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福田健一, 森中泰章 表 1 精度等級によるロードセル検証インターバルの最大数 (nmax) 等級 A 等級 B 等級 C 等級 D 下限値 50000 5000 500 100 上限値 無制限 100000 10000 1000 mpe P LC x 0.5 v P LC x 1.0 v P LC x 1.5 v 表 2 精度等級による最大許容誤差 (mpe) 荷重, m 等級 A 等級 B 等級 C 等級 D 0 m 50 000 v 50 000 v < m 200 000 v 200 000 v < m 0 m 5 000 v 5 000 v < m 20 000 v 20 000 v < m 100 000 v 0 m 500 v 500 v < m 2 000 v 2 000 v < m 10 000 v 0 m 50 v 50 v < m 200 v 200 v < m 1 000 v 恒恒温槽温槽 温湿度計センサ 試験品 ロードセル設置台 連鎖式分銅 200kg 連鎖式分銅 1000kg 温湿度制御装置 荷重負荷部自動加除装置 温湿度計 出力測定器 制御部 環境測定用 PC 気圧計 温湿度データ記録プログラム 123456mV/V 真空デシケータ パソコン荷重試験支援システム 図 1 質量計用ロードセル試験用機器概要 AIST Bulletin of Metrology Vol. 4, No. 2 118 October 2005

質量計用ロードセルの試験方法とその不確かさ SI NMIJ DKD 力学計測科質量力標準研究室 質量計試験技術室標準分銅 JCSS 重力加速度 10kg 分銅 20kg 分銅 50kg 分銅 100kg 分銅 気圧計 出力測定器 テ シ タルマルチメーター 温湿度計 図 2 試験用機器トレーサビリティ体系図図 2. 試験用機器のトレサビリティ体系図 負荷質量 予備負荷 一般負荷試験 クリープ試験 1 2 3 時間 温度安定化 5 分間 1 時間 30 分間 図 3 試験順序 産総研の質量計用ロードセル試験装置は, 実荷重方式 を採用しており, ロードセルを設置する温槽の温湿度制御は, 高精度なユニット型温湿度供給装置を採用し, OIML R60/2000の試験条件を充分に満たしている. 産総研の質量計ロードセル試験用機器の概要を図 1に示す. またこれらの試験用機器のトレーサビリティ体系を図 2に示す. 産総研で行える試験の範囲は, 産総研で所持している試験用機器の能力により, 表 3に示す質量計用ロードセルとなる. 湿度記号がNHのみの対応となっているが,CHのもの についても対応出来るように準備中である. また, デジタルロードセルについてもEMC 試験に対応する試験機器は産総研で所持しているので試験用ソフトの改修等により対応可能かと思える. ただし, ロードセルの最大容量のアップには試験装置の新設が必要である. OIML R60/2000に基づいた試験項目としては, 誤差試験, 再現性試験, クリープ試験, 最小デッド ロード出力リターン, 最小デッド ロード出力におよぼす温度の効果及び気圧変化の影響試験がある. 誤差, 再現性, クリープ, 最小デッド ロード出力リターン及び最小デッド ロード出力におよぼす温度の効 産総研計量標準報告 Vol. 4, No. 2 119 2005 年 10 月

福田健一, 森中泰章 表 3 産総研で実施可能な試験範囲分類項目試験対象精度クラス CまたはD 最大容量 (E max ) 1000kgまたは200kg ロードセルの検証インターバルの 3000まで最大数 (n) ロードセルのタイプビーム式動作温度のリミット値 -10 ~40 湿度記号 NH 電子回路装備されていないもの果試験については, 試験温度 (20,40,-10,20 ) において図 3に示す試験パターンにて効率的に行うことが出来る. この試験パターンの通りに連鎖式分銅を自動的に加除することで各試験温度での必要なデータを取得し計算を行う. データ及び計算結果は,OIML R60/2000の附属書 D の様式を用いたテストレポートに記入される. 産総研が行った模擬試験での誤差試験及びクリープ試験の結果をグラフ化したものを図 4 及び図 5に示す. 3. 測定の不確かさ OIML R60/2000の5.6 項 Measurement standardsにおいて, 荷重と指示計器の組合せの拡張不確かさU(k=2) は, ロードセルの許容誤差の1/3 倍より小さくなければな らない, と規定されている. そこで, 産総研のロードセル試験用機器及び試験環境における測定の不確かさを見積もり 4)-6), 試験範囲についてロードセルの許容誤差の 1/3であることを証明しなくてはならない. 逆に言えば, 測定の不確かさを見積もることにより試験範囲が決定されたとも言える. 不確かさの要因としては, 質量計用ロードセルに掛かる 荷重の相対標準不確かさ 及び質量計用ロードセルからの出力を表示する 指示計器の相対標準不確かさ に大別される. それぞれの要因を, 次に挙げる. 荷重の相対標準不確かさ の要因 分銅の質量校正値 分銅の汚染( 汚れ, 埃等 ) 分銅の経年変化 分銅の磁化 空気密度の変動による浮力の変動 重力加速度の測定値 質量計用ロードセルの傾き 質量計用ロードセルの設置位置 分銅指示棒にジャバラを取り付ける 指示計器の相対標準不確かさ の要因 指示計器の感度 指示計器の分解能 Load Cell Performance 2005/3/11~17 1.50 1.00 Error(v) 0.50 0.00 0 200 400 600 800 1000-0.50-1.00-1.50 Load(kg) 20 increasing 20 decreasing 40 increasing 40 decreasing -10 increasing -10 decreasing 20 increasing 20 decreasing 図 4 誤差試験結果 AIST Bulletin of Metrology Vol. 4, No. 2 120 October 2005

