ULTRA HIGH VACUUM 人類社会の進歩発展に貢献する Contribute to The Advancement of Society and Humankind これは京セラ株式会社の経営理念の一節です 社会のインフラ整備や未来に向けた科学研究の一翼を担うことで 次の世代の生活を豊かに

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1 ULTRA HIGH VACUUM

2 ULTRA HIGH VACUUM 人類社会の進歩発展に貢献する Contribute to The Advancement of Society and Humankind これは京セラ株式会社の経営理念の一節です 社会のインフラ整備や未来に向けた科学研究の一翼を担うことで 次の世代の生活を豊かにする それが私たち京セラ株式会社の使命です This is a passage from the management philosophy of Kyocera Corporation. Kyocera's mission is to enrich the lives of the next generation by contributing to infrastructure development and undertaking scientific research for the future society. 半導体製造装置 Semiconductor Processing Equipment 各種端子部品 Feedthroghs 自動車 LNG 関連 Automotive EV リレー部品 EV Relay Part 電力 エネルギー Energy 真空スイッチ部品 Vacuum Interrupter Part

3 ULTRA HIGH VACUUM 航空 宇宙 Aerospace 研究機関 R&D 加速器用部品 Accelerator part 通 信 Communication 電極付きインダクタコア Inductor Cores with Electrode お客様のご要求に沿った設計提案 Design Proposals to Meet Customers Requirements 京セラが長年培ったセラミック製造 及びメタライズ技術のノウハウ をベースに お客様のご要求に対して最適な形状提案を致します Kyocera proposes optimum shapes of fine ceramic components to meet customers requirements based on the ceramic manufacturing and metallization technologies that Kyocera has cultivated over many years. セラミック製造技術 Manufacturing Technologies of Ceramic Components 創業以来一貫して自社生産で培っ たノウハウにより 高品質なファ インセラミック部品を提供します メタライズ技術 Metallization Technologies 長年培ったメタライズ技術を用い て お客様のご使用環境に最適な 手法で製造を行います Kyocera provides highquality fine ceramic components by utilizing the expertise we have accumulated through consistent inhouse manufacturing since our establishment. Kyocera manufactures components that are best suited to the customer's usage environment using the metallization technologies we have developed over many years. シミュレーション技術 商品開発力 Simulation Technologies Product Development Capability セラミック / メタライズ共に自社生 産で 双方の条件を考慮した正確な シミュレーションを実現します 一貫生産ラインにより 課題に対し て様々な切り口からアプローチが可 能で新しい製造手法を検討します Inhouse manufacturing of both fine ceramics and metallized components enables highprecision simulation that takes the conditions of both into consideration. Taking advantage of our integrated production line, Kyocera will investigate a novel manufacturing method that enables different approaches from various points of view.

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5 目次 1. Were you aware of the vacuum components? 4 ~ 真空部品のこと ご存知でしょうか?~ 2. Ceramic to Metal Assemblies 6 ~ 長年培った京セラのメタライズ技術 ~. Ordering Process 7 ~ 製品の選定について~ 4. For Product Selection 8 ~ 製品選定ガイド~ 丸形多ピン端子 Circular MultiPin Feedthroughs 10 MultiPin Connectors (Bayonet Lock Series) MultiPin Connectors (MS Series) 同軸端子 Coaxial Connectors 16 BNC Type SHV Type MHV Type N Type SMA Type LM Type Aluminum Sleeve Type Feedthroughs 26 Isolators Sapphire Windows 5 5. Customdesigned Ceramic Components 7 6. Technical Information 46 製造工程 Material Process セラミックスの特性表 Characteristics of Ceramics 接合金属の特性表 ( 代表例 ) Characteristics of Metal (Example) メタライズ技術各種素材と加工 Metallization Technologies and Materials セラミックスと金属の基本的な接合構造 Basic Design of CeramictoMetal Bonding 形状と加工精度 Precision Shaping and Matching Material Comparison Chart

6 Were you aware of the vacuum components? 真空部品のこと ご存知でしょうか? 京セラの超高真空用メタライズ部品は 真空 液体 ガス環境など 大気中とは異なる環境で製造や実験を行うために使用される密閉容器 ( チャンバー ) に使用されています 一般的に 導通部と絶縁部を気密封止した構造となっており 京セラでは絶縁部にファインセラミックスを使用しております この真空部品は 溶接によってフランジへ取り付けられ O リングやガスケットなどを使用して気密性を確保し チャンバーへ取り付けられます Kyocera's ultrahigh vacuum metallized components are utilized in sealed containers (chambers) for manufacturing and scientific experimentation in different environments, such as vacuum, liquid, and gas environments. These components generally have a structure that is hermetically sealed between the conductive portion and the insulating portion. Kyocera uses fine ceramics for the insulation section. The vacuum component is welded to the flange and installed in a chamber using an O ring and a gasket to secure hermeticity. 種類 気密端子 Vacuum Feedthroughs 概要 ハーメチックシール フィードスルー 電流導入端子などとも呼ばれ 密閉容器において信号や電流 電圧の出し入れを行う目的で容器に取り付けられます Also called hermetic seals, feedthroughs, or vacuum current feedthroughs. Attached to sealed containers for taking in and putting out signals or current/voltage. 絶縁部品配管の接続部の絶縁などを目的に使用されます Electrical Insulator Parts Used for electrical insulation of piping connections サファイア窓 Sapphire Windows チャンバー内部の様子を観察するための単結晶サファイアを利用した覗き窓です Optical windows featuring singlecrystal sapphire to observe the inside of the chamber. 一般的な気密端子の部品構成イメージ Image of component constitution for conventional vacuum feedthrough シール材 Sealing Part 気密端子 + 取り付けフランジ Feedthrough + Frange チャンバー Chambers 4

7 非金属 ( セラミックス ) と金属の接合方法 CeramictoMetal Bonding Technology 京セラでは 超高真空用部品を製造する際 セラミック部材と金属部材をメタライズ + ロウ付けで接合しています では なぜロウ付け接合なのでしょうか 一般的にセラミックスと金属を接合する場合 樹脂による接合 ガラスによる接合 そしてロウ付けによる接合の大きく 種類に分けられます 樹脂接合では 樹脂からアウトガスが発生し真空度が上がらなくなるため 高い真空環境下では使用ができません ガラス接合では アウトガスの発生は抑制できますが 高真空下では接合強度が不足してしまい 気密性が確保できません これに対し メタライズ + ロウ付けによる接合は 超高真空という過酷な環境でも高い気密性と接合強度を示します 京セラの超高真空用部品は 長年培ったファインセラミックスの製造技術と メタライズ技術を融合させ 厳格な基準の下で検査を行い 宇宙開発など特に信頼性が必要な分野でも採用されています 気密性 Hermeticity 絶縁性信頼性 Insulation Reliability Kyocera utilizes metallization and brazing for bonding ceramic and metallic members to manufacture ultrahigh vacuum components. What are the advantages of brazing? Generally, ceramictometal bonding technology is divided into the following types: bonding with resin, bonding with glass, and bonding with brazing. Components using resin bonding cannot be used in ultrahigh vacuum environments because the vacuum will not increase due to outgas from the resin. Glass bonding cannot maintain hermeticity due to insufficient bonding strength in ultrahigh vacuum environments, although it can prevent outgas generation. In contrast, bonding by metallization and brazing enables high hermeticity and bonding strength, even in the harsh environment of an ultrahigh vacuum. By integrating the fine ceramic manufacturing and metallization technologies that have been cultivated for many years, Kyocera's ultrahigh vacuum components are produced and inspected in accordance with strict standards. Applications are expanding into areas requiring precise reliability, such as space development. 5

