基礎から学ぶ光物性 第9回 蛍光から何がわかるか

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1 基礎から学ぶ光物性 第 9 回蛍光から何がわかるか 東京農工大学特任教授 佐藤勝昭

2 今回の内容 : ルミネッセンス ルミネッセンスの分類 PL, CL, EL, LED ルミネッセンスの機構 バンド間 (BB) 遷移による発光 バンド 不純物準位間 (FB) 遷移による発光 ドナーアクセプタ対 (DAP) 間遷移 励起子 (EX) 発光 : 自由励起子発光 束縛励起子発光 欠陥中心における発光 遷移金属イオン 希土類イオンによる発光 結晶評価の手段としてのルミネッセンス ルミネッセンスから何がわかるか いろいろなルミネッセンスの測定法

3 発光再結合と非発光再結合 物質中の電子が 光吸収 電子ビーム照射 キャリアの注入などによって基底状態から励起状態に励起されたとき 基底状態にはホールが 1 個残されることになるが こうしてできた電子とホールの再結合過程において 励起状態と基底状態のエネルギー差を 光エネルギーの形で放出するのが 発光再結合であり これがルミネセンスの原理である 一方 熱エネルギー ( 格子振動のエネルギー ) として放出するのが 非発光再結合である ここに述べた光の放出は 熱的非平衡からの緩和として起きるので自然放出と呼ばれている 光の放出にはこのほか 光の電磁界と物質の相互作用によって励起状態から基底状態へと遷移が起きることによって光を放出する誘導放出がある

4 ルミネッセンスの分類

5 さまざまなルミネセンス 半導体において価電子帯の電子を伝導帯に励起する方法には 光の照射だけでなく 電界の印加 電子の注入 電子線の照射などがある 光で励起 : フォトルミネセンス (PL) 電子線で励起 : カソードルミネセンス (CL) 電界で励起 : エレクトロルミネセンス (EL) キャリア注入で励起 : 注入形エレクトロルミネセンス (LED)

6 フォトルミネッセンス 蛍光とリン光 物体を光で励起して 励起光より波長の長い光を出す現象をフォトルミネセンスと呼ぶ 一般に励起を止めた後もしばらく発光を続けるが この時間が短いものを蛍光と呼び 数分から数時間におよぶものを燐光と呼んでいる

7 フォトルミネセンスの例 (1) 蛍光体は 蛍光ランプのガラスの内側の壁に塗布されている 蛍光ランプでは 水銀 アルゴン気体中の放電によって生じた紫外線が管壁の蛍光体を励起し 基底状態に戻るときに可視光線を出す現象を用いている ランプ用蛍光体は酸化物 ハロゲン化物を母体とし 発光中心となる希土類や遷移元素が添加されている 白色 LEDランプは 青色 LEDと その青色光で励起され黄色の発光を出す蛍光体を組み合わせている Blue Eu Green Red White (SrCaBaMg)5(PO4)3Cl: LaPO4:Ce,Tb Y2O3:Eu Ca10(PO4)6FCl:Sb,Mn

8 フォトルミネセンスの例 (2) プラズマディスプレイ (PDP) 微小電極間で放電 気体原子が励起 紫外線を放出 紫外線が蛍光体を励起 可視光発光 カラー PDPの原理は蛍光ランプとよく似ており 極小の蛍光ランプが無数に並んで1 枚の画面を作っていると考えられる PDP 用蛍光体は 酸化物を母体とし 発光中心となる希土類や遷移元素が添加されている Blue BaMgAl10O17: Eu Green Zn2SiO4:Mn Red (Y,Gd)BO3:

9 カソードルミネセンスの例 1 ブラウン管 (CRT=cathode ray tube) 赤 緑 青の微小な領域に蛍光体が塗り分けられており 各発光色に対応して 3 本の電子銃が用いられ 別々に強度を制御された電子ビームが蛍光体を励起し発光させる 蛍光体として不純物を添加した半導体が使われる CRT 用蛍光体 Blue ZnS:Ag,Al Green ZnS:Cu,Al Red Y 2 O 2 S:Eu 小林洋志 発光の物理 ( 朝倉書店 ) より

10 カラー CRT の蛍光体 赤 :Y 2 O 2 S:Eu 緑 :ZnS:Cu,Al 青 :ZnS:Ag 発光強度 青 緑 赤 波長 [nm] 小林洋志 発光の物理 ( 朝倉書店 ) より

