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Transcription:

MANUAL SUPPLEMENT 3-2 3-2 Agilent 1 3-2 P/N 16000-99023 Print Date: October 2001 PRINTED IN JAPAN Copyright Agilent Technologies Japan, Ltd. 2001 1-3-2, Murotani, Nishi-ku, Kobe-shi, Hyogo, 651-2241 JAPAN

Safety Summary When you notice any of the unusual conditions listed below, immediately terminate operation and disconnect the power cable. Contact your local Agilent Technologies sales representative or authorized service company for repair of the instrument. If you continue to operate without repairing the instrument, there is a potential fire or shock hazard for the operator. Instrument operates abnormally. Instrument emits abnormal noise, smell, smoke or a spark-like light during the operation. Instrument generates high temperature or electrical shock during operation. Power cable, plug, or receptacle on instrument is damaged. Foreign substance or liquid has fallen into the instrument. 使 用 上 の 安 全 について 以 下 のような 異 常 が 見 られたときは 直 ちに 使 用 を 中 止 して 電 源 プラグを 抜 き 最 寄 り の 当 社 セールス オフィス オフィスまたは 当 社 指 定 のサービス 会 社 に 連 絡 して 修 理 を 受 けて 下 さ い そのまま 使 用 を 続 けると 火 災 や 感 電 のおそれがあります 正 常 な 動 作 をしない 動 作 中 に 異 音 異 臭 発 煙 あるいはスパークのような 光 が 発 生 した 使 用 時 に 異 常 な 高 温 や 電 気 ショックを 感 じた 電 源 コード 電 源 プラグ 電 源 コネクタが 損 傷 した 製 品 内 に 異 物 液 体 などが 入 った

Caution Do not exceed the operating input power, voltage, and current level and signal type appropriate for the instrument being used, refer to your instrument's Function Reference. Electrostatic discharge(esd) can damage the highly sensitive microcircuits in your instrument. ESD damage is most likely to occur as the test fixtures are being connected or disconnected. Protect them from ESD damage by wearing a grounding strap that provides a high resistance path to ground. Alternatively, ground yourself to discharge any static charge built-up by touching the outer shell of any grounded instrument chassis before touching the test port connectors.. 注 意 過 剰 な 入 力 電 力 電 圧 電 流 および 測 定 器 の 使 用 する 信 号 の 種 類 に 注 意 してください 詳 しくは 測 定 器 の 機 能 解 説 書 を 参 照 してください 計 測 器 には 静 電 気 による 放 電 によって 破 壊 される 恐 れのある 電 子 回 路 が 含 まれています これらの 静 電 破 壊 は 多 くの 場 合 テストフィクスチャ の 接 続 取 り 外 し 時 に 発 生 します 測 定 器 を 静 電 気 による 破 壊 から 守 るため に グランド ストラップを 使 用 して 体 を 接 地 してください あるいは テ ストポートコネクタに 触 る 前 に 接 地 された 測 定 器 の 筐 体 などに 触 れて 静 電 気 を 放 電 してください 4294A

Agilent 4294A プレシジョ ン インピーダンス アナライザ 取 扱 説 明 書 第 8 版 FIRMWARE REVISIONS 本 書 の 内 容 はファームウェア バージョン 1.10 以 上 に 適 合 します ファームウエア バージョンの 詳 しい 情 報 は 付 録 A に 記 載 されています Agilent Part No. 04294-97060 2003 年 2 月 Printed in Japan

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使 用 上 の 安 全 について 本 器 を 正 しく 安 全 に 使 用 していただくため 本 器 の 操 作 保 守 修 理 にあたって は 下 記 の 安 全 注 意 警 告 事 項 を 必 ずお 守 りください 下 記 の 安 全 注 意 警 告 事 項 およ び 本 マニュアル 中 の 警 告 の 印 のある 事 項 をお 守 りいただけない 場 合 損 害 が 生 じ ることがあります さらにこれは 安 全 規 格 で 要 求 されている 設 計 生 産 使 用 に 関 する 諸 事 項 に 本 器 が 適 合 している 事 を 無 効 にすることになります なお この 注 意 に 反 したご 使 用 により 生 じた 損 害 についてはアジレント テクノ ロジーは 責 任 と 保 証 を 負 いかねます 4294A は IEC61010-1 の 設 置 カテゴリー II および 汚 損 度 2 の 製 品 です 4294A は 屋 内 使 用 専 用 の 製 品 です 4294A で 使 用 されている LED は IEC60825-1 のクラス 1 です クラス 1 LED 製 品 機 器 は 接 地 してください AC 電 源 による 電 撃 事 故 を 防 ぐために 本 器 のシャーシ 並 びにキャビネットを 付 属 の 接 地 線 のある 3 極 電 源 ケーブルを 使 用 して 必 ず 接 地 してください 爆 発 の 危 険 性 のある 場 所 では 使 用 しないでください 可 燃 性 のガスまたは 蒸 気 のある 場 所 では 機 器 を 動 作 させないでください 電 気 機 器 をこのような 場 所 で 使 用 することは 非 常 に 危 険 です 通 電 されている 回 路 には 触 れないでください 使 用 者 が 機 器 のカバーを 取 りはずすことはしないでください 部 品 の 交 換 や 内 部 調 整 については 当 社 で 認 定 した 人 以 外 は 行 わないでください 電 源 ケー ブルを 接 続 したままで 部 品 交 換 をしないでください また 電 源 ケーブル を 取 りはずしても 危 険 電 圧 が 残 っていることがあります 傷 害 を 避 けるため 機 器 内 部 に 触 れる 前 に 必 ず 電 源 を 切 り 回 路 の 放 電 を 行 ってください 一 人 で 保 守 調 整 をしないでください 機 器 内 部 の 保 守 や 調 整 を 行 う 場 合 は 万 一 事 故 が 起 きてもただちに 救 助 でき る 人 がいる 場 所 で 行 ってください 部 品 を 変 更 したり 機 器 の 改 造 をしないでください 新 たな 危 険 の 発 生 を 防 ぐため 部 品 の 変 更 や 当 社 指 定 以 外 の 改 造 を 本 機 器 に 対 して 行 わないでください 修 理 やその 他 のサービスが 必 要 な 場 合 は 最 寄 りのアジレント テクノロジーのサービス/セールス オフィスにご 連 絡 ください 警 告 事 項 は 必 ずお 守 りください 本 書 に 記 載 されているすべての 警 告 ( 下 記 に 例 を 示 します)は 重 大 事 故 に 結 びつく 危 険 を 未 然 に 防 止 するためのものです ここに 記 載 されている 指 示 は 必 ずお 守 りください 警 告 本 機 器 の 内 部 には 感 電 死 の 恐 れのある 危 険 電 圧 があります 試 験 調 整 およ び 取 扱 い 時 には 細 心 の 注 意 を 払 ってください 3

安 全 上 のシンボル 本 機 器 やマニュアルで 使 用 されている 安 全 上 のシンボルや 表 記 の 一 般 定 義 を 以 下 に 示 します このシンボルが 機 器 に 表 示 されている 場 合 使 用 者 は 取 扱 説 明 書 を 参 照 する 必 要 があります このシンボルは 交 流 を 示 しています このシンボルは 直 流 を 示 しています このシンボルは 電 源 スイッチの 入 を 示 しています このシンボルは 電 源 スイッチの 切 を 示 しています このシンボルは 電 源 スイッチの 入 の 状 態 を 示 しています このシンボルは 電 源 スイッチの 切 の 状 態 を 示 しています このシンボルはシャーシ(またはキャビネット) 端 子 を 示 しています 機 器 の 外 部 シャーシ(またはキャビネット) 部 と 接 続 されている 端 子 であることを 示 して います 警 告 この 表 記 は 警 告 を 示 しています 機 器 の 取 扱 い 方 法 や 手 順 で 感 電 など 取 扱 者 の 生 命 や 身 体 に 危 険 がおよぶ 恐 れがある 場 合 に その 危 険 を 避 けるための 情 報 が 記 されています 注 意 この 表 記 は 注 意 を 示 しています 機 器 の 取 扱 い 方 法 や 手 順 で 機 器 を 損 傷 する 恐 れがある 場 合 に その 損 傷 を 避 けるための 情 報 が 記 されています この 表 記 は を 示 しています 機 器 の 取 扱 い 方 法 や 手 順 での 重 要 な 情 報 が 記 さ れています 品 質 の 保 証 アジレント テクノロジーは 工 場 出 荷 時 の 本 製 品 が マニュアルに 記 載 された 仕 様 を 満 たしていることを 保 証 します さらに 本 製 品 の 校 正 測 定 法 が 米 国 国 立 標 準 技 術 研 究 所 (United States National Institute of Standards and Technology)の 校 正 測 定 標 準 や 同 研 究 所 で 認 められた 校 正 法 の 拡 張 他 の ISO メンバーの 校 正 法 に 準 拠 したものであることを 保 証 します 4

納 入 後 の 保 証 について アジレント テクノロジーの 本 製 品 は 部 品 不 良 または 製 造 上 の 原 因 による 故 障 について 出 荷 日 から 1 年 間 保 証 されています ただし 取 扱 説 明 書 の 仕 様 に 記 載 されている 部 品 の 中 には これ 以 外 の 保 証 期 間 を 定 めたものもあります 保 証 期 間 中 の 故 障 については 当 社 が 随 意 に 修 理 または 交 換 を 行 います 保 証 適 用 のサービスあるいは 修 理 では 当 社 によって 定 められたサービス 施 設 に お 持 ちいただく 必 要 があります 購 入 者 から 当 社 への 本 製 品 の 郵 送 は 購 入 者 の 負 担 となり 返 送 の 際 は 当 社 が 負 担 させていただきます しかし 海 外 からの 郵 送 に 関 しましては 郵 送 料 税 金 など 全 て 購 入 者 の 負 担 となります 当 社 は 当 社 の 設 計 によるソフトウェアおよびファームウェアが 測 定 器 に 正 確 に インストールされた 場 合 に 限 り 当 該 器 上 でプログラミング 命 令 を 実 行 すること を 保 証 いたします 当 社 は 本 器 ソフトウェア あるいはファームウェアがエ ラーもなく 完 全 に 動 作 する 保 証 は 致 しません 保 証 制 限 前 記 の 保 証 は 購 入 者 の 不 適 当 または 不 充 分 な 保 守 当 社 が 供 給 していないソフ トウェアあるいはインタフェースの 使 用 当 社 が 認 めていない 改 造 誤 操 作 ミス または 製 品 の 使 用 条 件 外 での 使 用 不 適 当 な 設 置 場 所 の 保 守 あるいは 選 定 など による 故 障 の 場 合 には 適 用 されません 本 機 器 の 内 容 に 関 する 保 証 の 表 示 または 明 示 は 行 いません 本 質 的 に 当 社 は 特 定 の 目 的 に 対 する 適 合 性 や 商 品 価 値 などを 暗 示 するような 保 証 はいたしません 責 任 の 限 定 購 入 者 は 本 機 器 使 用 時 の 全 責 任 を 負 担 するものとします 当 社 は 本 機 器 を 使 用 することによって 発 生 する 直 接 間 接 特 別 偶 然 または 必 然 的 な 損 害 に 対 し たとえその 損 害 が 発 生 することが 知 らされていても また 不 法 行 為 / 合 法 行 為 を 問 わず 一 切 の 責 任 を 負 いません サービス アジレント テクノロジーの 製 品 についてのご 質 問 定 期 校 正 および 修 理 につい ては 最 寄 りの 当 社 セールス オフィスまたは 当 社 指 定 のサービス 会 社 にご 連 絡 ください 当 社 セールス オフィスの 住 所 は 本 書 の 裏 表 紙 に 記 載 しています 5