8 Ceramic to Metal Assemblies 長年培った京セラのメタライズ技術 強度と気密性を併せ持つメタライズ + ロウ付け接合 Strength and Hermeticity Achieved by Metallization and Brazing Bonding Technology セラミック部品と金属部品を強固に そして高気密に接合するためには ロウ付けで接合することが必要です しかし 一般にセラミックスと金属は接合性が悪く 直接接合しても強度が低く使用できません そこで セラミックス表面に金属層を形成し ( メタライズ ) それを下地にしてロウ付け接合を行うことで 強固で高い気密性を持ったセラミックスと金属の接合を実現しています Bonding with brazing is essential for achieving ceramictometal bonding with high strength and high hermeticity. However, the direct bonding of ceramics with metal generally results in poor characteristics leading to an inability to use the resulting products due to the weak strength. We therefore utilize metallization and brazing bonding technology, which first creates a metal layer on the ceramic surface (metallization) and then brazes the metal on the metallic surface to achieve ceramictometal bonding with high strength and hermeticity. メタライズ層断面図 ( イメージ図 ) Metallized Layer(Image) ロウ材 (Brazing Material) Ni メッキ (Nickel Plating) メタライズ層 (Metallized Layer) 金属部品 Metal Part セラミック部品 Fine Ceramics メタライズ部品の製造工程 Metallization Process セラミック部品 Fine Ceramics Part ロウ付け接合 Brazing 長年培ったファインセラミックスの製造技術により 高精度のセラミック部品を製作 Making highprecision ceramic components by means of fine ceramic manufacturing technologies with a long history of cultivation. 金属部品とメタライズ層を形成したセラミック部品をロウ付けで接合 Bonding a metal part to a ceramic part with a metallized layer by brazing. メタライズ層形成 Forming Metallized Layer セラミックスと金属を接合するためのメタライズ層を形成 Forming a metallized layer for bonding ceramics to the metal. フランジ溶接 Welding 金属部品とフランジなどを溶接で接合する Welding a metal part to another part such as a flange. Ni メッキ Nickel Plating メタライズ層の保護とロウ材の流れ性を補助するため Ni メッキを施す Nickel plating to protect the metallized layer and support the flowability of brazing material. He リーク検査 Helium Leak Test 全ての完成品に対して He リーク検査を実施 気密性が確保されているかを確認する Every finished product is subject to a helium leak test to ensure hermeticity. 6

9 For product selection 製品の選定について 京セラでは気密端子のほか 金属フランジの取り付け 特殊形状の端子など お客様のご要望に応じたカスタム対応も承っており ご用途に対応する形状 / 材質選びのお手伝いをいたします In addition to the vacuum feedthrough of standard configuration, Kyocera can provide custommade products including feedthroughs with a metal flange attached or those with a specific configuration. We will help customers to select the shapes/materials that meet their requirements. Step1 お問い合わせ Inquiries カタログ掲載品から選ぶ 製品選定ガイドを参照下さい カスタム製作のご用命 ご要望の製品の詳細をご連絡下さい Choose from Kyocera's standard products Please refer to the Product Selection Guide Order customized products Please inform us of the details of the required product. 各種端子部品の他 絶縁継手やサファイア窓など 取り揃えています Kyocera offers a variety of standard shape products including isolator flanges and sapphire windows as well as various feedthrough components. 図面 ( 形状がイメージできるもの )Drawing 使用条件 Operating Conditions / 用途 Application 差し支えない範囲で詳細をご連絡下さい 数量 Quantity 納期 Required Delivery Date その他ご要望やお困りの点 Other Requests or Issues Step2 ご提案 Proposal ご連絡いただいたご要望に対して 可能な限り検討案を準備し 担当営業よりご一報します We will provide you with our proposal for a product that meets your requirements. Step ご注文 Order 合意を致しました仕様に基づき 製造を開始致します Production will bigin according to the agreedupon specifications and terms. Step4 製造 Production Step5 納品 Delivery 弊社からの供給内容 Services Provided by Kyocera カタログ掲載品 Catalog Spec カタログ掲載品 + フランジ Catalog Spec + Flange カスタム製作のご用命 (Customized Products) 気密部品 Feedthroughs 弊社 Kyocera フランジ Flange 弊社 フランジの形状をお知らせ下さい Kyocera Please inform us of the flange shape. シール材 Sealing Part チャンバー Chambers 手配 / 取り付けはお客様にてご対応 Arrangement/installation are addressed by customers. 手配 / 取り付けはお客様にてご対応 Arrangement/installation are addressed by customers. ご要望に応じて端子のみ チャンバー含む製作まで承ります We will accommodate customers requirements, ranging from only providing the required feedthrough to manufacturing the entire chamber. 7

10 製品選定ガイド製品の選定について 気密端子 Vacuum Feedthroughs 気密端子は ハーメチックシールなどとも呼ばれ 主にチャンバー内外の信号や電流の導入口として使用されています 京セラでは多ピン端子の他 同軸端子や電流導入端子を取り扱っており ご要求に応じてフランジなどの接合も行います Vacuum feedthroughs, also called hermetic seals, feedthroughs, or vacuum current feedthroughs, are attached to chambers mainly for taking in and putting out signals or current. Kyocera can provide standard products including feedthroughs, coaxial feedthroughs and multipin terminal feedthroughs, and can accommodate customers requirements such as flange bonding. 多ピン端子 MultiPin Feedthroughs 主に複数信号用 Mainly for multiple signals 同軸端子 Coaxial Connectors 主に高周波用 Mainly for high frequency 電流導入端子 Feedthroughs 主に大電流用 Mainly for high Current P.10 P.16 P.26 絶縁継手 Isolator Flanges サファイア窓 Sapphire Windows 真空用の規格フランジに合わせた絶縁フランジです 標準寸法の他 ご希望の電圧 用途に合わせたものが製造可能です Isolator flanges for vacuum application. Standard sizes and custommade flanges for voltage/usage requirements are available. 単結晶サファイアを使った覗き窓です 真空用の規格フランジに合わせたサイズの他 耐圧用の窓の製作も行います 光学用の計測窓には 無反射コーティングを行うこともできます Single crystal sapphire is used. In addition to sizes for standard vacuum flanges, pressureresistant windows are available. Antireflection coating is optional for the optical measurement window. P. P.5 8

11 フランジの選定 ( オプション ) Flange selection (optional) クランプ Clamp フランジの取り付け方法 Methods of attaching flanges ボルト締め Bolting KF/NW VF/VG O リング Oring シール方法 Sealing method CF/ICF 金属ガスケット Metal gasket 製品設計時の条件 Conditions for Product Design 電圧 Voltage: 定格電圧ではなく 耐電圧 ( 試験電圧 ) を記載 Withstand voltage (test voltage) is described instead of rated voltage. 雰囲気 Atmosphere: : 常温 常湿 1 気圧の清浄な屋内 Outside, atmosphere: clean indoors, at normal temperature and humidity, 1 atm : 高真空下 (1*10 1 Pa 以下 ) Inside, vacuum: under high vacuum (1*10 1 Pa or less) 温度 : 連続使用 200 Temperature: continuous use at 200 ベーキング ( 最大 10 回まで ) Baking: (up to 10 times) * 昇温 降温時は 5 / 分より緩い温度勾配 *Smaller temperature gradient than 5 /minute when temperature is rising or falling Atmosphere 清浄な屋内 Clean indoors 常温 常湿 1 気圧 At normal temperature and humidity, 1 atm Vacuum 高真空下 (1*10 1 Pa 以下 ) Under high vacuum (1*10 1 Pa or less) ご使用上の注意点 Precautions for Use 衝撃や無理な力をかけないでください Do not apply excessive force or impact. 大きな熱衝撃が加わると破損することがあります Might be damaged if thermal shock is applied. 汚れた場合 薬品や水を使って洗浄しないでください アルコール等を浸み込ませたガーゼで軽くふき取ってください Do not use chemicals or water to wash away dirt. Lightly wipe off dirt with gauze soaked in alcohol or similar. ロウ付けで加熱処理された銅材は 一般より柔らかくなります Heatprocessed brazing copper material is softer than conventional products. 製品とケーブルをボルト ナット等で結線する場合 ロウ付け部に大きな力が加わらないようにしてください Do not apply excessive force to the brazed part when connecting products and cables with bolts / nuts. 溶接時は入熱量を加減してください ( セラミックス近辺が 60 以下が望ましい ) Adjust the heat input while welding (60 or less in the vicinity of ceramics). エポキシ樹脂などでピン部をモールドしないでください 熱膨張差が大きくセラミックスやピンのシール部が割れる恐れがあります Do not mold pins with epoxy resin; it might cause cracks on the sealed parts of ceramics and pins due to significant differences in thermal expansion. 製品に電流を流すと発熱します 配線の際 温度が上がりすぎないよう ご注意下さい Current flows in the product can generate heat. Please ensure that the temperature does not rise too much when wiring. 9