質量計用ロードセルの試験方法とその不確かさ Creep Graph Change(v) 0.70 0.60 0.50 0.40 0.30 0.20 0.10 0.00-0.10-0.20-0.30-0.40-0.50-0.60-0.70 0 5 10 15 20 25 30 35 Time(min) 20 40-10 20 図 5 クリープ試験結果 表 4 標準不確かさの成分表 ( 単位 ;ppm) 不確かさ要因 荷重の相対標準不確かさ 分銅の質量の校正値の相対標準不確かさ 5.0 分銅の経年変化による相対標準不確かさ 20.0 空気密度の変動による浮力の変動の相対標準不確かさ 2.0 質量計用ロードセルの傾きによる相対標準不確かさ 10.0 質量計用ロードセルの設置位置の変更による相対標準不確かさ 5.9 分銅指示棒にシ ャハ ラを取り付けることによる相対標準不確かさ 5.1 計 24.3 指示計器の相対標準不確かさ 指示計器の感度による相対標準不確かさ 6.0 計 6.0 荷重と指示計器の組合せの拡張不確かさU(k=2) U 50.2 注 : 分銅の汚染 ( 汚れ, 埃等 ), 分銅の磁化, 重力加速度の測定値及び指示計の分解能の各要因については, 相対 標準不確かさを見積もった結果, 表中の要因に比べ非常に小さかったため無視できる. さらに実際には, 恒温槽内の温度変化 も不確かさに影響するためそれについても考察する. これらの要因について, 試験結果に影響する各成分の相対標準不確かさを評価した成分表を表 4に示す. なお, 恒温槽内の温度変化による不確かさについては, 恒温槽内の温度は, 測定時,±0.1 で制御されている. この値を元に, 恒温槽内の温度の変化による相対標準不確かさを見積もると1.6ppmと推定した. この値は, 他の 不確かさに対して小さいため無視できる. 産総研の試験装置の荷重と指示計器の組合せの拡張不確かさ50.2ppmは, 精度等級 C, 検証インターバル3000 のロードセルの許容誤差の1/3 倍は十分に下回っている. このことより, 産総研で行う試験範囲を決定した. 産総研計量標準報告 Vol. 4, No. 2 121 2005 年 10 月

福田健一, 森中泰章 4. おわりに質量計用のロードセルのOIML R60/2000に基づいた試験方法及び不確かさについて述べた. ロードセルは, 冒頭に記述したように数 gから数百 tクラスまでのものがあり, それらの範囲のほとんどが質量計に使用される. ひょう量が300kg 程度までの非自動はかりであれば, はかりそのものを試験 評価することが出来るが, それ以上のひょう量のはかりについては, 大掛かりな試験装置を持つか ( ほぼ不可能に近い ) ロードセルと指示計を試験 評価することとなる. このように大きなひょう量を持つはかりの評価に有効であるロードセル基本性能試験であるが, 産総研で試験できる範囲が狭いため今後の範囲拡大が必要である. 参考文献 1) ( 社 ) 日本計量器工業連合会編, はかりハンドブック, 日刊工業新聞社 (1998). 2) 産業計測機器管理基準研究委員会編, 産業計測機器管理基準 Ⅱ 質量計測機器の管理,( 社 ) 計量管理協会 (1978). 3) OIML R60 Edition 2000 (E) Metrological regulation for load cells, INTERNATIONAL ORGANIZATION OF LEGAL METROLOGY (2000). 4) 独立行政法人製品評価技術基盤機構, 計量法校正事業者認定制度校正方法及び不確かさの見積もりに関するガイド力計 (2004). 5) 独立行政法人製品評価技術基盤機構, 計量法校正事業者認定制度技術的要求事項適用指針力計 /JIS 7728による方法 (2005). 6) JIS B 7609 分銅, 日本規格協会 (2000). AIST Bulletin of Metrology Vol. 4, No. 2 122 October 2005