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1 本熱物性学会 マイクロ ナノスケールの熱物性とシステムデザイン 第 13 回研究会キャンパス イノベーションセンター 4 階 ( 東京, 町 ) 2009 年 ( ) カーボンナノチューブ熱伝導シミュレーションの最近の進展ションの最近の進展 本貴博 東京 学 学院 学系研究科マテリアル 学専攻

2 半導体デバイスの微細化と発熱問題 Intel CPU Moore s Law Number of Transistors Per Chip Double Every 18 Months Pentium4 Pentium III P.Gelsinger (Intel CTO): ISSCC

3 カーボンナノチューブの高い熱伝導率 Berber, Kwon and Tománek, Phys. Rev. Lett. 84, 4613 (2000). 41,000 W/m-K MD 計算 6,600 W/m-K Diamond: 2000W/m K Cu: 390W/m K 3

4 放熱材料としてのナノチューブ 熱物性値 高い熱伝導率 : ~ 2000 W/m K (300K) 優れた熱的安定性 : T melt > 4000K 機械的に柔軟かつ強靭 : ヤング率 0.9TPa, 比強度は最大 150GPa インテル (2003) Heat Sink Device CNT bundles 名大エコ研 楠グループ (2008) 富士通研 (2005) 放熱効率 15 倍向上 Heat flow 4

5 CNT 熱伝導率の測定値 λ [W/m m-k] SWNT Diamond 10 3 MWNT 1 本のCNT 試料 Cu Si 10 2 マット状試料 Year 考えられ得るいくつかの理由 1) 測定方法の違い : 3ω 法, レーザーフラッシュ法など 2) 試料の違い : 単層, 多層, 長さ, 直径など 3) 純度 : 欠陥, 不純物, 構造変形など 5

6 本日の話題 1 CNT における熱流の担い : 電 vs フォノン 2 CNT 熱伝導の形状 ( さと直径 ) 依存性 3 湾曲変形による CNT 熱伝導への影響 4 陥や不純物による CNT 熱伝導への影響 6

7 ナノチューブ中の熱流の担い手は? CNT 中の熱流の担い手 半導体 : フォノン 金 属 : フォノン + 電子 自由電子に対するヴィーデマン フランツの法則 CNT に対するローレンツ比の測定値 T=30K~350K Hone, et al., PRB 59, R2514 ( 99) フォノン熱伝導 7

8 熱伝導度への寄与 : フォノン vs 伝導電子 Yamamoto, Watanabe, Watanabe: PRL 96, (2004) 光学的フォノン励起 サブバンド励起エネルギー 電 :ΔE el ev フォノン :ΔE ph mev (10,10) 金属カーボンナノチューブの電子熱伝導度とフォノン熱伝導度の比 8

9 本日の話題 1 CNT における熱流の担い : 電 vs フォノン 2 CNT 熱伝導の形状 ( さと直径 ) 依存性 3 湾曲変形による CNT 熱伝導への影響 4 陥や不純物による CNT 熱伝導への影響 9

10 熱伝導率と熱コンダクタンスの長さ依存性 バリスティック領域準バリスティック領域拡散領域 熱伝導率 Linear 熱伝導率 Nonlinear 熱伝導率 Constant L L L 熱コンンダクタンス Constant L 熱コンンダクタンス Nonlinear L 熱コンンダクタンス 1/L L 10

11 低温におけるナノチューブ熱伝導実験 Hone et al., Appl. Phys. A 74, 339 (2002) Temperature dependence Quantum & 1D effects T-linear region: W Plateau width Fig.: Thermal conductance of single-walled ll CNTs with diameter d=1.2nm and d=1.4nm. 11

12 低温での熱伝導 ( バリスティック領域 ) Yamamoto, Watanabe, Watanabe: PRL 96, (2004) Quantized Thermal Conductance At Extremely Low T 縦波 横波 ( たわみ ) ねじれ Quantization Plateau Width 直径が細い 量 化プラトーが広い ( 光学的フォノン励起ギャップ 1/d )

13 熱コンダクタンス量子の実験的検証 13

14 熱伝導率と熱コンダクタンスの長さ依存性 バリスティック領域準バリスティック領域拡散領域 熱伝導率 Linear 熱伝導率 Nonlinear 熱伝導率 Constant L L L 熱コンンダクタンス Constant L 熱コンンダクタンス Nonlinear L 熱コンンダクタンス 1/L L 14