12 Circular MultiPin Feedthroughs 丸形多ピン端子 計測 制御用の丸形多ピンフィードスルーです バイヨネットロック型のプラグ MIL 規格準拠のプラグ それぞれと組み合わせが可能な製品があります ストレートチューブ構造の他 O リングシール可能なフランジ付きのもの スリーブの材質をアルミニウムへの変更が可能です Circular multipin terminal feedthroughs for measurement and control use. Compatible with Bayonet lock socket or MIL standard compliant socket. In addition to straight tube configuration, Kyocera can fabricate various shapes and types including those with flanges for Oringseals, with aluminum sleeves, or with K and T thermocouples. Bayonet Lock Series (Burndy) MS Series バイヨネットタイプで容易に脱着が可能な多ピン端子で バイヨネット用のボスがあるのが特徴です Bayonettype featuring multipin terminals for easy detachment and dedicated boss for Bayonet. MIL 規格に準拠した多ピン端子で ネジ山の加工が施されています MIL standard compliant multipin terminals with machined thread. (Bayonet Lock Series) プラグの組み合わせ例 (Bayonet Lock Series) Applications in Combined Sockets プラグ Plug コンタクト Contact インサート Resin Insert フランジ付き端子 Connector with Frange 10

13 ULTRA HIGH VACUUM Multipin Connectors Bayonet Lock Series 4PIN φ1.57 φ15.1 CERAMIC Al2O 5 [1.xPa m³/s] 196 G104S RC20M1ELD28 φ19 φ1.57 [1.xPa m³/s] 12PIN φ22.2 φ G1288S RC20M1ELD28 [1.xPa m³/s] φ25. φ G6A1492SNEJG インサート Resin Insert G1492S RC20M1ELD D.C 0 CERAMIC Al2O PIN 196 G6A1288SNEJG インサート Resin Insert 1010 CERAMIC Al2O D.C G6A104SNEJG インサート Resin Insert 1010 CERAMIC Al2O D.C 0 8PIN 2220 [1.xPa m³/s] D.C G6A1619SNEJG インサート Resin Insert G1619S RC20M1ELD28 11

14 ULTRA HIGH VACUUM Multipin Connectors Bayonet Lock Series 22PIN (Aluminum Sleeve へ変更可能 ) CERAMIC Al2O φ28.5 φ [1.xPa m³/s] 22PINThrough 196 G1822S RC20M1ELD28 φ28.5 φ1.57 [1.xPa m³/s] G1822S RC20M1ELD28 φ1.8 φ1.57 [1.xPa m³/s] 48PIN (Aluminum Sleeve へ変更可能 ) φ8 φ G6A200SNEJG インサート Resin Insert G200S RC20M1ELD28 [1.xPa m³/s] D.C D.C 0 CERAMIC Al2O G6A1822SNEJG インサート Resin Insert 1010 D.C 0 CERAMIC Al2O 0PIN G6A1822SNEJG インサート Resin Insert 1010 CERAMIC Al2O D.C G6A2448SNEJG インサート Resin Insert G2448S RC20M1ELD28

15 Multipin Connectors (Hermetic Seal Type) Bayonet Lock Series 4PIN Φ15.1mm 8PIN Φ19.0mm 12PIN Φ22.2mm 19PIN Φ25.mm 22PIN Φ28.5mm 0PIN Φ1.8mm 48PIN Φ8.0mm SPEC Part Number Pin Qty 許容電流値 Current 耐電圧 Voltage 絶縁抵抗 Insulation 気密度 Leak rate [1.xPa m³/s] ベーキング温度 Bakeout Temp 低温温度 Cooling PIN 90 8PIN PIN PIN PIN PIN PIN D.C

16 Multipin Connectors MS Series Part Number SHELL SIZE Pin Qty Pin Dia. A B C D E 許容電流値 Current 耐電圧 Voltage 絶縁抵抗 Insulation SPEC 気密度 Leak rate [1.xPa m³/s] ベーキング温度 Bakeout Temp 低温温度 Cooling A810 12S 2PIN Φ UNEF D.C A S7 PIN Φ UNEF D.C B S2 4PIN Φ UNEF D.C S6 6PIN Φ UNEF D.C B S6 5PIN Φ UNEF D.C B PIN Φ UNEF D.C A PIN Φ UNEF D.C B PIN Φ UNEF D.C PIN Φ UNEF D.C PIN Φ UNEF D.C B PIN Φ UNS D.C B PIN Φ UNS D.C A PIN Φ UNS D.C PIN Φ UNS D.C

17 Multipin Connectors (Hermetic Seal Type) MS Series MS SERIES WIRE No(#41216) SHELL SIZE: 12S14S PIN 1/0 WIRE No SHELL SIZE NUMBERING SYMBOL 12S 14S # B A 6 # F E A D B C 24 # E A B C D F G K L M N R S T H U P W X Y Z J V Q 14S # C B A 8 # F E G D H A C B 26 # M L N K P Z Y J a R X S b d H A W T G V B U F C D E #4 5.7 C A B 10 # G F H E I J A D B C 7 # E A B C D F G H K L M N P S T U V W a b c d e g h j k n p r s J X m R f Z 14S # C D A B 14 # H I J N K A L B G M D F E C 48 # A B C D E F G H J K L M N O P R Q S T V W X Y Z a d e f g h j m n p q t u v w r x b s U k c y z 5 # E D A C B # J K H L T G U S M V F N R A P E B D C SPEC Part Number SHELL SIZE Pin Qty Pin Dia. C 許容電流値 Current 耐電圧 Voltage 絶縁抵抗 Insulation 気密度 ベーキング温度 Leak rate Bakeout Temp [1.xPa m³/s] 低温温度 Cooling S 2PIN Φ D.C S7 PIN Φ D.C S2 4PIN Φ D.C S6 6PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C PIN Φ D.C

18 Coaxial Connectors 同軸端子 (D.C) 6,000V SHV Type 取付方法 バイヨネット Bayonet Lock ねじ嵌合 Screw Fitting ワンタッチロック Onetouch Lock MHV Type,000V N Type 1,000V LM Type BNC Type SMA Type 周波数 Frequency (D.C) 1,000MHz,000MHz 6,000MHz グランドシールド Grounded Shield フローティングシールド Floating Shield 一般的な気密端子です Conventional vacuum feedthrough 端子部分をフランジ等の取り付け部分から完全に独立させ 周囲の環境による影響 ( ノイズ等 ) を受けにくい構造の気密端子です It has a construction that is less susceptible to the influences of the surrounding environment (noise, etc.) due to the complete separation of the terminal part from the attachment part of the flange, etc. 16