本 書 の 書 体 の 決 まり Bold( 太 字 ) Italic [Hardkey] キー Softkey キー [Hardkey] - Softkey1 - Softkey2 太 字 は 用 語 定 義 や 強 調 の 場 合 に 使 用 します イタリック 体 は 英 文 における 強 調 文 を 表 しま す Hardkey というキー ラベルを 持 つハード キーを 表 します キー は 省 略 されること もあります Softkey というキー ラベルを 持 つソフト キーを 表 します キー は 省 略 されること もあります [Hardkey] キー Softkey1 キー Softkey2 キー の 順 にキー 操 作 を 行 うことを 意 味 します - は 省 略 されることもあります 本 器 に 関 する 他 のマニュアルについて 本 器 には 以 下 のマニュアルが 用 意 されています 取 扱 説 明 書 (Agilent P/N: 04294-970x0 和 文 オプション ABJ 付 きに 添 付 本 書 ) 4294A がお 手 元 に 届 いてから 日 常 お 使 いいただくまでの 必 要 なほぼすべての 情 報 を 記 載 しています 設 置 の 手 引 き 基 本 的 操 作 の 習 得 機 能 概 要 測 定 の 準 備 から 測 定 の 最 適 化 の 技 法 までの 測 定 の 流 れに 従 った 各 機 能 の 操 作 手 順 の 詳 細 測 定 例 オプションとアクセサリ 仕 様 と 参 考 データ フロント キー 別 機 能 一 覧 表 エラー メッセージなどが 含 まれます なお 本 器 を 用 いた 自 動 測 定 のためのプログラミングに 関 しては プログラミング 解 説 書 をご 覧 ください プログラミング 解 説 書 (Agilent P/N: 04294-970x1 オプション ABJ 付 きに 添 付 和 文 ) 4294A を 用 いて 自 動 測 定 する 際 のプログラミングに 関 する 情 報 を 記 載 していま す リモート コントロール 概 要 トリガ 測 定 終 了 検 出 等 のプログラミン グに 重 要 な 事 項 アプリケーション プログラム 例 コマンド 別 解 説 などを 記 載 しています また LAN の 利 用 法 も 解 説 しています HP Instrument BASIC User's Handbook(Agilent P/N: E2083-90005 オプ ション ABJ および ABA 付 きに 添 付 英 文 ) 一 般 的 なプログラミング 例 やヒントを 交 えながら HP インスツゥルメント BASIC の 使 用 方 法 について 説 明 しています また HP インスツゥルメント BASIC のすべてのコマンドの 説 明 をしています このマニュアルは HP Instrument BASIC Programming Technique HP Instrument BASIC Interface Tequnique HP Instrument BASIC Language Reference の 三 部 で 構 成 されています Operation Manual(Agilent P/N: 04294-900x0 オプション ABA 付 きに 添 付 6

英 文 ) 取 扱 説 明 書 の 英 語 版 です Programming Manual(Agilent P/N: 04294-900x1 オプション ABA 付 きに 添 付 英 文 ) プログラミング 解 説 書 の 英 語 版 です Service Manual(Agilent P/N: 04294-901x0 オプション 0BW 付 きに 添 付 英 文 ) 4294A のサービス( 修 理 調 整 性 能 試 験 など)に 必 要 な 情 報 を 記 載 していま す マニュアルの 部 品 番 号 (Agilent P/N) 中 の x は 初 版 を 0 として 改 訂 ごとに 1 が 加 えられた 数 字 になっています オプション ABJ,ABA,0BW には 常 に 最 新 の マニュアルが 添 付 されます 7

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目 次 第 1 章. 設 置 の 手 引 き 開 梱 時 の 検 査................................... 18 電 源 投 入 前 の 注 意................................. 20 ヒューズの 設 定 交 換............................... 20 使 用 可 能 な 電 源.................................. 20 電 源 ケーブル................................... 21 BNC アダプタの 接 続 (オプション 1D5 のみ)...................... 23 LAN ポートへの 接 続................................. 24 キーボードの 接 続................................. 25 ラック/ハンドル インスタレーション....................... 26 オプション 1CN ハンドル キット.......................... 26 オプション 1CM ラックマウント キット...................... 27 オプション 1CP ラックマウント&ハンドル キット.................. 27 動 作 環 境..................................... 28 設 置 場 所 の 放 熱 空 間 の 確 保............................. 28 本 器 のクリーニング 方 法.............................. 29 第 2 章. 基 本 的 操 作 の 習 得 用 意 するもの................................... 32 測 定 の 準 備.................................... 33 16047E テスト フィクスチャの 接 続........................ 33 電 源 の 投 入.................................... 33 アダプタ 選 択 を アダプタ 無 し に 設 定....................... 34 測 定 条 件 の 設 定.................................. 35 4294A の 初 期 設 定 化 (プリセット)......................... 35 測 定 パラメータとして Z -G を 選 択......................... 35 掃 引 パラメータとして 周 波 数 を 選 択......................... 35 掃 引 タイプとして 対 数 掃 引 を 選 択.......................... 35 掃 引 スタート 値 を 100 Hz に 設 定.......................... 36 掃 引 ストップ 値 を 100 MHz に 設 定.......................... 36 測 定 バンド 幅 を 2 に 設 定.............................. 36 フィクスチャ 補 正 の 実 行.............................. 37 フィクスチャ オープン 補 正 の 実 行......................... 37 フィクスチャ ショート 補 正 の 実 行......................... 37 測 定 と 結 果 の 表 示................................. 39 試 料 の 接 続.................................... 39 Z に 対 するグラフの 縦 軸 を 対 数 に 設 定....................... 40 G に 対 するグラフの 縦 軸 をリニアに 設 定....................... 40 Z G の 測 定 結 果 を 上 下 に 分 割 表 示........................ 41 Z のトレースの 自 動 スケール 調 整......................... 42 G のトレースの 自 動 スケール 調 整.......................... 42 結 果 の 解 析.................................... 44 自 己 共 振 周 波 数 共 振 点 インピーダンスの 読 み 取 り.................. 44 第 3 章.フロント/リア パネルと. 画 面 表 示 フロント パネル................................. 46 ハードキー.................................... 46 1. ACTIVE TRACE ブロック............................. 47 9

目 次 2. MEASUREMENT ブロック............................. 47 3. STIMULUS ブロック............................... 48 4. ENTRY ブロック................................ 48 5. MARKER ブロック................................ 49 6. INSTRUMENT STATE ブロック........................... 49 7. ソフトキー.................................. 50 8. カラー LCD ディスプレイ............................ 50 9. 電 源 スイッチ................................. 50 10. 測 定 端 子................................... 50 11. 内 蔵 3.5 インチ フロッピー ディスク ドライブ................ 51 リア パネル................................... 52 1. 外 部 基 準 信 号 入 力 端 子............................. 52 2. 高 安 定 周 波 数 基 準 出 力 端 子 (オプション 1D5)................... 52 3. 外 部 トリガ 入 力 端 子.............................. 52 4. LAN ポート.................................. 53 5. 内 部 基 準 信 号 出 力 端 子............................. 53 6. 外 部 プログラム RUN/CONT 入 力 端 子........................ 53 7. 8 ビット I/O ポート.............................. 53 8. タイム ベース 調 整 穴 (オプション 1D5)..................... 53 9. Mini-DIN キーボード コネクタ......................... 53 10. 24 ビット I/O ポート............................. 54 11. プリンタ ポート............................... 54 12. 外 部 モニタ 出 力 端 子.............................. 54 13. GPIB コネクタ................................ 54 14. 電 源 ケーブル レセプタクル(ヒューズ 付 き).................. 54 LCD 画 面 表 示.................................... 55 1. 測 定 パラメータ................................ 55 2. スケール/リファレンス............................ 55 3. マーカ 測 定 パラメータ 値............................ 55 4. メニュー 名.................................. 55 5. ソフトキー ラベル.............................. 56 6. マーカ 掃 引 パラメータ 値............................ 57 7. マーカ ステータス.............................. 57 8. マーカ 統 計 値 /トレース バンド 幅 解 析 結 果................... 58 9. リミット ライン テスト 結 果......................... 58 10.HP インスツゥルメント BASIC ステータス..................... 58 11.DC 電 圧 / 電 流 バイアス モニタ 値........................ 58 12. 掃 引 ストップ 値 またはスパン 値......................... 58 13. 測 定 信 号 電 流 レベル モニタ 値......................... 59 14. 測 定 信 号 レベル CW 周 波 数 設 定 値....................... 59 15. 測 定 信 号 電 圧 レベル モニタ 値......................... 59 16. 掃 引 スタートまたはセンタ 値.......................... 59 17. 機 器 ステータス................................ 59 18. 等 価 回 路 パラメータ 値............................. 62 19. 外 部 基 準 信 号 入 力 状 態............................. 62 20. 設 定 パラメータ 値 機 器 メッセージ....................... 62 21. タイトル................................... 62 第 4 章. 測 定 用 アクセサリの 準 備 10

