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1 群 馬 大 学 工 学 部 電 気 電 子 工 学 科 集 積 回 路 システム 工 学 講 義 資 料 (8) の レイアウト 技 術 担 当 群 馬 大 学 大 学 院 電 気 電 子 工 学 専 攻 小 林 春 夫

2 内 容 レイアウト 技 術 デザインルール のレイアウトの 注 意 点 素 子 マッチング 高 速 高 周 波 化 の 考 慮 CMOS ラッチアップ 抵 抗 容 量 のレイアウト 電 源 配 線 のレイアウト クロック 分 配 熱 の 影 響 の 考 慮 2

3 レイアウト 設 計 (ICパターン 設 計 )とIC CMOSアナログICの レイアウト 設 計 レイアウト 設 計 データを もとにファブリケーション されたチップ 3

4 ICレイアウト 設 計 とプリント 基 板 設 計 ICレイアウト 設 計 はデスクリート 回 路 でのプリント 基 板 設 計 に 対 応 共 通 点 : 配 置 と 信 号 線 電 源 GND 配 線 は 重 要 高 密 度 に 配 置 配 線 できれば 高 速 高 周 波 化 小 型 化 低 コスト 相 違 点 : ICレイアウト 設 計 はプリント 基 板 設 計 に 比 べ サイズが 数 百 分 の1 部 品 (トランジスタ R, C, L 等 )も 作 り 込 む 4

5 ICレイアウト 技 術 の 位 置 づけ 回 路 設 計 技 術 者 ファブレス 企 業 プロセス デバイス 技 術 者 ファンダリ 企 業 インターフェース 部 マスクデータ トランジスタ モデル(SPICE パラメータ) マスクデータによる 回 路 設 計 者 とプロセス 技 術 者 の 仕 事 の 切 り 分 け Mead-Conway 法 C. Mead and L. Conway, Introduction to VLSI Systems, Addison-Wesley, マスクデータ 作 成 ICのレイアウト 5

6 in CMOSインバータ 回 路 図 out Vdd in Vss レイアウト 技 術 位 置 付 け レイアウト 図 Vdd out out Vss 断 面 図 (モデル) polysilicon p+ p+ n+ n+ n-well p-subatrate gate oxide p-subatrate Vdd out Vss p+ p+ n+ n+ field oxide 断 面 図 ( 実 際 ) n-well p-subatrate 6

7 でのレイアウト 技 術 では 回 路 設 計 とともにレイアウト 設 計 は 重 要 高 性 能 ( 高 精 度 高 速 高 周 波 ) 低 コスト( 小 さなチップ 面 積 ) CMOS: 素 子 ばらつきが 大 きい 特 性 のマッチングを 考 慮 バイポーラ: 比 較 的 大 きな 電 源 電 圧 バイアス 電 流 熱 バランスを 考 慮 7

8 デザインルール レイアウトを 行 う 際 の 素 子 間 の 最 小 距 離 最 小 寸 法 等 の 制 約 のルール 回 路 設 計 者 とプロセス 技 術 者 との 攻 防 デザインルールが 緩 い: チップ 面 積 が 大 ( 寄 生 容 量 大 回 路 性 能 下 がる コスト 大 ) 歩 留 まりがよい(プロセス 技 術 者 は 楽 ) デザインルールが 厳 しい: チップ 面 積 が 小 ( 回 路 性 能 上 がる コスト 小 ) 歩 留 まりが 下 がる(プロセス 技 術 者 は 大 変 ) 適 切 なトレードオフでデザインルールが 決 まる 8

9 レイアウト 設 計 ルールを 守 らなかったときに 生 じる 不 良 例 1 as drawn overetched poly shrinks as processed short circuit diffusion bloats Source Drain Source Drain Gate Gate 9

10 レイアウト 設 計 ルールを 守 らなかったときに 生 じる 不 良 例 2 active mask shifted left source source drain drain gate gate poly mask is shifted right 10