19 Coaxial Connectors 同軸端子 製品毎の高周波特性 RF characteristics BNC Type Return Loss [db] 0 0 Insertion Loss [db] 6 VSWR 5 Return Loss [db] Insertion Loss [db] 5 10 VSWR Frequency [GHz] Frequency [GHz] Frequency [GHz] N Type 0 Return Loss [db] 0 Insertion Loss [db] 6 VSWR 5 Return Loss [db] Insertion Loss [db] 5 10 VSWR Frequency [GHz] Frequency [GHz] Frequency [GHz] SMA Type Return Loss [db] Insertion Loss [db] VSWR Return Loss [db] Insertion Loss [db] 5 10 VSWR Frequency [GHz] Frequency [GHz] Frequency [GHz] 17

20 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 BNCR φ9.6 φ1.0 CERAMIC Al2O φ BNCRF CERAMIC Al2O φ φ9.6 φ2.4 φ φ1.0 φ9.6 φ [1.xPa m³/s] CERAMIC Al2O φ φ9.6 φ BNCP D.C 1, BNCP [1.xPa m³/s] BNCJJF Floating CERAMIC Al2O D.C 1,000 BNCJJ 26 [1.xPa m³/s] D.C 1, BNCP Floating [1.xPa m³/s] D.C 1, BNCP

21 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 BNCRM2 SCREW CERAMIC Al2O φ1.0 M2X BNCRFM2 SCREW CERAMIC Al2O φ1.0 M2X φ KVFCoaxial φ4 φ1.5 φ BNCP D.C 1, BNCP 941 D.C 5, H444 A51 [1.xPa m³/s] CERAMIC Al2O [1.xPa m³/s] φ9.6 φ2.4 CERAMIC Al2O Floating D.C 1,000 5KVBNCR [1.xPa m³/s] φ9.6 [1.xPa m³/s] φ D.C 15,

22 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 SHVR φ9.65 CERAMIC Al2O φ1.65 φ SHVRF Shell φ9.65 Flange φ1.5 φ17.5 CERAMIC Al2O φ1.65 φ9.65 φ17.5 φ1.5 CERAMIC Al2O Shell φ9.65 φ1.5 CERAMIC Flange Al2O φ SHV41C RC20M1ELD Floating D.C 6,000 (ShelltoFlange D.C 1,000) 1010 [1.xPa m³/s] SHV41C RC20M1ELD [1.xPa m³/s] SHVJJF D.C 6, D.C 6, SHV41C Floating D.C 6,000 (ShelltoFlange D.C 1,000) 1010 [1.xPa m³/s] SHVJJ [1.xPa m³/s] SHV41C

23 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 MHVR CERAMIC Al2O φ9.6 φ1.0 φ MHVRF CERAMIC Al2O φ9.6 φ1.0 φ2.4 φ16.5 CERAMIC Al2O φ1.5 φ φ CERAMIC Al2O φ9.6 φ1.5 φ H Floating [1.xPa m³/s] D.C 5, H [1.xPa m³/s] MHVJJF D.C 5,000 MHVJJ [1.xPa m³/s] 8657 D.C 5, H Floating [1.xPa m³/s] D.C 5, H444 21

24 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 NR CERAMIC Al2O φ φ1.65 φ1.5 5/824UNEF SCREW NRF φ1.65 φ16 φ24 11 φ1.5 CERAMIC Al2O 5/824UNEF SCREW φ φ1.5 φ1.65 CERAMIC Al2O 5/824UNEF SCREW φ1.65 φ24 5/824UNEF SCREW φ1.5 CERAMIC Al2O 5/824UNEF SCREW NP58U RM20M1D Floating [1.xPa m³/s] 5 D.C, NP58U RM20M1D [1.xPa m³/s] NJJF D.C,000 5/824UNEF SCREW 5 NJJ [1.xPa m³/s] D.C, NP58U 166 Floating [1.xPa m³/s] 5 D.C, NP58U

25 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 SMAR φ5.4 φ /46UNS SCREW 28 φ9.5 CERAMIC Al2O φ0.9 SMARF φ5.4 φ0.9 φ9.5 CERAMIC Al2O φ1.8 φ16.5 1/46UNS SCREW 7 φ9.5 φ0.9 φ φ5.4 CERAMIC Al2O 1/46UNS SCREW 1/46UNS SCREW φ5.4 φ0.9 CERAMIC Al2O φ16.5 1/46UNS SCREW SMA7C Floating [1.xPa m³/s] D.C 1, SMA7C [1.xPa m³/s] SMAJJF D.C 1,000 1/46UNS SCREW SMAJJ [1.xPa m³/s] D.C 1, SMA7C Floating [1.xPa m³/s] D.C 1, SMA7C 2

26 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 LEMO 社の LEMO 00 シリーズに嵌合する同軸端子です Following Coaxial Connectors conform with LEMO 00series connectors which produced by LEMO. LM00R φ2 φ6.45 CERAMIC Al2O φ LMRF φ2 φ1 φ φ6.45 CERAMIC Al2O 15 9 φ6.45 φ2 φ1.2 φ11 CERAMIC Al2O φ6.45 φ2 CERAMIC Al2O φ1.2 φ FFA00 2 CTAC1 B1No Floating [1.xPa m³/s] 2 D.C 1, FFA00 2 CTAC1 B1No [1.xPa m³/s] LMJJF D.C 1,000 LMJJ 2 [1.xPa m³/s] D.C 1, FFA00 2 CTAC Floating [1.xPa m³/s] 2 D.C 1, FFA00 2 CTAC1

27 ULTRA HIGH VACUUM Coaxial Connectors 同軸端子 BNCR (Aluminum Sleeve) CERAMIC Al2O 4 φ1 φ2.4 φ9.6 φ1.0 ALUMINUM φ1.5 ALUMINUM φ9.65 φ1.65 CERAMIC Al2O φ SMAR (Aluminum Sleeve) φ1 φ0.9 φ1.8 φ5.4 CERAMIC STAINLESS Al2O STEEL ALUMINUM 1/46UNS SCREW NR (Aluminum Sleeve) 9.5 φ21 φ1.5 φ φ1.65 CERAMIC Al2O ALUMINUM STAINLESS STEEL 5/824UNEF SCREW BNCP 1917 D.C 5, SHV41C RC20M1ELD28 A659 D.C 1, SMA7C [1.xPa m³/s] D.C 1,000 [1.xPa m³/s] [1.xPa m³/s] φ9.5 SHVR (Aluminum Sleeve) [1.xPa m³/s] 1914 D.C, NP58U RM20M1D28 25

28 Feedthroughs 電力 ヒーター ランプなど大きな電流を使用するのに適しています 最高使用電圧 電流容量 スリーブ材質や釉薬有無の組み合わせから選択ください また ご希望に沿う条件のものが無い場合には カスタムでの製作を致しますのでお問い合わせください Suitable for equipment that uses high current such as power, heaters and lamps. Please choose an appropriate combination of the maximum use voltage, current capacity, sleeve material, and glaze use. Kyocera is able to provide custommade products other than the above; please feel free to contact us. 表記方法 : 5KV6KVKVG Notation for 耐電圧 voltage 2 電極径 Electrode Dia. (mm) [ 材質の表記 ] Material 電極材質 Electrode Material } KV= 4スリーブ材質 Sleeve Material Cu=O.F.H.C 5 釉薬 Graze SUS=SUS [D.C. MAX] 5KV 10KV [A MAX] 電極材質 Electrode Material SUS 電極径 Electrode Dia. = 6mm = 16mm = 25mm O.F.H.C 0 100A 0A 電流容量 (A MAX) 1,000A オプションの選定 Option スリーブ材質 : or SUS Sleeve Material 釉薬 : Glaze 26

