研 究 開 発 拠 点 の 重 要 性 とTIA-nanoの 挑 戦 平 成 22 年 6 月 30 日 独 立 行 政 法 人 産 業 技 術 総 合 研 究 所 理 事 長 野 間 口 有 1
世 界 ナノテク 拠 点 と 拠 点 形 成 の 効 果 拠 点 名 国 名 予 算 規 模 人 員 規 模 MINATEC フランス 350M (2008 年 ) 4,000 名 企 業 等 と 契 約 250M 公 的 資 金 100M IMEC ベルギー 262M (2008 年 ) 1,643 名 84%は 民 間 企 業 出 資 ALBANY NanoTech 米 国 5000 億 円 (2001 年 ) 2,500 名 年 間 運 営 経 費 450 億 円 程 度 拠 点 形 成 の 効 果 1オープンイノベーション 戦 略 : 自 社 にない 技 術 の 修 得 補 完 (インバウンド 志 向 )から 協 働 の シナジーによる 価 値 創 造 (アウトバウンド 志 向 )に 向 けた 世 界 的 動 向 Win-Win 連 携 の 構 築 2 投 資 戦 略 : 世 界 的 R&Dインフラ 構 築 への 集 中 投 資 と 多 様 な 研 究 ラボへの 分 散 投 資 の 均 衡 と 相 互 連 携 3 産 学 官 連 携 : 中 核 拠 点 における 産 学 官 各 研 究 体 の 境 界 を 越 え 連 携 する Under One Roof 融 合 場 の 形 成 4 人 材 育 成 : 国 内 外 の 大 学 と 連 携 して 世 界 的 拠 点 に 不 可 欠 な 次 世 代 人 材 育 成 機 能 の 形 成 2
世 界 のナノテク 拠 点 とTIA IMEC 1984 年 ベルギー フランドル 地 方 の 自 治 体 大 学 及 び 産 業 界 の 支 援 を 受 け マイクロエレクトロニクス 分 野 の 非 営 利 研 究 機 関 として 設 立 ALBANY Nanotech 2001 年 ニューヨーク 州 立 大 学 オルバニー 区 のCNSEを 主 体 にニューヨーク 州 政 府 と IBMが 中 核 として 出 資 し ナノテク 国 際 拠 点 を 形 成 MINATEC 2006 年 フランス 原 子 力 庁 電 子 情 報 技 術 研 究 所 (CEA-LETI)が 中 心 となり グ ルノーブル 市 内 に 欧 州 最 大 のナノテク 研 究 拠 点 を 形 成 世 界 水 準 の 先 端 ナノテク 研 究 設 備 人 材 が 集 積 す るつくばにおいて 産 業 技 術 総 合 研 究 所 物 質 材 料 研 究 機 構 筑 波 大 学 が 中 核 となって 世 界 的 な ナノテク 研 究 拠 点 形 成 を 目 指 す 3
拠 点 形 成 に 向 けた 基 本 理 念 産 学 官 の 共 同 宣 言 つくばナノテクノロジー 拠 点 形 成 の 推 進 について 21 年 6 月 17 日 つくばナノテクノロジー 拠 点 運 営 最 高 会 議 運 営 最 高 会 議 議 長 岸 輝 雄 国 立 大 学 法 人 筑 波 大 学 学 長 山 田 信 博 独 立 行 政 法 人 物 質 材 料 研 究 機 構 理 事 長 潮 田 資 勝 独 立 行 政 法 人 産 業 技 術 総 合 研 究 所 理 事 長 野 間 口 有 社 団 法 人 日 本 経 済 団 体 連 合 会 産 業 技 術 委 員 会 共 同 委 員 長 中 鉢 良 治 TIA 基 本 理 念 理 念 1: 世 界 的 な 価 値 の 創 造 共 通 基 盤 インフラでの 実 用 実 証 により 世 界 的 な 新 事 業 を 創 出 することを 目 指 します 理 念 2:Under One Roof 産 学 官 それぞれの 研 究 者 研 究 体 が 組 織 の 壁 を 越 えて 結 集 融 合 する 共 創 場 を 提 供 します 理 念 3: 自 立 好 循 環 共 通 基 盤 インフラは 国 際 的 に 優 位 性 のある 利 用 価 値 を 国 内 外 に 提 供 します 理 念 4:Win-Win 連 携 網 国 内 外 にネットワークを 広 げ 連 携 力 を 強 化 して 価 値 を 創 造 します 理 念 5: 次 世 代 人 材 育 成 教 育 ( 次 世 代 人 材 育 成 ) 機 能 を 産 学 官 連 携 により 充 実 させます 4