11 デザインルール レイアウトを 行 う 上 での 制 約 のことで 主 にリソグラフィー 技 術 やエッチング 技 術 に 依 存 したルール ルールである である デザインルールは 大 きく 分 けて 以 下 の2 種 類 のルール ルールがある がある (1) 各 層 の 最 小 寸 法 ルール 各 層 の 加 工 できる 最 小 寸 法 のルール ルールで 最 小 線 幅 と 最 小 間 隔 に 関 するルール ルールが 一 般 的 である Relu1 Relu2 Rule1: 最 小 線 幅 ルール 0.35umプロセス プロセス とは Polyの 最 小 線 幅 ルールのことを 表 している Rule2: 最 小 間 隔 ルール 11

12 (2) 各 層 の 重 ね 合 わせルール 2つ 以 上 の 層 の 重 ね 合 わせに 関 するルール ルールで 主 に 以 下 の2つの 観 点 より 決 められている マスク マスクがずれても 必 ず 重 なるようにするためのルール マスク マスクがずれても 必 ず 重 ならないようにするためのルール Layer1 Relu1 Layer2 Relu2 Layer3 Rule1:Layer2に 対 するLayer1のオーバーラップルール Layer1とLayer2を 必 ず 重 ねるためのルール Rule2:Layer1とLayer3の 間 隔 ルール Layer1とLayer3が 必 ず 重 ならないようにするためのルール 12

13 デザインルール 1)アルミニウム 配 線 /ポリシリコン ポリシリコン/ 拡 散 層 ( 線 間 とスペース スペース) λ 以 上 λ 以 上 λ 以 上 2)コンタクト 周 辺 (コンタクトサイズ コンタクトサイズとコンタクト 余 裕 ) λ 以 上 λ 以 上 λ 以 上 アルミ/ポリ/ 拡 散 層 コンタクト 全 てλ 以 上 3)ゲート ゲート コンタクト 余 裕 コンタクト 余 裕 λ 以 上 ゲートフリンジλ 以 上 ゲート ポリシリコン 13

14 例 :Diffusionの 関 するルール N- Well N- Well N+ DF8 a DF1 a DF2 a DF10 a N+ N+ DF5a DF7a P+ DF3a Rule ID DF1a DF2a DF3a DF4a DF5a DF6a Design Rule N-Well Width N-Well Space N+ Width P+ Width N+ Space P+ Space DF7a N+ to P+ P+ DF9a DF11 a P+ DF6a DF4a DF8a DF9a DF10a DF11a N-Well Overlap N+ N-Well Overlap P+ N-Well to External N+ N-Well to External P+ 14

15 Widthルール 15

16 Spaceルール ルール(1) 16

17 Spaceルール ルール(2) 17

18 Overlapルール ルール(1) 18

19 Overlapルール ルール(2) 19

20 ( 演 習 問 題 ) ( 例 題 ) 下 図 のDRCエラーに 対 して 最 も 適 当 な 修 正 方 法 はどれでしょうか? Poly : 共 に 最 小 線 幅 さらに2つのPolyは 別 ノード 修 正 案 PolyのSpaceエラー 発 生 A.Polyを 細 くして Spaceを 増 やす B.Polyを 移 動 して Spaceを 増 やす C.Poly Spaceを 埋 める ( 解 答 ) 正 解 はB ( 解 説 ) AはPolyの 最 小 線 幅 以 下 となり 別 のエラーが 発 生 Cは 確 かにエラーは 無 くなるが 2つのPolyが 電 気 的 に 接 続 されてしまい 旧 レイアウトと 電 気 的 特 性 が 異 なってしまう 20

21 ( 問 題 ) デザインルールが 表 の 値 ( 最 小 寸 法 )の 場 合 ルールエラーとなるのは 図 の A~Gのどれでしょうか? 複 数 個 選 びなさい Rule ID DF1a DF2a DF3a DF4a DF5a DF6a DF7a DF8a DF9a DF10a DF11a A.1.8um Design Rule N-Well Width N-Well Space N+ Width P+ Width N+ Space P+ Space N+ to P+ N-Well Overlap N+ N-Well Overlap P+ N-Well to External N+ N-Well to External P+ C.1.2um Rule Value (Min) 5.0um 5.0um 2.0um 2.0um 1.0um 1.0um 1.0um 1.0um 2.0um 2.0um 1.0um E.1.5um F.1.5um G.1.9um B.2.2um D.1.7um 21

