ガス性状別処理法ガス性状通常処理法高度処理ハ ク フィルタ対象ガス添着炭苛性ソータ + 酸化剤活性炭吸着吸着シ ェットスクラハ 添着炭活性炭ハ ク フィルタ EP 法湿式 EP 法 カ ス アルカリ酸性中性有機溶剤防災カ ス粉じん ばいじん白煙 親水性 疎水性 洗浄法 洗浄法 洗浄法 燃焼法 燃焼法

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1 ガス処理方法の全て 最適な処理法で安全確実 二次公害のない安価な設備を考えるために

2 ガス性状別処理法ガス性状通常処理法高度処理ハ ク フィルタ対象ガス添着炭苛性ソータ + 酸化剤活性炭吸着吸着シ ェットスクラハ 添着炭活性炭ハ ク フィルタ EP 法湿式 EP 法 カ ス アルカリ酸性中性有機溶剤防災カ ス粉じん ばいじん白煙 親水性 疎水性 洗浄法 洗浄法 洗浄法 燃焼法 燃焼法 N 2 希釈 燃焼 洗浄法 特殊スクラハ ハ イフ フィルター法 ( 酸スクラハ ) ( アルカリスクラハ ) ( 水洗式 ) 洗浄法 アンモニア トリメチルアミン 塩化水素 フッ化水素 SOx トルエン キシレン フロン SiH 4 AsH a SiCl 2 H 2 粉じん ばいじん 発煙性硫酸 硝酸ボイル アルカリミスト他 NOx 硝酸 硫化水素 メチル トリクロルエチレン MIBK SiF 4 B 2 H 6 BCl 3 他 塩化アンモニウム他 メルカプタン 硫化メチル 二硫 アルコール MEK アセトン 化メチル他 他 1. 通常排ガス処理法 1. 吸収液は 苛性ソーダ * 有酸ガスと酸 アルカリと混合 * 主として半導体製造工程より排 焼却炉 乾燥炉 ガス化炉等の 白煙粒子径は サブミクロンの ( 充填式スクラバ ) 2. 硫黄系 アルデヒド等は酸化 してはならない ( 悪臭の原因 ) 出するガス 空気と接触すると 排ガスに多い ため圧力損失の大きな充填材 にて処理 剤を使用 < 水洗法 > 発火するガスもあるので注意 < 酸 アルカリ共存のとき > フィルタを用いる 2. 吸収液は硫酸水溶液 3. 低濃度でも臭気が強いので 親水性ガスは 除去可能 分圧 < 水酸化物 > 洗浄法が優れているが バッグ < 特殊スクラバー > 3. 運転法は バッチ式 高度処理が必要な場合がある によるが 多量の水とその廃液 酸化 加熱による分解で処理 フィルタに消石灰を用いる方法 特殊な圧損大の充填材にアルカリ 又は ph 制御による連続 4. 酸性ガスには 添着炭 処理が必要 Si 分はバッグ又は水洗で処理 もある 湿式 EP も可能 液をシャワーして除去 放流式 中性ガスには 中性炭 < 燃焼法 > < ハロゲン化物 > < 焼却炉からのガス > < パイプフィルタ > が有効 排ガスを直接又は触媒を用いて アルカリ液での洗浄 吸着方式 ダイオキシン対策上 EP は不 特殊なフィルタ面にアルカリ液を 燃焼し炭酸ガスと水に分解する では 廃棄物を発生する 可 洗浄法又は バッグフィル シャワーして除去 ( ハロゲン S N 含有は注意 ) タ法が適している < 湿式 EP> 1. 装置が簡単で設備費が安い 1. 広範囲の臭気に効果がある < 吸着法 > 1. 空気接触前に爆発 燃焼下限 1. 洗浄法は 捕集粉じんの系外 前洗浄で粒子径を大きくして EP 2. 運転費も比較的安い 2. 設備費が安く ミスト ダス 活性炭での吸着 低濃度では にする必要がある への搬出がポイント で除去 3. ミスト ダストも同時除去 トも同時除去 取替式 高濃度では再生式で使 2. 排ガス量は小さいものが多い 2. バッグフィルタは消石灰供給 1. 特殊スクラバは設備が簡単 4. ガスの冷却効果がある 処理法の概略説明特3. 薬品の管理がシビア 過剰に用する 徴3. 捕集粉じん対策が必要 装置が必要 管理平易 5. 排水処理が必要 なると出口から薬品臭 4. 製造条件も考慮した排ガス処 2. パイプフィルタは設備費が 1. 発生源事業所の状況に応じて対策法を選定する 理が必要 やや高い 3. 湿式 EPは最も設備費が高い