TIAの 中 核 機 関 Under One Roof 国 立 大 学 法 人 筑 波 大 学 nano 独 立 行 政 法 人 物 質 材 料 研 究 機 構 独 立 行 政 法 人 産 業 技 術 総 合 研 究 所 5
TIA 運 営 最 高 会 議 組 織 運 営 ( 運 営 最 高 会 議 規 約 案 より 抜 粋 ) ( 運 営 最 高 会 議 ) 世 界 水 準 の 先 端 ナノテク 研 究 設 備 人 材 が 集 積 す るつくばにおいて つくばナノテクノロジー 拠 点 (TIA-nano)の 形 成 を 産 業 界 とともに 目 指 す 一 共 通 基 盤 インフラでの 実 用 実 証 により 世 界 的 な 新 事 業 を 創 出 二 産 学 官 それぞれが 組 織 の 壁 を 越 えて 結 集 融 合 する 共 創 場 を 提 供 三 国 際 的 に 優 位 性 のある 共 通 基 盤 インフラ 提 供 四 国 内 外 にネットワークを 広 げ 連 携 力 を 強 化 五 教 育 ( 次 世 代 人 材 育 成 ) 機 能 を 産 学 官 連 携 によ り 充 実 (つくばナノテク 拠 点 運 営 会 議 ) 拠 点 形 成 に 係 る 運 営 を 統 括 する (ワーキング グループ) 拠 点 形 成 の 主 要 な 領 域 において その 枠 組 みに 係 る 調 整 を 行 う ( 事 務 局 ) 運 営 最 高 会 議 の 事 務 を 処 理 する 運 営 最 高 会 議 岸 輝 雄 議 長 山 田 信 博 筑 波 大 学 学 長 潮 田 資 勝 物 材 機 構 理 事 長 野 間 口 有 産 総 研 理 事 長 中 鉢 良 治 経 団 連 産 業 技 術 委 共 同 委 員 長 運 営 会 議 筑 波 大 学 物 質 材 料 研 究 機 構 産 業 技 術 総 合 研 究 所 その 他 産 業 界 学 会 の 代 表 数 名 事 務 局 筑 波 大 学 物 質 材 料 研 究 機 構 産 業 技 術 総 合 研 究 所 顧 問 西 スタンフォート 大 学 教 授 平 山 ニューヨーク 州 立 大 学 教 授 Under One Roof WG ナノエレクトロ ニクス WG パワーエレクト ロニクス WG N-MEMS WG カーボンナノ チューブ/ナノ 材 料 安 全 評 価 WG ナノグリーン WG 大 学 院 連 携 WG 知 財 WG 6
TIAの6コア 研 究 領 域 概 要 世 界 水 準 の 先 端 ナノテク 研 究 設 備 人 材 が 集 積 するつくばにおいて 産 業 技 術 総 合 研 究 所 ( 産 総 研 ) 物 質 材 料 研 究 機 構 ( 物 材 機 構 ) 筑 波 大 学 が 中 核 となって 世 界 的 なナノテク 研 究 拠 点 を 形 成 することを 目 指 し ます そのために 経 済 産 業 省 文 部 科 学 省 が 協 力 し 産 学 とも 連 携 しながら 2008 年 度 より 強 力 に 拠 点 形 成 を 支 援 しています 主 要 企 業 大 学 との 連 携 網 を 広 げ 産 学 官 に 開 かれた 融 合 拠 点 として ナノテクの 産 業 化 と 人 材 育 成 を 一 体 的 に 推 進 します ( 今 後 各 々のコアは 産 学 官 の 連 携 状 況 等 に 基 づき 拡 張 し 得 る ) 7