22 MOSトランジスタ トランジスタの 構 造 平 面 NMOS PMOS A B S D D S B A G G A-A 断 面 Poly-silicon(G) B S D D S B metal-1 SiO2 G G contact (insulator) P-diffusion(B) n-diffusion(s,d) P-substrate p-diffusion(d,s) n-diffusion(b) n-well 22

23 CMOS 集 積 回 路 の 構 造 ( 配 線 を 含 む) 平 面 NMOS PMOS A A A-A 断 面 poly-silicon metal-2 via-1 SiO2 (insulator) metal-1 contact p-diffusion n-diffusion p-substrate p-diffusion n-well n-diffusion 23

24 NMOSとPMOS の トランジスタサイズ PMOS S G D Wp Lp Vin Vout Vin Vout Inverter: Wp Lp 2 Wn Ln NMOS PMOS Wn D G S Wp S G D Ln Lp Wp とPMOSの を Lp Vin Vout Wn NMOSの より2 倍 Ln 程 度 大 きくすることあり NMOS D G S Wn Ln 24

25 配 線 コンタクト コンタクトの 構 造 metal-1 metal-2 Via-1 stacked via SiO 2 (insulator) contact P-substrate n-well metal 1 は 全 ての 層 と 接 続 可 能 他 層 との 接 続 は metal 1 を 仲 介 する 25

26 コンタクトとVia コンタクト: 配 線 メタルとポリシリコン 拡 散 ウェル 基 板 等 への 接 続 Via: 1 層 目 配 線 メタルと2 層 目 配 線 メタルへの 接 続 26

27 基 板 ウェル ウェルの 電 源 グランド 等 への 接 続 27

28 CMOSプロセス と ラッチアップ ラッチアップを 防 ぐ ためには Rwell, Rsubstrate の 値 を 小 さくする P-substrate V SS V DD P + N + N + P + P + N + NPN R substrate V DD out in R well PNP n-well P-substrate CMOSプロセス 断 面 図 と 寄 生 バイポーラ トランジスタ PMOS ソースの 直 近 に ウェルコンタクト NMOSソースの 直 近 に 基 板 コンタクト R well NPN PNP R substrate 寄 生 バイポーラ トランジスタ とポジティブ フィードバックに よる 破 壊 現 象 (ラッチアップ) 0=V SS 28

29 基 板 コンタクト ウェル ウェル コンタクト ラッチアップを 防 ぐため substrate contact well contact を 設 ける n well n well contact vdd pmos vin vout pmos vss この 図 は p-substrate wafer の 場 合 p substrate contact 29

30 CMOS インバータレイアウト 図 例 30

31 CMOS NAND レイアウト 図 例 CMOS NOR レイアウト 図 例 H 各 セルで 上 側 をVdd, 下 側 をVss 配 線 また 高 さ H を 同 じにしてセル 間 を 接 続 しやすくする 31

32 バランスよく 取 れたCMOS NAND レイアウト Simple NAND Two Finget NAND Balanced NAND 32

33 バイポーラIC 各 トランジスタ 間 にアイソレーション 必 要 比 較 的 チップ 面 積 が 大 きくなってしまう レイアウトとチップ 面 積 CMOS IC PMOS 間 にアイソレーション 不 要 NMOS 間 にアイソレーション 不 要 チップ 面 積 が 小 さくなる MOSでは2つのトランジスタの ドレイン ソース 等 を 共 有 できるので 小 チップ 面 積 ただし PMOSとNMOS 間 にアイソレーション 必 要 基 板 電 圧 が 異 なるPMOS 間 にウェル 分 離 必 要 基 板 電 圧 が 異 なるNMOS 間 にウェル 分 離 必 要 この 分 チップ 面 積 が 大 きくなるので 注 意 33