目 次 測 定 用 アクセサリの 選 択.............................. 64 測 定 用 アクセサリの 接 続 と 電 源 の 投 入........................ 67 アダプタ 設 定................................... 68 アダプタ 選 択................................... 69 アダプタ セットアップ.............................. 70 16048G /16048H を 用 いた 測 定 のアダプタ セットアップ............... 71 16334A のアダプタ セットアップ......................... 73 16451B のアダプタ セットアップ......................... 74 42942A を 用 いた 測 定 のアダプタ セットアップ................... 75 42941A を 用 いた 測 定 のアダプタ セットアップ................... 79 第 5 章. 測 定 条 件 の 設 定 4294A の 初 期 設 定 化 (プリセット).......................... 84 設 定 対 象 トレース(アクティブ トレース)の 選 択.................. 85 掃 引 パラメータの 選 択............................... 86 リニア 掃 引 ログ 掃 引 リスト 掃 引 の 選 択...................... 89 掃 引 範 囲 の 設 定.................................. 91 スタート 値 ストップ 値 による 設 定......................... 91 センタ 値 スパン 値 による 設 定........................... 91 マーカを 使 った 掃 引 範 囲 の 設 定........................... 92 時 間 を 掃 引 パラメータとする(ゼロ スパン 掃 引 )................... 96 測 定 点 数 (NOP)の 設 定............................... 99 掃 引 方 向 の 選 択..................................101 手 動 による 掃 引 ( 指 定 点 での 測 定 )..........................102 測 定 待 ち 時 間 の 設 定................................104 掃 引 時 間 による 設 定................................104 測 定 点 遅 延 時 間 による 設 定.............................104 掃 引 遅 延 時 間 による 設 定..............................104 固 定 周 波 数 (CW 周 波 数 )の 設 定...........................106 信 号 源 レベルの 設 定................................107 信 号 源 レベル 単 位 ( 電 圧 または 電 流 )の 選 択.....................108 DC バイアスの 設 定 と 印 加..............................109 1. DC バイアス モードの 選 択...........................109 2. 固 定 DC バイアス レベルの 設 定.........................109 3. DC 電 圧 リミット 値 の 設 定............................110 4. DC バイアス レンジを 1 ma に 設 定.......................110 5. DC バイアス 印 加 のオン オフ..........................111 6. DC バイアス レンジの 最 適 化..........................111 測 定 開 始 の 指 示 方 法 (トリガ ソース)の 選 択....................113 掃 引 トリガ 測 定 点 トリガの 選 択..........................114 外 部 トリガ 入 力 信 号 の 極 性 の 選 択..........................115 指 定 回 数 の 掃 引 と 掃 引 の 停 止............................116 一 回 掃 引.....................................116 指 定 回 数 掃 引...................................116 無 限 回 数 掃 引 ( 連 続 掃 引 ).............................117 掃 引 の 停 止....................................117 複 数 の 掃 引 範 囲 を 別 々の 条 件 で 一 度 に 掃 引 する(リスト 掃 引 )..............118 リスト 掃 引 テーブルの 作 成.............................120 掃 引 タイプとしてリスト 掃 引 を 選 択.........................126 11

目 次 リスト 掃 引 におけるグラフ 横 軸 の 設 定.......................127 測 定 確 度 安 定 度 と 測 定 時 間 の 調 整.........................129 測 定 バンド 幅 の 設 定...............................129 複 数 の 掃 引 間 のアベレージング( 掃 引 間 アベレージング)...............130 測 定 点 ごとのアベレージング(ポイント アベレージング)..............131 第 6 章. 校 正 適 切 な 校 正 方 法 の 選 択...............................134 A. 直 結 型 テスト フィクスチャ 使 用 時 の 校 正.....................137 B. 測 定 端 子 を 4 端 子 対 で 1 m 延 長 した 場 合 の 校 正...................139 16451B 使 用 時 のフィクスチャ 補 正 の 注 意......................140 C. 測 定 端 子 を 4 端 子 対 で 2 m 延 長 した 場 合 の 校 正...................141 D. 42942A に 専 用 フィクスチャを 直 結 した 場 合 の 校 正..................143 E. 42942A の 7 mm 端 子 を 延 長 した 場 合 の 校 正.....................145 F. 42941A にプローブ アダプタを 直 結 した 場 合 の 校 正.................147 G. 42941A の 3.5 mm 端 子 を 延 長 した 場 合 の 校 正....................149 ユーザ 校 正....................................151 ユーザ 校 正 の 手 順................................151 ユーザ 校 正 実 行 のオン オフ...........................152 ユーザ 校 正 に 使 用 するスタンダードの 値 の 定 義...................152 ポート 延 長 補 正..................................154 フィクスチャ 補 正.................................155 フィクスチャ 補 正 の 手 順.............................155 フィクスチャ 補 正 実 行 のオン オフ........................157 フィクスチャ 補 正 に 使 用 するスタンダードの 値 の 定 義................157 校 正 補 正 データ 取 得 点 の 設 定...........................159 補 正 ( 校 正 )データ 取 得 の 固 定 点 のリスト...................160 第 7 章. 表 示 の 設 定 測 定 パラメータの 選 択...............................162 グラフの 軸 形 式 の 選 択...............................164 測 定 パラメータが COMPLEX Z-Y 以 外 のとき.....................164 測 定 パラメータが COMPLEX Z-Y のとき.......................166 自 動 スケール 設 定.................................168 手 動 スケール 設 定 (COMPLEX Z-Y 以 外 のとき).....................170 基 準 線 と1 目 盛 あたりの 大 きさによるスケール 設 定.................170 最 高 値 最 低 値 によるスケール 設 定........................173 手 動 スケール 設 定 (COMPLEX Z-Y のとき).......................176 グラフの 軸 形 式 が 複 素 平 面 のとき.........................176 グラフの 軸 形 式 が 極 座 標 のとき..........................179 スケール 設 定 表 示 対 象 トレース(データまたはメモリ)の 選 択............181 データ/メモリ トレースのスケール 設 定 の 連 動...................182 トレースの 比 較 と 演 算 (メモリ トレースの 利 用 )...................183 記 憶 した 基 準 トレースとの 比 較 演 算.......................183 オフセット 値 の 引 き 算..............................188 3 つ 以 上 のトレースの 比 較..............................189 トレースの 重 ね 表 示 機 能 によるトレースの 比 較...................189 リスト 掃 引 機 能 によるトレースの 比 較.......................190 12

目 次 測 定 信 号 レベル(AC)のモニタ...........................193 測 定 信 号 レベルのリアル タイム モニタ......................193 マーカによる 測 定 信 号 レベル モニタ 値 の 読 み 取 り..................194 DC バイアス レベルのモニタ............................197 DC バイアス レベルのリアル タイム モニタ...................197 マーカによる DC バイアス レベル モニタ 値 の 読 み 取 り...............198 位 相 単 位 の 選 択..................................201 位 相 の 180 度 での 折 り 返 しの 無 い 連 続 表 示......................202 非 アクティブ トレースの 表 示 を 隠 す........................203 測 定 グラフの 分 割 表 示...............................204 HP インスツゥルメント BASIC 用 画 面 の 割 り 当 ての 設 定.................206 測 定 画 面 にタイトルを 表 示 する...........................209 画 面 表 示 色 の 変 更.................................211 文 字 グラフィックスの 明 るさ 設 定.........................211 背 景 の 明 るさ 設 定.................................211 文 字 グラフィックスのアイテムごとの 表 示 色 の 設 定.................212 文 字 グラフィックスのすべての 表 示 色 を 工 場 出 荷 時 設 定 に 戻 す............214 第 8 章. 結 果 の 解 析 と 処 理 掃 引 パラメータ 値 を 指 定 してトレース 上 の 値 を 読 む..................216 トレース 上 の 複 数 の 点 のデータをリスト 表 示 する...................218 ソフトキー ラベルによる 複 数 のマーカ 位 置 の 表 示..................218 マーカ リスト 機 能 によるマーカ 位 置 のリスト 表 示..................219 画 面 上 の 基 準 点 との 差 分 を 読 む(デルタ マーカ)...................221 メイン マーカを 利 用 してデルタ マーカを 基 準 点 に 置 く...............221 デルタ マーカを 単 独 で 移 動 して 基 準 点 に 置 く....................222 メイン/サブ マーカを 表 示 させて 基 準 点 からの 差 分 を 読 む..............223 実 際 の 測 定 点 のみを 読 む/ 測 定 点 間 を 補 間 して 読 む..................226 測 定 値 の 最 大 最 小 をサーチする..........................227 目 標 とする 測 定 値 を 持 つ 点 をサーチする.......................229 ピーク( 極 大 極 小 )をサーチする.........................232 ピークの 定 義...................................236 ピークの 極 性 の 定 義................................236 ピークの 鋭 さの 定 義................................237 トレース 上 のピークを 利 用 したピークの 鋭 さの 定 義..................237 掃 引 ごとに 自 動 でサーチを 実 行 する(サーチ トラッキング)..............239 トレースのバンド 幅 解 析..............................240 トレース バンド 幅 解 析 におけるパラメータの 定 義..................241 トレース バンド 幅 解 析 におけるカットオフ 点 の 定 義.................242 トレース バンド 幅 解 析 におけるデルタ マーカの 設 定................243 トレース バンド 幅 解 析 の 実 行...........................244 マーカの 設 定 をトレース A トレース B で 別 々に 行 う..................247 マーカ 解 析 対 象 トレース(データまたはメモリ)の 選 択................248 マーカの 掃 引 パラメータ 値 表 示 を 時 間 緩 和 時 間 にする................249 マーカを 画 面 から 消 す(オフにする).........................251 サブ マーカをオフにする.............................251 デルタ マーカをオフにする............................251 すべてのマーカ(メイン/サブ/デルタ)をオフにする................252 等 価 回 路 パラメータの 算 出 と f 特 のシミュレーション.................253 13

目 次 測 定 結 果 をもとにした 等 価 回 路 パラメータの 算 出..................253 等 価 回 路 パラメータをもとにした 周 波 数 特 性 のシミュレーション...........256 トレースの 平 均 / 標 準 偏 差 /ピーク ピークを 求 める.................258 トレースにリミットを 設 定 して 合 否 判 定 する.....................260 リミット ラインを 設 定 する...........................260 リミット ライン テストの 実 行.........................265 設 定 したリミット ラインを 画 面 上 で 上 下 左 右 に 移 動 する.............268 部 分 サーチ 範 囲 の 指 定...............................271 掃 引 タイプがリスト 掃 引 以 外 のとき........................271 掃 引 タイプがリスト 掃 引 のとき..........................273 4294A 内 部 データの 保 存 と 呼 び 出 し..........................274 4294A の 内 部 データ フローについて........................274 設 定 状 態 / 校 正 データ/メモリ 配 列 の 保 存 (STATE 保 存 )...............275 校 正 データとトレース データの 保 存 (DATA 保 存 )..................277 DATA 保 存 によりテキスト (ASCII) 形 式 で 保 存 されたファイルの 利 用..........279 データ 配 列 のタッチストーン 形 式 での 保 存.....................288 タッチストーン 形 式 で 保 存 されたファイルの 利 用..................289 表 示 画 面 の 保 存 (GRAPHICS 保 存 )..........................291 保 存 されているファイルへの 上 書 き 保 存......................293 電 源 投 入 時 の 自 動 設 定 のためのファイルを 作 成 する.................295 保 存 ファイルの 呼 び 出 し.............................295 測 定 結 果 内 部 データをプリンタで 印 刷 する.....................298 印 刷 形 式 ( 色 解 像 度 用 紙 の 扱 い 等 )の 設 定...................298 測 定 結 果 グラフ(イメージ)の 印 刷........................300 測 定 値 設 定 値 リスト(テキスト)の 表 示 と 印 刷..................300 第 9 章. 制 御 管 理 機 能 の 設 定 と 利 用 機 器 メッセージを 再 表 示 する............................304 内 部 時 計 の 設 定 と 確 認...............................305 日 付 の 設 定 確 認................................305 時 刻 の 設 定 確 認................................306 内 蔵 スピーカ(ビープ 音 )の 設 定..........................308 完 了 ビープのオン オフ.............................308 警 告 ビープのオン オフ.............................308 ファイルの 管 理..................................309 ディレクトリの 作 成...............................309 ファイルのコピーを 作 成 する...........................311 ファイルまたはディレクトリの 削 除........................314 記 憶 媒 体 (メディア)の 初 期 化..........................316 GPIB の 設 定 と 確 認.................................318 システム コントローラ モードとアドレッサブル オンリ モードの 切 り 替 え....318 GPIB アドレスの 設 定 と 確 認............................318 LAN の 設 定 と 確 認..................................320 IP アドレスの 設 定 と 確 認.............................320 ゲートウェイ アドレスの 設 定 と 確 認.......................321 サブネット マスクの 設 定 と 確 認.........................323 MAC アドレスの 確 認................................324 ファームウェア バージョンの 確 認.........................326 キー 操 作 による 確 認...............................326 14

