W32_6241MR2_MR4_Ver6_カタログ.cdr

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1 DCV ACV DCI ACI W MR2/MR4 の! 4 をサポート! / モニタ 6240A/41A/42A/43/44 ナノボルトメータ 2182A/34420A( アジレントテクノロジー ) 6240A,6241A,6242A,6243,6244は エーディーシー の です 2182Aは ケースレー の です 34420Aは アジレントテクノロジー の です できる GP-IB ボード 6240A/41A/42A 6243/ A,34420A 2000+SCAN 6240A/41A/42A 6243/ A,34420A 2000+SCAN 4 W MR2-R W MR2-N W MR4-R W MR4-N ラトックシステム NI ラトックシステム NI エーディーシー 220, ,000 Windows 7/8.1/10 (32 or 64bit) Excel 2007/ /2016 (32bit Only) に は まれておりません による で によるを し な をおこないます を した では 0.1Aから1.0A の き な を して が われます しかし によっては の または を くため このような きめな を できない があります このとき ma または uaでので を することになりますが ケーブル のの を きく ける となります での ソフトの により による を した での では に した される を します が さいほどが きくなります これは が さいほど のが さくなり の を けやすくなることを しています きめので した でも の がμΩ であれば じようにの を きく けることになります による の きさは するの さ また の に きく します ソフトでは による でによるを し かつ により ノイズやによるバラツキを さく えます ただし する の や を えることはできません について この では のは μ V はそれ の になり のデジタルマルチメータや が する では が なレベルです このように さな を く するために はナノボルトメータと ばれる を しなければなりません ソフトが する の GP-IB エーディーシー 6240A/41A/42A/43/44 4 に の ケースレー ナノボルトメータ 2182A 2182A による に アジレントテクノロジー ナノボルトメータ 34420A 34420A による に その の による に ケースレー マルチメータ 2000 SCAN/TCSCAN 10Ch スキャナーカードに し の や の が です 1/15

2 を して の を なうことができます ) ソフトを しても する が つ の はできません によるを しようとすると に のにより しい が できません 1. ケーブルで じるによるオフセット 2. ノイズによる のバラツキ 3.の や による の での ソフトの により による を した での をあまり きくない で しようとすると その の は μv の になる があります えば 1mΩの を10mAの で しようとすると の は10μVとなり この な を に する があります しかし のために するケーブルの にはゼーベック によるが し そのがとなります その の きさは するケーブルや のによって なりますが μvになる があります そのため する ケーブルは で との を け で かつ いケーブルを することが です が さいほど また が さいほど の を きく けることになります は をスイープして を した ですが が さいと される の が えることが ります ソフトは のを するために 3つの をサポートしております 1 2ゼロ 33 と でそれぞれの で を し その から を めます ゼロの の と に した の の から を めます に が る に も します による オフセット 0 による オフセット 0 ノイズによるバラツキの (mω) データの のバラツキ (sec) 2/15 ゼロ は を 100 まで が です への ノイズの に する を なうことが ですが できない のバラツキは によって した を できます では を で で の を し した です での 4 の と での 4 の をさらに して を しています した が られています

3 DCV ACV DCI ACI の 624x で 4 の 624x+2182A で の 2 の 4 の KEITHLEY 2182A 624x+34420A で の 2 の 624x+ その で の 2 の Agilent 34420A DVM x が モードの は と されます また モードの は と されます を しながらの リスト の の ソフトでの を した の の ソフトでの 3/15

4 ソフトを するために な の KEITHLEY 2182A の SHIFT を して DIGITS ( GPIB) キーを して GP-IBをON に します ENTER キーを して アドレスを します もう1 ENTER キーを して ラングエッジを SCPI に します KEITHLEY 2000 の SHIFT ボタンを した DIGITS ( GPIB) ボタンを します のように GPIB ON にして ENT ER ボタンで します のGP-IBアドレスを のアドレスに し ENTER ボタンで します のラングエッジを SCPI に し ENTER ボタンで します を います この タブを して START ボタンをクリックすると した でのや Excelシートに した リストに づいて を うことができます Excelシートの リストで する は にキー しておいてください のスイープ を した この スイープ タブが されている に STA RT をクリックすると したスイープ に ずき の を った スイープを します スイープ その を Excel に みます データは のカーソル から に かって されます データの Excel シート に に を います パルス も です して を います を した タブで した に づいて して を います のカスタムスイープ を した この カスタム タブが されている に START をクリックすると のカスタムリストに されている リストに づいたスイープ を います スイープ その をExcel に みます データは のカーソル から に かって されます パルス も です は このボタンで する の と そのGP-IBアドレスを してください を ください の の を します のGP-IBアドレスを します 2/4の を います タブを しての で PAUSE の を します 62410A/41A/42A だけの です 1 だけオートゼロを います 4/15