34 集 積 回 路 内 の 素 子 の 精 度 集 積 回 路 内 の 素 子 特 性 (トランジスタ R, C, L) 絶 対 精 度 は 悪 い ロット 間 ウェーハー 間 チップ 間 チップ 内 相 対 精 度 ( 同 一 チップ 内 比 精 度 )は 良 い これを 利 用 したアナログ 回 路 設 計 が 行 われる バイポーラとMOSの 相 対 精 度 バイポーラのVbe ばらつきは MOSのVth ばらつきより10 分 の1 程 度 オペアンプのオフセット ADC/DACの 線 形 性 等 の 特 性 に 影 響 素 子 の 物 理 的 寸 法 が 小 さいほど 相 対 精 度 は 劣 化 する 34

35 微 細 CMOSプロセスでの 素 子 特 性 ばらつきの 増 大 微 細 CMOSアナログ ΔVth は ゲート 面 積 W L の 平 方 根 に 反 比 例 する 回 路 設 計 での 大 きな 課 題 微 細 CMOSを 利 用 しようとするとばらつき 増 大 W Lを 大 きくして 用 いると 微 細 化 のメリットが 失 われる(コスト 大 低 速 ) 35

36 36

37 MOSトランジスタの 特 性 のばらつき L 1 L 2 W 1 W 2 Tr 1 Tr 2 Tr 1 Tr 2 W 2 =nw 1, L 2 =L W 1 =W 2, L 1 =L 2 1 V th1= V V th1= V th2 th2 製 造 工 程 において L 1 L 2, V th1 V th2, 特 性 のバラツキ バラツキとなる となる 37

38 アナログ 的 にはMOSのソースとドレインは 対 称 でない どちらの 端 子 をソースにするかでVthが 異 なる 38

39 どちらの 端 子 をソースにするかで 39

40 電 流 ミラー 回 路 のレイアウト 設 計 の 悪 い 例 M1 M2 M3 M4 Layout M2 D M1 D 正 確 なマッチング が 取 れない G S S S S Vdd D D M3 M4 M1とM4,M2とM3をペアにして 使 うなら 問 題 ない 40

41 MOSトランジスタのミスマッチ 低 減 (カレントミラー 差 動 増 幅 器 の 入 力 ) (1) 電 流 を 同 一 方 向 に 斜 めインプラの 影 響 を 排 除 (2) L, Wを 大 きく 短 チャネル 狭 チャネル 効 果 低 減 V TH 1 LW 41

42 整 数 倍 カレントミラーのレイアウト ミラー 比 を 正 確 に W 2W W W W 定 数 をN 倍 する 同 じ 定 数 の 素 子 を N 個 並 べる トランジスタの 端 の 影 響 ( 狭 チャネル 効 果 )で Wと2Wのものの 電 流 比 は 正 確 には2 倍 にならない 電 流 2 倍 のものはWを2つ 並 べてドレインを 結 線 する 42

43 電 流 モード 回 路 での 整 数 比 電 流 発 生 回 路 のレイアウト W/L G S D W Layout 正 確 なマッチングが とれない Layout S D 8W 8 個 S D S D S D S D 改 善 43

44 セグメント 電 流 セル 型 DA 変 換 器 入 力 B0~B3 メリット DECODER グリッチが 小 さい I I 出 力 T1~T15 15 I I 入 出 力 間 の 単 調 性 が 確 保 できる デメリット T15 T14 T2 T1 回 路 規 模 が 大 きい サンプリング 速 度 が R Vout やや 低 下 する 4bitセグメント 型 DA 変 換 器 44

45 セグメント 型 DA 変 換 器 の 電 流 セル 配 列 のレイアウト I I I I I I I I I I I I I I I TF TE TD TC TB TA T9 T8 T7 T6 T5 T4 T3 T2 T1 Vout=7IR 入 力 7の 場 合 R T1 T2 T3 T4 TE T3 T7 T9 T5 T6 T7 T8 T6 T1 TC T5 T9 TA TB TD TE TF TC DAC 線 形 性 改 善 T8 TA TF T4 TD T2 TB 規 則 的 に 電 流 セルをレイアウト Random Walk ( 酔 歩 ) 状 にレイアウト 電 流 源 のシステマテック ミスマッチのDAC 非 線 形 性 への 影 響 大 小 45