目 次 電 源 再 投 入 による 確 認...............................326 4294A の 自 己 診 断 を 行 う...............................327 内 部 テストの 一 括 実 行...............................327 個 々のテスト 結 果 の 確 認..............................327 第 10 章. 仕 様 と 参 考 データ 基 本 特 性.....................................330 測 定 パラメータ..................................330 測 定 端 子.....................................330 測 定 信 号 特 性...................................330 DC バイアス 機 能.................................333 掃 引 特 性.....................................334 測 定 時 間.....................................336 トリガ 機 能....................................337 測 定 バンド 幅 /アベレージング 機 能.........................337 アダプタ 設 定...................................337 測 定 誤 差 補 正 機 能.................................337 測 定 確 度.....................................339 表 示 機 能.....................................352 マーカ 機 能....................................352 等 価 回 路 解 析 機 能.................................354 リミット ライン テスト.............................354 記 憶 装 置.....................................354 プリンタ パラレル ポート............................354 GPIB.......................................355 HP インスツゥルメント BASIC 機 能.........................355 8 ビット I/O ポート................................355 24 ビット I/O ポート(ハンドラ インタフェース)..................356 LAN 機 能.....................................357 一 般 特 性.....................................358 外 部 基 準 信 号 入 力.................................358 内 部 基 準 信 号 出 力.................................358 高 安 定 周 波 数 基 準 信 号 出 力 (オプション 1D5)....................358 外 部 トリガ 入 力..................................358 外 部 プログラム RUN/CONT 入 力...........................360 外 部 モニタ 出 力..................................360 動 作 環 境.....................................360 保 管 環 境.....................................360 その 他......................................361 付 属 品......................................363 付 録 A.マニュアル チェンジ マニュアル チェンジ...............................366 変 更 1.......................................367 バージョン 1.0x への 変 更 点............................367 その 他 の 変 更...................................368 付 録 B.フロント キー 別 機 能 一 覧 表 15

目 次 ハードキーの 機 能.................................370 [Meas] キーで 表 示 されるソフトキー.........................373 [Format] キーで 表 示 されるソフトキー........................375 [Display] キーで 表 示 されるソフトキー........................376 [Scale Ref] キーで 表 示 されるソフトキー.......................383 [Bw/Avg] キーで 表 示 されるソフトキー........................386 [Cal] キーで 表 示 されるソフトキー..........................388 [Sweep] キーで 表 示 されるソフトキー.........................393 [Source] キーで 表 示 されるソフトキー........................398 [Trigger] キーで 表 示 されるソフトキー........................400 [Marker] キーで 表 示 されるソフトキー........................402 [Marker ] キーで 表 示 されるソフトキー.......................405 [Search] キーで 表 示 されるソフトキー........................407 [Utility] キーで 表 示 されるソフトキー........................412 [System] キーで 表 示 されるソフトキー........................414 [Local] キーで 表 示 されるソフトキー.........................426 [Copy] キーで 表 示 されるソフトキー.........................429 [Save] キーで 表 示 されるソフトキー.........................433 [Recall] キーで 表 示 されるソフトキー........................439 付 録 C.エラー メッセージ アルファベット 順.................................442 付 録 D. 初 期 設 定 値 一 覧 表 初 期 設 定 値 セーブ/リコール 対 象 設 定 バックアップ 対 象 設 定 一 覧..........460 16

1. 設 置 の 手 引 き 第 1 章 設 置 の 手 引 き 本 章 では 4294A プレシジョン インピーダンス アナライザがお 手 元 に 届 いてか ら 使 用 を 開 始 するまでに 必 要 なこと およびお 手 入 れ 方 法 について 説 明 します なお 測 定 用 アクセサリ(テスト フィクスチャ アダプタ プローブ 測 定 ケーブル 等 )の 接 続 については 第 4 章 測 定 用 アクセサリの 準 備 ( 63 ページ ) をご 覧 ください 17

設 置 の 手 引 き 開 梱 時 の 検 査 開 梱 時 の 検 査 警 告 輸 送 中 に 製 品 外 部 のどこか( 例 えばカバー パネル ディスプレイなど)に 損 傷 を 受 けているようであれば 電 源 を 入 れないでください 感 電 する 恐 れがあり ます 製 品 がお 手 元 に 届 きましたら 製 品 を 梱 包 した 箱 に 損 傷 がないかどうか 確 認 して ください 箱 または 衝 撃 吸 収 材 に 損 傷 がある 場 合 は 本 体 部 品 および 付 属 品 がも れなく 揃 っていることと 4294A が 機 械 的 / 電 気 的 に 正 常 に 動 作 することが 確 認 されるまでそのままの 状 態 にしておいてください パッケージ 内 容 のリストは 表 1-1 をご 覧 ください パッケージ 内 容 が 不 足 している 場 合 機 械 的 な 損 傷 または 欠 陥 がある 場 合 パ ワー オン セルフテストをパスしなかった 場 合 は 最 寄 りの 当 社 営 業 所 にご 連 絡 ください 箱 に 損 傷 がある 場 合 衝 撃 吸 収 材 に 極 度 の 重 圧 を 受 けた 形 跡 がある 場 合 は 当 社 の 他 に 搬 送 会 社 にもご 連 絡 ください 搬 送 会 社 に 検 査 してもらうた めに パッケージ 内 容 はすべてそのままの 状 態 で 保 管 しておいてください 表 1-1 1 4294A の 梱 包 内 容 Agilent 製 品 番 号 / 部 品 番 号 1 名 称 数 量 4294A プレシジョン インピーダンス アナライザ 本 体 1 04294-970x0 取 扱 説 明 書 ( 本 書 ) 2 1 04294-970x1 2 プログラミング 解 説 書 1 E2083-90005 HP Instrument BASIC User's Handbook( 英 文 ) 2 1 04294-905xx CD-ROM(マニュアル) 3 1 04294-901x0 Service Manual( 英 文 ) 4 1 04294-180x0 サンプル プログラム ディスク(3.5 インチ フ ロッピー ディスク) 1 04294-61001 100 9 抵 抗 (アダプタ セットアップ 用 ) 1 Mini-DIN キーボード 5 1 8120-4753 電 源 ケーブル 6 1 1250-1859 BNC アダプタ 7 1 5063-9229 ハンドル キット 8 1 5063-9216 ラックマウント キット 9 1 5063-6223 ラックマウント&ハンドル キット 10 1 1. マニュアルまたはサンプル プログラム ディスクの 部 品 番 号 中 の x は 初 版 を 0 と して 改 訂 ごとに 1 が 加 えられた 数 字 になっています 製 品 には 最 新 版 が 添 付 されます 2. オプション ABJ( 和 文 取 扱 説 明 書 セット) 付 にのみ 付 属 します 18 1

設 置 の 手 引 き 開 梱 時 の 検 査 3. CD-ROM には 取 扱 説 明 初, プログラミング 解 説 書, サンプル プログラム ディスクの 内 容 が 含 まれています 4. オプション 0BW(サービス マニュアル) 付 にのみ 付 属 します 5. オプション 810(キーボード) 付 にのみ 付 属 します 6. この 付 属 品 は 国 ごとに 異 なります 電 源 ケーブル オプションについては 図 1-2 をご 覧 く ださい また 電 源 用 3 極 -2 極 変 換 プラグは 付 属 されませんのでご 注 意 下 さい 7. オプション 1D5( 高 安 定 周 波 数 標 準 ) 付 にのみ 付 属 します 8. オプション 1CN(ハンドル キット) 付 にのみ 付 属 します 9. オプション 1CM(ラックマウント キット ) 付 にのみ 付 属 します 10. オプション 1CP(ラックマウント&ハンドル キット) 付 にのみ 付 属 します 1. 設 置 の 手 引 き 1 19

設 置 の 手 引 き 電 源 投 入 前 の 注 意 電 源 投 入 前 の 注 意 電 源 投 入 に 先 だって 正 しいヒューズが 設 定 されているか 確 認 してください ま た 電 源 は 指 定 された 規 格 のものを 使 用 してください ヒューズの 設 定 交 換 以 下 に 示 す 規 格 のヒューズを 使 用 してください UL/CSA タイプ タイム ディレイ 5A 250Vac (Agilent 部 品 番 号 2110-0030) ヒューズが 必 要 な 場 合 には 当 社 営 業 所 に 問 い 合 わせください ヒューズは 図 1-1 に 示 されるヒューズ ホルダを 取 り 出 すことにより 確 認 および 交 換 できま す ヒューズ ホルダは 電 源 コードを 抜 いた 後 図 1-1のa の 部 分 をマイナス ドライバなどで 上 方 に 押 し ホルダを 少 し 飛 び 出 させてから 抜 き 出 します 図 1-1 1 ヒューズ ホルダと 電 源 コード ソケット 使 用 可 能 な 電 源 4294A の 使 用 可 能 な 電 源 は 次 のとおりです 電 圧 : 90 ~132 Vac または 198 ~ 264 Vac( 自 動 切 替 ) 周 波 数 : 消 費 電 力 : 47 ~ 63 Hz 最 大 300 VA 20 1

電 源 ケーブル 設 置 の 手 引 き 電 源 ケーブル 4294A に 付 属 している 電 源 ケーブルは 3 芯 コードで 電 源 コンセントを 介 して 4294A を 接 地 し 感 電 事 故 から 作 業 者 を 保 護 します 電 源 ケーブルプラグの 1 本 が 接 地 線 になっています 1. 設 置 の 手 引 き 警 告 4294A は 付 属 の 接 地 線 のある 3 極 電 源 ケーブルを 使 用 して 確 実 に 接 地 してく ださい 1 21

設 置 の 手 引 き 電 源 ケーブル 図 1-1 2 オプション 電 源 コード 22 1

設 置 の 手 引 き BNC アダプタの 接 続 (オプション 1D5 のみ) BNC アダプタの 接 続 (オプション 1D5 のみ) 1. 設 置 の 手 引 き オプション 1D5 がインストールされている 場 合 は 4294A のリア パネルの REF OVEN 出 力 と EXT REF INPUT を BNC アダプタでつなぎます BNC アダプタはオプ ション 1D5 に 付 属 しています オプション 1D5 をインストールすると 4294A の 測 定 信 号 の 周 波 数 確 度 と 安 定 性 が 向 上 します 図 1-1 3 BNC アダプタの 接 続 (オプション 1D5 のみ) 1 23