11 カソードルミネセンスの例 2 FED( 電界放出型ディスプレイ ) FED は 真空の空間が二つのガラスシートによってはさまれたものになっている そのガラスシートのうち カソード ( 陰極 ) からは電界放出によって電子が放たれる このときの電子はカソードとゲート電極の間の電圧の差によって生じる 真空中に放出された電子はアノード ( 陽極 ) の方に向かって進み 途中で蛍光体に衝突して光を放つ こうして RGB の三つの蛍光体一組から発せられた可視光が ディスプレイの 1 ピクセルに相当する カーボンナノチューブを用いた FED

12 エレクトロルミネセンスの例 1 無機エレクトロルミネセンス 電子が電界により絶縁体 /ZnS 界面から放出される 電界で加速されホットエレクトロンとして移動 ホットエレクトロンが Mn など発光中心に衝突 発光中心の電子系が励起される 励起状態から光を放出して基底状態に戻る TDK の HP より

13 エレクトロルミネセンスの例 2 有機エレクトロルミネセンス 有機 EL は 有機発光層を金属電極と透明電極ではさんだ構造をとっている 金属電極と透明電極との間に電圧を加えると 有機分子上を電荷が対向電極に向かって移動する この移動中に ホールと電子が出会うと 有機発光層の中で再結合し この時エネルギーを放出する このエネルギーによって有機発光層が発光する ( 有機 LED ともいう ) 光産業技術振興協会の HP より 三洋電機の HP より

14 注入型ルミネセンス (LED) LED=light emitting diode 半導体 pn 接合を順バイアスして 電子とホールを pn 境界付近に導き 再結合の際に発光させる 発光効率が高く 熱を出さない 以前は 青色発光がむずかしかったが 窒化物系の半導体の開発により 高効率の青色発光ダイオードが市販されるようになった 日亜青色 LED 豊田合成 3 色 LED

15 交通信号機が変わった

16 半導体 pn 接合 E P 形 N 形 P 形と N 形を接合するとキャリア拡散が起きる 拡散電位差 拡散電位差

17 LED の原理 再結合 pn 接合を順バイアス 電子は p 層に注入 p 型 n 型 空間電荷層 ホールは n 層に注入 界面付近で再結合

18 半導体のフォトルミネセンス (PL) 光子 (hν>eg) 入射 伝導帯 価電子帯から伝導帯へ電子が遷移 伝導帯に電子 価電子帯にホール生成 電子 ホールが移動光を吸収 再結合してエネルギー差を光子として放出 価電子帯 光を放出

19 フォトルミネセンス (PL) の機構 半導体の PL にはバンド間の直接再結合だけでなく 不純物準位を介した再結合過程がある 1. バンド間直接再結合 (Band to Band) 2. バンド 不純物準位間再結合 (Free to Bound) 3. ドナー アクセプタ対再結合 (DAP) 4. 励起子再結合 (EX) 5. 原子内 ( 局在準位間 ) 再結合 (Intra-atomic)

20 バンドとルミネッセンス 伝導帯 (1) (2) (2 ) (3) (4) (5) BB BF FB DAP EX LF 価電子帯

21 1. バンド間直接遷移による発光 図の (1) のように半導体や絶縁体においてバンドギャップを隔てた伝導帯の底の電子と価電子帯の頂のホールとの直接の再結合による発光をバンド間発光と呼ぶ シリコンやゲルマニウムのような間接遷移を示す半導体ではバンド間遷移の強度が弱いので 極めて純度が高く欠陥の少ない結晶においてのみ発光が観測される 一方 化合物半導体の中で直接遷移を示すものは強いバンド間発光が見られる 半導体レーザーでは pn 接合を通じて注入された伝導電子と価電子帯ホールが直接再結合することによる発光を利用している

22 バンド間発光のスペクトル バンド間発光のスペクトルは 図に示すように低エネルギー側に比べ高エネルギー側に長く裾をひいた形状をしている この傾向は高温になるほど顕著となる

23 バンド間発光のスペクトルの式 エネルギー ω の光が単位堆積単位時間あたり放出される数は 図 に示すエネルギー E(E>Ec) の準位に存在する電子の占有状態密度 n(e) と エネルギー E- ω( ただし E- ω<ev) の準位における正孔の占有状態密度 p(e- ω) の積に比例する n と p とは図 のようにボルツマン分布しているので 発光スペクトル I( ω) は結合状態密度関数 Jvc( ω) と伝導帯の電子分布 価電子帯の正孔分布で表され I( ω) ( ω-eg) 1/2 e -( ω-ec)/kt e -(Ev- ω)/kt =( ω-eg) 1/2 e -( ω-eg)/kt (4.4.1) で与えられる