46 セグメントDACのONさせる 順 番 通 常 line columun

47 提 案 columun line セグメントDACのONさせる 順 番 コモンセントロイド 1 本 のline 線 に 全 columun 線 が1 箇 所 ずつ 対 応 し 同 じcolumun 線 が 重 複 しないようにする Colunum 信 号 配 線 が 複 雑 Local Decoderがそのまま 使 える 上 下 左 右 対 称 47

48 6ビット ビットの 場 合 90 回 転 線 対 称 になるように 半 分 に 分 配 対 象 になるように 配 置 48

49 6ビット ビットの 場 合 (8x8=64 64) 前 の4 色 と 対 象 に 追 加 の4 色 を 配 置 49

50 コモンセントロイド(Common Centroid) レイアウト MOSトランジスタのペアのミスマッチ 低 減 Common Centroid 配 置 共 通 の 重 心 50

51 バイポーラトランジスタ ペアのコモンセントロイド 配 置 面 積 半 分 のエミッタ2つに 分 解 Q1 Q2 Q 1a Q Q 2 a Q 1 2 a b Q 1a Q 2a 等 価 レイアウト Q 2b Q 1b 51

52 櫛 形 レイアウト (Comb Layout) D チャネル 幅 W が 大 きなMOSトランジスタ G W/Lが 大 きい 場 合 S Layout Coxはこの 面 積 に 比 例 =W M G M D S W L drainの 面 積 =W M sourceの 面 積 =W M Mの 最 小 値 は 決 まっている 52

53 櫛 形 レイアウト m M はMの2 倍 よりも 小 さくできる S M M <2M M =M+α 1.2M D M' W=2m 4= 2m S M' G D S D S D M' M' M' M' M' Drainの 面 積 =M m 4 =1.2M W/8 4 =0.6MW Sourceの 面 積 =M m 3 + m M 2 =1.2M W/8 2 + W/8 M 2 =0.55MW Drain Sourceとも 面 積 が 小 さくなる S M ソース ドレインの 寄 生 容 量 が 小 さくなる メタルで 配 線 53

54 櫛 形 レイアウトとコモンセントロイドの 組 み 合 わせ m D1 D1 D2 S G1 G1 M1 M2 G2 D2 S Layout S G2 D1 S M1 : W = 3m D2 M2 : W = 3m 寄 生 容 量 は 減 り マッチングも 改 善 する 54

55 両 端 にダミートランジスタを 設 ける 55

56 ミラー 容 量 (ドレイン 容 量 )の 低 減 ここの 寄 生 容 量 を 減 らしたい Vdd Vout Layout S G D Vin W 高 周 波 回 路 ではゲート 抵 抗 の 低 減 レイアウトも 重 要 56

57 シート 抵 抗 受 動 素 子 (R,C)のレイアウト シート 容 量 L ρ L L ρ R = ρ = = Rs ただし R s = W h h w W h Rs をシート 抵 抗 L W 参 考 MOSISの poly siliconは R s =2.5Ω/ S d S C = ε Cs S d = ただし S C s = d Cs をシート 容 量 57

58 ダミー 抵 抗 の 配 置 による 抵 抗 比 マッチングの 向 上 ダミー 抵 抗 R R R R R R 実 際 に 回 路 で 使 用 両 端 の 抵 抗 と 内 部 の 抵 抗 とで 物 理 的 な 条 件 (プロセス 条 件 )が 異 なる 正 確 な 抵 抗 比 マッチングをとることができない 両 端 に 実 際 には 使 わないダミー 抵 抗 を 付 け 加 える ダミーに 挟 まれた 抵 抗 のみ 使 用 することで マッチングは 改 善 される 58