29 Feedthroughs [5KV6] Part Number 耐電圧 VOLTAGE [D.C MAX] 許容電流値 Current [A MAX] 絶縁抵抗気密性 [ Ω at D.C0V] [1. Pa m³/s] 電極材質 Electrode スリーブ材質 Sleeve 釉薬 Glaze KV6SUSSUSG 5KV 22 1,000M SUS SUS Glazed KV6SUSSUS 5KV 22 1,000M SUS SUS ー KV6SUSKVG 5KV 22 1,000M SUS Glazed KV6SUSKV 5KV 22 1,000M SUS ー KV6KVSUSG 5KV 27 1,000M SUS Glazed KV6KVSUS 5KV 27 1,000M SUS ー KV6KVKVG 5KV 27 1,000M Glazed KV6KVKV 5KV 27 1,000M ー KV6CuSUSG 5KV 145 1,000M O.F.H.C SUS Glazed KV6CuSUS 5KV 145 1,000M O.F.H.C SUS ー KV6CuKVG 5KV 145 1,000M O.F.H.C Glazed KV6CuKV 5KV 145 1,000M O.F.H.C ー 27

30 Feedthroughs [5KV16] Part Number 耐電圧 VOLTAGE [D.C MAX] 許容電流値 Current [A MAX] 絶縁抵抗気密性 [ Ω at D.C0V] [1. Pa m³/s] 電極材質 Electrode スリーブ材質 Sleeve 釉薬 Glaze KV16SUSSUSG 5KV 7 1,000M SUS SUS Glazed KV16SUSSUS 5KV 7 1,000M SUS SUS ー KV16SUSKVG 5KV 7 1,000M SUS Glazed KV16SUSKV 5KV 7 1,000M SUS ー KV16KVSUSG 5KV 88 1,000M SUS Glazed KV16KVSUS 5KV 88 1,000M SUS ー KV16KVKVG 5KV 88 1,000M Glazed KV16KVKV 5KV 88 1,000M ー KV16CuSUSG 5KV 476 1,000M O.F.H.C SUS Glazed KV16CuSUS 5KV 476 1,000M O.F.H.C SUS ー KV16CuKVG 5KV 476 1,000M O.F.H.C Glazed KV16CuKV 5KV 476 1,000M O.F.H.C ー 28

31 Feedthroughs [5KV25] Part Number 耐電圧 VOLTAGE [D.C MAX] 許容電流値 Current [A MAX] 絶縁抵抗気密性 [ Ω at D.C0V] [1. Pa m³/s] 電極材質 Electrode スリーブ材質 Sleeve 釉薬 Glaze KV25SUSSUSG 5KV 124 1,000M SUS SUS Glazed KV25SUSSUS 5KV 124 1,000M SUS SUS ー KV25SUSKVG 5KV 124 1,000M SUS Glazed KV25SUSKV 5KV 124 1,000M SUS ー KV25KVSUSG 5KV 149 1,000M SUS Glazed KV25KVSUS 5KV 149 1,000M SUS ー KV25KVKVG 5KV 149 1,000M Glazed KV25KVKV 5KV 149 1,000M ー KV25CuSUSG 5KV 808 1,000M O.F.H.C SUS Glazed KV25CuSUS 5KV 808 1,000M O.F.H.C SUS ー KV25CuKVG 5KV 808 1,000M O.F.H.C Glazed KV25CuKV 5KV 808 1,000M O.F.H.C ー 29

32 Feedthroughs [10KV6] Part Number 耐電圧 VOLTAGE [D.C MAX] 許容電流値 Current [A MAX] 絶縁抵抗気密性 [ Ω at D.C0V] [1. Pa m³/s] 電極材質 Electrode スリーブ材質 Sleeve 釉薬 Glaze KV6SUSSUSG 10KV 22 1,000M SUS SUS Glazed KV6SUSSUS 10KV 22 1,000M SUS SUS ー KV6SUSKVG 10KV 22 1,000M SUS Glazed KV6SUSKV 10KV 22 1,000M SUS ー KV6KVSUSG 10KV 27 1,000M SUS Glazed KV6KVSUS 10KV 27 1,000M SUS ー KV6KVKVG 10KV 27 1,000M Glazed KV6KVKV 10KV 27 1,000M ー KV6CuSUSG 10KV 145 1,000M O.F.H.C SUS Glazed KV6CuSUS 10KV 145 1,000M O.F.H.C SUS ー KV6CuKVG 10KV 145 1,000M O.F.H.C Glazed KV6CuKV 10KV 145 1,000M O.F.H.C ー 0

33 Feedthroughs [10KV16] Part Number 耐電圧 VOLTAGE [D.C MAX] 許容電流値 Current [A MAX] 絶縁抵抗気密性 [ Ω at D.C0V] [1. Pa m³/s] 電極材質 Electrode スリーブ材質 Sleeve 釉薬 Glaze KV16SUSSUSG 10KV 7 1,000M SUS SUS Glazed KV16SUSSUS 10KV 7 1,000M SUS SUS ー KV16SUSKVG 10KV 7 1,000M SUS Glazed KV16SUSKV 10KV 7 1,000M SUS ー KV16KVSUSG 10KV 88 1,000M SUS Glazed KV16KVSUS 10KV 88 1,000M SUS ー KV16KVKVG 10KV 88 1,000M Glazed KV16KVKV 10KV 88 1,000M ー KV16CuSUSG 10KV 476 1,000M O.F.H.C SUS Glazed KV16CuSUS 10KV 476 1,000M O.F.H.C SUS ー KV16CuKVG 10KV 476 1,000M O.F.H.C Glazed KV16CuKV 10KV 476 1,000M O.F.H.C ー 1

34 Feedthroughs [10KV25] Part Number 耐電圧 VOLTAGE [D.C MAX] 許容電流値 Current [A MAX] 絶縁抵抗気密性 [ Ω at D.C0V] [1. Pa m³/s] 電極材質 Electrode スリーブ材質 Sleeve 釉薬 Glaze KV25SUSSUSG 10KV 124 1,000M SUS SUS Glazed KV25SUSSUS 10KV 124 1,000M SUS SUS ー KV25SUSKVG 10KV 124 1,000M SUS Glazed KV25SUSKV 10KV 124 1,000M SUS ー KV25KVSUSG 10KV 149 1,000M SUS Glazed KV25KVSUS 10KV 149 1,000M SUS ー KV25KVKVG 10KV 149 1,000M Glazed KV25KVKV 10KV 149 1,000M ー KV25CuSUSG 10KV 808 1,000M O.F.H.C SUS Glazed KV25CuSUS 10KV 808 1,000M O.F.H.C SUS ー KV25CuKVG 10KV 808 1,000M O.F.H.C Glazed KV25CuKV 10KV 808 1,000M O.F.H.C ー 2

35 Isolators 真空用の規格フランジに合わせた絶縁フランジです 標準寸法の他 ご希望の電圧 用途に合わせたものが製造可能です Isolator flanges for vacuum application. Standard sizes and custom made are available. unit : mm n n t t i No PART NAME ( 品 ) 許容電流値 Current 耐電圧 Voltage 絶縁抵抗 Insulation [Ωmin.] 気密度ベキング温度 Leak rate Bakeout Temp [1.xPa m³/s] A B C D E F G H I K L ISOLATORS No.A ISOLATORS No.B ISOLATORS No.C ISOLATORS No.D ISOLATORS No.E ISOLATORS No.F ISOLATORS No.G ISOLATORS No.H ISOLATORS No.I ISOLATORS No. ISOLATORS No.K ISOLATORS No.L , , , , , , , , , , , , No D1 D2 D D4 L1 L2 T1 T2 P.C.D H n t A B C D E F G H I K L