6つのコア 研 究 領 域 : 1.ナノエレクトロニクス 新 しいナノデバイスの 創 出 とデバイス 材 料 装 置 メーカーとの 集 中 融 合 拠 点 ナノ 新 材 料 新 構 造 を 応 用 して 低 消 費 電 力 ナノデバイスの 実 現 を 目 指 し 産 総 研 西 事 業 所 スー パークリーンルームに 各 種 メーカーの 研 究 者 が 集 結 する 研 究 開 発 体 制 を 構 築 研 究 ニーズに 応 える 実 証 評 価 ラインの 活 用 回 路 線 幅 45/65nm ウエハ 径 300mmの 集 積 デバイス 実 証 評 価 ラインを 活 用 することで 革 新 的 デバ イスのプロトタイプ 試 作 を 受 託 する 等 研 究 ニーズに 応 えるサービス 機 能 を 検 討 新 材 料 新 構 造 デバイス 化 合 物 半 導 体 ゲルマニウム 超 低 消 費 電 力 デバイス 産 総 研 西 事 業 所 スーパークリーンルーム 低 炭 素 社 会 を 実 現 する 超 低 電 圧 デバイスの 開 発 イメージ 進 捗 : 1 補 正 予 算 による 西 事 業 所 (SCR)のインフラ 整 備 23つの 最 先 端 支 援 プログラムの 推 進 (グリーンナノエレ ナノフォト スピントロニクス) 3H22 年 度 新 規 プロジェクト: 低 炭 素 社 会 を 実 現 する 超 低 電 圧 デバイスプロジェクト 8
6つのコア 研 究 領 域 : 2.パワーエレクトロニクス SiC 研 究 開 発 次 世 代 大 口 径 ウエハ 製 造 高 耐 圧 デバイス 製 造 等 に 自 動 車 等 のユーザ 企 業 と 材 料 メーカー デバイスメーカーが 一 貫 連 携 して 取 り 組 む 研 究 開 発 を 展 開 SiCデバイスの 実 証 試 作 による 製 品 応 用 加 速 産 総 研 と 民 間 企 業 との 共 同 研 究 により SiCデバイスの 実 証 試 作 を 行 うとともに 広 範 な ユーザーへのサンプル 提 供 により 製 品 応 用 実 証 を 加 速 SiC 単 結 晶 インバータ デバイスチップ 進 捗 : 1 補 正 予 算 による 新 クリーンルームの 整 備 2 最 先 端 研 究 開 発 支 援 プログラム(SiC) 産 総 研 産 業 変 革 研 究 イニシアチブ NEDO 次 世 代 パワーエレクトロニクス 技 術 開 発 プロジェクトの 推 進 METI 低 炭 素 社 会 を 実 現 する 新 材 料 パワー 半 導 体 プロジェクトの 推 進 6 9
6つのコア 研 究 領 域 : 3. N-MEMS N-MEMS 製 造 技 術 開 発 の 拠 点 を 構 築 し デバイス 開 発 実 用 化 を 支 援 産 総 研 東 事 業 所 の 既 存 のMEMS 試 作 ラインを 増 強 することで 産 業 界 のニーズのΦ200/300mm の 集 積 N-MEMSの 試 作 ファンドリーの 構 築 を 目 指 す また 関 連 大 学 産 業 界 と 連 携 し 多 様 な 共 同 研 究 の 場 グリーンMEMS 実 証 研 究 の 場 としての 環 境 整 備 を 促 進 バイオセンシング 化 学 センサー 通 信 用 MEMS パワーMEMS 12inch LSI Wafer 三 次 元 ヘテロ 集 積 化 N-MEMS 進 捗 : 1 最 先 端 支 援 プログラム(MEMS)の 推 進 2NEDO 異 分 野 融 合 型 次 世 代 デバイス 製 造 技 術 開 発 プロジェクト(BEANSプロジェクト) の 推 進 10
6つのコア 研 究 領 域 : 4.カーボンナノチューブ カーボンナノチューブ 応 用 技 術 開 発 を 促 進 材 料 メーカーとの 共 同 研 究 に より 量 産 技 術 を 開 発 確 立 し パイロットプラント 規 模 での 実 証 を 目 指 す 産 総 研 で 開 発 した 量 産 技 術 (スーパーグロース 法 )で 合 成 されたカーボンナノチューブ 構 造 体 ( 高 さ2.5mm) CNT 材 料 による 応 用 展 開 イメージ 進 捗 : 1 補 正 予 算 によるスーパーグロース 法 CNT 製 造 実 証 プラントの 整 備 2METI 低 炭 素 社 会 を 実 現 する 超 軽 量 高 強 度 融 合 材 料 プロジェクトの 推 進 11
