 対 して N 極 性 面 上 では 12%と 遙 かに 高 くなった さらに 結 晶 表 面 の 原 子 ステ ップを 利 用 することによる 結 晶 中 への In の 取 り 込 み 効 率 の 上 昇 を 確 認 した 3

4 超 格 子 : 吸 収 層 厚 :1.5µm V OC =1.08 V I SC =22.3 ma/cm 2 FF: 82.3 %?= % 参 照 用 GaAs:3.0µm V OC =0.99 V I SC =23.3 ma/cm 2 FF: 82.8 %?= % 図 1 超 格 子 太 陽 電 池 の 効 率 図 2 超 格 子 太 陽 電 池 の 出 力 特 性 (5) 今 後 の 見 通 し 1 CGSの n 型 化 と 並 行 してCIS/CGS 超 格 子 による 変 調 ドーピングによる n 型 化 の 検 討 2 Al x Ga 1-x As/GaAs 超 格 子 太 陽 電 池 では 最 適 化 と 光 子 再 利 用 によりレコードを 目 指 す 3 高 品 質 InN の 成 長 :InN の 残 留 電 子 濃 度 を 低 減 し InN 太 陽 電 池 の 実 現 4 In x Ga y Al 1-x-y N 太 陽 電 池 : PR-MOVPE 法 N 極 性 面 の 利 用 表 面 原 子 ステップの 応 用 などに より In 分 率 を 増 加 させ 太 陽 光 スペクトルに 整 合 する 超 格 子 を 実 現 し 太 陽 電 池 を 製 作 3.. 成 果 発 表 等 (3-1) 原 著 論 文 発 表 論 文 詳 細 情 報 1. Miki Fujita, Atsushi Kawaharazuka, and Yoshiji Horikoshi, Characteristics of CuGaSe2 layers grown on GaAs substrates, Journal of Crystal Growth, (DOI: / /j.jcrysgro ) 2. Jiro Nishinaga and Yoshiji Horikoshi, Crystalline and electrical characteristics of C60 uniformly doped GaAs layers, Journal of Crystal Growth, (DOI: / j.jcrysgro ) 3. Marlene Zander, Jiro Nishinaga, and Yoshiji Horikoshi, Selective area growth of InAs nanostructures on faceted GaAs microstructure by migration enhanced epitaxy, Journal of Crystal Growth, (DOI: /j.jcrysgro ) 4. K. Prasertsuk, Y. H. Liu, T. Kimura, Y. T. Zhang, T. Iwabuchi, R. Katayama, and T. Matsuoka, "Relationship between Residual Carrier Density and Phase Purity in InN Grown by Pressurized-Reactor MOVPE", phys. stat. sol. (c), vol. 9, No. 3-4, pp (2012) (DOI: /pssc ) 5. J. G. Kim, Y. Kamei, A. Kimura, N. Hasuike, H. Harima, K. Kisoda, Y. H. Liu, and T. 4

5 Matsuoka, "Raman-scattering Characterization of InN Films Grown by Pressurized Metalorganic Vapor Phase Epitaxy", phys. stat. sol. (b), vol. 249, No. 4, pp , 2012 (DOI: /pssb ) 6. T. Kimura, K. Prasertsuk, Y. Zhang, Y. Liu, R. Katayama, and T. Matsuoka, "Phase Diagram on Phase Purity of InN grown Pressurized-Reactor MOVPE", phys. stat. sol. (c), vol. 9, No. 3-4, pp , 2012 (DOI: /pssc ) 7. J. H. Choi, S. Kumar, S. Y. Ji, K. Shojiki, T. Hanada, R. Katayama, and T. Matsuoka, "Effect of Nitridation on Indium-composition of InGaN Films", Key Eng. Mater., vol. 508, pp , 2012 (DOI: /KEM ) 8. R. Katayama, Y. Fukuhara, M. Kakuda, S. Kuboya, K. Onabe, S. Kurokawa, N. Fujii, and T. Matsuoka, "Optical Properties of the Periodic Polarity-inverted GaN Waveguides", Proc. SPIE, vol. 8268, pp , 2012 (DOI: / ) 9. K. Shojiki, T. Hanada, T. Shimada, Y. H. Liu, R. Katayama, and T. Matsuoka, "Tilted domain and indium content of MOVPE-grown InGaN layer on m-plane GaN substrate", Jpn. J. Appl. Phys., vol. 51, No. 4, pp. 04DH01 1-4, 2012 (DOI: /JJAP.51.04DH01) 10. T. Iwabuchi, Y. H. Liu, T. Kimura, Y. T. Zhang, K. Prasertsuk, H. Watanebe, N. Usami, R. Katayama, and T. Matsuoka, "Effect of Phase Purity on Dislocation Density of Pressurized-Reactor Metalorganic Vapor Phase Epitaxy Grown InN", Jpn. J. Appl. Phys. vol. 51, No. 4, pp. 04DH02 1-4, 2012 (DOI: /JJAP.51.04DH02) (3-2) 知 財 出 願 1 平 成 24 年 度 特 許 出 願 件 数 ( 国 内 3 件 ) 2 CREST 研 究 期 間 累 積 件 数 ( 国 内 3 件 ) 5

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