36 Isolators with Bellows 真空用の規格フランジに合わせた絶縁フランジです 標準寸法の他 ご希望の電圧 用途に合わせたものが製造可能です Isolator flanges for vacuum application. Standard sizes and custom made are available. unit : mm n n t t i i No PART NAME ( 品 ) No T1 T2 P.C.D H n t A ISOLATORS WITH BELLOWS No.A A B ISOLATORS WITH BELLOWS No.B B C ISOLATORS WITH BELLOWS No.C C D ISOLATORS WITH BELLOWS No.D D E ISOLATORS WITH BELLOWS No.E E F ISOLATORS WITH BELLOWS No.F F G ISOLATORS WITH BELLOWS No.G G H ISOLATORS WITH BELLOWS No.H H I ISOLATORS WITH BELLOWS No.I I ISOLATORS WITH BELLOWS No K ISOLATORS WITH BELLOWS No.K K L ISOLATORS WITH BELLOWS No.L L No A B C D E F D D D D D D D L L 6~71 71~ ~ ~ ~ ~128.5 No. A, B, E, F は内側からボルトが入りません ナットの使用のみとなります No. A, B, E, F apply Only nut no bolt from inside. G ~11.5 H ~1.5 I ~ ~147 K ~125 L ~145 4

37 Sapphire Windows 単結晶サファイアを使った覗き窓です 真空用の規格フランジに合わせたサイズの他 耐圧用の窓の製作も行います 光学用の計測窓には 無反射コーティングを行うこともできます Single crystal sapphire is used. AR coating is option. unit : mm t i T T T : nm PART NAME()mm SAPPHIRE WINDOWS 20 SAPPHIRE WINDOWS 0 SAPPHIRE WINDOWS 5 SAPPHIRE WINDOWS 40 SAPPHIRE WINDOWS SAPPHIRE WINDOWS 60 SAPPHIRE WINDOWS 70 SAPPHIRE WINDOWS 80 SAPPHIRE WINDOWS 100 SAPPHIRE WINDOWS 1 A B C t

38 Sapphire Windows with Vacuum Flange 真空用フランジ ( コンフラットフランジ ) にサファイア窓を取りつけたものです 真空装置にこのまま取り付けて使用して頂けます Products for vacuum Flange (ConFlat Flange) assembled with sapphire windows. They can be used by attaching them directly to vacuum equipment. unit : mm i n PART NAME 70F SW5 114F SW70 152F SW100 20F SW1 A B n H P.C.D n i t PART NAME 70F SW5S 114F SW70S 152F SW100S 20F SW1S A B C t T n H P.C.D

39 Customdesigned Ceramic Chambers unit : mm POSTECH 様 POSTECH 様 L710 by courtesy of Pohang University of Science and Technology by courtesy of Pohang University of Science and Technology トリスタン用 キッカー M/G ビーム用 100 L700 KEK 様 L400 Application: Kicker Magnet Beam by courtesy of High Energy Accelerator Research Organization Application: TRISTAN トリスタン用 KEK 様 L11 by courtesy of High Energy Accelerator Research Organization Application: TRISTAN 7

40 Customdesigned Ceramic Chambers unit : mm KEK 様 by courtesy of High Energy Accelerator Research Organization KEK 様 by courtesy of High Energy Accelerator Research Organization 大型放射光施設 (SPring8) 用 W280 L400 Application: SPring8 LHC 用 CERN 様 70 L1580 by courtesy of European Organization for Nuclear Research (CERN) Application: Large Hadron Collider (LHC) 重粒子線ガン治療装置用 三菱電機株式会社様 φ90 L11 by courtesy of Mitsubishi Electric Corporation Application: Heavy Particle Radiotherapy L1000 JPARC 用 IHI 様 100 by courtesy of IshikawajimaHarima Heavy Industries Co.,Ltd Application: JPARC 8

41 Customdesigned Isolator Flanges unit : mm φ120 LHD 用 NIFS 様 φ4 L580 by courtesy of National Institute for Fusion Science Application: Large Helical Device JT60 用矩形絶縁フランジ 日本原子力研究開発機構様 0 0 L70 by courtesy of Japan Atomic Energy Agency Applicaton: JT60 LHD 用 NIFS 様 φ4 L by courtesy of National Institute for Fusion Science Applicaton: Large Helical Device φ540 L70 9

42 Customdesigned Accelerator Tubes unit : mm φ160 L247 電子銃用 日本原子力研究開発機構様 φ45 L515 by courtesy of Japan Atomic Energy Agency Application: Electron Gun 筑波大学様 φ111 L17 by courtesy of Tsukuba University タンデム用 九州大学様 φ1 L2 by courtesy of Kyushu University Application: Tandem Accelerator 超高圧電子顕微鏡用 株式会社日立製作所基礎研究所様 φ80 L700 by courtesy of Advanced Research Laboratory, Hitachi, Ltd. Application: Super High Voltage Electron Microscope 電子顕微鏡用 株式会社日立製作所様 φ180 L480 by courtesy of Hitachi, Ltd. Application: Electron Microscope 40

43 Customdesigned Sapphire and Silicon Nitride Windows unit : mm LHD 用 NIFS 様 1mm by courtesy of National Institute for Fusion Science Application: Large Helical Device LHD 用 NIFS 様 by courtesy of National Institute for Fusion Science Application: Large Helical Device LHD 用 NIFS 様 φ180 SOR リング オーロラ 1 号 搭載 住友重機械工業株式会社様 L252 by courtesy of National Institute for Fusion Science Application: Large Helical Device by courtesy of Sumitomo Heavy Industries, Ltd. Application: SORring "AURORA" TRIAM1M 用 SA 窓 九州大学様 t7 LHD 用 NIFS 様 100mm by courtesy of Kyushu University Application: TRIAM1M by courtesy of National Institute for Fusion Science Application: Large Helical Device 41

44 Customdesigned Beam Feedthroughs unit : mm 70mm 東京大学様 100mm by courtesy of University of Tokyo KEK 様 1mm by courtesy of High Energy Accelerator Research Organization 42

45 Customdesigned Ion Source Feedthroughs unit : mm 100mm 100mm 4

46 Customdesigned Feedthroughs unit : mm KEK 様 mm 10 0 K V フィードスルー 100mm by courtesy of High Energy Accelerator Research Organization Application : SKEKB 100KV Feedthrough 70mm 20mm 44

47 Customdesigned Feedthroughs and Isolators unit : mm 0mm 電子線装置用 φ415 φ5 L220 電子線装置用 φ0 φ2 φ245 φ165 L220 Application: Electron Beam Processing System Application: Electron Beam Processing System 45

48 技術情報 / 製造工程 Technical Information / Material Process CERAMIC BODY INGREDIENTS MIXING MILLING SPRAY DRYING DRY PRESS FIRING MACHINING ISOSTATIC PRESS FIRING MACHINING EXTRUSION DRYING CUTTING SINTERING GLAZING FIRING GRINDING LAPPING PRINTING SINTERING NICKEL PLATING METAL BRAZING Ni/Au PLATING INSPECTION INSPECTION 46

