PowerPoint プレゼンテーション

Size: px
Start display at page:

Download "PowerPoint プレゼンテーション"

Transcription

1 新技術説明会 GDS 必見! グロー放電分析の新展開 <GD-ES GD-TF-MS の活用事例のご紹介 > 株式会社堀場製作所

2 本日の内容 1, GD-ES のご紹介 2, 各種応用分析 -1, 非平面試料の分析 -2, トランスファーベッセルを用いた分析 -3, 有機物材料の分析 -4, 半定量分析法のご紹介 -5, GD-TFMS のご紹介 -6, 顕微鏡観察用前処理への応用 3, まとめ GD-ESとは? GD-ES (Glow Discharge ptical Emission Spectroscopy) グロー放電プラズマにより発生したArイオンにて 測定試料表面をスパッタし 発生した原子がプラズマ内にて励起 発光します この発光は元素特有の情報を有しているため 分光することにより 深さ方向における元素の定性 定量分析を行います 特長 H~U までの広範囲な元素情報 試料深さ方向 ( 内部方向 ) の情報 迅速 高感度 前処理不要 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 原理 外観 真空ホ ンフ レンズ Ar ガス 試料押さえシリンダー 試料 λ + Ar イオン 真空ホ ンフ 原子 ( 中性 ) 原子 ( 励起 ) 電子 試料 ( カソート ) 試料室 & 試料ホルタ ー 銅製アノート リンク 試料 RF 電源 RF 発振子 ( 冷却フ ロック ) マーカスランフ の構造 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved GD-ES の発光 Cu のグロースペクトル例 分光 検出部 モノクロメータ (Mono) 分光系 : ツェルニターナー型回折格子 : フ レース ト ホロク ラフィック 2400 本 /mm 波長範囲 : 165 ~ 780 nm 分解能 : ~ nm Cu のグロー放電例 Fe のグロー放電例 Fe のグロースペクトル例 ホ リクロメータ (Poly) 分光系 : ハ ッシェンルンケ 型回折格子 : フ レース ト ホロク ラフィック凹面 2400 本 /mm 波長範囲 : 110 ~620 nm 逆線分散 : 0.27 ~ 0.83 nm/mm チャンネル数 : 20 ~ 45 本フラットフィールト ホ リクロメータ (Flat) 分光系 : ホ リクロメータ組込回折格子 : フ レース ト ホロク ラフィック波長範囲 : 400 ~ 900 nm Na Li K, F 測定用 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved

3 得られる情報例 ( 迅速測定 ) 得られる情報例 ( 再現性 ) <Si 2 (1um)/Si ウェハ > N=5 測定を行ったときの再現性 高再現性 Si2(1000nm) 界面到達時間 :19.5 秒 ±0.2s Si-sub(t:725μm) 50mm 50mm, 片面鏡面仕上げ Si 熱酸化膜の再現性 面内分布確認 (N=5) 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 得られる情報例 ( 深さ分解能 ) チオ尿素 ( 垂直配置 ) 高深さ分解能 H 2 N + H 2 N C S Cu ベンゾトリアゾール ( 平面配置 ) 得られる情報 GD-ES SIMS オージェ XPS 深さ方向元素分析 深さ方向元素分析 結合状態 深さ方向元素分析 EPMA ( 断面サンプル ) 元素マッピング 深さ分解能 数 nm~ 数 10nm~ 数 nm~ 1μm 対応深さ ~100μm ~ 数 10μm ~ 数 10μm ~300μm 測定領域 Φ1~10mm ~ 0.3mm ~ 0.3mm ~ 0.3mm 測定時間 極めて短い 長い 長い 前処理含め長い 感度 数 10ppm ppm 数 % 数 % 操作性 極めて容易 ( 低真空の為 ) 難 ( 超高真空を要する為 ) 難 ( 超高真空を要する為 ) 難 ( 前処理必要 ) 特長 他の表面分析の比較 薄膜から厚膜まで迅速に測定可能 極微量成分の測定が可能 化合物状態の測定が可能 断面状態を可視化出来る 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 他の表面分析の比較 AES / XPS 化学結合状態がわかる 最表面分析が得意 マッピング分析ができる EPMA マッピング分析ができる ポピュラーな分析手法である SIMS 極微量分析が得意 マッピング分析ができる GD-ES 迅速に深さ方向分析が容易にできる 再現性良く 高深さ分解能で分析できる H などの軽元素の分析ができる 術アプリ表面分析技ケーション技術の変遷 ( ご要望に応えて ) Grimmによる光源開発 1997 JY 社が堀場グループに 1976 独 RSV 社よりdc-GDS 1992 仏 JY 社よりdc/rf-GDS 1995 低速応答 rf-gds 2000 高速自動応答 rf-gds 2005 pulse-rf-gds 2010 GD-TFMS バルク分析 ( 固体分析 ) 非導電性試料の表面分析 ( 塗装皮膜など ) 導電性試料の表面分析 ( 主に めっき ) 非導電性試料の表面分析 ( ガラス セラミクスなど ) サブnmオーダーの 非平面材料分析法トランスファーヘ ッセル有機材料分析法半定量分析法顕微鏡観察前処理 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved

4 本日の内容 1, GD-ES のご紹介 2-1 非平面試料の分析 < 多様な治具の開発 > 2, 各種応用分析 -1, 非平面試料の分析 -2, トランスファーベッセルを用いた分析 -3, 有機物材料の分析 -4, 半定量分析法のご紹介 -5, GD-TFMS のご紹介 -6, 顕微鏡観察用前処理への応用 通常用 内面用アダプタ 外周面用アダプタ 3, まとめ 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 非平面試料の分析 2-1 非平面試料の分析 < 内面測定 > 試験前 試験後 < 外面測定 > 試験前 試験後 内面用アダプタによる測定結果 外面用アダプタによる測定結果 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved トランスファーヘ ッセルを用いた分析 < 取付状態 > < トランスファーベッセル > 2-2 トランスファーヘ ッセルを用いた分析 < Li イオン電池材料 : 負極 > < 放電時 > < 充電時 > 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved

5 2-3 有機物材料の分析 2-3 有機物材料の分析 希ガスによるスパッタメカニズム 真空ホ ンフ レンズ Ar ガス ( 特開 : ) 希ガス+ 2 ガスによるスパッタメカニズム Ar+ 2 ガス < 有機 高分子被膜 > <Arガス使用 > ( 特開 : ) <Ar+ 2 ガス使用 > 有有機 Zn 機無機 Fe 真空ホ ンフ アノート R F 電源 カソード 試料 150 分 20 分 Ar 原子 ( 中性 ) 原子 ( 励起 ) 原子 ( 変性 ) 電子酸素分子酸素ラジカル 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 有機物材料の分析 < Liイオン電池材料 : 負極 > ( 特開 : ) <Arガス使用 > <Ar+ 2 ガス使用 > 4μm / 10min 73μm / 10min 2-3 有機物材料の分析 < Liイオン電池材料 : 負極 > ( 特開 : ) <Arガス使用 > <Ar+ 2 ガス使用 > 30 分 10 分 Li 5mm 5mm 100μm 100μm 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 半定量分析法の紹介 <GD-ES の定量分析時の課題と解決方法について > <GD-ES を用いた定量分析の課題 > 1 分析は簡単にできるが それぞれの材料に適した検量線を準備するのが難しい 2 数多くの標準 基準試料を準備するのが難しい 3 検出器が多く 対象の材料種ごとに感度設定が必要であり 作成する検量線の数が膨大になる < 課題の解決方法 > 1 半定量プログラムを導入時にインストールする 2 半定量プログラム用標準試料セットのご提供する 3HDD システムを用いて 材料種に捕らわれないすべての検出器の感度設定を自動調整機能を使用する 2-4 半定量分析法の紹介 <HDD 検出機能について > High Dynamic Detectorシステムとは それぞれ独立した個々の検出器に対して リアルタイムに信号量に応じた感度設定を自動調節する機能です 10 8 のダイナミックレンジを有すことから 未知試料の測定や測定領域が限られている 試料でも 条件設定の失敗がなく分析することが可能です 10v Ti 50v HDD 機能なし HDD 機能あり Fe Fe C Ni Ti C 10v Ni 検出器が飽和した結果 検出器の飽和無しで高感度に分析した結果 左図では 被膜メイン成分であるTi 母材副成分であるが飽和しています 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved

6 2-4 半定量分析法の紹介 < 半定量プログラムの分析性能 ( バルク分析 )> 質量 % 1761 Fe 系 Al C Cu Fe Mn Mo N Ni P S Si Ti V 合計 2-4 半定量分析法の紹介 < 半定量プログラムの分析性能 ( 表面分析 )> 通常定量分析結果 Fe /10 半定量分析結果 Fe /10 認証値 測定値 差 熱処理品 N C Mn N C Mn 616/02 Al 系 Al Cu Fe Mg Mn Ni Si Ti V Zn 合計 認証値 Zn/100 Fe /100 Zn/100 Fe /100 測定値 差 半定量プログラムを用いれば オーダーの評価が可能! Zn めっき Ni/50 Ni/ HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved GD-TFMS のご紹介 1, 同位体元素分析 2, 微量元素の定量分析 3, フラグメントイオン情報による高分子材料などの研究 2-5 GD-TFMS のご紹介 < メカニズム > ~1000Pa 2 nm At. Conc. (%) Al23 Al GD-ES <Profiler2> GD TFMS <PP-TFMS> 10-4 Pa Detector 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved GD-TFMS のご紹介 2-5 GD-TFMS のご紹介 < GD-TFMS の検出情報 > < Mass 分解能 > C 149 H 218 N S Mass Spectrum Ion Table mass 分解能 m dm 10,000 Source Profile Depth Profile 30,000 [mass] 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved

7 2-5 GD-TFMS のご紹介 < PMMA フラグメント情報 > < Si 上のPMMA 薄膜測定例 > CH 3 2,5 H 3 C n 耐食性の高い試料に対する前処理 ( エッチンク ) ステンレス チタンなどの材料をはじめ エッチングが難しい材料に対する前処理やウェットでは溶出する析出物や介在物の前処理に適しています 組成 組織の違いを反映させるためのエッチンク 鏡面研磨やFIB イオンミリンク 処理により作製された凹凸のない綺麗な試料表面に若干の凹凸を付け 観察し易くするための前処理に適しています Intensity (a.u.) 2,0 1,5 1,0 0,5 C 4 H 3 Si 表面汚れ 研磨ダレの除去 ( 表面クリーニンク ) 表面のコンタミ除去や研磨によるダレなどを除去する表面クリーニング的な処理も行うことが可能です EBSP 解析の前処理 rf-gd による前処理を行うことで EBSP 観察がより行いやすくなる場合があります 材料解析の一つの手法として ご検討ください 0, Time (s) Tuccitto et al, RCM 23, 549 (2009) 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved Ar ガス材料の組成 結晶方位にスパッタ速度が依存 異方性イオンエッチング ( 特許 : 申請中 ) Ar+ 2 ガス 材料の組成 結晶方位にスパッタ速度が依存しない 等方性イオンエッチング 異方性イオンエッチング < ステンレスの酸化被膜除去例 > イオンミリング仕上げ後 1 年間デシケーター内で保管した表面状態 +rf-gd による前処理後の表面状態 例 ) 光学顕微鏡による評価汎用 SEM のみの観察評価他種法の最終トリートメント 例 ) EBSP による結晶粒界付近の評価 目的に応じて使い分けることで最適な観察面を作製できる 高分解能低加速 FE-SEM 観察像 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 異方性イオンエッチング < 耐腐食性 Zr 合金の汚染層除去例 > 等方性イオンエッチング < ステンレスのフラットエッチング例 > ( 特許 : 申請中 ) 電解研磨のみの表面状態 +rf-gd による前処理後の表面状態 汎用 SEM 観察像 EBSP 方位マップ像 EBSP 方位マップ 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved

8 異方性イオンエッチング < 塗装鋼板材の電子線ダメージの除去例 > SEM/EDS にてマッピングを行った為に 電子線ダメージが残った表面状態 +rf-gd による前処理後の表面状態 本日の内容 1, GD-ES のご紹介 2, 各種応用分析 -1, 非平面試料の分析 -2, トランスファーベッセルを用いた分析 -3, 有機物材料の分析 -4, 半定量分析法のご紹介 -5, GD-TFMS のご紹介 -6, 顕微鏡観察用前処理への応用 50μm 50μm 光学顕微鏡 : 微分干渉観察像 3, まとめ 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All rights reserved 本日のまとめ 非平面材料の分析がしにくい 大気を嫌う試料が分析できない 有機材料を分析しにくい 非平面治具 トランスファ - ヘ ッセル 有機材料分析法 定量分析がしにくい 半定量分析法 顕微鏡観察用 顕微鏡観察用試料の表面仕上げ前処理 HRIBAグループは 皆様のご要望 市場の動向に合わせた技術開発を先駆けて行います 現在お困りのことがありましたらご相談下さい 2013 HRIBA, Ltd. All rights reserved HRIBA, Ltd. All Right Reserved 無断転載 複写複製について本資料の内容の一部あるいは全部を当社の許可なく無断で転載したり変更したりすることは 固くお断りします

化学結合が推定できる表面分析 X線光電子分光法

化学結合が推定できる表面分析 X線光電子分光法 1/6 ページ ユニケミー技報記事抜粋 No.39 p1 (2004) 化学結合が推定できる表面分析 X 線光電子分光法 加藤鉄也 ( 技術部試験一課主任 ) 1. X 線光電子分光法 (X-ray Photoelectron Spectroscopy:XPS) とは物質に X 線を照射すると 物質からは X 線との相互作用により光電子 オージェ電子 特性 X 線などが発生する X 線光電子分光法ではこのうち物質極表層から発生した光電子