設 置 の 手 引 き LAN ポートへの 接 続 LAN ポートへの 接 続 本 器 リア パネルには RJ-45J UTP (Unshielded Twisted Pair) LAN コネクタが 用 意 されており 本 器 を LAN(Local Area Network)に 接 続 することができます 手 順 1. LAN ケーブルを 本 器 リア パネル 上 の LAN ポートに 接 続 します しっかりと 接 続 されていることを 確 認 してください 手 順 2. ネットワークの 設 定 を 行 います プログラミング 解 説 書 の LAN の 利 用 の 章 を 参 照 してください 図 1-1 4 LAN ポートへの 接 続 24 1

キーボードの 接 続 1 設 置 の 手 引 き キーボードの 接 続 1. 設 置 の 手 引 き 手 順 1. Mini-DIN キーボードのケーブルを 本 器 リア パネルのキーボード コネクタに 差 し 込 みます 手 順 2. キーボードを 使 いやすい 位 置 に 置 いてください 図 1-1 5 キーボードの 上 には 物 を 置 かないでください 物 を 置 くと 電 源 投 入 時 のセルフ テストでエラーが 発 生 することがあります キーボードの 接 続 1. オプション 810(キーボード) 付 きにのみキーボードが 付 属 します 1 25

設 置 の 手 引 き ラック/ハンドル インスタレーション ラック/ハンドル インスタレーション 4294A は 測 定 システムの 一 部 としてラックに 納 めることができます 図 1-6 (26 ページ)はラックマウントの 取 り 付 け 方 を 示 しています 表 1-1 2 ラックマウント キット オプション 説 明 Agilent 部 品 番 号 1CN ハンドル キット 5063-9229 1CM ラックマウント キット 5063-9216 1CP ラックマウント&ハンドル キット 5063-9223 図 1-1 6 ラックマウント キットの 取 り 付 け オプション 1CN ハンドル キット オプション 1CN には 1 組 のハンドルと それを 4294A に 取 り 付 けるための 付 属 品 が 含 まれています ハンドルの 取 り 付 け 手 順 1. 表 面 パネルのフレームの 側 面 に 貼 り 付 けてある 化 粧 版 1(フレームに 粘 着 して います)をはがします ( 図 1-6(26 ページ) 参 照 ) 手 順 2. ハンドル 3 を 付 属 のねじで HP 4294A の 左 右 に 取 り 付 けます 手 順 3. トリム 材 4 をハンドルに 取 り 付 けます 26 1

オプション 1CM ラックマウント キット 設 置 の 手 引 き ラック/ハンドル インスタレーション オプション 1CM には 1 組 のフランジと HP 4294A を EIA 規 格 の 標 準 ラック( 幅 482.6mm) に 組 み 込 むための 付 属 品 が 含 まれています 1. 設 置 の 手 引 き ラックへの 組 み 込 み 手 順 1. 表 面 パネルのフレームの 側 面 に 貼 り 付 けてある 化 粧 版 1(フレームに 粘 着 して います)をはがします ( 図 1-6(26 ページ) 参 照 ) 手 順 2. フランジ 2 を 付 属 ねじで 4294A の 左 右 に 取 り 付 けます 手 順 3. 底 面 の4 個 の 脚 を 取 り 外 します (TAB を 引 き 上 げ 矢 印 の 方 向 へスライドしま す ) 手 順 4. ラックへ 組 み 込 みます オプション 1CP ラックマウント&ハンドル キット オプション 1CP には 1 組 のフランジ ハンドルと その 付 属 品 が 含 まれていま す ラックへの 組 み 込 み ( ハンドル 付 き ) 手 順 1. 表 面 パネルのフレームの 側 面 に 貼 り 付 けてある 化 粧 版 1(フレームに 粘 着 して います)をはがします ( 図 1-6(26 ページ) 参 照 ) 手 順 2. ハンドル 3 とフランジ 5 を 付 属 ねじで 4294A の 左 右 に 取 り 付 けます 手 順 3. 底 面 の4 個 の 脚 を 取 り 外 します (TAB を 引 き 上 げ 矢 印 の 方 向 へスライドしま す ) 手 順 4. ラックへ 組 み 込 みます 1 27

設 置 の 手 引 き 動 作 環 境 動 作 環 境 本 器 は 次 のような 環 境 下 でご 使 用 下 さい(フロッピー ディスク ドライブ 動 作 時 ) 詳 細 は 動 作 環 境 (360 ページ)および 保 管 環 境 (360 ページ)をご 覧 ください 温 度 フロッピー ディスク ドライブ 非 動 作 時 フロッピー ディスク ドライブ 動 作 時 0 C ~ 40 C 10 C ~ 40 C 湿 度 ( 湿 球 温 度 29 C 結 露 しないこと) フロッピー ディスク ドライブ 非 動 作 時 フロッピー ディスク ドライブ 動 作 時 高 度 15 % ~ 95 % RH 15 % ~ 80 % RH 0 ~ 2,000 m 本 器 を 機 器 内 に 結 露 が 発 生 するような 環 境 下 に 置 かないで 下 さい 設 置 場 所 の 放 熱 空 間 の 確 保 製 品 の 仕 様 や 測 定 確 度 を 満 たすためには 製 品 の 周 囲 に 適 切 な 放 熱 空 間 を 確 保 し たり ラックに 搭 載 する 場 合 はラック 内 を 強 制 空 冷 するなどして 製 品 の 周 囲 温 度 を 一 定 の 範 囲 内 に 保 つ 必 要 があります 製 品 の 仕 様 や 測 定 確 度 を 満 たすための 周 囲 温 度 については 第 10 章 仕 様 と 参 考 データ ( 329 ページ ) をご 覧 くだ さい 製 品 の 周 囲 温 度 を 動 作 環 境 仕 様 の 温 度 範 囲 内 ( 動 作 環 境 (360 ページ) 参 照 ) に 保 った 場 合 製 品 は 安 全 規 格 の 要 求 に 適 合 します さらにその 温 度 環 境 下 にお いて 製 品 の 周 囲 を 以 下 の 放 熱 空 間 をあけて 囲 った 状 態 でも 製 品 が 安 全 規 格 の 要 求 に 適 合 する 事 を 確 認 しています 条 件 後 部 側 部 180 mm 60 mm( 左 右 それぞれ) 28 1

本 器 のクリーニング 方 法 設 置 の 手 引 き 本 器 のクリーニング 方 法 1. 設 置 の 手 引 き 感 電 を 防 ぐために クリーニングを 行 う 前 に 必 ず 本 器 の 電 源 コードをコンセント から 外 しておいて 下 さい 本 器 の 表 面 の 汚 れを 取 る 場 合 は 乾 いた 布 か 水 でしめらせた 柔 らかい 布 を 堅 く 絞 って あまり 力 を 入 れずに 拭 いてください 決 して 機 器 の 内 部 をクリーニング しないで 下 さい 1 29

設 置 の 手 引 き 本 器 のクリーニング 方 法 30 1

2. 基 本 的 操 作 の 習 得 第 2 章 基 本 的 操 作 の 習 得 ここでは 4294A プレシジョン インピーダンス アナライザの 基 本 的 な 操 作 方 法 を 実 際 の 測 定 例 をもとに 解 説 します はじめて 4294A をお 使 いになる 方 が 本 器 に 慣 れていただく 目 的 でご 利 用 ください 31

基 本 的 操 作 の 習 得 用 意 するもの 用 意 するもの ここでの 測 定 例 では 以 下 のものを 必 要 とします: 4294A プレシジョン インピーダンス アナライザ(1 台 ) 16047E リード 部 品 用 テスト フィクスチャ(1 個 ) 測 定 試 料 : リード 付 きコンデンサ( 自 己 共 振 周 波 数 が 100 MHz より 小 さいも の 0.1 F セラミック タイプなど)(1 個 ) 図 2-2 1 用 意 するもの 32 2

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 の 準 備 測 定 の 準 備 以 下 の 手 順 にしたがって 測 定 の 準 備 を 行 ってください なお ここでは 必 要 な 4294A の 設 置 作 業 は 終 了 していることを 前 提 としています 設 置 の 手 順 に 関 して は 第 1 章 設 置 の 手 引 き ( 17 ページ ) をご 覧 ください 16047E テスト フィクスチャの 接 続 16047E リード 部 品 用 テスト フィクスチャを 4294A に 接 続 します 手 順 1. 16047E の 4 つの BNC コネクタおよび 固 定 用 ねじを 4294A の 測 定 端 子 およびアク セサリ 固 定 穴 に 向 かってまっすぐに 止 まるまでゆっくりと 挿 入 します 手 順 2. 16047E の 2 つの BNC コネクタ 回 転 用 レバーを 回 してコネクタの 溝 の 位 置 を 合 わ せ さらに 止 まるまでゆっくりと 挿 入 します 手 順 3. 16047E の 両 側 の 2 つの 固 定 用 ねじをいっしょに 右 に 回 して 4294A にしっかりと 固 定 します 2. 基 本 的 操 作 の 習 得 手 順 4. 最 後 に 16047E の 2 つの BNC コネクタ 回 転 用 レバーを 右 に 倒 して 固 定 します 図 2-2 2 16047E テスト フィクスチャの 接 続 16047E の 取 り 外 しは 上 記 手 順 を 正 反 対 にすすめてください 電 源 の 投 入 電 源 スイッチを 押 し 4294A の 電 源 をオンにします 2 33

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 の 準 備 電 源 が 投 入 されると モデル 番 号 ファームウェア リビジョン/ 日 付 オプ ション コピーライトなどの 表 示 がされ パワー オン セルフテストが 実 行 さ れます 測 定 画 面 が 表 示 されたらセルフテストは 終 了 です アダプタ 選 択 を アダプタ 無 し に 設 定 [Cal] - ADAPTER [ ] - NONE を 押 してアダプタ 選 択 を アダプタ 無 し にします この 設 定 は 16047E などの 直 結 タイプのテスト フィクスチャを 接 続 する 際 の 設 定 です アダプタ 無 し の 設 定 では 測 定 画 面 左 隅 の 機 器 ステータス エリア には EX1 EX2 7mm PRB のうちいづれも 表 示 されません アダプタ(ターミナル アダプタ ケーブル インピーダンス プローブなど) を 使 用 する 場 合 は 最 初 の 使 用 時 にここでのアダプタ 選 択 以 外 に アダプタ セットアップ と 呼 ばれるセットアップ データの 測 定 を 実 施 する 必 要 がありま す 16047E 使 用 時 のようにアダプタ 選 択 を アダプタ 無 し にするときは アダ プタ セットアップを 行 う 必 要 はありません アダプタ 選 択 は 測 定 の 際 に 確 認 ( 実 行 )しなければならない 極 めて 重 要 な 設 定 で す 特 に 接 続 するアダプタ(ターミナル アダプタ インピーダンス プロー ブ ケーブル テスト フィクスチャ 等 )を 頻 繁 に 交 換 しながら 測 定 される 方 は 測 定 を 開 始 する 前 に 測 定 画 面 左 隅 の 機 器 ステータス エリアに 表 示 されるア ダプタ 選 択 状 態 EX1 EX2 7mm PRB または (これらの 表 示 無 し) を 見 て 正 しいアダプタ 選 択 になっていることを 常 に 確 認 するようにしてくださ い 34 2