49 Mechanical Characteristics Thermal Characteristics Electrical Characteristics Chemical Characteristics セラミックスの特性表 Characteristics Of Ceramics Material Item ALUMINA (Al2O) SILICON CARBIDE (SiC) SILICON NITRIDE (SiN4) FORSTTERITE (2MgOSiO2) SINGLE CRYSTAL SAPPHIRE (Al2O) Kyocera No. A459 A47 A476 A479 A479SS SC211 SN220 F1120 SA100 Appearance Dense Dense Dense Dense Dense Dense Dense Dense Dense Color Russet White White White Ivory Black Black Light Yellow Transparent Alumina Content (%) Main Characteristics Main Applications Bulk Density g/cm 164 JISR Water Absorption % JISR 164 Vickers Hardness HV1 (GPa) JISR 1610 Flexural Strenght MPa 1601 JISR Compressive Strength MPa 1608 JISR Young's Modulus Of Elasticity GPa JISR Poisson's Ratio 1602 Fracture Toughness MPam 1/2 JISR 1607 Coefficient 40 Of Linear JISR Thermal Expansion 800 Thermal W/ JISR Conductivity 20 (mk) 1611 Specific Heat J/ JISR (gk) 1611 Heat Shock Resistance 1648 JISR Dielectric Strength KV/mm 20 Volume Resistivity 0 Dielectric(1MHz) Constant Dielectric(1MHz) Loss Angle Loss Factor Nitric Acid (60%) 90,24H Sulphuric Acid (95%) 95,24H Caustic Soda (0%) 80,24H cm WTLoss mg/cm 2 JISC 2141 JISR 1614 High Mechanical Strength,High Temperature Resistance, High Frequency Insulation,High Chemical Resistance Good for Metallizing Magnetron Good for Metallizing Mechanically Strong IC Multi Layer Packages Electrontube Housing Good Surface Smoothness Hybrid IC Substrates Hard and Chemically Stable Heat. Corrosion And Wear Resistant Parts Hard and Chemically Stable Fine Grain Strong and Smooth Pump Shafts High Temperature Strength High Chemical Resistance Excellent Thermal Conductivity Fracture Toughness Mechanical Seal Gas Turbine Parts High Temperature Resistance Parts High Temperature Strength Wear Resistant Excellent Thermal Shock Resistance Light Weight Internal Combustion Engine Parts Molten Metal Parts Gas Turbine Parts Metal Forming Tool Good Surface Smoothness Film Resistor Core Substrate High Mechanical Strength High Heat Resistance High Chemical Resistance High Electric Insulation Resistance SOS Subsrtate Window for High Temperature High Pressure Equipment Construction Parts Parts for Scientific Equipment , 2,160 2,,820 2, Parallel to Caxis 7.7 Vertical to Caxis Parallel to Caxis 11.5 Vertical to Caxis The values are typical material properies and may vary according to products configuration and manufacturing process. For more details, please feel to contact us. 47

50 接合金属の特性表 ( 代表例 ) Characteristics Of Material (Example) Alloy OFHC Alloy42 Ni Mo Al STEEL SUS04 SUS16 Cu/W10 Cu/W15 Ti (COPPER) Composition by Weight(%) Fe54 Co17 Ni29 Fe58 Ni42 Ni99.0 min Fe67 Fe62 Cu10 Cu15 Mo99.9 Al99.4 Cu99.96 Fe99.2 Cr20 Cr18 Ti99.1 W90 W85 Ni10 Ni14 Application 1/0pin Lead Frame 1/0pin Lead Frame Seal Ring Seal Ring Lead Frame Heat Sink Connector Heat Sink Flange Sleeve Flange Sleeve Flange Sleeve Heat Sink Heat Sink Flange Sleeve Bulk Density Hardness RockwellB Mechanical Characteristics Thermal Characteristics Tensil Strength Elongation Young's Modulus of Elasticity Coefficient Of Linear Thermal Expansion Thermal Conductivity W MK Specific Heat Mpa Kpsi % Gpa Mpsi 10 6 / Cal/g Brazed Brazed Brazed (20100) Electrical Characteristics Volume Resistivity Electrical Conductivity cm 20 %lacs The values are typical material properies and may vary according to products configuration and manufacturing process. 48

51 メタライズ技術 各種素材と加工 Metallization Technologies And Materials MoMn メタライズ法 MoMn METALLIZATION 活性金属法 ACTIVE METAL BONDING アルミナ ALUMINA(Al2O) Good 窒化ケイ素 SILICON NITRIDE(SiN4) Good サファイア SAPPHIRE(Al2O) Good 炭化ケイ素 SILICON CARBIDE(SiC) Good フォルステライト FORSTERITE(2MgO SIO2) Good 窒化アルミ ALUMINUM NITRIDE(AIN) Good 接合金属 BONDING METALS MAGNETIC METALS( 磁性 ) 29% Ni17% CoFeAlloy Ni 42% NiFeAlloy 40Stn.Stl. 52% NiFeAlloy Monel* NONMAGNETIC METALS( 非磁性 ) Titanium Gold(Au) Tantalum Silver(Ag) Inconel Copper(Cu) Niobium 70% Cupro Nickel Tungsten Aluminum(Al) Molybdenum Aluminum Alloy 04Stn.Stl. * Monel and Inconel are registered trademarks of the International Nickel Co.,Inc. ロウ材 BRAZING MATERIALS 室温における各種真空用材料のガス放出速度 COMPARISON OUTGAS SPEED OF VARIOUS MATERIAL BRAZING MATERIAL Silver Copper Gold Copper Gold Nickel Aluminum Alloy Gold Silver Copper MELTING TEMP COMPOSITON 72Ag28Cu 7Au6Cu 82Au18Ni AlSiMg 99.9Au 99.9Ag 99.9Cu Material CERAMIC NYLON FKM PTEF GLASS METAL OUTGAS SPEED at RT[Torr After Vacuum at RT 24hrs after Baking hrs after Vacuum hrs after Vacuum hrs after Vacuum Less

52 セラミックスと金属の基本的な接合構造 Basic Design of CeramicToMetal Bonding ceramic metal metal ceramic metal ceramic (1) アウトサイドシール Outside seal セラミックスに金属による圧縮応力がかかるため信頼性の高い構造です Highly reliable construction because compression stress from the metal is applied to the ceramics. metal ceramic (2) インサイドシール Inside seal 内側の金属の熱膨張係数に注意する必要があります セラミックスより大きい場合 セラミックスが割れることがあります It is necessary to pay attention to the coefficient of thermal expansion of the metal. It may be cracked if the coefficient of thermal expansion of the metal is higher than that of the ceramics. () バットシール Butt seal 組立が容易な構造 Easytoassemble construction. ceramic metal (4) バックアップリング付バットシール Butt seal with backup ring 組立が容易な構造で応力を分散させるためにバックアップリングを用いています Easytoassemble construction. A backup ring is used to distribute the stress. (5) エッジシール Edge seal 接合面の平面度が必要な構造です 平面度が悪いと信頼性が低下します Flatness is needed to bond the surfaces. If the flatness is not good, the reliability will be poor.