6つのコア 研 究 領 域 : 5.ナノグリーン 物 材 機 構 が 蓄 積 した 環 境 技 術 を 核 とし 低 炭 素 社 会 構 築 に 貢 献 物 材 機 構 を 中 心 に 産 総 研 筑 波 大 学 産 業 界 が 連 携 して 高 効 率 低 コストで 資 源 制 約 の 少 な い 革 新 的 太 陽 光 発 電 材 料 高 性 能 なエネルギー 変 換 貯 蔵 材 料 光 触 媒 を 利 用 した 低 環 境 負 荷 型 の 環 境 再 生 材 料 等 の 研 究 開 発 を 行 う 進 捗 : 1H21 年 度 補 正 予 算 による 環 境 新 棟 の 着 工 12
6つのコア 研 究 領 域 : 6.ナノ 安 全 材 料 評 価 ナノ 安 全 に 関 する 情 報 集 約 拠 点 事 業 者 が 様 々なナノ 材 料 の 安 全 性 を 確 保 するためのリスク 評 価 管 理 手 法 の 開 発 を 行 うとともに 国 内 外 のナノ 安 全 性 に 関 する 情 報 の 発 信 集 約 拠 点 となるこ とを 目 指 す 2006 年 度 からNEDOプロジェクト ナノ 粒 子 特 性 評 価 手 法 の 研 究 開 発 によりナノ 材 料 のリ スク 評 価 手 法 の 研 究 開 発 に 取 り 組 む CNT 二 酸 化 チタンおよびフラーレンのリスク 評 価 中 間 報 告 を 公 表 リスク 評 価 書 ( 中 間 報 告 版 2009.10.16) 進 捗 : 1METI 低 炭 素 社 会 を 実 現 する 超 軽 量 高 強 度 融 合 材 料 プロジェクトの 推 進 13
3つのコアインフラ 1.ナノテク 共 用 施 設 ナノテク 共 用 施 設 (NOUF) では 産 総 研 物 材 機 構 の 持 つ 材 料 分 析 極 微 細 分 析 加 工 デバイス 試 作 等 に 資 する 貴 重 な 先 端 装 置 群 を 産 学 官 の 研 究 者 技 術 者 に 広 く 開 放 し ナノ テクノロジー 研 究 の 世 界 的 な 拠 点 にふさわしい 基 盤 を 提 供 2.ナノデバイス 実 証 ファンドリー 多 様 なC-MOSデバイスの 集 積 化 検 証 を 促 進 多 様 なニーズ シーズに 基 づくN-MEMSデバイスの 新 技 術 実 用 化 を 促 進 RF-MEMS 産 総 研 西 事 業 所 のSCR(Super Clean Room) 3.ナノテク 大 学 院 連 携 国 内 大 学 との 連 携 ( 拠 点 内 でサテライト 大 学 院 コース 設 定 連 携 大 学 院 プログラムの 構 築 ) 産 業 界 との 連 携 ( 日 本 工 学 会 の 社 会 人 プログラムとも 連 携 を 予 定 ) 海 外 大 学 との 連 携 ( 質 の 高 い 大 学 院 コースワークプログラムを 導 入 ) 14
TIAにおける 今 後 の 展 望 - 国 際 拠 点 形 成 に 向 けた 理 念 の 実 現 - 理 念 1: 世 界 的 な 価 値 の 創 造 国 家 プロジェクトや 民 間 主 導 の 産 学 官 連 携 共 同 研 究 を 推 進 し TIA 拠 点 において 世 界 的 な 新 事 業 をスピーディに 創 出 理 念 2:Under One Roof ハード ソフトの 両 面 からUnder one roofの 環 境 を 整 備 し IPポリシー 等 の 明 確 化 それによるシナジー 効 果 の 創 出 が 大 きな 課 題 理 念 3: 自 立 好 循 環 TIA Nanoに 集 まるメリットや 環 境 を 整 え 民 間 主 導 型 のプロジェクトを 増 やして 自 立 好 循 環 を 実 現 していく 理 念 4:Win-Win 連 携 網 国 内 外 に 産 学 官 ネットワークを 広 げ Win-Win 関 係 となるパートナリングを 戦 略 的 に 行 う 産 学 官 ネットワークの 拡 大 海 外 の 戦 略 的 パートナー 拠 点 との 相 互 補 間 的 な 連 携 によりWin-Win 国 際 連 携 体 制 を 構 築 理 念 5: 次 世 代 人 材 育 成 既 存 の 連 携 大 学 院 を 発 展 させた 連 合 大 学 院 の 形 成 や 海 外 拠 点 の 大 学 と 連 携 により 国 際 的 なナノテク 大 学 院 の 実 現 を 目 指 す 15