24 2. バンド 不純物準位間遷移 図の (a) に示すように 伝導帯の電子と アクセプタに捕らえられているホールとの再結合 (Free to Bound Transition (FB)) または (b) に示すようにドナーに捕らえられている電子と価電子帯のホールとの再結合 (Bound to Free Transition (BF)) による発光である 伝導帯 伝導帯 価電子帯 価電子帯 (a) 伝導帯 アクセプター (b) ドナー 価電子帯

25 バンド 不純物準位間遷移 この場合再結合はドナーまたはアクセプタの付近で局所的に起きる 低温では後に述べる束縛励起子が観測されるが高温では励起子が解離するので 自由キャリアと不純物準位間の発光が重要になる 自由電子とアクセプタに捕らえられた正孔 の再結合の遷移強度は (1) と同様に I( ω) ( ω-eg+δe) 1/2 e -( ω-ec)/kt e -(Ev+ΔE- ω)/kt =( ω-eg+δe) 1/2 e -( ω-eg+δe)/kt (4.4.2) で与えられる ただし ΔE は束縛準位のイオン化エネルギーである

26 3. ドナーアクセプター対発光 図の (4) に示すようにドナーに捕らえられた電子とアクセプターに捕らえられたホールとの再結合による発光は 発光効率が高く多くの半導体で見られるものである この発光はふつう D-A 対発光と呼ばれる

27 (i)dap 発光の時間 まず ドナー アクセプター間の距離を r とすると 遷移確率 W は両者の波動関数の重なりに依存するので W = W o e -r/rd (4.4.3) の形になる ここにRdはドナーのボーア半径である この式は遠く離れたDA 対間の遷移確率は低いということを表している 遷移確率の逆数は励起状態の緩和時間と考えられるから この式は 遠いペアほど長い時間かかって緩和することを表している

28 (ii)dap 発光のエネルギー 一方 D-A 対再結合で放出されるエネルギー E は 対を作っていたときに低くなっていた束縛エネルギー分だけが対の解放のために高くなり E = Eg -(Ed + Ea) + q 2 /4πεr) (4.4.4) で与えられる ここに Eg はバンドギャップ Ed Ea はそれぞれドナーとアクセプタの結合エネルギー q は電荷 ε は誘電率である 再結合が起きると それ以前にはクーロンエネルギーだけ低くなっていた分だけエネルギーが高くなるため 遷移後のエネルギーから遷移前のエネルギーを引くと q 2 /4πεr だけ加わった形となる この式は D-A 対のエネルギーが ドナーとアクセプタのエネルギー間隔だけではなく 両者の間の距離 r にも依存することを表している すなわち 近いペアはクーロン相互作用のために高いエネルギーを持つが 遠く離れたペアはエネルギーが低い

29 DAP の物理 (i) まず ドナー アクセプター間の距離を r とすると 遷移確率 W は両者の波動関数の重なりに依存するので W = W o e -r/rd (4.4.3) の形になる ここに R d はドナーのボーア半径である この式は遠く離れた DA 対間の遷移確率は低いということを表している 遷移確率の逆数は励起状態の緩和時間と考えられるから この式は 遠いペアほど長い時間かかって緩和することを表している (ii) 一方 D-A 対再結合で放出されるエネルギー E は 対を作っていたときに低くなっていた束縛エネルギー分だけが対の解放のために高くなり E = Eg -(Ed + Ea) + q 2 /4πεr) (4.4.4) で与えられる ここに Eg はバンドギャップ Ed Ea はそれぞれドナーとアクセプタの結合エネルギー q は電荷 ε は誘電率である 再結合が起きると それ以前にはクーロンエネルギーだけ低くなっていた分があがるため 遷移後のエネルギーから遷移前のエネルギーを引くと q2/4πεr だけ加わった形となる この式は D-A 対のエネルギーが ドナーとアクセプタのエネルギー間隔だけではなく 両者の間の距離 r にも依存することを表している すなわち 近いペアはクーロン相互作用のために高いエネルギーを持つが 遠く離れたペアはエネルギーが低い

30 DAP 発光であることを確かめるには D-A 対発光によるかどうかを確かめるには 発光スペクトルの励起強度依存性と パルス光励起による励起終了後のスペクトルの時間変化 ( これを時間分解スペクトル time resolved spectrum と呼ぶ ) を測定すればよい この 2 つは 遷移確率および放出される光エネルギーがドナーとアクセプタの間の距離に依存するとして説明される

