研 究 の 背 景 化 合 物 半 導 体 量 子 ドットレーザおよび 発 光 ダイオード(LED: light emitting diode)は 低 消 費 電 力 光 素 子 と して また 超 高 速 光 変 調 素 子 として 飛 躍 的 に 高 まる 通 信 需 要 に 応 えユビキタス

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1 平 成 26 年 9 月 4 日 東 北 大 学 原 子 分 子 材 料 科 学 高 等 研 究 機 構 (AIMR) 東 北 大 学 流 体 科 学 研 究 所 北 海 道 大 学 東 京 大 学 大 学 院 工 学 系 研 究 科 科 学 技 術 振 興 機 構 (JST) 3 次 元 量 子 ドット 構 造 の 形 成 実 現 による LED 発 光 を 世 界 で 初 めて 観 察 バイオテンプレー ート 極 限 加 工 により 次 世 代 量 子 ドット LED 実 用 化 に 道 研 究 概 要 東 北 大 学 原 子 分 子 材 料 科 学 高 等 研 究 機 構 (AIMR)および 流 体 科 学 研 究 所 (IFS)の 寒 川 誠 二 教 授 肥 後 昭 男 助 教 グループは 北 海 道 大 学 大 学 院 情 報 科 学 研 究 科 の 村 山 明 宏 教 授 東 京 大 学 大 学 院 工 学 系 研 究 科 の 中 野 義 昭 教 授 らの 研 究 グループと 共 同 で バイオテンプレートト 技 術 と 融 合 して 世 界 で初 めて 高 均 一 高 密 度 無 欠 陥 の 6 層 積 層 した 3 次 元 ガリウム 砒 素 /アルミニウムガリウム 砒 素 量 子 ドット 1) を 作 製 す ることに 成 功 しました さらにこの 量 子 ドットを 用 いて 発 光 ダイオード(Li ght Emittingg Diode:LED) 2) を 作 製 し 電 流 入 による LEDからの 発 光 を 世 界 で 初 めて 実 現 しました ガリウム砒 素 などの 化 合 物 半 導 体 はシリコンに 比 べて 光 の 発 光 効 率 や 吸 光 効 率 が 極 めて 高 く 特 に 化 3) 合 物 半 導 体 の 量 子 ドットレーザ は ナノスケールの 構 造 から 生 じる量 子 効 果 によって より 単 色 化 され 高 強 度 な 光 を 低 消 費 電 力 で 温 度 の 影 響 少 なくく 発 光 できることが 期 待 され その さ 実 用 化 が 精 力 的 に 検 討 さ れています しかしながら 従 来 の加 工 法 では 微 細 化 に限 界 があるばかりではなく 脆 弱 な化 合 物 半 導 体 では 激 しく 欠 陥 が 生 成 されるため 発 光 効 率 が 大 きく 劣 化 してしまうという 問 題 点 がありました また 損 傷 を 回 避 するために 開 発 された 量 子 ドット 作 製 法 では サイズや 密 度 位 置 などのの 制 御 が 難 しく 高 効 率 な 発 光 の 実 現 や 発 光 波 長 の 制 御 が 不 可 能 でした 本 研 究 グループは 鉄 などの 金 属 微 粒 子 を 内 包 したたんぱく 質 が 特 殊 な 処 理 をした 表 面 に 自 発 的 に 規 則 正 しく配 列 した 構 造 を 作 る 性 質 を 用 いて 金 属 微 粒 子 を 化 合 物 基 板 の 上 に 高 密 度 ( 面 密 度 : cm 2 )に 等 間 隔 (20nm(ナノメートル) 間 隔 )で配 置 しました その 後 たんぱく 質 だけを 除 去 して 金 属 微 粒 子 を 加 工 マスクとして 中 性 粒 子 ビー ーム 4) による 無 損 傷 エッチングを 行 うことにより ナノメートルオーダの 欠 陥 のないガリウム 砒 素 /アルミニウムガリウムム 砒 素 が 6 層 に 積 層 した 柱 状 の 構 造 (ピラー 構 造 )が 20 nm 間 隔 で 高 密 度 ( cm 3 )に 配 列 した 構 造 を世 界 で 初 めて 形 成 しました 本 研 究 により 作 製 された 高 均 一 高 密 度 無 欠 陥 の 積 層 ガリウム 砒 素 /アルミニウムガリウムム 砒 素 ピラー 構 造 は 量 子 ドット LED およびレー ーザにおける 量 子 ドット 構 造 として 極 めて 有 望 です 従 来 に 比 べて 10 倍 以 上 の 発 光 強 度 が 期 待 され 究 極 のグリーンテクノロジーといわれる 