5 の タブを した START ボタンでを します のチェックを して でを う は にExce lシートにリストを しておく があります その ボタンで が するExcelシート のデータを してください をした START ボタンをクリックするとから に が され その が のカーソル に されます ボタン する の が されます の はGP-IBアドレスを わします とGP-IBアドレスの は の ボタンで います を と で します での は の その を した だけです する は を し する は を します の は に じその に した の に に されます / の を します の は に なになります パソコンのタイマで を しますからあまり ではありません パルス の は パルス に り わります 0.05~9999 の で できますが のやパソコンの により 0.05 の は れない があります された または で する にチェックを けます するデータを します Excel のカーソルを したい に いてこのボタンをクリックします のテキストボックスに カーソル が に されます テキストボックスへは も です テキストボックスが の では START できません ず が です の を します PAUSE を したまま START を すと ステップ になります に PAUSE を した に START を しても ステップ になります PAUSE を すると モードに します タブが されたときのみ です を に り えます を します Excel のデータを する の を します Excel のデータが 100 で ua を すると 100uA が されます が した の を OFFします チェックを けないと は の でON を します チェックを けると がパルス になります が されますから パルス / ベース を してください パルス にチェックを けると がパルス に り わります 6240A/41A/42Aだけの です OFF にチェックを けた のオペレーションをOFF にしないで オペレーションをONのままで サスペンドにします ここでは サスペンドの の を します に にエラーが した を する を します の で します に する を します 624x を で 4 での の に します 2182A KEITHLEY2182A を する に します 34420A Agilent34420A を する に します その その の を する に します の を します 1~100 で します モード にチェックを けた だけで だけで した と の をさらに して を します までの を します で の の だけ の までの ち を します だけ の に されます した の を います ゼロ デルタ( 3 ) から します での ごとにを り えて ゼロ と ゼロを に り えて デルタ( 3 ) にを り えて3 を います チェックを けると は Excel に されず した だけが Excel シートに されます チェックを けると を しないで の ( / ) をそのまま Excel シートに します または の も Excel シートに します をExcelシートに する の を します 5/15

6 からの を Excel シートに します が に Excel シート されるように Excel シートを にスクロールします の を っているとき グラフがスクロールにより れてしまい な は チェックを して をスタートします の の も に います ( の を ください ) する 624x の を します データの を Excel シートに します データのトレンドグラフを します では グラフは されません Excel のカーソル が に データのへ します チェックが い は へ します KEITHLEY2000の も に います (W MPXだけの です ) した ての をロード びセーブします グラフ の l タブを し データ を う のリアルタイム の を します グラフのタイトルを に します でもかまいません のデータを します の MAX/ MINを します の オートスケーリングされます ただし に を し スケールにすると が に われます のデータを します の MAX/ MINを します の オートスケーリングされます ただし に を し スケールにすると が に われます で を した の の を します ここでの が の さを し な ( パルス ) に を えます をオートレンジで います マニュアルレンジでは によって まるレンジに されます で 2182A を した の ) 々の の につきましては の User's Manual を ください で 34420A を した の ) 々の の チャンネルを します は DCV1 を します 2182AのGP-IBアドレスを します アナログフィルタをONにします を します デジタルフィルタをONにします ONに した その を します レンジを AUTO/ MANUALで えます AUTOのチェックを すとレンジ テキストボックスが れますからレンジをキーボードから します な を する はありません された に い1つ のレンジに されます リファレンス をONにし そのリファレンス を します につきましては の User's Manual を ください チャンネルを します は DCV1 を します を します は に する に されている を ください 6/15

7 で その を した の そのとはGP-IBでパソコンと されている があります そのから られてくるデータのフォーマットは ASCIIであり のデータの (Max10 ) データ はコンマで られている があります 1) のデータを した ソフトで するデータは の1つだけで それ のデータは てられます 2) そのからのデータ り みは ての との を するものではありません そののGP-IBアドレスを します のデリミタを します は LF+ EOIです に に するコマンドがある は ここに します ファンクションやレンジ えのコマンドを します は です もし からデータを け る クエリーコマンドを に する がある ここに するクエリコマンドを します ほとんどの でOKです もし マルチメータがSCPIコマンド のものでしたら のコマンドのどれかが されます : READ? : FETCH? : MEAS? のデータ にトリガが な チェックをつけます GET, "* TRG", コマンド からトリガの を します は GET の をします コマンド を した は トリガコマンドをテキストボックスに します のデータに を うときにチェックします のデータが された は その てのデータに に した が われます り んだデータに を った Excelへ します Excelへの = ( データ - B ) * A ヘッダとしてExcelへ する をここに します の が されます のデータは として います から のデータが される データの り を します には コンマ が されます リストをExcelシートに する この をに します データは Excel の の にです この にカーソルを いて を した の です カーソル は ですが は カーソル から に されます を する に する リストを に しておきます は する はプラス で む はマイナス で します の が このように されます グラフ を On に しておくと に が われます 7/15