59 抵 抗 マッチングの 考 慮 の 際 のVia 抵 抗 の 影 響 例 : ADCの 参 照 電 圧 発 生 用 抵 抗 ラダーのレイアウト Via 抵 抗 のばらつき 大 複 数 個 Viaを 設 けて 平 均 化 低 抵 抗 化 Viaに 電 流 が 流 れないレイアウト poly silicon via 抵 抗 ばらつき 大 コンパレータ 回 路 群 へ 59

60 C 1 コモンセントロイド レイアウト 法 による 容 量 マッチングの 向 上 C = 1 C 2 としたい 場 合 C 1 C 2 Layout C 2 ミスマッチが 大 きい C 1 a 改 善 面 積 半 分 C 1 b C 2 a C 1a C 2a ミスマッチが 減 る Layout C 2b C 1b C 2 b 60

61 容 量 のマッチング マッチングをとるための をとるためのレイアウト C 1 8 正 確 な8:1の 容 量 比 がとれない C 2 1 同 じ 容 量 を8 個 並 列 接 続 で 端 の 影 響 (フリンジ 容 量 ) を 除 去 重 心 を 同 じくする コモン 千 トロイド 法 で 傾 斜 の 影 響 を 除 去 C 1 C 1 C 1 C1 C2 C 1 C 1 C 1 C 1 61

62 R, C のミスマッチ 低 減 のための Common Centroid 配 置 容 量 抵 抗 ダミー C 2 C 1 R 1 R 2 ダミー 62

63 電 源 配 線 レイアウト Vdd 電 流 Vdd-ΔV 電 圧 降 下 ΔV=R I L I circuit1 L circuit2 GND 対 処 法 1 Lが 短 くなるように 回 路 を 縦 長 にレイアウト 対 処 法 2 VddとGNDに 流 れる 電 流 が 同 じ 向 きにする Vdd Vdd Vdd 電 流 Vdd-ΔV Circuit 1 Circuit 2 circuit1 circuit2 GND GND GND 電 流 63

64 バイポーラトランジスタのベース 電 流 によるIRドロップ Ib Vb1 Vb2 Vbn Vee 電 流 Vee1 Vee2 Veen ベース 電 流 とGND 電 流 を 同 じ 方 向 に 流 す 電 圧 Vb1 Vb2 Vbn 各 バイポーラトランジスタ のベース エミッタ 間 電 圧 が 一 定 Vee1 Vee2 Veen トランジスタの 位 置 64

65 電 源 配 線 電 流 の 変 化 大 R R Vdd A B Layout R R A B 改 善 電 流 はほぼ 一 定 Vdd IRドロップ 寄 生 インダクタの 影 響 R R を 考 慮 A B 65

66 ソース 寄 生 抵 抗 に 注 意 電 流 ミラー 回 路 のレイアウト S D S D S D S D 電 源 幹 線 電 源 幹 線 寄 生 のソース 抵 抗 (パワー 系 高 周 波 系 では)ソース インダクタ に 注 意 この 部 分 の 配 線 は 短 くする 66

67 差 動 信 号 配 線 レイアウト 並 行 67

68 配 線 と 寄 生 インダクタ 寄 生 インダクタは 高 周 波 系 パワー 系 回 路 で 特 に 問 題 になる インダクタは 電 流 変 化 により 電 圧 を 発 生 する d V(t) = L I(t) dt I(t) = I0 sin (ωt) のとき V(t) = L ω I0 cos(ωt) V(t) は L, ω, I0 に 比 例 する ω 大 : 高 周 波 回 路 I0 大 : パワー 回 路 寄 生 インダクタ L を 小 さくするためには 配 線 長 を 短 くする (L は 配 線 長 に 比 例 ) 配 線 幅 を 広 くする (L は 配 線 幅 に 反 比 例 ) 例 : ボンデングワイアを2 本 使 用 すれば L は 半 分 68

