Microsoft PowerPoint - 第3回半導体工学

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1 017 年 10 月 3 日 ( 月 ) 1 限 8:45~10:15 IB015 第 3 回半導体工学天野浩 項目 章固体の帯理論 1931 年ラルフ クローニッヒウィリアム ペニー Rlph de Ler Kronig Willim Penney 1/3

2 結晶の原子配列 HRTM imge of silicon (Si) [110] crystllogrphic zone xis. t/dvnce_phse/dvnce_phse_ 01.html 原子が規則的に配列すると 固体内の電子エネルギーはどうなるか? /3

3 結晶内ポテンシャルエネルギーのモデル化 ポテンシャルエネルギー +b ポテンシャルエネルギー V 領域 I 0 : 誘電率 4 q x 領域 Ⅱ b x=-b x=0 x= 電子のエネルギー は V 0 より小さい場合を考える ポテンシャルエネルギーは V(x)=V(x+L) L=+b 周期 x 3/3

4 波動関数の変更 : ブロッホ関数の利用 結晶周期性を有する 振幅項 :U(x) 位相項 :e jx +b = 波動関数 :(x)=u(x) e jx 電子の存在確率はポテンシャルの周期性に従うが, 電子波の位相は平面波的と考える 振幅は周期性あり 位相は平面波的 波動関数としてブロッホ関数 (x) を用いる (x)=u(x) exp(jx) U(x): 振幅項 U(x)=U(x+L) exp(jx): 位相項 4/3

5 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 V 0 エネルギー領域 I 領域 Ⅱ b x x=-b 領域 I でのシュレーディンガー方程式 d I ( x) ( x) I dx 領域 Ⅱ でのシュレーディンガー方程式 d dx x=0 x= x) - II( x) 符号に注意! 0 但し m m(v II( 0 0 但し - ) 5/3

6 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 V 0 エネルギー領域 I 領域 Ⅱ b x x=-b x=0 x=. ブロッホ関数をシュレーディンガー方程式に代入し一般解を求める 一般解 U 1 (x)=aexp[j(-)x]+bexp[- j(+)x ] U (x)=cexp[(-j)x]+dexp[- (+j)x ] 6/3

7 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 V 0 エネルギー領域 I 領域 Ⅱ b x x=0 x=-b x= 3. 境界条件自分で解くこと! x=0でu 1 (0)=U (0) U 1 (0)=U (0) x=,x= -b で周期的境界条件を用いる U 1 ()=U (-b) U 1 ()=U (-b) 最終解は sinh b sin cosh b cos cos ( b) 7/3

8 V 0 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 エネルギー領域 I 領域 Ⅱ b x x=-b クローニッヒとペニーはポテンシャル障壁として 関数の極限を考えた 即ちV 0 bを一定に保ったまま,v 0,b 0の極限を考える sinhb b coshb 1 b mv0b sinh b x=0 x= P sin とおくと P cos mv0b となる 但し P cos 8/3

9 V 0 b を一定に保ったまま,V 0,b 0 の極限を考える Q sinh b P となる 但し P mv 0 b であることを確かめなさい m( V mv0b 0 sinh b ) m b mv0b P b m m(v 0 - ) 9/3

10 V 0 Q エネルギー領域 I 領域 Ⅱ b x x=0 x=-b x= sin mv0b クローニッヒ ペニーの式 P cos cos P m において, ポテンシャル障壁 V 0 =0 のとき,P=0 である エネルギー と波数 の関係を求めなさい 10/3

11 解答 m 自由電子の場合に相当 m m 11/3

12 Q V 0 エネルギー領域 I 領域 Ⅱ b x クローニッヒ ペニーの式 m x=-b sin P cos cos P mv において, ポテンシャル障壁 V 0 のとき,P である エネルギー はどうなるか? x=0 x= 0 b 1/3