More information

Microsoft PowerPoint - EDX講習会.ppt

Microsoft PowerPoint - EDX講習会.ppt 設備機器技術講習会 エネルギー分散型 X 線分析装置 大阪府立産業技術総合研究所機械金属部金属表面処理系 西村崇中出卓男森河務 本日の予定 113:30~14:30 214:30~14:40 314:40~15:20 エネルギー分散型 X 線分析装置について 休憩装置見学 1 班エネルギー分散型 X 線分析装置見学 2 班他の機器見学 1 本日の内容 表面分析方法の種類 エネルギー分散型 X 線分析装置

More information

EDS分析ってなんですか?どのようにすればうまく分析できますか?(EDS分析の基礎)

EDS分析ってなんですか?どのようにすればうまく分析できますか?(EDS分析の基礎) EDS 分析ってなんですか? どのようにすればうまく分析できますか?(EDS 分析の基礎 ) ブルカー エイエックスエス ( 株 ) 山崎巌 Innovation with Integrity 目次 1 SEM EDS とは 1-1 走査電子顕微鏡と X 線分析 1-2 微少領域の観察 分析 1-3 SEM で何がわかる 1-4 試料から出てくる情報 2 EDS でどうして元素がわかるの 2-1 X

More information

QOBU1011_40.pdf

QOBU1011_40.pdf 印字データ名 QOBU1 0 1 1 (1165) コメント 研究紹介 片山 作成日時 07.10.04 19:33 図 2 (a )センサー素子の外観 (b )センサー基板 色の濃い部分が Pt 形電極 幅 50μm, 間隔 50μm (c ),(d )単層ナノ チューブ薄膜の SEM 像 (c )Al O 基板上, (d )Pt 電極との境 界 熱 CVD 条件 触媒金属 Fe(0.5nm)/Al(5nm)

More information

スライド 0

スライド 0 2016 OEG セミナー 樹脂の劣化度合および劣化原因解析 2016 年 7 月 12 日 環境事業部調査分析グループ 征矢健司 Copyright 2016 Oki Engineering Co., Ltd. 目次 1. 樹脂関連解析お問合せ状況 2.FT-IRとは 測定と解析原理 FT-IRの紹介一般的な解析事例 ゴムの定性解析 積層構造の解析 マッピング解析 プラスチック製品の変色原因解析

More information

Microsoft PowerPoint - H25環境研修所(精度管理)貴田(藤森修正)

Microsoft PowerPoint - H25環境研修所(精度管理)貴田(藤森修正) 測定技術における課題 1 元素の機器分析 藤森 英治 ( 環境調査研修所 ) 1 まとめと課題 5 ろ液の保存 改正告示法では 溶出液の保存方法は規定していない 測定方法は基本的に JISK0102 工場排水試験法を引用する場合が多く 溶出液の保存についてはそれに準ずる 今回の共同分析では 溶出液の保存について指示していなかった そのため 六価クロムのブラインド標準では六価クロムが三価クロムに一部還元される現象がみられた

More information

<4D F736F F F696E74202D C834E D836A834E83588DDE97BF955D89BF8B5A8F F196DA2E >

<4D F736F F F696E74202D C834E D836A834E83588DDE97BF955D89BF8B5A8F F196DA2E > 7-1 光学顕微鏡 8-2 エレクトロニクス材料評価技術 途による分類 透過型顕微鏡 体組織の薄切切 や細胞 細菌など光を透過する物体の観察に いる 落射型顕微鏡 ( 反射型顕微鏡 ) 理 学部 材料機能 学科 属表 や半導体など 光を透過しない物体の観察に いる 岩 素顕 iwaya@meijo-u.ac.jp 電 線を使った結晶の評価法 透過電 顕微鏡 査電 顕微鏡 実体顕微鏡拡 像を 体的に

More information

(3) イオン交換水を 5,000rpm で 5 分間遠心分離し 上澄み液 50μL をバッキングフィルム上で 滴下 乾燥し 上澄み液バックグラウンドターゲットを作製した (4) イオン交換水に 標準土壌 (GBW:Tibet Soil) を既知量加え 十分混合し 土壌混合溶液を作製した (5) 土

(3) イオン交換水を 5,000rpm で 5 分間遠心分離し 上澄み液 50μL をバッキングフィルム上で 滴下 乾燥し 上澄み液バックグラウンドターゲットを作製した (4) イオン交換水に 標準土壌 (GBW:Tibet Soil) を既知量加え 十分混合し 土壌混合溶液を作製した (5) 土 混入固形物が溶液試料に及ぼす影響 ( 吸引ろ過法と遠心分離法の比較 ) 二ツ川章二 ) 伊藤じゅん ) 斉藤義弘 ) 2) 世良耕一郎 ) ( 社 ) 日本アイソトープ協会滝沢研究所 020-073 岩手県岩手郡滝沢村滝沢字留が森 348 2) 岩手医科大学サイクロトロンセンター 020-073 岩手県岩手郡滝沢村滝沢字留が森 348. はじめに PIXE 分析法は 簡単な試料調製法で 高感度に多元素同時分析ができるという特徴を有している