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 条 件 の 設 定 測 定 条 件 の 設 定 続 いて 測 定 条 件 の 設 定 を 行 います ここで 取 り 上 げる 設 定 はトレース A トレース B に 対 して 共 通 に 適 用 されるもの です 各 設 定 の 前 にアクティブ トレースを 選 択 したり その 状 態 を 確 認 したり する 必 要 はありません 4294A の 初 期 設 定 化 (プリセット) [Preset] キーを 押 して 4294A をプリセットします プリセットの 実 行 により 4294A は プリセット 時 設 定 と 呼 ばれる 初 期 設 定 状 態 になります 4294A の 記 憶 装 置 に 電 源 投 入 時 設 定 ファイルが 保 存 されている 場 合 は 電 源 投 入 時 にそのファイルが 自 動 的 に 読 み 込 まれて 記 憶 されている 設 定 を 再 現 します 新 しい 設 定 を 行 う 際 は 確 実 な 設 定 を 行 うために 電 源 投 入 直 後 であるなしにかかわ らず 毎 回 [Preset] キーによるプリセットを 実 施 することをお 奨 めします なお アダプタ 設 定 (アダプタ 選 択 およびアダプタ セットアップ データ)は [Preset] キーによる 設 定 の 初 期 化 の 影 響 を 受 けません 一 度 設 定 されたアダプタ 設 定 は [Preset] キーを 押 しても 変 更 されません 2. 基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 パラメータとして Z -G を 選 択 以 下 の 手 順 で 測 定 パラメータを 選 択 します 手 順 1. [Meas] キーを 押 して 測 定 パラメータ メニューを 表 示 させます 手 順 2. Z -G キーが 選 択 されていることを 確 認 します( Z - Z -G はプリセット 時 設 定 です) このキーが 選 択 されているとき トレース A に 対 してはインピーダンスの 絶 対 値 トレース B に 対 してはインピーダンスの 位 相 が 測 定 パラメータと 割 り 当 てら れています 掃 引 パラメータとして 周 波 数 を 選 択 手 順 1. [Sweep] キーを 押 して 掃 引 メニューを 表 示 させます 手 順 2. PARAMETER [ ] キーのキー ラベルの [ ] 内 に FREQ( 周 波 数 掃 引 )が 表 示 されてい ることを 確 認 します( 周 波 数 掃 引 はプリセット 時 設 定 です) ここでは 行 いませんが 掃 引 パラメータを 変 更 する 場 合 には PARAMETER [ ] キー を 押 して 掃 引 パラメータ メニューを 表 示 させて 新 しい 掃 引 パラメータを 選 択 し ます 掃 引 タイプとして 対 数 掃 引 を 選 択 手 順 1. [Sweep] キーによって 表 示 されている 掃 引 メニューの 中 の TYPE [ ] キーを 押 して 掃 引 タイプ メニューを 表 示 させます 2 35

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 条 件 の 設 定 手 順 2. LOG キーを 押 して 対 数 掃 引 を 選 択 します 掃 引 スタート 値 を 100 Hz に 設 定 手 順 1. [Start] キーを 押 して 現 在 の 掃 引 スタート 値 を 画 面 左 上 の 設 定 パラメータ 値 エリ アに 表 示 させます 手 順 2. ENTRY ブロックのキーで [1][0] [0][0] と 押 して 設 定 パラメータ 値 エリアに 100 を 入 力 します 手 順 3. 同 じく ENTRY ブロックにある [ 1] キーを 押 して 単 位 の 接 頭 辞 を 付 けずに 掃 引 ス タート 値 の 入 力 を 確 定 します 掃 引 ストップ 値 を 100 MHz に 設 定 手 順 1. [Stop] キーを 押 して 現 在 の 掃 引 ストップ 値 を 画 面 左 上 の 設 定 パラメータ 値 エリア に 表 示 させます 手 順 2. ENTRY ブロックのキーで [1][0] [0][0] と 押 して 設 定 パラメータ 値 エリアに 100 を 入 力 します 手 順 3. 同 じく ENTRY ブロックにある [M/ ] キーを 押 して M (mega)の 単 位 を 付 けて 掃 引 ストップ 値 の 入 力 を 確 定 します 測 定 バンド 幅 を 2 に 設 定 手 順 1. [Bw/Avg] キーを 押 して 測 定 バンド 幅 /アベレージング メニューを 表 示 させま す 手 順 2. BANDWIDTH [ ] キーを 押 して 測 定 バンド 幅 設 定 メニューを 表 示 させます 手 順 3. 2 キーを 押 して 測 定 バンド 幅 を 2 に 設 定 します 36 2

基 本 的 操 作 の 習 得 フィクスチャ 補 正 の 実 行 フィクスチャ 補 正 の 実 行 ここでは 測 定 前 に 必 要 なフィクスチャ 補 正 の 手 順 を 説 明 します フィクスチャ 補 正 を 含 め 校 正 はトレース A トレース B に 対 して 共 通 に 適 用 さ れるものです 各 手 順 の 前 にアクティブ トレースを 選 択 したり その 状 態 を 確 認 したりする 必 要 はありません フィクスチャ オープン 補 正 の 実 行 手 順 1. [Cal] キーを 押 して 校 正 メニューを 表 示 させます 手 順 2. FIXTURE COMPEN キーを 押 してフィクスチャ 補 正 メニューを 表 示 させます 手 順 3. 4294A に 接 続 された 16047E の 測 定 電 極 をオープン 状 態 ( 電 極 に 何 も 接 続 しない 状 態 )にします このとき 16047E の2つの 電 極 固 定 用 ねじを 右 に 回 して HIGH 側 LOW 側 それぞれの2 枚 の 電 極 が 動 かないように 固 定 しておいてください 2. 基 本 的 操 作 の 習 得 手 順 4. OPEN キーを 押 してオープン 補 正 データの 測 定 を 実 行 します 補 正 データ 測 定 中 は WAIT--MEASURING STANDARD が 画 面 左 上 の 設 定 パラメータ 値 エリア 上 部 に 表 示 されます オープン 補 正 データの 測 定 が 終 了 すると 同 じソフトキー メニュー 内 にある OPEN on OFF キーのラベルが 自 動 的 に OPEN ON off に 変 わります(フィクス チャ オープン 補 正 機 能 がオンになります) フィクスチャ ショート 補 正 の 実 行 手 順 1. 16047E の 上 部 についているショート バー(ショート 補 正 用 の 金 属 板 )をねじを ゆるめて 取 り 外 し このショート バーを 16047E の HIGH 側 端 子 と LOW 側 端 子 に 挿 入 して 短 絡 します 挿 入 されたショート バーは2つの 電 極 固 定 用 ねじでしっ かりと 固 定 します( 図 2-3(37 ページ) 参 照 ) 図 2-2 3 フィクスチャ ショート 補 正 のセットアップ 2 37

基 本 的 操 作 の 習 得 フィクスチャ 補 正 の 実 行 手 順 2. SHORT キーを 押 してショート 補 正 データの 測 定 を 実 行 します 補 正 データ 測 定 中 は WAIT--MEASURING STANDARD が 画 面 左 上 の 設 定 パラメータ 値 エリア 上 部 に 表 示 されます ショート 補 正 データの 測 定 が 終 了 すると 同 じソフトキー メニュー 内 にある SHORT on OFF キーのラベルが 自 動 的 に SHORT ON off に 変 わります(フィ クスチャ ショート 補 正 機 能 がオンになります) 手 順 3. 16047E のショート バーを 測 定 電 極 から 取 り 外 します フィクスチャ 補 正 はオープン ショート ロードの3つの 補 正 から 構 成 されてい ますが 3つすべての 補 正 を 必 ず 実 行 しなければならないわけではありません ( 測 定 に 対 する 補 正 機 能 の 適 用 のオン オフはそれぞれ 単 独 で 行 うことができま す) 通 常 の 測 定 では オープン 補 正 ショート 補 正 を 実 行 することをお 奨 めし ます 38 2

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 と 結 果 の 表 示 測 定 と 結 果 の 表 示 試 料 の 接 続 手 順 1. 16047E の HIGH 側 電 極 LOW 側 電 極 のそれぞれの 固 定 ねじを 左 に 回 してそれぞれ 電 極 の2 枚 の 電 極 間 隔 を 広 げます 図 2-2 4 手 順 2. HIGH 側 電 極 LOW 側 電 極 それぞれの 電 極 板 の 間 に 試 料 のリード 線 を 挿 入 します 手 順 3. HIGH 側 電 極 LOW 側 電 極 の 固 定 ねじを 右 に 回 して 試 料 のリードをしっかりと 挟 み 込 みます 試 料 の 接 続 2. 基 本 的 操 作 の 習 得 2 39

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 と 結 果 の 表 示 図 2-2 5 試 料 接 続 直 後 の 測 定 結 果 Z に 対 するグラフの 縦 軸 を 対 数 に 設 定 手 順 1. アクティブ トレース( 設 定 対 象 トレース)としてトレース A が 選 択 されている ことを 確 認 します(プリセット 時 設 定 としてトレース A がアクティブ トレース です) 手 順 2. [Format] キーを 押 して 表 示 フォーマット メニューを 表 示 させます 手 順 3. LOG キーを 押 してグラフの 縦 軸 をログ( 対 数 )に 設 定 します G に 対 するグラフの 縦 軸 をリニアに 設 定 手 順 1. [B] キーを 押 してトレース B をアクティブ トレースにします 手 順 2. LIN キー(グラフの 縦 軸 がリニア)が 選 択 されていることを 確 認 します(LIN は 表 示 フォーマットのプリセット 時 設 定 です) 40 2

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 と 結 果 の 表 示 図 2-2 6 グラフの 縦 軸 形 式 の 設 定 結 果 2. 基 本 的 操 作 の 習 得 Z G の 測 定 結 果 を 上 下 に 分 割 表 示 手 順 1. [Display] キーを 押 してディスプレイ メニューを 表 示 させます 手 順 2. SPLIT on OFF キーを 押 して 分 割 表 示 をオンにします(キー ラベルを SPLIT ON off に 変 えます) 2 41