量 子 ドット LED やレーザの 実 現 に 向 けて 大 きく 前 進 したといえます 本 研 究 成 果 は 2014 年 9 月 7 日 からスペイン ンで 開 催 される IEEE 24thh International Semiconductor Laser Conferencee で 発 表 されます 尚 本 研 究 開 発 は 独 立 行 政 法 人 科 学 技 術 振 興 機 構 (JST)で 実 施 している し 戦 略 的 創 造 事 業 (CREST)に おける 研 究 課 題 バイオテンプレー ート 極 限 加 工 による3 次 元 量 子 構 造 の 制 御 と 新 機 能 発 現 ( 研 究 代 表 : 東 北 大 学 寒 川 誠 二 教 授 )において 実 施 されました 本 件 に 関 する 問 い 合 わせ 先 ( 研 究 内 容 について) 東 北 大 学 原 子 分 子 材 料 科 学 高 等 研 究 機 構 流 体 科 学 研 究 所 教 授 寒 川 誠 二 TEL: ( 報 道 担 当 ) 東 北 大 学 原 子 分 子 材 料 科 学 高 等 研 究 機 構 広 報 アウトリー ーチオフィス 中 道 康 文 TEL:

2 研 究 の 背 景 化 合 物 半 導 体 量 子 ドットレーザおよび 発 光 ダイオード(LED: light emitting diode)は 低 消 費 電 力 光 素 子 と して また 超 高 速 光 変 調 素 子 として 飛 躍 的 に 高 まる 通 信 需 要 に 応 えユビキタス 情 報 化 社 会 を 支 える 重 要 な 技 術 であり 広 く 研 究 されています これらのデバイスを 実 現 するにはナノメートルオーダでサイズや 密 度 位 置 などの 制 御 された 量 子 ドット 構 造 を 作 製 することが 求 められますが 従 来 のトップダウン 型 のリ ソグラフィ 技 術 とエッチング 技 術 に 依 存 した 微 細 加 工 技 術 では 大 きな 困 難 が 予 想 されます 現 状 のリソグ ラフィ 技 術 では 光 源 やレンズ 系 の 設 計 において 22nm よりも 微 細 なパターン 形 成 することは 技 術 的 経 済 的 に 大 きな 壁 があります また プラズマエッチング 5) では ナノメートルスケールの 構 造 形 成 においては プラズマからの 紫 外 線 照 射 による 表 面 欠 陥 生 成 が 大 きな 問 題 となっています 特 に 化 合 物 半 導 体 はシリ コンに 比 べて 不 安 定 な 材 料 でプラズマに 対 して 脆 弱 であるため プラズマエッチングによる 欠 陥 のないナ ノ 構 造 作 製 は 不 可 能 であると 言 われてきました 一 方 ボトムアップ 法 で 量 子 ドットを 形 成 する 手 法 として は 格 子 ひずみを 利 用 した 自 己 形 成 量 子 ドット 作 製 法 が 一 般 的 ですが この 手 法 では 寸 法 のばらつきを 十 分 に 抑 えることができない ドットの 密 度 に 限 界 ( cm 2 )がある サイズに 制 限 がある( 数 十 nm 程 度 ) 材 料 を 自 由 に 選 択 することができない ひずみに 伴 う 格 子 欠 陥 が 不 可 避 であるなどの 問 題 があり ます そのため 十 分 な 性 能 の 量 子 ドットレーザや LED の 実 現 には 良 好 な 量 子 効 果 を 持 つナノ 構 造 の 再 現 性 のよい 欠 陥 の 発 生 しない 作 製 技 術 の 確 立 が 急 務 となっています 現 在 その 最 有 力 な 手 法 として ボトムアップ 技 術 とトップダウン 加 工 技 術 の 融 合 (プロセスインテグレ ーション)が 目 され 多 くの 提 案 がされつつあります ボトムアップ 技 術 の 中 でも バイオテクノロジは 極 めて 急 速 に 進 歩 しており 奈 良 先 端 技 術 大 学 院 大 学 の 山 下 一 郎 教 授 らは 遺 伝 子 操 作 により 改 質 されたフ ェリティン 変 異 体 などを 用 いてナノサイズの 金 属 を 内 包 したたんぱく 質 を 作 製 し それらの 自 己 組 織 化 によ るナノ 構 造 作 製 を 実 現 しています 一 方 トップダウン 加 工 技 術 では プラズマから 放 射 される 電 荷 や 紫 外 線 を 抑 制 し 低 損 傷 で 高 精 度 のエッチングを 可 能 とする 