えば 単磁区微細粒を磁化容易軸に配向させる開発が進ん でいる 11 ここでは 市販のネオジム焼結磁石を用いて 金属組織や粒界構造をミリメートルのマクロな領域からナ ノメートルオーダで解析した例を紹介する 図 2 に示す 図 2 a は 主相 Nd2Fe14B 立方晶 の逆 極点方位マップ Inver
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- かおり ねぎたや
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1 JFE 技報 No. 37 (2016 年 2 月 )p Cs 補正 STEM,ULV-SEM,FE-EPMA を用いた高機能性材料の界面構造解析 Micro Beam Analysis of Interface in Advanced Material Using Cs-Corrected STEM, ULV-SEM, and FE-EPMA 猪瀬明 INOSE Akira JEE 本部 ( 川崎 ) 材料評価 主査 ( 課長 ) 北原保子 KITAHARA Yasuko JEE 本部 ( 川崎 ) 材料評価 主査 ( 副部長 ) 池本祥 IKEMOTO Sachi JEE 本部 ( 川崎 ) 材料評価 主査 ( 係長 ) 橋本哲 HASHIMOTO Satoshi JEE 営業本部兼 本部 ( 川崎 ) 主査 ( 部長 ) 博士( 工学 ) 要旨各種高機能材料 物性 表面 界面構造 構造 由来, 平均構造 制御 構造解析技術, 微細構造 平均構造 評価 要求 JFE 行 構造解析 例, 球面収差補正走査透過電子顕微鏡 (Cs 補正 STEM), 極低加速電圧走査電子顕微鏡 (ULV-SEM), 電界放出型電子線 (FE- EPMA) 用 磁石 粒界構造, 電子材料 多層薄膜界面, 貴金属微粒子触媒 構造解析結果 示 Abstract: Characteristic properties in advance materials originate from interface or surface nanoscopic structures, and macroscopic structures are also controlled for their stable production. Various micro-beam analysis techniques, which cover from the atomic scale to the macroscopic scale, are required for detailed studies. Such analyses using spherical aberration corrected scanning transmission electron microscope (Cs-corrected STEM), ultra-low voltage scanning electron microscope (ULV-SEM), and field emission-electron probe micro-analyser (FE-EPMA) are applied to characterize neodymium magnets, electronic materials such as power devises, and noble metal fine particle catalysts. 1. はじめに構造材料 機能性材料 問, 物性 発現, 表面 界面 微細構造 制御 重要 電子顕微鏡, 表面分析法,X 線回折法 物理解析手法, 材料 微細構造 解析 手法 1, 2), 材料 平均的 組成 精度 分析 化学分析 並 重要 手法 鉄鋼材料 高強度化 要請 応,JFE 解析可能 球面収差 (Cs:Spherical aberration) 補正走査透過電子顕微鏡 (Cs 補正 STEM), 極表層 観察可能 極低加速電圧 SEM(ULV-SEM) 先端的 技術 先駆 導入, 鉄鋼材料 構造解析 行 3-7) JFE, 鉄鋼構造解析技術, 新物性発現 研究 開発 進 磁石, 二次電池, 貴金属触媒, 電子材料 各種高機能材料向, 解析可能 先端技術 (Cs 補正 STEM ULV-SEM,FE-EPMA( 電 2015 年 10 月 14 日受付 界放出型電子線 )) 全国 先駆的 導 入, 材料 合 適切 試料調製 分析条 件設定, 解析 通 表面 界面 構造解析 提案 6-9) 高機能 発現 構造 由来, 均質 形成 安定 物性発現, 構造解析, 平均情報 正 評価 必要 例, 粒界構造制御 高保磁力 発現 磁石 8), 数 8, 多層構造 9) 界面構造 電子特性 変化 電子材 料 7), 数 貴金属微粒子触媒 構造解析結果 示 2. 機能性材料の構造解析 2.1 ネオジム磁石における粒界構造の解析 1983 年 発明 永久磁石 磁石, 電 気自動車, 風力発電 高効率 使用 効率, 磁石 保 持力向上 目指 組織制御 行 11, 12). Copyright 2016 JFE Steel Corporation. All Rights Reserved
2 えば 単磁区微細粒を磁化容易軸に配向させる開発が進ん でいる 11 ここでは 市販のネオジム焼結磁石を用いて 金属組織や粒界構造をミリメートルのマクロな領域からナ ノメートルオーダで解析した例を紹介する 図 2 に示す 図 2 a は 主相 Nd2Fe14B 立方晶 の逆 極点方位マップ Inverse pole figure IPF マップ である 主相の結晶粒のほとんどが赤色 ピンク系の色調を呈して おり 001 方向を向いている さらに 図 2 b に EBSD まず 広範囲の元素分布 結晶方位分布を調べた例として 図 1 にネオジム磁石における FE-EPMA 日本電子 株 製 の 結 晶 粒 マ ップ 上 段 お よび 粒 界 マ ップ 下 段 と EPMA で得られた Dy の元素分布を重ね合わせたマップを JXA-8500F による反射電子像と元素マッピングを示す 高 示す 同一視野を測定することで 元素偏析と結晶粒界の 加速電圧領域における反射電子像のコントラストは平均原 関係を より詳細に確認することが可能となる Dy は 結 子番号の差によって生じることから この反射電子像におけ 晶粒の中心付近と粒界三重点に分布していることが明らか る均一でやや暗いコントラストの部分は主相 Nd2Fe14B 相 になった このように FE-EPMA を用いると 広い範囲に で 最も明るいコントラストの部分が Nd リッチ相 暗いコ おける微量元素を定量評価でき EBSD を併用することで結 ントラストが B リッチ相であるものと考えられる マッピン 晶方位を元素に対応付けて評価することも可能である な グ結果からも このことを確認できた 図 1 a のマッピ ング結果を詳細に見ると 主相中において Dy および Pr の濃度揺らぎがあり Dy と Pr が相補的な分布をしている ことがわかる また Nd リッチ相には Pr と一部で Dy が 存在している 図 1 b の表に代表的な各点の EPMA 定量 分析結果を示す Dy の多くは 主相中に存在しており そ の割合は 1 原子 程度である エネルギー分解能が高い波 長分散型 X 線分光器 WDX を用いることで 特性 X 線の エネルギーが近い Nd Dy Pr と Fe Mn との分離ができ たため これらの分析が可能となった 次に SEM に搭 載され た後 方 散 乱 電 子回 折 Electron backscatter diffraction EBSD を用いて ネオジム磁石の 保磁力制御のために重要な結晶粒の方位を解析した結果を 図 2 ネオジム磁石の EBSD による結晶方位解析 Fig. 2 図1 ネ オジム磁石の FE-EPMA 電界放出型電子線マイクロア ナリシス による分析結果 Fig. 1 FE-EPMA analysis of neodymium magnet 81 Analysis of crystal orientation for neodymium magnet 図 3 Cs 補正 STEM により観察したネオジム磁石の結晶粒界 7 Fig. 3 Grain boundary of neodymium magnet analyzed by spherical aberration corrected scanning transmission 7) electron microscope (Cs corrected STEM)