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 と 結 果 の 表 示 図 2-2 7 トレース A トレース B の 分 割 表 示 結 果 分 割 表 示 のオン オフはトレース A およびトレース B に 共 通 の 設 定 ですから こ の 設 定 の 前 にアクティブ トレースの 選 択 状 態 を 確 認 する 必 要 はありません Z のトレースの 自 動 スケール 調 整 手 順 1. [A] キーを 押 してトレース A をアクティブ トレースにします 手 順 2. [Scale Ref] キーを 押 してスケール リファレンス メニューを 表 示 させます 手 順 3. AUTO SCALE キーを 押 して Z のトレースのスケールを 自 動 調 整 します G のトレースの 自 動 スケール 調 整 手 順 1. [B] キーを 押 してトレース B をアクティブ トレースにします 手 順 2. AUTO SCALE キーを 押 して Z のトレースのスケールを 自 動 調 整 します 42 2

基 本 的 操 作 の 習 得 測 定 と 結 果 の 表 示 図 2-2 8 自 動 スケール 調 整 結 果 2. 基 本 的 操 作 の 習 得 2 43

基 本 的 操 作 の 習 得 結 果 の 解 析 結 果 の 解 析 自 己 共 振 周 波 数 共 振 点 インピーダンスの 読 み 取 り 手 順 1. [A] キーを 押 してトレース A をアクティブ トレースにします 手 順 2. [Search] キーを 押 してサーチ メニューを 表 示 させます このとき メイン マーカ( 上 部 に 番 号 0 の 付 いたトレース 上 の )がグラフの 横 軸 の 中 心 に 現 れます 手 順 3. SEARCH TRK on OFF キーを 押 してサーチ トラッキング 機 能 ( 掃 引 のたびにサーチ を 実 行 する 機 能 )をオンにします(キー ラベルが SEARCH TRK ON off に 変 わりま す) 手 順 4. MIN キーを 押 してメイン マーカを Z の 最 小 値 に 移 動 させます サーチ ト ラッキング 機 能 がオンになっていますので 掃 引 によってトレースが 更 新 される たびに 自 動 的 に Z の 最 小 値 をサーチしてメイン マーカがそこに 移 動 します トレース A のグラフ 右 上 に 表 示 されるメイン マーカの 掃 引 パラメータ 値 ( 周 波 数 )および 測 定 パラメータ 値 を 読 むことにより 試 料 の 自 己 共 振 周 波 数 および 共 振 点 インピーダンスがわかります 図 2-9 の 例 では 試 料 の 自 己 共 振 周 波 数 は 約 5.13 MHz 共 振 点 インピーダンスは 約 155 m9 です 図 2-2 9 自 己 共 振 点 のサーチ 結 果 (サーチ トラッキング 機 能 オン) 44 2

3. フロント/リア パネル と 画 面 表 示 第 3 章 フロント/リア パネルと 画 面 表 示 ここでは 4294A のフロント パネル( 前 面 パネル) リア パネル( 裏 面 パネ ル) LCD 画 面 表 示 について 図 を 示 しながら 説 明 します 45

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 フロント パネル フロント パネル 4294A のフロント パネルは ハードキー ソフトキー LCD ディスプレイ 測 定 端 子 フロッピー ディスク ドライブ 電 源 スイッチから 構 成 されていま す 図 3-1に4294A のフロント パネルを 示 します 図 3-3 1 4294A のフロント パネル ハードキー ハードキーとは 4294A のフロント パネルの 右 上 部 にある 46 個 のキーで 6 つの 機 能 ブロック( 図 3-1の1~6)に 分 かれています 各 キーの 表 面 には 機 能 を 意 味 する 文 字 が 書 かれています LCD ディスプレイの 右 横 に 縦 に 並 んでいる 8 つ キーは ソフトキー と 呼 ばれ ハードキーとは 別 の 分 類 になります ロータ リ ノブと 呼 ばれる 円 形 の 回 転 ノブ ( ) はキーではありませんが 分 類 上 はハー ドキーに 入 れておきます ハードキーはその 動 作 上 4294A の 設 定 を 直 接 変 更 するためのもの ソフトキー を 画 面 右 端 に 表 示 させるためのもの およびそれらが 組 み 合 わせられたものに 分 類 できます 46 3

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 フロント パネル このマニュアルでは ハードキーはキー ラベルを [ ] で 囲 って 表 します ま た ソフトキーはキー ラベルをそのまま 使 って 表 します [Hardkey] キー Hardkey というキー ラベルを 持 つハードキーを 表 します Softkey キー Softkey というキー ラベルを 持 つソフトキーを 表 します なお キー は 省 略 されることもあります またキー 操 作 の 手 順 は 操 作 するキーを 順 番 にハイフン - でつなげて 表 しま す 例 えば 自 動 スケール 調 整 をするキー 操 作 は [Scale Ref] - AUTO SCALE と 表 します ただし 連 続 して 数 値 キーを 押 す 場 合 などは - を 省 略 することもあ ります( 例 えば 数 値 100 の 入 力 手 順 を [1][0] [0][0] と 表 します) 1. ACTIVE TRACE ブロック 4294A は 一 回 の 掃 引 測 定 に 対 し その 測 定 結 果 として 二 つのトレース( 波 形 )を 画 面 上 に 表 示 することができます この 二 つのトレースはそれぞれトレース A トレース B と 呼 ばれ それぞれに 対 し 別 々の 条 件 設 定 や 解 析 ができるものがあり ます( 掃 引 範 囲 のように 共 通 のものもあります) この ACTIVE TRACE ブロックの [A] キーまたは [B] キーによって トレース A またはトレース B のどちらかを 選 択 することにより その 後 の 条 件 設 定 解 析 をその 選 択 されたトレースに 対 して 行 うことができます この ACTIVE TRACE ブロックのキーにより 選 択 されている 方 のトレースは アクティブ トレースと 呼 ばれます 測 定 条 件 の 設 定 の 際 に は このアクティブ トレースの 選 択 状 態 を 必 ず 確 認 するようにしてください [A] キー [B] キー トレース A をアクティブ トレース( 条 件 設 定 解 析 対 象 トレース)として 選 択 します トレース B をアクティブ トレース( 条 件 設 定 解 析 対 象 トレース)として 選 択 します 3. フロント/リア パネル と 画 面 表 示 2. MEASUREMENT ブロック 測 定 信 号 の 設 定 を 除 くすべての 測 定 条 件 の 設 定 をこのブロック 内 のキーで 行 いま す [Meas] キー 測 定 パラメータの 選 択 を 行 うソフトキーを 呼 び 出 し ます [Format] キー データの 表 示 フォーマット(グラフの 軸 の 形 式 )を 選 択 するソフトキーを 呼 び 出 します また 位 相 表 示 単 位 や 位 相 拡 張 表 示 の 設 定 を 行 うソフトキーも 呼 び 出 します [Display] キー [Scale Ref] キー 表 示 設 定 全 般 ( 表 示 フォーマット 設 定 およびスケー ル 設 定 を 除 く)を 行 うソフトキーを 呼 び 出 します また 等 価 回 路 解 析 を 行 うソフトキーも 呼 び 出 しま す グラフのスケールの 設 定 を 行 うソフトキーを 呼 び 出 します 3 47

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 フロント パネル [Bw/Avg] キー [Cal] キー 測 定 バンド 幅 およびアベレージングの 設 定 を 行 うソ フトキーを 呼 び 出 します 校 正 機 能 の 設 定 を 行 うソフトキーを 呼 び 出 します 3. STIMULUS ブロック 測 定 信 号 の 設 定 をこのブロック 内 のキーで 行 います [Sweep] キー [Source] キー [Trigger] キー [Start] キー [Stop] キー [Center] キー [Span] キー 測 定 信 号 の 掃 引 に 関 する 設 定 を 行 うソフトキーを 呼 び 出 します 周 波 数 (CW 周 波 数 ) 測 定 信 号 レベル DC バイアス を 設 定 するソフトキーを 呼 び 出 します そのパラ メータが 掃 引 パラメータとして 選 択 されているとき の 掃 引 範 囲 は [Start] [Start] [Stop] [Stop] [Center] [Center] [Span] [Span] キーで 行 います トリガの 設 定 を 行 うソフトキーを 呼 び 出 します 掃 引 スタート 値 を 設 定 します 掃 引 ストップ 値 を 設 定 します 掃 引 センタ 値 を 設 定 します 掃 引 スパン 値 を 設 定 します 4. ENTRY ブロック 数 値 や 文 字 列 を 入 力 するためのキーの 集 まりです これらのキーは 設 定 のため のハードキーやソフトキーを 押 して 設 定 値 入 力 待 ち 状 態 ( 画 面 左 上 に 入 力 パラ メータ 名 と 現 在 の 設 定 値 が 表 示 されている 状 態 )にしてから 操 作 します (ロータリ ノブ) [ ][ ][ ] キー (ステップ キー) [Entry Off] キー ノブを 回 すことにより 設 定 値 を 連 続 的 に 変 化 させ ることができます 設 定 値 が 直 接 変 更 されますので 単 位 キーによる 入 力 の 確 定 ( 設 定 の 実 行 )は 不 要 で す 設 定 項 目 によっては カーソルの 左 右 の 移 動 に も 使 用 します キーを 押 すことにより 設 定 値 をある 一 定 間 隔 (ス テップ)で 変 化 ( 増 加 方 向 または 減 少 方 向 )させる ことができます 設 定 値 が 直 接 変 更 されますので 単 位 キーによる 入 力 の 確 定 ( 設 定 の 実 行 )は 不 要 です 設 定 値 入 力 待 ち 状 態 をオフにします 画 面 左 上 の 入 力 パラメータ 名 とその 設 定 値 の 表 示 が 消 えます ま た エラーの 発 生 によって 表 示 されていたエラー メッセージも 消 えます [Back Space] キー 数 値 キーによって 入 力 行 に 入 力 しかけた 数 値 に 対 し カーソルを 左 に 一 つもどして 最 後 の 一 文 字 分 を 消 去 します 48 3