中 性 粒 子 ビームの 技 術 を 世 界 で 初 めて 寒 川 教 授 が 開 発 し その 効 果 を 最 先 端 超 LSI を 用 いて 実 証 していました 研 究 の 内 容 東 北 大 学 原 子 分 子 高 等 研 究 機 構 (AIMR)および 流 体 科 学 研 究 所 (IFS)の 寒 川 教 授 肥 後 助 教 グループ は 北 海 道 大 学 の 村 山 明 宏 教 授 東 京 大 学 の 中 野 義 昭 教 授 らの 研 究 グループと 共 同 で 次 世 代 の 高 効 率 量 子 ドット LED あるいはレーザの 実 用 化 に 道 を 拓 く 技 術 としてバイオテンプレートと 中 性 粒 子 ビームエッチ ングを 組 み 合 わせることで 世 界 で 初 めてガリウム 砒 素 /アルミニウムガリウム 砒 素 (GaAs/AlGaAs)の 6 層 積 層 構 造 の 超 低 損 傷 超 高 アスペクトエッチングを 実 現 することに 成 功 しました さらに LED 構 造 を 実 際 に 作 製 して 電 流 入 で 発 光 することを 世 界 で 初 めて 実 証 しました 本 研 究 では バイオテンプレート 極 限 加 工 法 により 化 合 物 半 導 体 (ガリウム 砒 素 )の 無 損 傷 エッチングを 実 現 することで 室 温 にて 量 子 効 果 を 示 す 厚 さ 数 nm 直 径 10nm 程 度 のナノピラー 構 造 を 無 欠 陥 均 一 高 密 度 (10 11 cm 2 以 上 ) 等 間 隔 (20nm)で 2 次 元 配 置 できることを 初 めて 示 しました 有 機 金 属 気 相 成 長 装 置 (MOVPE) 6) を 用 いて GaAs/AlGaAs のウェハをバイオテンプレートと 中 性 粒 子 ビームの 組 み 合 わ せで 極 限 加 工 することで GaAs のナノディスクが 積 層 した 高 さ 100nm 程 度 のピラーを 欠 陥 なく 作 製 するこ とに 成 功 しました さらに MOVPE 装 置 を 使 ってアルミニウムガリウム 砒 素 バリア 層 を 再 成 長 させ 保 護 膜 を 形 成 (パッシベーション)することで 高 品 質 界 面 の 実 現 に 成 功 し 世 界 で 類 をみないトップダウンエッチン グで 作 製 した 量 子 ナノディスク 構 造 を 内 部 に 持 つ LED 構 造 の 作 製 に 成 功 しました この LED 構 造 に 電 流 を 入 することで LED 発 光 させることに 成 功 し 非 常 に 強 い 発 光 特 性 を 実 現 できることも 確 認 しました 参 考 図 に 作 製 したデバイスの 概 略 図 電 流 入 密 度 による 発 光 強 度 依 存 性 を 示 します 設 計 した 量 子 ナノ ディスク 構 造 の 発 光 波 長 に 対 応 する 760nm から 明 瞭 な 発 光 が 確 認 できました この 量 子 ナノピラー 構 造 ア レイでは 従 来 困 難 であった 均 一 なサイズのナノ 構 造 を 数 十 nm 間 隔 で 均 一 かつ 高 密 度 に 材 料 を 問 わず 形 成 できることから あらゆる 波 長 帯 域 を 実 現 できる 高 効 率 な 量 子 ドット LED およびレーザを 実 用 化 できる 構 造 として 極 めて 有 望 であるといえます

3 今 後 の 展 開 中 性 粒 子 ビームによる 加 工 表 面 改 質 材 料 堆 積 技 術 は 現 在 の 半 導 体 業 界 が 直 面 している 革 新 的 ナ ノデバイスの 開 発 を 妨 げるプロセス 損 傷 を 解 決 する 全 く 新 しいプロセス 技 術 であると 考 えられます また 本 技 術 を 用 いた 装 置 はプラズマプロセスとして 実 績 がありもっとも 安 定 した 装 置 において 用 いられている プラズマ 源 をそのまま 用 い 中 性 化 のためのグラファイトグリットを 付 加 するだけで 実 現 できることから 今 後 数 十 nm 以 下 のナノデバイスにおける 革 新 的 なプロセスとして 実 用 化 されてゆくこともおおいに 期 待 さ れるものです 中 性 粒 子 ビーム 技 術 は 既 に 均 一 大 面 積 プロセスを 実 現 できるプラズマ 源 を 基 盤 に 装 置 が 実 現 できるため 極 めて 実 用 的 であり 今 後 最 先 端 ナノデバイス 製 造 プロセスにおいて 中 性 粒 子 