3 お EBSD では各粒における傾斜角の評価から 磁化方向 試 は数マイクロメートルであったが JFE テクノリサーチでは 料法線方向 に対する磁化容易方向 C 軸 も調べること 低加速電圧励起にすることで空間分解能が 30 nm 程度 2 桁以上向上することを明らかにした ができる と 次に 原子レベルの配列が制御されている LED 発光層の 次に 原子スケールの空間分解能を有する Cs 補正 STEM 日本電子 株 JEM-ARM200F を用いて ネオジム磁石 9 15 化 合 物 半 導 体 の 超 格 子 構 造 の 観 察 例 を 示 す 図 5 は における結晶粒界の構造を解析した例を図 3 に示す 図 3 GaAs/AlGaAs 超格子断面の Cs 補正 STEM による観察結果 a の高角散乱環状暗視野走査透過電子顕微鏡像 HAADF- である 高分解能 HR High resolution TEM 像では STEM 像 における結晶粒 A は 110 方位のものである 単位胞の並進対称性に対応した像だけが得られているのに 構造モデルと比べると白点が Nd の原子カラムに対応するこ 対 し HAADF-STEM 像 で は Ga-As Al Ga -As の 原 子 対 とがわかる 結晶粒 C は 120 に近いが 軸入射ではな に対応した像が得られている 低倍の像では GaAs 層が明る いため 原子カラムは明瞭でない 結晶粒界には約 5 nm 厚 く 平均原子番号の小さい AlGaAs 層が暗く観察されている のアモルファスまたは微結晶からなる粒界相が存在してい 原子分解能の像では 原子番号が近い Ga-As 最近接原子対 る この粒界相を挟んで EDX による線分析を行なった結果 の両原子コラムの強度はほぼ同じであるのに対し Al Ga - 図 3 b Nd や Pr がリッチな粒界相が形成されているこ とがわかる さらに Nd リッチな粒界相と主相の界面に As では強度の非対称を見ることができる 原子スケールで 製造プロセスが制御されていない多くの材料においては 極 Cu が濃化していることもわかる このような粒界相の形成 により 保磁力が大きくなることが示されている , 電子材料における多層薄膜界面の解析 SEM を用いると ミリメートル程度のマクロな構造から ナノメートル程度の構造まで像観察と元素分析が可能であ る ULV-SEM Carl Zeiss AG ULTRA55 -EDX サ ー モ エレクトロン 株 NSS300 を用いて半導体デバイスにお けるワイヤボンディングの断面部を加速電圧が 4 kv の条件 で分析した結果を 図 4 に示す 低倍の反射電子像 a に より接合部の全体構造を確認し その中から選んだボンディ ング部の元素マッピングを b に示す Al 電極と Au ワイ ヤの界面で Al と Au の強度がバルクより低く 約 200 nm の厚さの AuAl の合金相が形成されていることがわかる ま た 特性 X 線のエネルギーの近接する Si と W とを分離する ことにより 約 150 nm の厚さを有する W 層も分析できた 図 5 Cs 補正 STEM を用いた GaAs/AlGaAs 超格子断面の観察結果 Fig. 5 従来の高加速電圧条件では SEM-EDX における空間分解能 図4 U LV-SEM-EDX を用いて解析した半導体デバイスのワイヤ ボンディング部 Fig. 4 Wire bonding area for semiconductor device analyzed using ultra-low accelerating voltage-scanning electron microscopy (ULV-SEM) GaAs/AlGaAs superlattice observed using spherical aberration corrected scanning transmission electron microscope (Cs corrected STEM) 図6 C s 補正 STEM-EDX EELS を用いた GaAs/AlGaAs 超格子界 面の線分析結果 分解能は の界面幅 Fig. 6 Energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) and electron energy-loss spectroscopy (EELS) line analysis of GaAs/ AlGaAs superlattice using spherical aberration corrected scanning transmission electron microscope (Cs-corrected STEM)(Resolution is defined as interface width of 20-80%) 82
4 微小部の元素の種類の決定や化学状態の情報の方が 原子 像観察よりも重要な場合がある 例として 図 6 に GaAs/ AlGaAs 超 格 子 断 面 の Cs 補 正 STEM に よ る EDX お よ び EELS 線分析結果を示す EDX においては Ga K 線 EELS においては Ga L エッジの強度を示した いずれも急峻な界 面が得られており空間分解能は EDX または EELS 強度が となる界面幅と定義した EDX で 1.1 nm EELS で 1.0 nm とほぼ 1 nm であった 2.3 自動車排ガス浄化触媒の解析 内燃機関を搭載した自動車需要の増加に伴う自動車排出 ガス規制に対応して 有害物質を無害化するための排ガス 浄化触媒システムの開発が急務となっている 16 排ガス浄 図 8 STEM-EDX による元素マッピングおよび HAADF-STEM 像 化触媒は 主に担体 / 助触媒 / 貴金属から構成される と Fig. 8 くに サブナノメートル 数十ナノメートルオーダーのサイ ズの貴金属は高分散に設計される 貴金属の粒子径の評価 にはガス吸着法を用いる場合が多い 17 しかし 直接的な Elemental mapping by energy-dispersive X-ray spectroscopy (EDX) and high-angle annular dark-field-scanning transmission electron