More information

1/8 ページ ユニケミー技報記事抜粋 No.40 p2 (2005) 1. はじめに 電子顕微鏡のはなし 今村直樹 ( 技術部試験一課 ) 物質表面の物性を知る方法として その表面構造を拡大観察するのが一つの手段となる 一般的には光学顕微鏡 (Optical Microscope) が使用されているがより高倍率な像が必要な場合には電子顕微鏡が用いられる 光学顕微鏡と電子顕微鏡の違いは 前者が光 (

More information

本日のアウトライン SEM-EDX の分析ノウハウ 原理 最適条件の選び方 定性分析のポイント 元素マップのポイント 新型 SEM 用ウィンドウレス検出器 (X-Max N Extreme) SEM-EDXの分析をさらに発展させる分析装置 CL ラマン分光測定装置 GD-OES 2016 HORIB

本日のアウトライン SEM-EDX の分析ノウハウ 原理 最適条件の選び方 定性分析のポイント 元素マップのポイント 新型 SEM 用ウィンドウレス検出器 (X-Max N Extreme) SEM-EDXの分析をさらに発展させる分析装置 CL ラマン分光測定装置 GD-OES 2016 HORIB 株式会社堀場製作所 お悩みの方へ! SEM-EDX を最大限活用する分析テクニックを教えます 2016 年 9 月 8 日 2016 HORIBA, Ltd. All rights reserved. 1 本日のアウトライン SEM-EDX の分析ノウハウ 原理 最適条件の選び方 定性分析のポイント 元素マップのポイント 新型 SEM 用ウィンドウレス検出器 (X-Max N Extreme) SEM-EDXの分析をさらに発展させる分析装置

More information

EOS: 材料データシート(アルミニウム)

EOS: 材料データシート(アルミニウム) EOS EOS は EOSINT M システムで処理できるように最適化された粉末状のアルミニウム合金である 本書は 下記のシステム仕様により EOS 粉末 (EOS art.-no. 9011-0024) で造形した部品の情報とデータを提供する - EOSINT M 270 Installation Mode Xtended PSW 3.4 とデフォルトジョブ AlSi10Mg_030_default.job

More information

Title

Title SIMS のアーティファクトについて ナノサイエンス株式会社 永山進 1 artifact( アーティファクト ) とは? 辞書を調べると Artifact ( 考古学 ), 人工品 人工遺物 ( 先史時代の単純な器物 宝石 武器など ) 出土品 Artifact ( 技術的なエラー ), 技術的な側面から入り込むデーターにおける望ましくない変化 ( 測定や解析の段階で発生したデータのエラーや解析のゆがみ

More information

Microsoft PowerPoint プレゼン資料(基礎)Rev.1.ppt [互換モード]

Microsoft PowerPoint プレゼン資料(基礎)Rev.1.ppt [互換モード] プレゼン資料 腐食と電気防食 本資料は当社独自の技術情報を含みますが 公開できる範囲としています より詳細な内容をご希望される場合は お問い合わせ よりご連絡願います 腐食とは何か? 金属材料は金や白金などの一部の貴金属を除き, 自然界にそのままの状態で存在するものではありません 多くは酸化物や硫化物の形で存在する鉱石から製造して得られるものです 鉄の場合は鉄鉱石を原料として精錬することにより製造されます

More information

(Microsoft PowerPoint - \201\232\203|\203X\203^\201[)

(Microsoft PowerPoint - \201\232\203|\203X\203^\201[) [ 2Pf012 ] 溶液ラジカル重合における末端変性アクリル系ポリマーの合成 Synthesis of terminal-modified acrylic polymers by the solution polymerization with radical initiators. ( 株 )DNP ファインケミカル 西馬千恵 清水圭世 竹岡知美 有富充利 顔料分散体 インクジェットインクやカラーフィルタ用レジストなどの顔料分散体が優れた性能を発揮するためには

More information

PowerPoint プレゼンテーション

PowerPoint プレゼンテーション PDD 検出器の直線性 ジーエルサイエンス株式会社 応用技術部 菅野了一 パルス放電型光イオン化検出器 Valco PDD (Pulsed Discharge Photo-Ionization Detector) ヘリウムガスのパルス放電によって得られる光量子 (Photon) をイオン化のエネルギー源とした検出器です PDD 検出器の構造 放電ガス入口 光量子を放出 放電 He Pt を先端に付けた放電電極を持つ石英の円筒