ビーム 加 工 技 術 のみならず 中 性 粒 子 ビームを 用 いた 表 面 改 質 修 飾 技 術 の 研 究 開 発 を 進 めて 実 用 的 なデバイ ス 開 発 を 大 いに 推 進 していく 予 定 です 今 回 6 層 積 層 した 量 子 ドット 構 造 の 作 製 に 成 功 し 実 際 の LED 構 造 での 発 光 を 確 認 することに 成 功 したことで 実 用 化 に 向 けて 大 きく 前 進 しました 既 に 大 手 装 置 メー カーと 装 置 化 への 検 討 も 進 んでおり 近 い 将 来 の 実 用 化 に 向 けてさらに 研 究 を 進 めていきます 参 考 図 図 1 バイオテンプレートと 中 性 粒 子 ビームを 用 いた 量 子 ドット 作 製 技 術

4 13.56MHz 石 英 チューブ DC 塩 素 原 子 ビー ム 塩 素 プラズマ n n n ~10eV DC 中 性 粒 子 ビーム n n 誘 導 結 合 プラズマ 生 成 用 アンテナ 加 工 ダメージ 比 較 ( 表 面 欠 陥 のESR 測 定 ) 無 欠 陥 プラズマ hν n Aperture Plate n n n Si 中 性 粒 子 ビームエッチング 3.1x10 10 cm 2 Si リファレンス:2.5x10 10 cm cm 2 欠 陥 生 成 hν プラズマ hν Si プラズマエッチング 2.0x10 12 cm 2 負 イオンによる 高 効 率 低 エネルギー 中 性 粒 子 ビームの 生 成 高 密 度 中 性 粒 子 ビーム 生 成 (1mA/cm 2 ~) エネルギー 可 変 (10eV~1keV) 高 中 性 化 率 (~100%) 図 2 中 性 粒 子 ビームエッチング 技 術 図 3 バイオテンプレートと 中 性 粒 子 ビームによる GaAs/AlGaAs 量 子 ナノピラー 構 造 と 有 機 金 属 気 相 成 長 法 で 作 製 した 量 子 ドット LED 構 造

5 図 4 作 製 した 量 子 ドット LED の 電 流 入 による 発 光 スペクトル 用 語 解 説 1. 量 子 ドット 主 に 半 導 体 において 電 子 の 持 つド ブロイ 波 長 ( 数 nm~20nm) 程 度 の 大 きさの 粒 状 の 構 造 を 作 ると 電 子 はその 領 域 に 閉 じこめられる 閉 じ 込 め 方 向 を 1 次 元 にしたものを 量 子 井 戸 構 造 2 次 元 のもの を 量 子 細 線 そして 3 次 元 全 ての 方 向 から 閉 じ 込 めたものを 量 子 ドットと 呼 ぶ 量 子 ドットは その 特 異 な 電 気 的 性 質 により 単 電 子 トランジスタ 量 子 テレポーテーション 量 子 コンピューターなどへの 応 用 が 期 待 されている また 大 きさを 変 えることでバンドギャップエネルギーが 制 御 でき 光 の 吸 収 や 発 光 の 波 長 を 変 化 させることができるため 量 子 ドット 太 陽 電 池 や 量 子 ドットレーザへの 応 用 も 期 待 されている これらを 実 現 するためには 大 きさのそろった 量 子 ドットを 作 製 する 必 要 があり 本 研 究 ではバイオテンプレート 法 を 用 いた 円 板 アレイ 構 造 を 提 案 している 2. 発 光 ダイオード 発 光 ダイオードは 半 導 体 を 用 いた pn 接 合 と 呼 ばれる 構 造 で 作 られている 発 光 はこの 中 で 電 子 の 持 つエネルギーを 直 接 光 エネルギーに 変 換 することで 行 われ 巨 視 的 には 熱 や 運 動 の 介 在 を 必 要 としない 電 極 から 半 導 体 に 入 された 電 子 と 正 孔 は 異 なったエネルギー 帯 ( 伝 導 帯 と 価 電 子 帯 )を 流 れ pn 接 合 部 付 近 にて 禁 制 帯 を 越 えて 再 結 合 する 再 結 合 時 に バンドギャップ( 禁 制 帯 幅 )にほ ぼ 相 当 するエネルギーが 光 として 放 出 される 放 出 される 光 の 波 長 は 材 料 のバンドギャップによって 決 められ これにより 赤 外 線 領 域 から 可 視 光 線 領 域 紫 外 線 領 域 まで 様 々な 発 光 を 得 られるが 基 本 的 に 単 一 色 で 自 由 度 は 低 い ただし 青 色 赤 色 緑 色 ( 光 の 三 原 色 )の 発 光 ダイオードを 用 いるこ とであらゆる 色 (フルカラー)を 表 現 可 能 である また 青 色 または 紫 外 線 を 発 する 発 光 ダイオードの 表 面 に 蛍 光 塗 料 を 塗 布 することで 白 色 や 電 球 色 などといった 様 々な 中 間 色 の 発 光 ダイオードも 製 造 されている 3. 量 子 ドットレーザ 量 子 ドット 中 の 電 子 を 用 いた 半 導 体 レーザ 日 本 で 発 明 された ナノテクノロジーの 進 展 により 10nm 近 くの 立 体 構 造 の 形 成 が 可 能 になってきた この 構 造 の 中 では 電 子 の 波 は 3 次 元 的 に 閉 じ 込 めを