microscope (HAADF-STEM) image 評価には電子顕微鏡による観察と元素分析を組み合わせた 手法が有効である ここでは ナノメートルサイズの Rh が れる これらを EDX で分析すると point 1 は CeO2 point 含まれ るガ ソリン 車 用 排 ガ ス 浄 化 触 媒 Rh/CeO2/Y2O3-2 は Rh であることがわかり 拡大図に示すように Rh 部で ZrO2 名古屋工業大学 羽田政明准教授ご提供 を Cs 補正 原子配列がみられることから Rh は結晶性を有するといえ STEM にて観察した例を示す る また Rh 粒子部の FFT 解析結果より Rh の 111 が 図 7 に STEM 像および FFT Fast fourier transform 処 CeO2 表面と接していることが分かった 図 8 に図 7 b の 理により得られた FFT パターン EDX による定性分析結果 エリアにおける STEM-EDX マッピング結果を示す 前述し を示す 図 7 a は 担体と助触媒のみが識別できる低倍 た CeO2 表面に担持された Rh 以外にも STEM 像では判断 率の明視野 BF Bright field STEM 像である この視野 できない ZrO2/CeO2 の界面や CeO2 上に分布する Rh を捉 内の四角で囲まれた領域を拡大し HAADF-STEM 観察した えられている 結果を図 7 b に示す 半月形の粒子 任意の位置 point 1 の先端に 1 2 nm 程度の微粒子 point 2 が数粒認めら 3 おわりに 高保磁力のネオジム磁石粒界 化合物半導体超格子構造 貴金属微粒子触媒のなど高機能材料の界面構造解析例を通 じ Cs 補正 STEM ULV-SEM FE-EPMA を用いた ナノメー トルスケールからマクロでの構造解析の重要性を示した JFE テクノリサーチでは これら材料ごとに適正化した試料 調製技術を始めとするノウハウを数多く蓄積している 今後 も 構造材料 高機能性材料を展開されるお客様に必要な ナノメートルスケールの構造解析技術 試料調製 装置 デー タ解析 をタイムリーに導入 また開発し ものづくり のベストパートナーとして その結果をご提供していきたい 図7 排 ガス浄化触媒の STEM 像 FFT パターンおよび EDX ス ペクトル Fig. 7 Scanning transmission electron microscope (STEM) images, fast fourier transform (FFT) pattern, and electron energy-loss spectroscopy (EDX) spectra obtained from automotive catalyst 参考文献 1 佐藤馨 第 回西山記念講座資料 2014, p 名越正泰 第 回西山記念講座資料 2014, p Funakawa, Y.; Shiozaki, T.; Tomita, K.; Yamada, K.; Maeda, E. ISIJ Int. 2004, vol. 44, p Hamada, E.; Yamada, K.; Nagoshi, M.; Makiishi, N.; Sato, K.; Ishii, T.; Fukuda, K.; Ujiro, T. Corr. Sci. 2010, vol. 52, p 名越正泰 河野崇史 佐藤馨 表面技術 2003, vol. 54, p 橋本哲 日本信頼性学会誌 2006, vol. 28, p
5 Cs 補正 STEM,ULV-SEM,FE-EPMA 用 高機能性材料 界面構造解析 7) 橋本哲, 小形健二, 池本祥, 北原保子, 猪瀬明, 前田千寿子. 日本希土類学会第 30 回希土類討論会予稿集 )Sakurada, T.; Hashimoto, S.; Tsuchiya, Y.; Tachibana, S.; Suzuki, M.; Shimizu, K. J. Surf. Anal. 2005, vol. 12, p ) 猪瀬明, 橋本哲, 小形健二, 前田千寿子, 矢野裕司. 応用物理学会先進 半導体研究会第 22 回講演会予稿集 ) 大橋健, 大森賢次, 岡部徹, 小林九理眞, 近田滋, 佐川眞人, 杉本論, 徳永雅亮, 浜野正昭, 広沢哲. 宝野和博 磁石. 技術,2011, p ) 俵好夫, 大橋建. 希土類永久磁石. 森北出版,2005, p ) 宝野和博, 大久保忠勝,Sepehri-Amin, H. 日本金属学会誌.2012, vol. 76, p ) 三嶋千里, 野口健児, 山崎理央, 松岡浩, 御手洗浩成, 本蔵義信. 日本金属学会誌.2012, vol. p ) 板倉賢, 桑野範. 日本金属学会誌.2012, p. 76, p )Hashimoto, S.; Sakurada, T.; Suzuki, M. J. Surf. Anal. 2008, vol. 14, p ). 情報機構. 自動車触媒 最新技術 劣化対策 貴金属低減 ~ 排出 低減 向 開発 設計 評価 ~. 2010, p )Kamiuchi, N.; Haneda, M.; Ozawa, M. Catalysis Today. 2013, vol. 201, p. 79. 猪瀬明北原保子池本祥 橋本 哲 JFE 技報 No. 37(2016 年 2 月 ) Copyright 2016 JFE Steel Corporation. All Rights Reserved. 禁無断転載
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参考資料 標準試料データ目次 クリソタイル標準試料 JAWE111 108 アモサイト標準試料 JAWE211 113 クロシドライト標準試料 JAWE311 118 クリソタイル標準試料 JAWE121 123 アモサイト標準試料 JAWE221 131 クロシドライト標準試料 JAWE321 139 アンソフィライト標準試料 JAWE411 147 トレモライト標準試料 JAWE511 155
1-x x µ (+) +z µ ( ) Co 2p 3d µ = µ (+) µ ( ) W. Grange et al., PRB 58, 6298 (1998). 1.0 0.5 0.0 2 1 XMCD 0-1 -2-3x10-3 7.1 7.2 7.7 7.8 8.3 8.4 up E down ρ + (E) ρ (E) H, M µ f + f E F f + f f + f X L
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In situ XRD および XAFS を用いた燃料電池アノード触媒電極の劣化解析 日本電気 ( 株 ) 松本匡史 m-matsumoto@jv.jp.nec.com 直接型メタノール燃料電池の PtRu アノードにおいて Ru は触媒被毒の原因である CO の酸化を促進する役割を持ち 電池出力の向上に不可欠な要素である しかし 長時間運転時には Ru が溶出し 性能が劣化する Ru 溶出は 運転時の
ｽﾗｲﾄﾞ ﾀｲﾄﾙなし
OIM とは何ですか? 何に使えるのでしょうか? 材料にも組織構造があります Weak Orientation Strong Orientation 木材は その木目の方向によって強度が著しく異なります 実は日常的に使用される鉄鋼材料をはじめ多くの金属材料でもこのような異方性を持つことが多々あります また 結晶粒の大きさやその分布で強度が変わることも知られています この材料の組織構造がどうなっているのかを