3 1 脱臭装置 活性炭吸着方式 ( 取替式 ) 1) 排ガスは 吸着塔内の活性炭層を通過する時吸着除去され 清浄ガスとして大気放出される 2) 活性炭の吸着能力が限界に達したら 全量取り替える 3) 取り出した活性炭は 廃棄又は再生業者にて再生し再利用する 1) 大風量 低濃度の排ガスに適する 2) 構造が簡単なため 保守管理が容易 3) 活性炭の取替え費 再生費が必要となるが ランニングコストが安価である <A 方式 > 活性炭抜き取りをバキューム車で抜き取る 1 吸着塔高さが低くできる 2 抜き取り時 塔内作業が必要 3 活性炭充填時 表面の平準化作業が必要 <B 方式 > 吸着塔底部のバルブを開き 重力差で直接トラック上の袋に落とし込む 1 吸着塔が高くなる 2バルブ操作一つで抜き取りが可能 3 充填は投入口レベルまでの充填でよい 都市ごみピット 下水処理曝気脱臭 水処理設備環境脱臭 塗装工業 印刷工業 繊維工業 薬品工業 食品工業 化学工業 その他悪臭発生事業所

4 2 溶剤回収装置 活性炭吸着方式 ( 湿式再生式 ) 主として有機溶剤の処理 回収に用いる 溶剤濃度 作業時間に合わせて1 塔式 2 塔式 多塔式と簡単に組み合わせることができる [1] 吸着工程 1) 排ガスはファンにより吸着塔へ送られ 活性炭に吸着され清浄ガスとして大気放出される [2] 脱着再生工程 1) 排ガスを吸着した活性炭は 水蒸気により直接加熱脱着される 2) 脱着された有機溶剤は 水蒸気と共にコンデンサーに供給され ここで冷却凝縮し水と溶剤の混合液となりデカンターに貯留される 3) デカンターにより比重差で溶剤と水に分離される 4) 溶剤は回収タンクへ 水は曝気槽へ送られ曝気ブロアーで曝気し 所定の濃度まで処理し放流する 5) 曝気ガスは排ガスと混合し 再び吸着塔へ送られ吸着処理する よって曝気は吸着時に行うことになる 1) 疎水性溶剤に適する 2) 有価物の溶剤を回収でき 再利用可能 ( 濃度 組成によっては1 年前後で設備償却可能 ) 3) 蒸気脱着のため安全である 電子工業 電気工業 精密機械工業 クリーニング業 脱脂工程 印刷業 その他有機溶剤取扱工場

5 3 溶剤回収装置 活性炭吸着方式 ( 乾式再生式 ) 主として有機溶剤の処理 回収に用いる [1] 吸着工程 1) 排ガスが吸着塔へ送られ 有機溶剤が活性炭に吸着される [2] 脱着工程 1) 通気弁を閉にしN 2 ガスを充填し 酸素濃度を5% 以下にする 2) 脱着系の弁を開き 脱着ファンONし 蒸気ヒータで循環 N 2 を昇温する 3) 所定温度に達したらコンデンサーで冷却し 溶剤を凝縮回収する 4) 脱着が完了したら蒸気ヒータOFFにし 脱着ファンを運転し 吸着塔を冷却する 次回吸着まで通気弁は閉の状態にしておく 1) 再生時 直接蒸気を使用しないため廃水量が少ない ( 吸着水のみ ) 2) 有価物溶剤が回収できる 3) 脱着時の弁シール 酸素濃度監視等 管理に技術を必要とする 4) 親水性 蒸気圧の低い溶剤に適する 電子工業 電気工業 精密機械脱脂工程 洗浄工程 塗布工程

6 4 脱臭装置 酸 アルカリ + 次亜塩素酸ソーダ洗浄方式 1) 臭気成分のアルカリ系のガスを酸スクラバーに導き 酸吸収液で中和処理する 2) 次に硫黄系のガスをアルカリと次亜塩素酸ソーダ液で酸化吸収する 吸収液は所定のアルカリ濃度と次亜塩素酸ソーダ濃度に保って運転する 3) 被処理ガス濃度が高い場合や出口濃度規制値が低い場合は 洗浄塔の後に活性炭吸着塔を設け 吸着処理する 1) 高濃度臭気に対しても高除去率を発揮する 2) 吸収液濃度管理はpH 計 ORP 計で行うため 自動で管理が容易である 3) オプションの活性炭吸着塔を設ければ 完全処理が可能となる 水処理装置周辺環境排気 ( 回転円板 フィルタープレス 汚泥貯槽 濾過機 ) 食品工場 食肉工場 皮革加工工場 し尿処理施設 ビール工場 ウイスキー ワイン工場