15 室温での熱伝導 ( 準バリスティック領域 ) Diamond Cu Si S. Maruyama: Physica B 323 (2002) 193. S. Maruyama: Nanoscale Microscale Thermophys. Eng. 7 (2003) 41. J. Shiomi & S. Maruyama: Jpn. J. Appl. Phys. 47 (2008) d=0.69 nm for (5,5)CNT d=0.41 nm for (3,3)CNT 3)CNT 15

16 準バリスティック熱伝導の理論 Ballistic Regime Landauer formula Ballistic limit: Quasi-Ballistic Regime Diffusive Regime Boltzmann-Peierls formula Diffusive limit: 16

17 カーボンナノチューブへの応用 Classical limit Bose-Einstein distribution Maxwell distribution 3-phonon U process k 1 +k 2 =k 3 +G k y k 2 k 1 Empirical expression of MFP k x Mean free path k for Umklapp scattering 3 k 1 +k G 2 Here, for graphene, c is a curvature parameter Characteristic frequency 17

18 MD 計算と新規理論との比較 Yamamoto, Konabe, Shiomi, Maruyama: Appl. Phys. Exp. 2, (2009) 18

19 弾道フォノン伝導から拡散フォノン伝導への移行 19

20 実験 : 長さ依存性と直径依存性 さ依存性 直径依存性 Diffusive conductor Chang, et al., PRL 101, (2008) (UC バークレー Majumdar グループ ) Fujii, et al., PRL 95, (2005) ( 九州 学 藤井グループ ) 20

21 本日の話題 1 CNT における熱流の担い : 電 vs フォノン 2 CNT 熱伝導の形状 ( さと直径 ) 依存性 3 湾曲変形による CNT 熱伝導への影響 4 陥や不純物による CNT 熱伝導への影響 21

22 湾曲変形効果 (MDシミュレーション) 3 200nm (5,5)-CNT [a] 2 [b] [nw W/K] 1 [a] [b] [c] [c] compression length [nm] Nishimura, Takahashi, Watanabe, Yamamoto, Appl. Phys. Exp. 2, (2009). 22

23 湾曲変形効果 ( 実験 ) Chang, et al., Phys. Rev. Lett 99, (2007) 23

24 外層切断による熱コンダクタンスの低下 Pristine DWNT Disconnected DWNT 4.26 [nw/k] Down to 20% 0.86 [nw/k] (<<1.87[nW/K]) Outer T [K] 300 Inner T [K] 300 Inner Outer z [nm] Outer z [nm] 24

25 本日の話題 1 CNT における熱流の担い : 電 vs フォノン 2 CNT 熱伝導の形状 ( さと直径 ) 依存性 3 湾曲変形による CNT 熱伝導への影響 4 陥や不純物による CNT 熱伝導への影響 25

26 熱伝導率への不純物 欠陥効果 (MD 計算 ) 熱伝導率の 13 C 同位体濃度依存性 熱伝導率の原 空孔 陥濃度依存性 Maruyama et al., J. Therm. Sci. Tech., 1, 138 (2006). Kondo, Yamamoto, Watanabe, e-jssn 4, 239 (2006) 26

27 フォノン散乱シミュレーション Kondo, Yamamoto, Watanabe: JJAP, 45, L mev Vacancy defect CNT 116meV 11.6 射フォノンエネルギー [mev] 27

28 11.6meV ħω=11.6 mev 28

29 アニーリングによる構造変形 Miyamoto et al., Physica B 323, 78 (2002) Energy Gain due to Structural Change (DFT calculations) Metastable State (Monatomic Vacancy) Stable State (5-1db defect) Annealing (3,3) (5,5) (7,7) (3,3) (5,5) (7,7) ev ev ev Energy gain more than 1 ev 29

30 アニーリングによる局在フォノンの消失 ħω=116mev 11.6 Yamamoto, Watanabe: Phys. Rev. Lett. 96, (2006) ħω=18.5 mev 30

31 まとめ カーボンナノチューブの熱伝導シミュレーション 1. 熱流の担い手 属 半導体ナノチューブいずれもフォノンが 配的 2. 長さと半径依存性 細くて いナノチューブほど熱伝導率が きい 3. 湾曲変形効果 折り曲げても (6 員環構造が壊れない限り ) 熱伝導率に影響はさほどない 4. 欠陥 不純物効果 陥周辺の局在フォノンが熱抵抗の原因 31

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