X 線 CT による竹組織の観察 R060508Tani.pdf 1. 実験の目的と装置 竹組織は, 種々のサイズの組織が分布しており, 配向もあるので, 高分解能 CT の研究には好都合 な試料である. 種々のサイズの組織の分布があることは,X 線小角散乱の実験からも示唆されてい る. 竹の主たる
X 線 CT による竹組織の観察 R060508Tani.pdf 1. 実験の目的と装置 竹組織は, 種々のサイズの組織が分布しており, 配向もあるので, 高分解能 CT の研究には好都合 な試料である. 種々のサイズの組織の分布があることは,X 線小角散乱の実験からも示唆されてい る. 竹の主たる構成元素は C( 特に竹炭は C のみ ) で, 生体観察のファントムにもなる. 竹を構成する C に対する吸収コントラストを得るには,
EDS分析ってなんですか？どのようにすればうまく分析できますか？（EDS分析の基礎）
EDS 分析ってなんですか? どのようにすればうまく分析できますか?(EDS 分析の基礎 ) ブルカー エイエックスエス ( 株 ) 山崎巌 Innovation with Integrity 目次 1 SEM EDS とは 1-1 走査電子顕微鏡と X 線分析 1-2 微少領域の観察 分析 1-3 SEM で何がわかる 1-4 試料から出てくる情報 2 EDS でどうして元素がわかるの 2-1 X
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2012 年 10 月 5 日第 7 回 SPring8 金属材料評価研究会 XAFS と TEM を用いた 鋼中ナノ炭化物の数密度評価 JFE スチール株式会社 スチール研究所 田中裕二, 山田克美, 名越正泰, 城代哲史, 船川義正, 佐藤馨 自動車部品の加工例 析出物を活用した鉄鋼材料 強度と加工性の両立 鉄鋼組織制御による材料設計 例 : 軟質相 ( フェライト )+ 微細硬質粒子 ( 析出物
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1 000 Ni-Cr Tribological Characteristics of Ni-Cr Alloy at 1 000 C in Air R&D 1 000 Ni-Cr 1 000 Ni-Cr alloy sliding tests in atmosphere at 1 000 C were carried out and the process in which a glazed oxide
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27, 28 29 30 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 41 42 Cat.No.D1J-502-07 http://www.jfe-steel.co.jp 100-0011 2 2 3TEL03(3597)3111FAX03(3597)4860
設備供用パンフ（表紙）
工業用顕微鏡 Industrial 光学顕微鏡 微分干渉 通常の光学顕微鏡観察 ( 株 ) ニコン製 ECLIPSE LV100D 落射明視野 落射暗視野 落射微分干渉光源水銀ランプファイバ光源 CCD カメラは付属していないが デジタルカメラ (C マウント ) による写真撮影は可能 レジストパターンの形状の検査 微粒子生成挙動の確認 物質工学分野研究室 ( 界面制御プロセス ) 栁瀬明久准教授内線
報道関係者各位 平成 24 年 4 月 13 日 筑波大学 ナノ材料で Cs( セシウム ) イオンを結晶中に捕獲 研究成果のポイント : 放射性セシウム除染の切り札になりうる成果セシウムイオンを効率的にナノ空間 ナノの檻にぴったり収容して捕獲 除去 国立大学法人筑波大学 学長山田信博 ( 以下 筑
報道関係者各位 平成 24 年 4 月 13 日 筑波大学 ナノ材料で Cs( セシウム ) イオンを結晶中に捕獲 研究成果のポイント : 放射性セシウム除染の切り札になりうる成果セシウムイオンを効率的にナノ空間 ナノの檻にぴったり収容して捕獲 除去 国立大学法人筑波大学 学長山田信博 ( 以下 筑波大学 という ) 数理物質系 系長三明康郎 守友浩教授は プルシャンブルー類似体を用いて 水溶液中に溶けている
PEEMとmyPEEM
光 電 子 顕 微 鏡 PEEMについて 北 海 光 電 子 のmyPEEM 日 本 顕 微 鏡 学 会 ランチョンセミナー 2013 年 5 月 22 日 発 表 : EOS 津 野 tsuno6@hotmail.com 光 電 子 顕 微 鏡 PEEMについて 北 海 光 電 子 のmyPEEM 1. PEEMとその 他 の 電 子 顕 微 鏡 の 関 係 2. mypeemの 構 成 と 特
SP8WS
GIXS でみる 液晶ディスプレイ用配向膜 日産化学工業株式会社 電子材料研究所 酒井隆宏 石津谷正英 石井秀則 遠藤秀幸 ( 財 ) 高輝度光科学研究センター 利用研究促進部門 Ⅰ 小金澤智之 広沢一郎 背景 Ⅰ ~ LCD の表示品質 ~ 液晶ディスプレイ (LCD) 一方向に揃った ( 配向した ) 液晶分子を電圧により動かすことで表示 FF 液晶分子 液晶配向と表示品質 C 電極 液晶分子の配向が乱れると表示品質が悪化
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![Microsoft PowerPoint - 阪大XFELシンポジウム_Tono.ppt [互換モード]](/thumbs/95/123239072.jpg "Microsoft PowerPoint - 阪大XFELシンポジウム_Tono.ppt [互換モード]")
X 線自由電子レーザーシンポジウム 10 月 19 日大阪大学レーザー研 X 線自由電子レーザーを用いた利用研究 登野健介 理研 /JASRI X 線自由電子レーザー計画合同推進本部 1 科学の基本中の基本 : 光 ( 電磁波 ) による観察 顕微鏡 望遠鏡 細胞の顕微鏡写真 赤外望遠鏡 ( すばる ) で観測した銀河 2 20 世紀の偉大な発明 : 2 種類の人工光源 レーザー LASER: Light
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Nd-Fe-B 磁石の高保磁力化をめざした微細組織制御 ( 総説 ) 宝野和博大久保忠勝 H. Sepehri-Amin 物質 材料研究機構磁性材料ユニット Microstructure-coercivity relationships of Nd-Fe-B base permanent magnets (OVERVIEW) K. Hono, T. Ohkubo, and H. Sepehri-Amin
<4D F736F F D208D488BC68DDE97BF A815B8EA590CE2E646F6378>
ジスプロシウムを使わない高保磁力ネオジム磁石に向けて 物質 材料研究機構元素戦略磁性材料研究拠点宝野和博 1. はじめに 1982 年に佐川眞人が発明した Nd 2 Fe 14 B 化合物を主相とするネオジム磁石は [1] 資源的に豊富な Nd と微量の B を含む Fe 基の合金であり 当時先行していた Sm-Co 系磁石よりも安価でより高性能なために 発明後すぐに工業化され高性能磁石市場を席巻した