6 受 け 運 動 の 自 由 度 がなくなる このような 量 子 ドットを 半 導 体 レーザの 発 光 部 ( 活 性 層 )として 用 いる と その 特 性 を 飛 躍 的 に 向 上 させることができると 期 待 されている 21 世 紀 の 半 導 体 レーザ 4. 中 性 粒 子 ビーム 寒 川 教 授 が 世 界 で 初 めて 開 発 したエッチング 技 術 であり プラズマからの 高 エネルギーイオン 紫 外 線 照 射 を 大 幅 に 抑 制 することで 様 々な 材 料 の 超 低 損 傷 エッチングに 実 績 を 持 つ 5. プラズマエッチング 固 体 液 体 気 体 につづく 第 4 の 状 態 であり 電 離 した 気 体 のことを 一 般 的 に 示 す プラズマ 中 には 高 エネルギーのイオン 電 子 中 性 粒 子 が 存 在 する 特 に 半 導 体 産 業 においては 微 細 加 工 の 手 法 と してプラズマを 用 いたエッチングが 使 われている 6. 有 機 金 属 気 相 成 長 装 置 原 料 として 有 機 金 属 やガスを 用 いた 結 晶 成 長 方 法 およびその 装 置 である 化 合 物 半 導 体 結 晶 を 作 製 するのに 用 いられ 原 子 層 オーダで 膜 厚 を 制 御 することができるため 半 導 体 レーザを 初 めとする ナノテクノロジーといった 数 nm の 設 計 が 必 要 な 分 野 で 用 いられる 代 表 的 な 半 導 体 結 晶 成 長 装 置 で ある 分 子 線 エピタキシー 法 (MBE) と 比 較 し 面 内 での 膜 厚 の 偏 差 が 少 なく 高 速 成 長 が 可 能 である ほか 超 高 真 空 を 必 要 としないために 装 置 の 大 型 化 が 容 易 である 為 大 量 生 産 用 の 結 晶 成 長 装 置 と して LED や 半 導 体 レーザを 初 めとした 光 デバイスの 商 用 製 品 の 作 製 に 多 く 用 いられている 論 文 情 報 尚 今 回 の 研 究 成 果 につきましては 2014 年 9 月 7 日 から 10 日 までスペイン パルマ デ マリョルカで 開 催 される IEEE 半 導 体 レーザ 国 際 会 議 (IEEE International Semiconductor Laser Conference 2014)にお いて 報 告 を 行 う 予 定 です 論 文 題 目 :Quantum GaAs Nanodisk Light Emitting Diode Fabricated by Ultimate Topdown Neutral Beam Etching 問 い 合 わせ 先 < 研 究 に 関 すること> 東 北 大 学 原 子 分 子 材 料 科 学 高 等 研 究 機 構 (AIMR) 東 北 大 学 流 体 科 学 研 究 所 未 到 エネルギー 研 究 センターグリーンナノテクノロジー 研 究 分 野 教 授 寒 川 誠 二 (サムカワ セイジ) 仙 台 市 青 葉 区 片 平 2 丁 目 1 番 1 号 TEL/FAX: samukawa@ifs.tohoku.ac.jp <JST 事 業 に 関 すること> 古 川 雅 士 (フルカワ マサシ) 科 学 技 術 振 興 機 構 戦 略 研 究 推 進 部 東 京 都 千 代 田 区 五 番 町 7 K s 五 番 町 ビル Tel: Fax: crest@jst.go.jp

7 < 報 道 担 当 > 東 北 大 学 原 子 分 子 材 料 科 学 高 等 研 究 機 構 (AIMR) 広 報 アウトリーチオフィス 中 道 康 文 (ナカミチ ヤスフミ) Tel: 科 学 技 術 振 興 機 構 広 報 課 Tel: Fax:

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