More information

JAJP

JAJP Agilent 7500ce ORS ICP-MS Glenn Woods Agilent Technologies Ltd. 5500 Lakeside, Cheadle Royal Business Park Stockport UK Agilent 7500ce ICP-MS 5 7500ce (ORS) 1 ORS 7500ce ORS ICP-MS ( ) 7500 ICP-MS (27.12

More information

untitled

untitled NPO 2006( ) 11 14 ( ) (2006/12/3) 1 50% % - - (CO+H2) ( ) 6 44 1) --- 2) ( CO H2 ) 2 3 3 90 3 3 2 3 2004 ( ) 1 1 4 1 20% 5 ( ) ( ) 2 6 MAWERA ) MAWERA ( ) ( ) 7 6MW -- 175kW 8 ( ) 900 10 2 2 2 9 -- - 10

More information

先進材料研究とリアルタイム3DアナリティカルFIB-SEM複合装置“NX9000”

先進材料研究とリアルタイム3DアナリティカルFIB-SEM複合装置“NX9000” SCIENTIFIC INSTRUMENT NEWS Technical magazine of Electron Microscope and Analytical Instruments. 2016 技術解説 Vol. No.2 SEPTEMBER 59 先進材料研究とリアルタイム 3D アナリティカル FIB-SEM 複合装置 NX9000 Advanced material research

More information

2 1 7 - TALK ABOUT 21 μ TALK ABOUT 21 Ag As Se 2. 2. 2. Ag As Se 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 Sb Ga Te 2. Sb 2. Ga 2. Te 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4 5 6 7 8 9 1 1 2 3 4

More information

レーザー光を照射した部分のみが測定できるので 照射点を観察しながら 局所的な元素分析が可能 試料形状の制約が少なく 局所的な照射であるので 元試料の損失が少ない 溶液化などの試料の前処理が不要 従来の ICP-MS 測定での溶液化試料の測定で問題となる 溶媒由来の妨害イオンによる干渉が少ない といっ

レーザー光を照射した部分のみが測定できるので 照射点を観察しながら 局所的な元素分析が可能 試料形状の制約が少なく 局所的な照射であるので 元試料の損失が少ない 溶液化などの試料の前処理が不要 従来の ICP-MS 測定での溶液化試料の測定で問題となる 溶媒由来の妨害イオンによる干渉が少ない といっ 成果報告多種金属元素の同時定量分析 AnalysisofManyKindsElementsthatUseLA-ICP-MSSimultaneously *1 遠藤伸之 NobuyukiENDO Abstract InductivelyCoupledPlasmaMassSpectrometry(ICP-MS)cananalyzemetalelementevenaboutpptin solutionveryhighsensitivity.however,timeisusualyrequiredforthepreprocessingwhenitisnecessaryto

More information

中性子関連技術解説書 1. はじめに 中性子利用技術名 ; 粉末中性子線回折解説書作成者 ; 技術士氏名伊東亮一 粉末中性子線回折は試料に中性子を当て 散乱される中性子線を測定して試料中の原 子構造を調べる分析法です 粉末のままで結晶構造解析ができます 2. 概要 2.1 粉末中性子線回折従来 結晶

中性子関連技術解説書 1. はじめに 中性子利用技術名 ; 粉末中性子線回折解説書作成者 ; 技術士氏名伊東亮一 粉末中性子線回折は試料に中性子を当て 散乱される中性子線を測定して試料中の原 子構造を調べる分析法です 粉末のままで結晶構造解析ができます 2. 概要 2.1 粉末中性子線回折従来 結晶 中性子関連技術解説書 1. はじめに 中性子利用技術名 ; 粉末中性子線回折解説書作成者 ; 技術士氏名伊東亮一 粉末中性子線回折は試料に中性子を当て 散乱される中性子線を測定して試料中の原 子構造を調べる分析法です 粉末のままで結晶構造解析ができます 2. 概要 2.1 粉末中性子線回折従来 結晶構造を調べる目的では中性子線回折装置は X 線回折法と同様に使われてきました この度 J-PARC に高性能の粉末中性子線回折装置が新設されて産業へのより一層の応用が期待されています

More information

1/120 別表第 1(6 8 及び10 関係 ) 放射性物質の種類が明らかで かつ 一種類である場合の放射線業務従事者の呼吸する空気中の放射性物質の濃度限度等 添付 第一欄第二欄第三欄第四欄第五欄第六欄 放射性物質の種類 吸入摂取した 経口摂取した 放射線業 周辺監視 周辺監視 場合の実効線 場合