31 DAP 発光の励起強度依存性 励起強度を強くしていくと D-A 対発光のピークは高エネルギー側にずれる もし 励起が強くなって励起の確率が再結合の確率よりも高くなると 励起状態はいつも占有されていることになり これ以上励起強度を上げても発光強度は増えない 飽和状態 となる 遠くの D-A 対は (i) により再結合の確率が小さいため励起強度が低くても飽和してしまうが 近くのペアは再結合確率が高いので励起強度がかなり強くなるまで飽和しない したがって 弱励起では遠くのペアも近くのペアも同様に光っているが 強励起では遠くのペアは飽和してしまって近くのペアのみの寄与が観測されることになる (ii) によって近くのペアはエネルギーが高いので 励起強度を上げたときの発光ピークの高エネルギー移動が説明される 励起光強度と D-A 対発光エネルギーの関係は J=D[E m3 /(E B -2E m )]e -2E B/Em (4.4.5) で与えられる ここに J は励起光強度 E m は DA 対のピークエネルギー D は線形因子 E B =e 2 /εr B (R B は励起子のボーア半径 ) である 実験結果をこの曲線にフィットすることにより ドナーとアクセプタの束縛エネルギーの和を求めることができる

32 DAP 発光の時間分解スペクトル 一方 時間分解スペクトルを見ると 励起終了後時間が経つとともに発光ピークは低エネルギー側にずれる (i) によって遠いペアほど長い時間かかって緩和するので 励起後の時間が経つほど遠いペアの発光スペクトルを観測することになり (ii) から時間分解スペクトルにおける発光ピークの低エネルギー移動が説明される パルス励起後の DA 対発光の時間依存性は lnt=ln{1-( ωt- ω )/E 1 +4E 1 /( ωt- ω )}-lnw (4.4.6) により記述される ここに ωt は時間 t 後の発光のピークエネルギー ω はバンドギャップからドナーとアクセプタのイオン化エネルギーの和を引いたものである E 1 はドナーかアクセプタのうち小さい方のイオン化エネルギーである また W は反応定数である

33 4. 励起子再結合 自由励起子 ( 電子とホールがクーロン力で束縛された状態 ) 束縛励起子 ( 電子とアクセプタホールが束縛された状態 )

34 < 自由励起子発光 > 光吸収の項で説明したように 伝導帯の電子と価電子帯のホールがクーロン相互作用で結合した状態は自由励起子と呼ばれ 吸収スペクトルを測定すると バンドギャップ Eg よりも束縛エネルギー EB だけ低いエネルギーに強い鋭い吸収線が現れる この吸収線に対応する鋭い発光線も観測される 自由励起子は結晶全体に広がった電子とホールが結合した状態なので それによる発光線は運動エネルギーの程度の幅を持つ また 励起子発光は良質の単結晶 ( またはエピタキシャル薄膜 ) においてのみ観測される 自由励起子発光は kt<eb であるような低温でのみ観測できる 図 にセレン化亜鉛 ZnSe の発光スペクトルを示す この図で 1 と記した弱い発光線が自由励起子によるものと考えられている

35 自由励起子とは 電子 ホールがクーロン力で束縛された状態電子ホール ( ) * * = = = + = + = h e r r r H r b h e b g n m m m m m E h m e E m m M M K n E E E ε ε 電子が伝導帯にホールは価電子帯に解離 -Eb 伝導帯価電子帯 Eg - Eb/4 n=1 n=2 En

36 < 束縛励起子発光 > 励起子を構成する電子が中性のドナーに捕らえられた状態 ( または ホールが中性アクセプターに捕らえられた状態 ) を束縛励起子という 束縛励起子のエネルギーは Ebe=Eg-Ed-EB で与えられるので 自由励起子よりも低いエネルギーに現れる さらにドナーが局在しているため スペクトルの幅が自由励起子よりも狭い 図 の 2 と記した鋭い発光線は束縛励起子によるものとされている

37 < 等電子トラップ > 燐化ガリウム GaP は間接遷移型半導体であるが GaP の P の一部を窒素 N で置き換えると GaP はあたかも直接遷移型半導体であるかのように 吸収端よりわずかに (10meV 程度 ) 低いエネルギーの緑色に発光する 窒素は燐と同じ Ⅴ 族原子であるから 置換してもあまり大きな影響はなさそうであるが実際には P と N の電気陰性度のちがいによる電子の引き付け方の差のために 窒素センターは電子トラップとして働く このような不純物センターを等電子トラップ (isoelectronic trap) と呼んでいる 図 に示すように この状態はさまざまの波数 k を持った状態から構成されており 間接吸収端にもかかわらず等電子トラップを通じて k=0 での遷移が起きる