清水秀己 矢田真士 Fig. 1 Cross-sectional TEM image of 3C-SiC films grown on Si(111) along the zone axis [01-1], (a) bright field (BF) image, (b) dark field (D
![清水秀己 矢田真士 Fig. 1 Cross-sectional TEM image of 3C-SiC films grown on Si(111) along the zone axis [01-1], (a) bright field (BF) image, (b) dark field (D](/thumbs/91/105912197.jpg "清水秀己 矢田真士 Fig. 1 Cross-sectional TEM image of 3C-SiC films grown on Si(111) along the zone axis [01-1], (a) bright field (BF) image, (b) dark field (D")
Bulletin of Aichi Univ. of Education, 62(Art, Health and Physical Education, Home Economics, Technology and Creative Arts), pp. 59-65, March, 2013 高周波スパッタリングによる Si(111) 基板上 ZnO 薄膜作製における 3C-SiC バッファ層の効果
DiovNT
日本金属学会誌第 73 巻第 12 号 (2009)943 947 高温雰囲気下における Pt/Ti 薄膜の動的 In Situ FE SEM 観察 和田充弘 三井金属鉱業株式会社総合研究所 J. Japan Inst. Metals, Vol. 73, No. 12 (2009), pp.943 947 2009 The Japan Institute of Metals Observation
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設備機器技術講習会 エネルギー分散型 X 線分析装置 大阪府立産業技術総合研究所機械金属部金属表面処理系 西村崇中出卓男森河務 本日の予定 113:30~14:30 214:30~14:40 314:40~15:20 エネルギー分散型 X 線分析装置について 休憩装置見学 1 班エネルギー分散型 X 線分析装置見学 2 班他の機器見学 1 本日の内容 表面分析方法の種類 エネルギー分散型 X 線分析装置
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11 10 4 4 1 2 3 4 2 4 6 10 12 16 20 2 1 3 1 4 2 5 2 6 3 3 7 8 9 3 3 10 4 1 11 4 2 3 4 5 1 2 3 12 4 5 5 13 14 6 7 8 9 10 11 5 15 6 1 2 3 16 17 1 2 3 6 18 1 2 3 19 6 6 1 2 v 3 20 7 1 2 3 1 7 21 22 2 3 4
第117号(A4、E)4C/3 湯浅ほか
Improved Silica Dispersibility with Functionalized S-SBR for Lower Rolling Resistance Takeshi Yuasa Takuo Sone Tetsuo Tominaga Munetaka Iwano Generally, rolling resistance of tire is closely related to
18.R.c ...z
141 PWSCC SSRT Takuyo Yamada Nobuo Totsuka Goro Chiba Koji Arioka pressurized water reactors, PWRs primary water stress corrosion cracking, PWSCC360 slow strain rate technique, SSRTconstant load test,
PVEゲルの作製方法 PVAの既存のゲル化法 １ 繰り返し凍結解凍法 1975 hydroxyl groups N. A. Peppas, Makromole. Chemie., 176, 3443-3440 (1975). M. Nambu, Japanese Patent Kokai, No. 57/130543 (1982). Acetoxy groups ２ 凍結法 in Water/DMSO
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スライド 1
2015 年 3 月 5 日 18:00 於 : 仙台国際ホテル Nd-Fe-B 薄膜における / 界面組織と保磁力メカニズム 東北大学大学院工学研究科知能デバイス材料学専攻 助教松浦昌志 国内生産金額 ( 億円 ) 研究背景 - Nd-Fe-B 系焼結磁石 - 磁石の国内生産額推移 [1] 2000 1500 1000 500 0 2004 希土類磁石フェライト磁石合金磁石 2006 2008 year
<4D F736F F D B382AB82AA82AF93A CB48D A6D92E894C F08BD682A082E8816A2E646F63>
平成 24 年 8 月 10 日科学技術振興機構 (JST) Tel:03-5214-8404( 広報課 ) 東北大学原子分子材料科学高等研究機構 Tel: 022-217-6146 ( アウトリーチオフィス ) ナノサイズの孔を持つ金属の触媒活性機構を原子レベルで解明新たな触媒設計に指針ポイント 従来の ナノ粒子触媒 は活性機構が不明で設計指針が立たず 量産化やコストに限界 多孔質のナノポーラス金属触媒に着目し最先端顕微鏡で触媒活性の起源を初めて解明
世界初! 次世代電池内部のリチウムイオンの動きを充放電中に可視化 ~ 次世代電池の実用化に向けて大きく前進 ~ 名古屋大学 パナソニック株式会社 ( 以下 パナソニック ) および一般財団法人ファインセラミックスセンター ( 以下 ファインセラミックスセンター ) は共同で 走査型透過電子顕微鏡 (
世界初! 次世代電池内部のリチウムイオンの動きを充放電中に可視化 ~ 次世代電池の実用化に向けて大きく前進 ~ 名古屋大学 パナソニック株式会社 ( 以下 パナソニック ) および一般財団法人ファインセラミックスセンター ( 以下 ファインセラミックスセンター ) は共同で 走査型透過電子顕微鏡 (STEM:Scanning Transmission Electron Microscope) 注 1)
< F91E F1835C D835E815B8CA48B8689EF5F8FE396EC2E786477>
2011 年 5 月 20 日 第 4 回ソフトマター研究会 産業利用における GISAXS の活用 東レリサーチセンター構造化学研究部構造化学第 2 研究室岡田一幸 1. 小角 X 線散乱 ( 反射測定 ) 薄膜中のポア (Low-k 膜 ) 2.GISAXS による粒子サイズ評価 薄膜に析出した結晶 (High-k 膜 ) 3. ポリマーの秩序構造の評価 ブロックコポリマーの自己組織化過程 4.