8 ( マルチメータ ) の とはGP-IBでパソコンと されている があります ( ) から られてくるデータのフォーマットは ASCIIであり のデータの (Max10 ) データ はコンマで られている があります ) からのデータ り みは ての との を するものではありません のGP-IBアドレスを します のデリミタを します は LF+ EOIです に に するコマンドがある は ここに します ファンクションやレンジ えのコマンドを します は です もし からデータを け る クエリーコマンドを に する がある ここに するクエリコマンドを します ほとんどの でOKです もし マルチメータがSCPIコマンド のものでしたら のコマンドのどれかが されます : READ? : FETCH? : MEAS? のデータ にトリガが な チェックをつけます GET, "* TRG", コマンド からトリガの を します は GET の をします コマンド を した は トリガコマンドをテキストボックスに します のデータに を うときにチェックします のデータが された は その てのデータに に した が われます り んだデータに を った Excel へ します Excel への = ( データ - B ) * A ヘッダとして Excel へ する をここに します の が されます のデータを として うか として うかの を います は データ に します から のデータが される データの り を します には コンマ が されます が するデータ をセットします KEITHLEY 2000 を する の )W MPXだけの です ファンクションを します DC, AC, 2 4,,, から レンジを AUTO/ MANUALで えます AUTOのチェックを すとレンジ テキストボックスが れますからレンジをキーボードから します された に い1つ のレンジに されます アベレージング をONにします トリガ を します FREE RUN もFREE RUN を します パソコン にパソコンが にトリガを します はHOLD になります リアーのトリガリンク に してサンプリングを ないます スキャナカードを するときチェックを けます の のファンクションで を します サンプリングレートを します FAST= NPLC 0.01 MID= NPLC 1 SLOW= NPLC 10 のタイプを します ( K, J, T ) の のファンクションで または を します する レンジを します サンプリングレートを します FAST= NPLC 0.01 MID= NPLC 1 SLOW= NPLC 10 をONにします を Excel へ する の を します は ファンクションにより V A または Ω の で します を にした は この は されます データを して その を Excel シートに します が されますから A,B とその の を してください で したGP-IBアドレスと じ を します のトリガディレイ を します は または 0 を します の を します ( C,F,K ) アベレージング をONにし その を します 8/15

9 Model2000-SCAN スキャナカードを した リレーカード にチェックを けると が されますから スキャン の を します リレーカード チェックが いた からを するためには チェックを してから チェックを けます チャンネルの ファンクション のサンプリングレイト( FAST, MID, SLOW) やアベレージング のは に で しておく があります するチャンネルにだけにチェックを けます チャンネルは している はありません ファンクションを します チャンネル に なったファンクションの が です ただし したチャンネルで て のファンクションに すると いスキャニング が になります その DC で10chの に する は 1.1 です 1~5chでは 4 の が ですが 4 を すると その になるチャンネルの はできなくなります えば ch-2を4 に するとch-7は できなくなります チャンネルの にを った Excelへの を う は にチェックをつけ A B に な を します Excel への = ( - B ) * A スキャナカードの Model 2000-SCAN Scanner Card(10ch) Model 2000-TCSCAN Scanner Card(9ch) ) TCSCANでは 1chは できません Ch-1 Ch-2 2 の 2 の DUT DUT Ch-3 4 の DUT Ch-4 Ch Ch-6 Ch-7 Ch-8 SENSE 2の は この INPUT だけを します INPUT HI 9/15 4の は この SENSE ラインを します Model 2000 MultiMeter LO

10 による の を に しながら の をおこなう データをグラフによりすると のような かな が られる があります これは の レンジをオートレンジで した に レンジの り わり で します この を ぎたい は レンジを レンジにして を ってください がオートレンジの レンジの り で な が します : を う の )W MRXだけの です タブで にチェックを けた だけ が になります また は て タブの で した に います ただし グラフの は われません START ボタンをクリックして に を するまでの ち を します えば に を れ の に するまで ってから を したい などに します の を 3 で できます で する ステップにチェックします を します の を と で り えます を します で した と から ての を までの が されます この が されるのは したテキストボックスからカーソルを したときです データの されたExcelブックを に き する にチェックを けます その する サイクルを します データが Excelシートの に したとき のシートの に します のシートがない は にシートが されます ただし シートが20シートに すると を に します が になったとき のブックを した しいブックを し その からデータを します データの されたExcelブックを するフォルダを します バックアップ されるExcelブック の に ける を します Excelブックには の が に けられます バックアップ でExcelブックのファイル " Book のヘッダ " + "_" + + "_" + + ". xls" 10/15