69 多 層 配 線 一 番 上 層 の 配 線 は 基 板 との 寄 生 容 量 が 小 さい. 高 周 波 信 号 の 配 線 オンチップ インダクタ 作 成 に 使 用 する. 電 源 など C d C C =ε d S 基 板 との 容 量 大 高 周 波 信 号 配 線 に 向 かない 69

70 他 の 回 路 ブロック 上 にアナログ 信 号 線 をはわせてはいけない 容 量 相 互 インダクタ 結 合 による 信 号 の 干 渉 が 生 じる 70

71 信 号 線 をGND 線 でシールドしノイズ 低 減 V EXT1 電 源 ノイズ 低 減 V EXT2 基 準 電 圧 発 生 回 路 V BGR V REF シールド 線 V INT 負 荷 電 圧 変 換 / トリミング Voltage follower V SS1 V SS2 71

72 高 速 AD 変 換 器 では 多 くのコンパレータへのクロック 分 配 の 配 線 レイアウトが 重 要 8ビット 高 速 AD 変 換 器 の 評 価 結 果 再 生 波 形 (150.1MHz 入 力 300Msps 変 換 周 波 数 ) 再 生 波 形 (200.1MHz 入 力 300Msps 変 換 周 波 数 ) サンプリング 周 波 数 が 高 い 歪 みが 大 きい 武 蔵 工 業 大 学 堀 田 先 生 資 料 より 72

73 8ビット 高 速 AD 変 換 器 の 歪 の 原 因 CLK fin A V V t t A V V = sin 2πfint max = π A fin 2 t t = 2 N 1 π f in f in = 300MHz N = 8 とすれば サンプリング クロックス キューが 原 因 t = 1 12 = 武 蔵 工 業 大 学 堀 田 先 生 資 料 より 73

74 デジタルLSIのクロック 分 配 クロックスキュー クロックジッタ クロック バッファ ツリー 同 期 式 デジタルLSI 上 多 数 Flip-Flopに 小 スキューのクロックを 分 配 する 必 要 クロック バッファ ツリー クロックスキュー 74

75 同 期 式 デジタルLSI 上 でのクロック 分 配 各 クロックバッファでは 配 線 長 を 同 じに 負 荷 を 同 じにする チップの 端 から 端 までクロック スキューを 最 小 75

76 発 熱 の 影 響 の 考 慮 バイアス 電 流 大 のバイポーラトランジスタ 等 パワー 系 デバイスや センサ 回 路 等 高 精 度 アナログ 回 路 の レイアウト 設 計 には 熱 の 影 響 を 考 慮 する 必 要 あり 熱 バランスを 考 慮 したレイアウト 発 熱 による 温 度 上 昇 まで 考 慮 した 回 路 シミュレータの 市 販 のものはない 例 : バイポーラ 差 動 アンプの レイアウト Q1 Q2 熱 バランスを 考 慮 しないレイアウト Q3 76

77 その 他 のレイアウト 技 術 とまとめ デジタル 回 路 からのノイズ 回 り 込 み 低 減 のためのガードリング 等 レイアウト バイアスの 分 配 チップ 全 体 (global)には 電 流 で 局 所 回 路 (local)では 電 圧 でバイアスを 分 配 信 頼 性 歩 留 まり 向 上 のためのレイアウト - Via は2 個 以 上 つける - 配 線 幅 は 電 流 1mAに 対 し1um 以 上 (ElectroMigrationの 考 慮 ) - 電 源 GND 等 幅 が 広 い 配 線 にはスリットを 設 ける DFM (Design for Manufacturablity 製 造 のし 易 さ)と 関 連 した レイアウト 技 術 も 重 要 な 話 題 バックアノテーション: レイアウト 後 に 配 線 の 寄 生 容 量 寄 生 抵 抗 を 抽 出 し これらをSPICEファイルにいれて 回 路 全 体 をシミュレーションし 性 能 を 確 認 する 必 要 がある 見 た 目 がきれいなレイアウトは 良 いレイアウトであることが 多 い 信 頼 性 の 高 い 高 性 能 化 の 実 現 のためには 回 路 設 計 とともにレイアウト 設 計 は 重 要 である 77

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