先端分析・評価技術
Advanced Analytical and Evaluation Techniques LSI FE-TEM STEM 1 nm 2 Abstract The structure of devices such as next-generation LSIs and magnetic heads is becoming increasingly fine and complicated, making
Transformation-Induced Plasticity a TitleMartensitic Transformation of Ultra Austenite in Fe-Ni-C Alloy( Abstrac Author(s) Chen, Shuai Citation Kyoto
Transformation-Induced Plasticity a TitleMartensitic Transformation of Ultra Austenite in Fe-Ni-C Alloy( Abstrac Author(s) Chen, Shuai Citation Kyoto University ( 京都大学 ) Issue Date 2015-03-23 URL https://doi.org/10.14989/doctor.k18
電解メッキ初期過程における電極近傍イオン種のリアルタイム観測に成功
電解メッキ初期過程における電極近傍イオン種のリアルタイム観測に成功 金属析出速度の支配因子を決定 概要千葉大学大学院工学研究院中村将志准教授 星永宏教授 東京農工大学大学院工学研究院遠藤理助教 高輝度光科学研究センター田尻寛男研究員 物質 材料研究機構坂田修身グループリーダーの研究グループは 金属イオンが析出する際の電極近傍におけるイオン種のリアルタイム観測に初めて成功し 金属イオンがどのように表面に接近し表面に吸着するかを明らかにしました
ナノテクを 支 える 極 小 の 基 準 ~ 原 子 1 個 分 の 誤 差 もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル 評 価 用 標 準 物 質 創 成 技 術 プロジェクト(ナノ 加 工 計 測 技 術 ) ( 平 成 14 年 度 ~ 平 成 18 年 度 ) 他 技 術 の 詳 細 4
1 ナノテクを 支 える 極 小 の 基 準 ~ 原 子 1 個 分 の 誤 差 もないものさし~ NEDO 3Dナノメートル 評 価 用 標 準 物 質 創 成 技 術 プロジェクト(ナノ 加 工 計 測 技 術 ) ( 平 成 14 年 度 ~ 平 成 18 年 度 ) 他 技 術 の 詳 細 4 万 分 の1ミリメートル 刻 みの 微 細 な 目 盛 りが 刻 まれたミクロの ものさし の 開
2008JBMIA技術調査小委員会報告書
画像濃度 Ⅴ-6 トナー内部材料分散観察の進化 ( トナー開発における分析技術 ) 河野信明キヤノン株式会社材料プロセス開発センター室長 1. はじめに電子写真用トナーは バインダ樹脂中に着色剤 ワックス 荷電制御剤等を分散した構造を有し 各材料の分散状態はトナー性能に大きく影響する たとえば 着色剤の分散状態は着色力に影響することが知られている 分散良 モグラフィー法や連続断面画像から三次元像を構築する手法で
Microsystem Integration & Packaging Laboratory
2015/01/26 MemsONE 技術交流会 解析事例紹介 東京大学実装工学分野研究室奥村拳 Microsystem Integration and Packaging Laboratory 1 事例紹介 1. 解析の背景高出力半導体レーザの高放熱構造 2. 熱伝導解析解析モデルの概要 3. チップサイズの熱抵抗への影響 4. 接合材料の熱抵抗への影響 5. ヒートシンク材料の熱抵抗への影響 Microsystem
電子部品の試料加工と観察 分析 解析 ~ 真の姿を求めて ~ セミナー A 電子部品の試料加工と観察 分析 解析 ~ 真の姿を求めて ~ セミナー 第 9 回 品質技術兼原龍二 前回の第 8 回目では FIB(Focused Ion Beam:FIB) のデメリットの一つであるGaイ
第 9 回 品質技術兼原龍二 前回の第 8 回目では FIB(Focused Ion Beam:FIB) のデメリットの一つであるGaイオンの打ち込み ( 図 19. 第 6 回参照 ) により 試料の側壁に形成されるダメージ層への対処について事例などを交えながら説明させていただきました 今回は 試料の表面に形成されるダメージ層について その対処法を事例を示してお話しをさせていただきます Gaイオンの試料への打ち込みですが
PowerPoint プレゼンテーション
1 2011.9.30 マルチスケールモデリングによる材料科学 研究会 Fe-Ni-S 鋼の粒界脆化機構 の第一原理計算 新日本製鐵 ( 株 ) 先端技術研究所 澤田英明 2 鉄鋼において粒界偏析が係わる事象 割れ スラブ表面割れ耐熱鋼再熱脆化 IF 鋼二次加工脆性 変態制御 Solute drag 効果 ( 粒成長抑制 ) 変態核生成抑制 ( 変態抑制 ) 強度 靭性 焼入れ性 3 粒界偏析に対する当社の取り組み
錫-亜鉛-アルミニウム系鉛フリーはんだの実用化
- Practical Use of Lead-Free Tin-Zinc-Aluminum (Sn-Zn-Al) Solder - - - - - Abstract Fujitsu has implemented a company-wide effort to progressively reduce the use of lead and eventually eliminate this environmental
K06_アウトライン前.indd
CT 画 像 を 用 いた 肺 の 呼 吸 機 能 の 定 量 化 * ** * Quantification of the Respiratory Activity of the Lung using CT Images Takayuki HASHIMOTO* Caihua WANG**,and Jun MASUMOTO* Abstract We have developed a system to