53 ULTRA HIGH VACUUM Precision Shaping and Matching 形状と加工精度 京セラは 独特のセラミックス精密機械加工技術により 原料から成形された生素材を切削加工 あるいは焼成後に研削 ラッピング加 工を行い 要求された複雑な形状をしかも高精度に加工しています このようにして加工された京セラのセラミックス機械加工製品は 超高精度を要求される OA 機器の摺動部品をはじめとして 一般構造 用部材 精密治工具 電磁ならびに化学薬品中で摺動する耐摩耗 耐薬品部品等に素晴らしい性能を発揮しています Using Kyocera's unique ceramic precision machining technology, the formed material is cut, ground and lapped after sintering to the required complex shapes with high precision. These products are used for their unrivaled performance in OA sliding parts with ultrahigh precision, general structural members, precision jigs and tools, and also in wear and chemical resistant parts sliding in electromagnetic fields and chemical solutions. 機械加工による寸法精度 Dimensional Precision Achieved by Machining セラミックスに金属部品と同様な寸法精度の加工が要求される場合 下表のような公差まで加工しています 形状 寸法等 表で適用で きない範囲は別途ご相談ください When dimensional precision equivalent to that for metal parts is required for machined ceramics, Kyocera can achieve the tolerances shown in the table below. If greater tolerances in shapes or dimensions are required, please contact us. 加工寸法精度 指示なき単位は 表面粗さ アルミナの例 Machining Dimensional Precision (data are in mm unless otherwise specified) 1 公差Tolerance 普通公差 セラミックブロックおよび板類の研磨品 大き Standard Tolerance Ground ceramic blocks and plates さDim 項目 ensio n φ SQ 5 φ SQ 0 φ SQ 0以上 Parameter 公差Tolerance 大 きさ 平行度 Dime 項目 Parallelism 公差Tolerance nsion Parameter 大き 平担度 Flatness さ Dime 項目 Parallelism 平行度 ns Parameter 表面粗さ Surface Roughnession 平担度 Flatness 平行度 Parallelism 鏡面研磨 Mirror Polishing 表面粗さ Surface Roughness 平担度 Flatness 鏡面研磨Surface MirrorRoughness Polishing 表面粗さ 普通公差 Standard Tolerance 普 通 公 差φ φ SQ 5 φ SQ 0 SQ 0以上 0.01 Standard Tolerance φ SQ 5 φ SQ 0 φ SQ 0以上 1.5μRa 1.5μRa μRa 1.5μRa 1.5μRa μRa 0.2μRa 表面粗さ 真直度 Surface Roughness Straightness 精密加工品 表面粗さ 無研磨 As fired μra 2 研削 Ground 1μRa ラッピング Lapped 0.4μRa 4 ポリシング Polished 0.2μRa or less 1.5μRa 鏡面研磨 Mirror Polishing 2 丸棒 角棒 Round and Square Bars0.2μRa φ100 SQ L 公差 Tolerance 普通公差 項目 Standard Tolerance Parameter 真円度 公差 Tolerance Roundness 普0.01 通公差 項目 Standard Tolerance 直角度 Parameter ' Perpendicularity 公差 Tolerance 真円度 普0.01 通公差 項目 真直度 Roundness Standard Tolerance 0.05/100 Parameter Straightness 直角度 ' 真円度 表面粗さ Perpendicularity μRa Roundness Surface Roughness 真直度 0.05/100 直角度 Straightness ' Perpendicularity Surface Roughness(Alumina) 1 1.5μRa 0.05/100 真円度測定データ Roundness Measurement 1.5μRa Surface Roughness Precision Machined Products 京セラ独自の加工法により さらに精密な加工も可能です 精密加工の精度は形状 材質に左右されるため 特に実施例を 寸法公差 真円度 真直度 表面粗さ 項目 Parameter 材 質 Dimensional Roundness Perpendicularity Surface 下表に示します 寸 法 加工例 Tolerance Dimensions Material μm Straightness Roughness Ultraprecision techniques. Example of Machining is possible with Kyocera's unique μm μm μra Precision machining is affected by the shape material. Some 寸法公差 and 真直度 表面粗さ 項目 Parameter 真円度 6 L20 ± φ A479SS 寸 法 材 質 Dimensional Perpendicularity Surface practical applications are shown in the table below. Roundness 0. 内径加工例 加工例 Tolerance μm Straightness Roughness Dimensions Material Example of項目 Machining μm μm μra Inner Diameter 寸法公差 真直度 表面粗さ Parameter φ 0 L20 A479 ± 真円度 寸 法 材 質 Dimensional Roundness Perpendicularity Surface 加工例 6 L20 A479SS ± μm 0. Straightness 0. Roughness 0.2 φ Tolerance Dimensions Material 内径加工例 φ 4 L20 ±1 0. μm 0. μra 0. A479 Example of Machining μm 外径加工例 Inner Diameter φ 0 L20 A479 ± Outer Diameter 6 L20 ± φ A479SS 40 L0 ±1 0. 内径加工例 φ 0 4 L20 L20 A479 ±1 平行度 0. 平行度 A479 ± Inner Diameter φ 外径加工例 T5 ±1 0.2 A479SS 1 1 板状品加工例 Outer Diameter φ 40 L0 A479SS ±1 平行度 平行度 Plate φ 4 L20 ± A479 φ100 T5 0.1 外径加工例 0. 1 平行度 φ L0 T5 A479SS ±1 平行度 0.2 A479SS ±1 Outer Diameter φ 1 1 板状品加工例 表面粗さは材料により異なり アルミナの例を示します 平行度 Plate φ100 T5 A479 ±1 平行度 1 板状品加工例 φ 40 T5 A479SS ±1 0. 表面粗さは材料により異なり ナの例を示します Plate φ100 T5アルミ ±1 平行度 A 平行度 平行度 平行度 表面粗さは材料により異なり アルミナの例を示します 51

54 52 ULTRA HIGH VACUUM Materials Comparison Chart

55 Materials Comparison Chart 5

56 q <U.S.A.> KYOCERA International, Inc. San Jose, CA Milmont Dr. Fremont, CA 9458 Tel: Fax: San Diego, CA 8611 Balboa Avenue, San Diego, CA 9212 Tel: Fax: Chicago, IL 25 NW Point Blvd., #660 Elk Grove Village, ll Tel: Fax: Boston, MA 24 Superior Dr, Suite 106, Natick, MA Tel: Fax: Mountain Home, NC 100 Industrial Park Rd, Hendersonville, NC Tel: Fax: New Jersey, NJ 220 Davidson Ave., Suite108, Somerset, NJ 0887 Tel: Fax: Austin, TX 7801 Capital of Texas Highway, Ste 0 Austin, TX 7871 Tel: Fax: Vancouver, WA 571 East Fourth Plain Blvd.,Vancouver,WA Tel: Fax: <EUROPE> KYOCERA Fineceramics GmbH Esslingen, Germany FritzMuellerStrasse 27, 770 Esslingen, Germany Tel:+49(0) Fax:+49(0) Neuss, Germany Hammfelddamm Neuss, Germany Tel:+49(0) Fax:+49(0) KYOCERA Fineceramics Ltd. U.K. Prospect House, Archipelago, Lyon Way, Frimley, Surrey GU16 7ER, U.K. Tel:+44(0) Fax:+44(0) KYOCERA Fineceramics S.A.S. France Parc Tertiaire, Silic, 21 Rue De Villeneuve BP Rungis Cedex, France Tel:+(0) Fax:+(0) <ASIA> KYOCERA Korea Co.,Ltd. Korea 1F KAMCO Tangjae Tower, 262 Kangnamdaero Kangnamgu, Seoul, Tel: +82(0)24658 Fax: + 82(0)24659 KYOCERA (China) Sales & Trading Corporation Shanghai Floor 9,Dushi Headquarters Building, No. 168, Middle Xizang Road, Shanghai, Tel: +86(0) Fax: +86(0) Shenzen Unit 0608,29/F,AVIC Center NO.1018 Huafu Road, Futian District, Shenzhen, Guangdong, 5180 Tel: +86(0) Fax: +86(0) KYOCERA (Hong Kong) Sales & Trading Ltd. Hong Kong Room , Tower 1, South Seas Centre, 75 Mody Road, Tsimshatsui East, Kowloon, Hong Kong Tel: +852(0) Fax : +852(0) KYOCERA Asia Pacific,Ltd. Taiwan 8FL., No.101, Sec.2, Nanjing East Road, Taipei 10457, Taiwan Tel:+886(0) Fax:+886(0) Singapore 298 Tiong Bahru Road, #10/05 Central Plaza, 16870, Singapore Tel: Fax: Philippines 11B, Kingston Tower, Block 2, Lot 1, Acacia Avenue, Madrigal Business Park, Alabang, Muntinlupa City 1780, Philippines Tel:+6(0) Fax:+6(0)27752 KYOCERA Asia Pacific (Thailand) Co., Ltd. Thailand 1 Capital Work Place, Building 7th Floor, Soi Chamchan, Sukhumvit 55 Road, Klongton Nua, Wattana, Bangkok 10110, Thailand. Tel: +66(0) Fax: +66(0) KYOCERA Sdn. Bhd. Malaysia Lot 4A, Lower Level, Hotel Equatrial, Penang No.1, Jalan Bukit Jambul Penang, Malaysia Tel: Fax: KYOCERA Asia Pacific India Pvt. Ltd. India 1004A & 1004B, 10th Floor, JMD Regent Square, M.G. Road Gurugram Haryana, India Tel: Fax: C 2018 KYOCERA CORPORATION 07/005/1806 Printed in Japan