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 フロント パネル [0] ~ [9][.][-] キー ( 数 値 キー) [G/n][M/ ][k/m][ ][k/m][ 1] キー( 単 位 キー) 数 値 を 一 字 ずつ 入 力 行 のカーソルの 位 置 に 入 力 する のに 使 用 します 最 後 に 単 位 キーを 押 すことにより 入 力 された 数 値 をもとに 設 定 を 実 行 します 数 値 キーで 入 力 行 に 入 力 した 数 値 に 続 けてこのキー を 押 すことにより 入 力 された 数 値 に 単 位 を 付 けて 入 力 を 確 定 します( 設 定 を 実 行 します) なお キー には 単 位 の 接 頭 辞 のみが 2 つずつ 書 かれていますが 接 頭 辞 の 選 択 および 単 位 の 種 類 は 設 定 するパラメー タに 従 って 自 動 的 に 決 められます [ 1] は 接 頭 辞 な しで 設 定 を 実 行 します 5. MARKER ブロック マーカに 関 する 設 定 を 行 うキーの 集 まりです マーカとは 測 定 トレース( 波 形 ) 上 に 置 かれる 小 さな 逆 三 角 形 です このマーカにより トレース 上 の 様 々 なパラメータを 具 体 的 な 数 値 で 読 みとることができます [Marker] キー [Marker ] キー [Search] キー マーカ 機 能 のオン オフなどマーカの 基 本 的 な 設 定 を 行 うソフトキーを 呼 び 出 します 現 在 のマーカの 位 置 の 数 値 を 他 の 設 定 値 に 代 入 する ソフトキーを 呼 び 出 します 例 えばこのキーで 呼 び 出 される MKR START キーは 現 在 のマーカの 位 置 の 掃 引 パラメータ 値 ( 周 波 数 など)を 掃 引 スタート 値 に 代 入 します(つまり 現 在 のマーカの 位 置 を 新 しい 掃 引 スタート 値 に 変 更 します) マーカを 使 ったサーチ 機 能 に 関 係 したソフトキーを 呼 び 出 します マーカ サーチ 機 能 により トレー ス 上 の 特 定 の 位 置 ( 例 えば 最 大 値 )にマーカを 自 動 的 に 移 動 してそのパラメータを 読 みとることができ ます 3. フロント/リア パネル と 画 面 表 示 [Utility] キー マーカ 値 代 入 ([Marker [Marker ] キー)やマーカ サーチ ([Search] キー) 以 外 のマーカ 機 能 に 関 するソフト キーを 呼 び 出 します 6. INSTRUMENT STATE ブロック 測 定 や 解 析 に 直 接 関 係 しない 測 定 器 の 基 本 的 な 設 定 を 行 うキーの 集 まりです [System] キー 測 定 器 全 体 の 制 御 管 理 にかかわるソフトキーを 呼 び 出 します また リミット ライン テスト 機 能 の 設 定 を 行 うソフトキーも 呼 び 出 します 3 49

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 フロント パネル [Local] キー [Preset] キー [Copy] キー [Save] キー [Recall] キー このキーを 押 すことにより リモート 状 態 (GPIB に よって 外 部 のコントローラにコントロールされてお り キー 操 作 ができない 状 態 )の 4294A をローカル 状 態 (キー 操 作 が 行 える 状 態 )にします リモート 状 態 では このキー 上 部 の Rmt と 書 かれた LED が 点 灯 します また このキーを 押 すことにより GPIB や LAN の 設 定 を 行 うソフトキーを 呼 び 出 します 4294A を プリセット 時 設 定 と 呼 ばれる 一 種 の 初 期 設 定 にします このキーが 押 されプリセット 時 設 定 となった 直 後 はソフトキーは 表 示 されませんが ソフトキーを 呼 び 出 すいづれかのハードキーを 押 す ことによりソフトキーが 表 示 されるようになります 画 面 情 報 のプリンタへの 出 力 を 行 うためのソフト キーを 呼 び 出 します 4294A の 設 定 状 態 測 定 データ 画 面 の 画 像 ファイ ルなどを 4294A の 記 憶 装 置 に 保 存 するためのソフト キーを 呼 び 出 します 4294A の 記 憶 装 置 に 保 存 されているステート ファ イル(4294A の 設 定 状 態 および 測 定 データが 保 存 さ れているファイル)を 呼 び 出 してその 設 定 を 再 現 す るためのソフトキーを 表 示 します 7. ソフトキー 画 面 右 端 に 表 示 されるソフトキー ラベルを 実 際 に 選 択 する( 押 す)ための 8 つ のキーです なお ソフトキー ラベルについては 5. ソフトキー ラベル (56 ページ)をご 覧 ください 8. カラー LCD ディスプレイ 測 定 結 果 (トレース) 設 定 状 態 解 析 結 果 ソフトキーなど 4294A を 操 作 する 上 で 必 要 なほとんどすべての 情 報 をここに 表 示 します 9. 電 源 スイッチ 電 源 のオン オフを 切 り 換 えるスイッチです 電 源 をオンにした 直 後 の 4294A は 電 源 投 入 時 設 定 と 呼 ばれる 一 種 の 初 期 設 定 になります このとき ソフト キーは 表 示 されませんが ソフトキーを 呼 び 出 すいづれかのハードキーを 押 すこ とによりソフトキーが 表 示 されるようになります なお パワー オン 設 定 ファ イル(AUTOREC.STA)がフラッシュ メモリ( 不 揮 発 性 メモリ ディスク)また はフロッピー ディスクに 保 存 されている 場 合 には 電 源 投 入 時 にそのファイル が 自 動 的 に 読 み 込 まれ その 設 定 を 再 現 します 10. 測 定 端 子 この 端 子 に 測 定 用 アクセサリ(アダプタ テスト フィクスチャ ケーブルな ど)を 介 して 測 定 試 料 を 接 続 します 4 端 子 対 構 成 の 採 用 により 高 確 度 広 ダ イナミック レンジ 測 定 を 実 現 しています なお 測 定 端 子 の 両 側 にある 穴 は 測 定 用 アクセサリを 本 器 に 確 実 に 固 定 するための 機 構 です 50 3

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 フロント パネル この 端 子 は IEC61010-1 の 設 置 カテゴリ I に 該 当 します 測 定 端 子 (UNKNOWN 端 子 )に 直 流 電 圧 または 直 流 電 流 を 印 加 しないでください 故 障 の 原 因 となります 特 にコンデンサは 充 電 されている 場 合 があります 試 料 は 十 分 に 放 電 してから 測 定 端 子 (あるいはテスト フィクスチャ)に 接 続 してく ださい 11. 内 蔵 3.5 インチ フロッピー ディスク ドライブ 機 器 の 設 定 状 態 測 定 データ 画 面 の 画 像 ファイル または HP インスツゥルメ ント BASIC プログラムなどをフロッピー ディスクに 保 存 したり そこから 呼 び 出 したりするための 装 置 です 3.5 インチ 1.44 MByte DOS フォーマットのフ ロッピー ディスクに 対 応 しています 3. フロント/リア パネル と 画 面 表 示 3 51

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 リア パネル リア パネル 1. 外 部 基 準 信 号 入 力 端 子 4294A の 内 部 信 号 を 外 部 周 波 数 基 準 信 号 にフェーズ ロックさせるための 信 号 入 力 端 子 です この 端 子 への 外 部 周 波 数 基 準 信 号 の 入 力 により 4294A の 測 定 信 号 の 周 波 数 確 度 を 向 上 させることができます オプション 1D5 高 安 定 周 波 数 基 準 がインストールされているときには この 端 子 と 2. 高 安 定 周 波 数 基 準 出 力 端 子 (オプション 1D5) をオプションに 付 属 の BNC(m)-BNC(m) アダプタを 用 いて 接 続 してください この 入 力 端 子 に 外 部 周 波 数 基 準 信 号 が 入 力 されると 4294A の 測 定 信 号 は 自 動 的 にその 基 準 信 号 にフェーズ ロックされます また 信 号 入 力 がなくなると 自 動 的 に 4294A 内 部 の 周 波 数 基 準 信 号 を 使 用 するようになります 2. 高 安 定 周 波 数 基 準 出 力 端 子 (オプション 1D5) オプション 1D5 高 安 定 周 波 数 基 準 は この 端 子 から 基 準 信 号 を 出 力 します オプ ション 1D5 がインストールされているときは この 端 子 と 1. 外 部 基 準 信 号 入 力 端 子 をオプションに 付 属 の BNC(m)-BNC(m) アダプタを 用 いて 接 続 してくださ い 3. 外 部 トリガ 入 力 端 子 測 定 実 行 を 指 示 するトリガ 信 号 を 入 力 する 端 子 です この 外 部 トリガ 入 力 端 子 52 3

フロント/リア パネルと 画 面 表 示 リア パネル は TTL 互 換 信 号 における LOW 状 態 (または HIGH 状 態 )からの 立 ち 上 がり(また は 立 ち 下 がり)をトリガとして 検 出 します この 端 子 への 信 号 入 力 によって 測 定 にトリガをかけるには 事 前 に [Trigger] - SOURCE [ ] - EXTERNAL とキー 操 作 す ることにより トリガ ソースの 設 定 を EXTERNAL( 外 部 トリガ 入 力 端 子 )にして おく 必 要 があります この 端 子 の 入 力 信 号 条 件 の 詳 細 は 第 10 章 仕 様 と 参 考 データ ( 329 ページ ) をご 覧 ください 4. LAN ポート このポートを 利 用 して 4294A を LAN(Local Area Network)に 接 続 することが できます LAN ポートの 右 側 には Tx(transmit) 表 示 LED があります Tx 表 示 LED の 点 灯 は 4294A が LAN 経 由 でデータを 出 力 中 であることを 意 味 します LAN の 利 用 については プログラミング 解 説 書 をご 覧 ください なお LAN ポート 上 部 には 機 器 固 有 に 割 り 当 てられた MAC アドレスを 示 すシールが 貼 られていま す 5. 内 部 基 準 信 号 出 力 端 子 4294A の 内 部 基 準 信 号 の 出 力 端 子 です この 出 力 端 子 と 他 の 機 器 の 外 部 基 準 信 号 入 力 端 子 を 接 続 することにより その 機 器 を 4294A の 基 準 信 号 でフェーズ ロッ クさせて 使 用 することができます 6. 外 部 プログラム RUN/CONT 入 力 端 子 この 端 子 にトリガ 信 号 を 入 力 することにより HP インスツゥルメント BASIC プロ グラムの RUN または CONTINUE を 実 行 することができます この 外 部 プログラム RUN/CONT 入 力 端 子 は TTL 互 換 信 号 における LOW 状 態 (または HIGH 状 態 )から の 立 ち 上 がり(または 立 ち 下 がり)をトリガとして 検 出 します この 端 子 の 入 力 信 号 条 件 の 詳 細 は 仕 様 と 参 考 データ の 章 をご 覧 ください 7. 8 ビット I/O ポート 3. フロント/リア パネル と 画 面 表 示 GPIB コマンドによって 入 力 専 用 4 ビット 出 力 専 用 8 ビットのデータの 入 出 力 を コントロールできるポートです 生 産 ラインにおける 自 動 機 などとのデータのや りとりに 利 用 できます 8. タイム ベース 調 整 穴 (オプション 1D5) オプション 1D5 高 安 定 周 波 数 基 準 付 きの 4294A に 対 し 周 波 数 調 整 を 行 うた めの 調 整 穴 です この 調 整 穴 はサービス センタにおける 調 整 作 業 用 ですので 一 般 ユーザの 方 は 絶 対 に 触 れないでください 9. Mini-DIN M キーボード コネクタ PS/2 スタイル 101 型 英 語 キーボードをここに 接 続 します キーボードは HP イ ンスツゥルメント BASIC の 操 作 やディスプレイ タイトルなどの 文 字 列 の 入 力 に 利 用 できます 指 定 以 外 のキーボードを 使 うと 正 しく 動 作 しない 可 能 性 があります 必 ず 当 社 指 3 53