11 でのスイープ と を う スイープがExcelシートに された データが して Excel シートに されます にI-V が されます のスイープ を した この スイープ タブが されている に STA RT をクリックすると した に ずき 2 の が を ってスイープを します スイープ その を Excel に みます データは のカーソル から に かって されます スイープ データをパソコン みに する は 5000 ステップのデータの 20 です する の が されます の はGP-IBアドレスを わします とGP-IBアドレスの は の ボタンで います スイープを します リニア / ログのスイープを り えます (6240A/41A/42Aの は LIN/ FIXの え ) スイープスタート / ストップ の の を します パルスモードで します がパルス となります に の を します スイープ / スイープを り えます スイープスタート / を します スイープストップ / を します LOG スイープの スタートとストップの の は じにしてください 6241A/42A の に されます クリックすると 2nd スイープの が になります 6 の を LINスイープの ステップ を し LOGスイープの ディケード りの を します ) LOGスイープの この は ません ダブルクリックにより を してください スイープスタート / ストップ を スイープします R6240 のパルス の だけ されます パルス では 1A の を う なパルス / パルス などを に し します の は に する を ください / を します ステップの を します パルス の は を します 11/15

12 スイープ を Excel に みます モードが で スイープ と スイープ の にチェックを けた このスイープ は の でなく で されますから の と なる があります スイープの ここで した に した を し Excel に します スイープの は の になります の を します スイープ を Excel に みます モードが で トレース と トレース の にチェックを けた このスイープ は でなく で されますから の と なる があります 6240A/41A/42A の は での が です スイープ / を とも み した に を います ステップでの を します 66241A/42Aの2ndスイープの の2 の が な 2ndスイープが なわれます どちらか または が の 2ndスイープは なわれません のスイープステップ を します スイープステップ を える を します 1) その を のバッファメモリから Excel にデータを り むのに な は 4000 ステップのデータの 21sec かかります 2) スイープ に し パルス パルス ホールド ソースディレー のオートレンジ のオートレンジ の み わせにより ずしも の ができるとは りません できるだけ した ができるようにするため な で を しようとしたとき を する が われます な になるように を して を してください の を し と の を しておくことが です 12/15

13 Excel データをランダムメモリに と を う ランダム でスイープした Excel のデータをランダムスイープとして この ランダム タブが されている に START をクリックすると した に ずき2 の が をとってランダムスイーープを し その をExcel に みます データは のカーソル から に かって されます と の を する を します の はGP-IBアドレスを わします とGP-IBアドレスの は の ボタンで います Excel シートより として り むか として り むかを します メモリ で された のデータのランダムスイープを します に か かを スイープ タブの モードを り えておいてください の は スイープ タブで した の に います DC/ パルス ( パルス ) ソースディレー オートレンジディレー スイープリバース ( パルスの ) バイアス パルス り むデータの を します えば Excel のデータが 100 で ma を した 100mA として り まれます Excel の データを のランダムメモリへ り みます Excel の のカーソル から にデータの り みを します セルが になるか 5000 になると り みを します り んだ は の に されます 5000 のデータをパソコンから へ に する は 20 です ランダムスイープと に を うときにチェックを けます / のどちらか の となります 6240A/41A/42A では の ができます を Excel へ するときの を します されている の を し します START により するメモリ を します 13/15

14 Agilent KEITHLEY Channel-1 Channel-2 Agilent 34420の のメニューを し 1. インターフェイス= GP-IB 2. GP- IBアドレス( =22) 3. ラングエッジ = SCPI を します は の を ください Shift + > KEYで I/O MENU を 1. GP- IBアドレスを します ( =22) 2. インターフェイスをGP-IBに します 3. ラングエッジをSCPIに します 14/15

15 4 の W MR4の 4 を うためには ソフトを 4 モードに えます し の の を Ctrl キーを したままマウスクリックすると と 4 を に えることができます が されたら 4のを します 4モードをON/ OFFします の を します をでExcelシートに する はチェックを けます の による を します この は に きな を えますから ユーザー の で して してください の さをmmの で してください 4 プローブのをmmの で してください 4 は を にしております 4 プローブのをmmの で してください 4 は を にしております を し を り し した み(Fw) と (Fr) を します に なる このの な についての を は ち わせておりません ユーザ の で な を してください Fwにチェックを けると Siウェハの は Siウェハの みから にFw を することができます Siウェハの みを します にある Fw ボタンをクリックすると Fw が され にFw が されます また EnterKeyでも されます は JIS C 0620 の 1のテーブルから され テーブルにない さ は により されます みの は 150umから4000umの です での による を いた しい での を じ やしながら を した 15/15