本日のアウトライン SEM-EDX の分析ノウハウ 原理 最適条件の選び方 定性分析のポイント 元素マップのポイント 新型 SEM 用ウィンドウレス検出器 (X-Max N Extreme) SEM-EDXの分析をさらに発展させる分析装置 CL ラマン分光測定装置 GD-OES 2016 HORIB
株式会社堀場製作所 お悩みの方へ! SEM-EDX を最大限活用する分析テクニックを教えます 2016 年 9 月 8 日 2016 HORIBA, Ltd. All rights reserved. 1 本日のアウトライン SEM-EDX の分析ノウハウ 原理 最適条件の選び方 定性分析のポイント 元素マップのポイント 新型 SEM 用ウィンドウレス検出器 (X-Max N Extreme) SEM-EDXの分析をさらに発展させる分析装置
記者発表資料
2012 年 6 月 4 日 報道機関各位 東北大学流体科学研究所原子分子材料科学高等研究機構 高密度 均一量子ナノ円盤アレイ構造による高効率 量子ドット太陽電池の実現 ( シリコン量子ドット太陽電池において世界最高変換効率 12.6% を達成 ) < 概要 > 東北大学 流体科学研究所および原子分子材料科学高等研究機構 寒川教授グループはこの度 新しい鉄微粒子含有蛋白質 ( リステリアフェリティン
報道機関各位 平成 28 年 8 月 23 日 東京工業大学東京大学 電気分極の回転による圧電特性の向上を確認 圧電メカニズムを実験で解明 非鉛材料の開発に道 概要 東京工業大学科学技術創成研究院フロンティア材料研究所の北條元助教 東正樹教授 清水啓佑大学院生 東京大学大学院工学系研究科の幾原雄一教
報道機関各位 平成 28 年 8 月 23 日 東京工業大学東京大学 電気分極の回転による圧電特性の向上を確認 圧電メカニズムを実験で解明 非鉛材料の開発に道 概要 東京工業大学科学技術創成研究院フロンティア材料研究所の北條元助教 東正樹教授 清水啓佑大学院生 東京大学大学院工学系研究科の幾原雄一教授の研究グループは 圧電体 ( 用語 1) の結晶中で 電気分極 ( 用語 2) の方向が回転することにより圧電特性が向上することを
均一荷重化制御による高精度Ｖ曲げ加工
Ti(C,N) Ni 系サーメットの高靱性化に関する研究開発 産業技術総合研究所構造材料研究部門主任研究員細川裕之 ( 平成 24 年度一般研究開発助成 AF-2012004) キーワード : サーメット, 破壊靱性,Cu 1. 研究の目的と背景超硬合金 (WC-Co) は高硬度, 高靱性であることから, 金型材料として使用されている. しかしながら, 主成分であるタングステン (W) は偏在性の高いレアメタルで省使用対策への喫緊性の高い元素であり,
untitled
インクジェットを利用した微小液滴形成における粘度及び表面張力が与える影響 色染化学チーム 向井俊博 要旨インクジェットとは微小な液滴を吐出し, メディアに対して着滴させる印刷方式の総称である 現在では, 家庭用のプリンターをはじめとした印刷分野以外にも, 多岐にわたる産業分野において使用されている技術である 本報では, 多価アルコールや界面活性剤から成る様々な物性値のインクを吐出し, マイクロ秒オーダーにおける液滴形成を観察することで,
A4パンフ
Gifu University Faculty of Engineering Gifu University Faculty of Engineering the structure of the faculty of engineering DATA Gifu University Faculty of Engineering the aim of the university education
Mirror Grand Laser Prism Half Wave Plate Femtosecond Laser 150 fs, λ=775 nm Mirror Mechanical Shutter Apperture Focusing Lens Substances Linear Stage
Mirror Grand Laser Prism Half Wave Plate Femtosecond Laser 150 fs, λ=775 nm Mirror Mechanical Shutter Apperture Focusing Lens Substances Linear Stage NC Unit PC は 同時多軸に制御はできないため 直線加工しかでき 図３は ステージの走査速度を
42 1 Fig. 2. Li 2 B 4 O 7 crystals with 3inches and 4inches in diameter. Fig. 4. Transmission curve of Li 2 B 4 O 7 crystal. Fig. 5. Refractive index
MEMOIRS OF SHONAN INSTITUTE OF TECHNOLOGY Vol. 42, No. 1, 2008 Li 2 B 4 O 7 (LBO) *, ** * ** ** Optical Scatterer and Crystal Growth Technology of LBO Single Crystal For Development with Optical Application
Microsoft PowerPoint - 9.菅谷.pptx
超多積層量子ドット太陽電池と トンネル効果 菅谷武芳 革新デバイスチーム 量子ドット太陽電池 電子 バンド3:伝導帯 E23 E13 E12 正孔 バンド2:中間バンド 量子ドット超格子 ミニバンド 量子ドットの井戸型 ポテンシャル バンド1:価電子帯 量子ドット太陽電池のバンド図 量子ドット超格子太陽電池 理論上 変換効率60%以上 集光 A. Luque et al., Phys. Rev. Lett.