7 バブリング方式 5 粉じん処理装置 1) 気液接触部がオリフィス板 含塵ガスがオリフィス通過時 落下吸収液によりバブリングされ 排ガス中の粉塵が除去される 2) 吸収液に酸又はアルカリを添加することにより 酸性又はアルカリ性のガスを粉塵と同時に除去できる 1) 簡単な構造 目詰まりのない気液接触 2) 粉塵と有害ガスの同時処理ができる 3) 硫酸ミスト クロム酸ミスト NaOHミストの除去可能 半導体製造工程 エッチング工程 酸洗工程 金属表面処理 化学反応工程 研磨工程

8 ジェットスクラバー方式 6 高効率粉じん処理装置 1) 含塵有害ガスがジェットの吸引力でジェット塔に吸収される 2) ジェット塔では ジェット水流と粉塵排ガスが激しく気 - 液接触し 除塵する 3) 除塵 除害された洗浄ガスはミストセパレーターを通り 大気放出される 4) 除塵された吸収液中の粉塵は 特殊構造水槽により効率良く沈殿し 系外に排出される 5) オプションとして 高効率有害ガス処理が必要な場合 洗浄塔を設ける 又酸 アルカリの薬液供給設備を設ける 1) 排ガス中の粉塵と有害成分が同時処理できる 2) 常温から高温排ガスまで処理できる 3) 目詰まりがなく メンテナンスが簡単 4) ジェット吸引力を利用して ファンが不要 ( ダクト抵抗によっては必要 ) 5) 高い除去効率 製薬 食品工業 半導体製造 電気機器 窯業 化学 塗装工業 精密工業

9 特殊スクラバー 7 白煙 硫酸ミスト処理装置 1) 排ガスを前処理塔に導き 大粒のミストや高濃度無機ガスの大半を処理する 2) 白煙 微細ミストを特殊充填剤を充填した除去塔で効率良く除去する ここでは ガスと吸収液は並流接触で目詰まり等を防ぐ 3) 濃度 粒径により 特殊充填層の段数を決める 4) ミスト 白煙除去塔の吸収液は前処理塔へ送られ 残存アルカリを有効に使用する 1) 横型スクラバーのため メンテナンスが簡単 2) 吸収液は苛性ソーダのみで 保守管理が極めて容易 3) 特殊充填剤と並流気 / 液接触のため目詰まりがしにくく 高い効率が得られる 酸洗浄工程 酸ボイル工程 ( 硫酸 280 以上 過塩素酸 180 以上 ) 塩化アンモン昇華工程 三酸化硫黄 (SO 3 ) 発生工程

10 酸化還元方式 8 NOx 処理装置 1)NOx ガスを前処理塔でアルカリ吸収除去する NO + NO 2 N 2 O 3 N 2 O 3 + 2NaOH = 2NaNO 2 + H 2 O 2NO 2 + 2NaOH = NaNO 3 + NaNO 2 + H 2 O 2) 酸化塔では NO を NO 2 に亜塩素酸ソーダで酸化する 2NO + NaClO 2 = 2NO 2 + NaCl 4NO 2 + NaClO 2 + 4NaOH = 4NaNO 3 + NaCl + 2H 2 O 3) 還元塔では チオ硫酸ナトリウムで NO 2 を N 2 に還元する 4NO 2 + Na 2 S 2 O 3 + 4NaOH = 4Na 2 SO 4 + 2H 2 O + 2N 2 排ガス中の NOx は NO や NO 2 が単独で存在することはなく NO と NO 2 が混在している 低濃度又は密閉釜からの発生の場合 NO リッチとなる この場合 アルカリ吸収除去はできない 又 NO 2 リッチも極めて吸収効率が悪くなる 1) 酸化剤で NO リッチに対応し還元剤で NO 2 リッチに対応するため あらゆるガスに対応可能 2)2 次公害のない完全処理法 金属酸洗 貴金属溶解 化学品製造 ( 実施例 ) アルミサッシ工場 ステンレス表面処理 エッチング工程 フィルム工場 ベリリウム銅表面処理 貴金属精製 スズ溶解 化学工場 火薬工場 農薬工場 電気部品工場

11 オゾン + 触媒方式 9 脱臭装置 1) 低濃度臭気ガスにオゾンを注入し 触媒層に送る 2) ここでオゾンと触媒とが反応活性化し 活性酸素が臭気成分を分解し 自らは O 2 になり清浄ガスとして排出される * 臭気濃度が濃い場合 前処理塔で粗処理した後オゾンガスを注入し 相対湿度 90% 以下になるようにヒーターで加熱する 1) 装置が簡単で 設置スペースが小さい 2) 無臭化のみならず除菌 殺菌される ゴミピット脱臭 病院脱臭 ホテル空調脱臭 食品工場 化粧品工場等

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