1/120 別表第 1(6 8 及び10 関係 ) 放射性物質の種類が明らかで かつ 一種類である場合の放射線業務従事者の呼吸する空気中の放射性物質の濃度限度等 添付 第一欄第二欄第三欄第四欄第五欄第六欄 放射性物質の種類 吸入摂取した 経口摂取した 放射線業 周辺監視 周辺監視 場合の実効線 場合 1/120 別表第 1(6 8 及び10 関係 ) 放射性物質の種類が明らかで かつ 一種類である場合の放射線業務従事者の呼吸する空気中の放射性物質の濃度限度等 添付 第一欄第二欄第三欄第四欄第五欄第六欄 放射性物質の種類 吸入摂取した 経口摂取した 放射線業 周辺監視 周辺監視 場合の実効線 場合の実効線 務従事者 区域外の 区域外の 量係数 量係数 の呼吸す 空気中の 水中の濃 る空気中 濃度限度

More information

untitled

untitled http://www.riskdatabank.co.jp The of Japan, Ltd. All rights reserved. 2 The of Japan, Ltd. All rights reserved. 3 The of Japan, Ltd. All rights reserved. 4 The of Japan, Ltd. All rights reserved. 5 The

More information

PowerPoint プレゼンテーション

PowerPoint プレゼンテーション 2014/04/17 旭化成基盤技術研究所 1 二次電池の総合解析 電池特性解析 最適化手法による FRA 解析 多変量解析 大気非暴露分析 GC/MS, LC/MS, ESR, NMR, solid NMR, X-CT, SIMS, TOF-SIMS, MALDI-TOF, Raman, FT-IR, SEM, FIB-SEM, STEM, XRD, XANES 劣化部材の特定 Ar グローブ Box

More information

<4D F736F F F696E74202D E9197BF36817A90DA92858DDC8DCC8EE68E8E97BF92B28DB8>

<4D F736F F F696E74202D E9197BF36817A90DA92858DDC8DCC8EE68E8E97BF92B28DB8> 資料 6 接着剤化学分析等調査 目的 アンカーボルトおよび覆工コンクリートコアから接着剤を採取しア, 各種化学分析等を行い, 接着剤の性状の変化を把握したもの 平成 25 年 3 月 27 日 ( 水 ) 1 試験概要 (1) 接着剤採取による試験引抜き抵抗力試験実施箇所において 接着剤成分の劣化 変質 物性などに着目した化学分析を行う 実施機関 実施時期 地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター

More information

<4D F736F F D208BC68A4582CC94AD8CF595AA8CF595AA90CD CC8C9F97CA90FC82F08BA492CA89BB82B782E982B182C682C982E682E92E646F63>

<4D F736F F D208BC68A4582CC94AD8CF595AA8CF595AA90CD CC8C9F97CA90FC82F08BA492CA89BB82B782E982B182C682C982E682E92E646F63> 業界の発光分光分析装置の検量線を共通化することによる分析装置間の分析値差異改善の検討 Ⅱ (l-si-mg 系合金 ) 平成 18 年 11 月 10 日 ( 社 ) 日本アルミニウム合金協会技術委員会 当業界とその需要家でのアルミ合金材料の化学成分の管理は 発光分光分析法によることが一般的であり 日頃両者間で分析結果が若干相違することは珍しくない この分析装置の違いによる分析結果の若干の不一致は

More information

Introduction of Focused Ion Beam Time-of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer

Introduction of Focused Ion Beam Time-of Flight Secondary Ion Mass Spectrometer Laser-SNMS (FILMER) の技術情報 SIMS 研究会 7, 成蹊大学, 2016.07.20 株式会社トヤマ http://www.toyama-jp.com 柏木隆宏 石川丈晴 長嶋悟 山下智之 中川潤 竹中久貴 高野明雄 遠藤克己 E-mail; takano@toyama-jp.com 会社名 本社 工場 関西営業所 代表者 会社設立 株式会社トヤマ 258-0112 神奈川県足柄上郡山北町岸

More information

4 1 Ampère 4 2 Ampere 31

4 1 Ampère 4 2 Ampere 31 4. 2 2 Coulomb 2 2 2 ( ) electricity 2 30 4 1 Ampère 4 2 Ampere 31 NS 2 Fleming 4 3 B I r 4 1 0 1.257 10-2 Gm/A µ 0I B = 2πr 4 1 32 4 4 A A A A 4 4 10 9 1 2 12 13 14 4 1 16 4 1 CH 2 =CH 2 28.0313 28 2