環境負荷低減に向けた低温接合技術
Low-Temperature Soldering Technology for Environmental Burden Reduction あらまし Sn - Bi Sb.5 mass Sn-Sb Sn-Bi Sn-Bi4 4 PC Sn - Ag - Cu 4518 3 Sn-Bi-Sb Abstract Fujitsu has successfully developed a new lead-free
資料1-2 コンビナトリアルテクノロジーとマテリアルズインフォマティクスの融合によるラボ改革
コンビナトリアルテクノロジーとマテリアルズ インフォマティックスの融合によるラボ改革 国立研究開発法人物質 材料研究機構エネルギー 環境材料研究拠点 後藤真宏 高速な材料開発の必要性 高性能なエネルギー変換材料の創製が急務 自然エネルギー生成 エネルギー有効利用 Web. JAXA 地球環境の悪化が進行 省エネルギー 摩擦力低減など 非常に過酷な制約がある 短期間で! ユビキタス 無害な元素 原子から材料まで
Title
SIMS のアーティファクトについて ナノサイエンス株式会社 永山進 1 artifact( アーティファクト ) とは? 辞書を調べると Artifact ( 考古学 ), 人工品 人工遺物 ( 先史時代の単純な器物 宝石 武器など ) 出土品 Artifact ( 技術的なエラー ), 技術的な側面から入り込むデーターにおける望ましくない変化 ( 測定や解析の段階で発生したデータのエラーや解析のゆがみ
走査型プローブ顕微鏡によるラテックス／デンプンブレンドフィルムの相分離状態の観察
紙パ技協誌, 53(3): 107-113(1999) * 1 Observation of Separated Domains in SB-latex/Starch blend film by Scanning Probe Microscope Toshiharu Enomae and Fumihiko Onabe Graduate School of Agricultural and Life
第 0 号 TEM EDX による電析 Ni Sn 合金の微細構造観察 805 により X 線が発生する領域の径は 4nmq である.2 次元組成像が層状組織を示した一部の試料については EDX の線分析も行った.Ni Sn 合金の組成は, 下記式 ( ) より算出した 7). C Sn /C Ni
日本金属学会誌第 70 巻第 0 号 (2006)804 808 TEM EDX による電析 Ni Sn 合金の微細構造観察 大上悟 中野博昭 黒田亮 2, 2 小林繁夫 福島久哲 九州大学大学院工学研究院材料工学部門 2 九州大学大学院工学府物質プロセス工学専攻 九州産業大学工学部物質生命化学科 J. Japan Inst. Metals, Vol. 70, No. 0 (2006), pp.804
Gifu University Faculty of Engineering
Gifu University Faculty of Engineering Gifu University Faculty of Engineering the structure of the faculty of engineering DATA Gifu University Faculty of Engineering the aim of the university education
Microsoft PowerPoint - 物質の磁性090918配布
物質の磁性 - 計算しないでわかることと計算でわかること - 大阪大学名誉教授山田科学振興財団理事長金森順次郎 1. 元素と磁性 2. 単体 合金 化合物の電子構造 3. 世界最強のネオジム磁石 4.CMDの意義 5. ナノ物質設計の今後 2009 9 18 CMD 1 2 1. 元素と磁性 なぜ 遷移元素でもとくに 3d 元素が磁性の主役を演じるか? なぜ 希土類元素でもとくに 4f 電子は局在しているか?
Copyright 2008 NIFTY Corporation All rights reserved. 2
Copyright 2008 NIFTY Corporation All rights reserved. 2 Copyright 2008 NIFTY Corporation All rights reserved. 3 Copyright 2008 NIFTY Corporation All rights reserved. 4 Copyright 2008 NIFTY Corporation
1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 JFE T JICQA QA0406003 STK400-E-G 318.5 x 8.0 x 5500 10-10 17 Cat.No.E1J-004-06 http://www.jfe-steel.co.jp 100-0011 2 2 3TEL03(3597)3111FAX03(3597)4860 530-8353 1
EDS の課題としては,1エネルギー分解能が低いため隣接するピーク同士がオーバーラップするケースが数多く存在し判別を難しくしていること,2バックグラウンドが高いため S/N 比が低く検出下限値が高いこと,3 軽元素の感度が低いこと, などが挙げられる. 検出下限は数千 ppm オーダーであり, エネ
EPMA の基礎技術と最新の FE-EPMA の紹介 Basic Technologies of EPMA and Latest FE-EPMA 坂前浩, 林広司 Hiroshi Sakamae and Hiroshi Hayashi 株式会社島津製作所分析計測事業部 要旨近年,SEM-EDS はその技術革新により大変身近で便利な表面分析装置となったが, 検出下限値が低く定量精度に優れる EPMA(
X線分析の進歩36 別刷
X X X-Ray Fluorescence Analysis on Environmental Standard Reference Materials with a Dry Battery X-Ray Generator Hideshi ISHII, Hiroya MIYAUCHI, Tadashi HIOKI and Jun KAWAI Copyright The Discussion Group
<6D31335F819A A8817A89C896DA93C782DD91D682A6955C816991E58A A CF8D588CE3817A C8B8F82B382F1817A7
電気電子工学専攻 54001 電磁波特論 2-0-0 電気電子コース EEE.S401 電気電子工学専攻 54002 無線通信工学 2-0-0 電気電子コース EEE.S451 Advanced Electromagnetic Waves ( 電磁波特論 ) Wireless Communication Engineering ( 無線通信工学 ) 旧電磁波特論あるいは旧 Advanced Electromagnetic
Vol. 19, No. 3 (2012) 207 Fig. 2 Procedures for minute wiring onto polyimide substrate. Fig. 3 Ink - jet printing apparatus as part of laser sintering
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