38 欠陥中心における発光 アルカリ金属蒸気中で加熱したハロゲン化アルカリ結晶は F 中心と呼ばれるハロゲンイオンの欠陥を作る F 中心は図 4.36 のように幅の広い発光スペクトルを示す F 中心は欠陥に捕らえられた電子の局在状態であるため そのエネルギーは周りの原子の位置に敏感で これがスペクトルの幅の広さと大きなストークスシフトの原因と考えられている

39 < ストークス シフトと配位座標モデ ル > 同じ一対の状態間の遷移でも吸収と発光とではスペクトルのピーク位置が異なるという現象がある 一般に 発光のピークは吸収のピークよりも低いエネルギーに現れるという性質がある 図 4.35 の KCl の F 中心の吸収と発光スペクトルにおいては 吸収帯のピークは 550nm 付近にあるが 発光帯のピークは 1000nm 付近に見られる このような吸収と発光のエネルギーのずれをストークス シフトと呼んでいる これは 電子エネルギー準位が原子の振動によって変化を受けていることを考慮してはじめて説明できる現象である このことを表わすのによく使われるのが配位座標モデルである

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41 配位座標曲線 固体の中での電子の運動と原子核の運動 ( 格子振動 ) を比較すると フェルミ準位付近の電子の速度は 10 7 [cm/s] 程度であるのに対して 原子核の振動の速度は 10 5 [cm/s] 程度であるから 電子からみれば原子核は止まっているのと同じである ところが 電子の受けるポテンシャルは原子核の位置に依存するものであるから 種々の電子状態の固有エネルギーは原子核の位置 ( 配位座標 ) の関数となる これをグラフに描いたものが図 4.36 に示す配位座標曲線である 発光中心の基底状態の電子は隣接する原子核から r 1 の位置に中心をもって運動している

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43 一般に励起状態は基底状態と波動関数の形が異なり周囲の原子から受けるポテンシャルが異なるから 励起状態のエネルギーが極小となる原子の配位座標 r 2 は基底状態の極小の配位座標 r1 からずれている つまり励起状態の電子は隣接原子から r2 の距離を中心として運動している また高いエネルギーをもった電子状態は波動関数の広がりが大きいので原子核の位置に対するポテンシャルの変化が鈍感であり 配位座標曲線の曲率は小さい

44 光を吸収して励起状態に移るとき 電子状態の遷移は原子核の運動に比べて短時間に起き 図 4.36(a) では 1 1' のように垂直に遷移する 1' は励起状態としては不安定な状態であって 格子緩和が起きて ( 熱を放出して )2 へと移動する この緩和時間は ~10-12 s である 励起状態から基底状態への発光はやはり 2 2' のように垂直に起き 2' 状態から再び熱を放出して 1 にもどる このように励起後の緩和過程で光のエネルギーの一部が熱として失われるため ルミネセンスのストークス シフトが起きる

45 < 発光再結合と非発光再結合 > もし 再結合中心において配位座標曲線が図 4.36(b) のように交差しているならば 1 1' 励起の後 励起状態の極小点 2 へ移動する前に交点 3 にぶつかるため 1' 3 1 というパスを通って緩和が起き 励起エネルギーはすべて熱として失われる これが非発光再結合の原因と考えられている

46 5. 原子内再結合 ZnS:Mn 2+ 半導体や酸化物中に添加された希土類の4f 軌道や遷移金属の3d 軌道は原子付近に局在し 多電子状態を作っている このようなd 電子 f 電子の関与した内殻遷移が蛍光体では利用される 基底状態 励起状態 4 T 2 4 T 1 Eg 4 A 1

47 遷移元素 希土類元素不純物の 発光 ルビーレーザー YAG レーザーなどの固体レーザーでは 遷移元素や 希土類元素に局在した d 電子や f 電子の多重項間遷移による発光を利用する ルビーでは d 3 電子系の多電子状態間の遷移に基づく吸収線や吸収帯が見られる ルビーのフォトルミネッセンスを見ると d 3 系の多電子励起状態のうち最もエネルギーの低い状態 ( 2 E) から基底状態 ( 4 A 2 ) への発光遷移が図 4.37 に示すように 0.7μm 付近に観測される この遷移はスピン禁止電気双極子遷移であるため遷移確率が小さい 従って 励起状態の寿命が数 ms と長く 発光は半値幅の非常に狭い線スペクトルとして観測される 希土類イオンの f 電子系は 固体中でも孤立原子と同様に原子位置に局在しており 幅の狭い f f 遷移が観測される カラーテレビブラウン管には 赤の蛍光体として Eu を添加した Y2O2S が用いられている

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