13 解答 ) ( 0 sin n m n m n 無限に深い量子井戸の場合に相当 x 1 m /3

14 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 V 0 エネルギー領域 I 領域 Ⅱ トンネル効果 b x P sin x=-b cos cos x=0 x= P mv 0 b において P がゼロでも無限大でもないとき 14/3

15 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 sin P cos cos 例えば P=3 のときのエネルギー と波数 の関係を求める 右辺は cos なので 1 から 1 まで左辺において =x とおく 15/3

16 Q sin x F( x) 3 x cos x x=0 のとき F(x) はいくつか? lim x 0 sin( x) x 1 であることを思い出すと F( 0) 4 16/3

17 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 右辺が cos であることを考慮すると, 縦軸が -1 から +1 までが意味を持つ解 P sin cos 4 3 A D x(=α) -1 B C この間のみ, 解が存在する P sin cos cos 17/3

18 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 sin 3 cos 4 3 A D x=α -1 B C 点 A 右辺 cos()=1 即ち =0 =0 左辺を解くと α= なので m ( ) =0でも,=0にはならない m 18/3

19 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 sin 3 cos 4 3 A D x=α -1 B C 点 B 右辺 cos=-1 = sin 3 cos 1 を解くと m なので x=α= m ( ) m 19/3

20 sin 3 cos 4 3 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 A D x=α -1 B C 点 C 右辺 cos=-1 = sin 3 cos 1 を解くと x=α= ( m ) 0/3

21 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 sin 3 cos 4 3 A D x=α -1 B C 点 D 右辺 cos=1 = sin 3 cos 1を解くと x=α=6.8319= ( ) m m 1/3

22 sin 3 cos A B C D クローニッヒ ペニーモデルによる解法 この間のみ, 解が存在する x=α -1 A: =0 B: C: D: ( ) m ( ) m ( m ( ) m ) 同じ でも は異なる /3

23 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 エネルギーの飛び m A C D 0 B 3/3

24 P クローニッヒ ペニーモデルによる解法 sin cos cos を cos(( n n ) ) ずらす cos( n ) cos( ) ずらしても変わらない 4/3

25 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 を n ずらして, 真ん中に集める 0 5/3

26 クローニッヒ ペニーモデルによる解法 第一ブリルアンゾーン 許容帯 禁制帯 許容帯 禁制帯 0 還元表示 6/3

27 クローニッヒ ペニーモデルから, 何が分かるか? sin P P=3のとき A: =0 B: C: D: cos cos ( ) m ( ) m ( m ( ) m ) P mv 0 b 同じ でも は異なる が小さくなると ( 格子定数が小さくなると ) 禁制帯幅が大きくなる 7/3

28 格子定数とバンドギャップ バンドギャップ [ev] 格子定数 [A ] ダイヤモンド シリコン ゲルマニウム T=300[K] 8/3

29 クローニッヒ ペニーモデルから, 何が分かるか? P sin cos cos P mv 0 b B: C: P=1 のとき ( ) m ( ) m P=3 のとき ( ) m ( ) m P=6 のとき P=9 のとき ( ) m ( ) m ( ) m ( ) m P が大きくなると, 禁制帯幅が大きくなる エネルギー障壁高さ V 0 またはエネルギー障壁幅 b が大きくなると, 禁制帯幅が大きくなる 9/3

30 格子定数とバンドギャップ 化合物半導体格子定数バンドギャップ ' 結合長が短いほどバンドギャップが大きい! 30/3

31 ダイヤモンド,Si,Ge の価電子エネルギーバンド構造計算 C( ダイヤモンド ) Si Ge Ge では精度のよい計算ができないため, バンドギャップがないように見える 実際は,0.7eV 程度 31/3

32 エネルギーバンド構造計算についてより詳しく知りたい人 * 様々な結晶のバンド構造のデータベースの提供 Professor M. Klintenberg Deprtment of Physics nd Mterils Science, Uppsl University * バンド構造計算の概要の紹介 物質 材料研究機構物質研究所 ホームワーク : バンド構造計算は 様々な方法が提案されています それぞれの特徴と精度について調べましょう 3/3

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