More information

レーション法 プラズマ蒸着法 粉砕法等 ) の2 つに大別することができる その中でも 近年 注目されている液中パルスプラズマ法によるナノ 2) 3) 4) 粒子の作製を検討した この方法は 水中でプラズマ ( グロー放電 ) を発生させることでH2O 分子をガス化分解し 生成した水素ラジカル (H

レーション法 プラズマ蒸着法 粉砕法等 ) の2 つに大別することができる その中でも 近年 注目されている液中パルスプラズマ法によるナノ 2) 3) 4) 粒子の作製を検討した この方法は 水中でプラズマ ( グロー放電 ) を発生させることでH2O 分子をガス化分解し 生成した水素ラジカル (H 無機ナノ粒子を利用した高機能部材の調査 研究 松延 剛 中西貞博 中村知彦 浅田 聡 *2 安達雅浩 [ 要旨 ] ナノ粒子を利用した産業技術及びナノ粒子特性の把握や技術蓄積を目的として 作製した無機ナノ粒子の作製条件によるナノ粒子形状の違いや 吸着性及び光吸収性等の粒子特性を調査した 液中パルスプラズマ法により作製したナノ粒子は 電解液の種類や電極の金属種の違いにより 得られるナノ粒子の粒径サイズや形状が変化することを確認した

More information

厚生労働省委託事業 「 平成25年度 適切な石綿含有建材の分析の実施支援事業 」アスベスト分析マニュアル1.00版

厚生労働省委託事業 「 平成25年度 適切な石綿含有建材の分析の実施支援事業 」アスベスト分析マニュアル1.00版 クリソタイル標準試料 UICC A 1 走査型電子顕微鏡形態 測定条件等 :S-3400N( 日立ハイテクノロジーズ )/BRUKER-AXS Xflash 4010) 倍率 2000 倍 加速電圧 5kv 162 クリソタイル標準試料 UICC A 2 走査型電子顕微鏡元素組成 cps/ev 25 20 15 C O Fe Mg Si Fe 10 5 0 2 4 6 8 10 12 14 kev

More information

研究報告58巻通し.indd

研究報告58巻通し.indd 25 高性能陰イオン分析カラム TSKgel SuperIC-Anion HR の特性とその応用 バイオサイエンス事業部開発部セパレーショングループ 佐藤真治多田芳光酒匂幸中谷茂 1. はじめにイオンクロマトグラフィー (IC) は 環境分析等の各種公定法に採用されている溶液試料中のイオン成分分析法であり 当社においてもハイスループット分析を特長とする高速イオンクロマトグラフィーシステム IC 2010

More information

フォト IC ダイオード S SB S CT 視感度に近い分光感度特性 視感度特性に近い分光感度特性をもったフォトICダイオードです チップ上には2つの受光部があり 1つは信号検出用受光部 もう1つは近赤外域にのみ感度をもつ補正用受光部になっています 電流アンプ回路中で2

フォト IC ダイオード S SB S CT 視感度に近い分光感度特性 視感度特性に近い分光感度特性をもったフォトICダイオードです チップ上には2つの受光部があり 1つは信号検出用受光部 もう1つは近赤外域にのみ感度をもつ補正用受光部になっています 電流アンプ回路中で2 S9066-211SB S9067-201CT 視感度に近い分光感度特性 視感度特性に近い分光感度特性をもったフォトICダイオードです チップ上には2つの受光部があり 1つは信号検出用受光部 もう1つは近赤外域にのみ感度をもつ補正用受光部になっています 電流アンプ回路中で2つの受光部の出力を減算し ほぼ可視光域にのみ感度をもたせています また従来品に比べ 同一照度における異なる色温度の光源に対しての出力変化を低減しています

More information

世界初! 次世代電池内部のリチウムイオンの動きを充放電中に可視化 ~ 次世代電池の実用化に向けて大きく前進 ~ 名古屋大学 パナソニック株式会社 ( 以下 パナソニック ) および一般財団法人ファインセラミックスセンター ( 以下 ファインセラミックスセンター ) は共同で 走査型透過電子顕微鏡 (

世界初! 次世代電池内部のリチウムイオンの動きを充放電中に可視化 ~ 次世代電池の実用化に向けて大きく前進 ~ 名古屋大学 パナソニック株式会社 ( 以下 パナソニック ) および一般財団法人ファインセラミックスセンター ( 以下 ファインセラミックスセンター ) は共同で 走査型透過電子顕微鏡 ( 世界初! 次世代電池内部のリチウムイオンの動きを充放電中に可視化 ~ 次世代電池の実用化に向けて大きく前進 ~ 名古屋大学 パナソニック株式会社 ( 以下 パナソニック ) および一般財団法人ファインセラミックスセンター ( 以下 ファインセラミックスセンター ) は共同で 走査型透過電子顕微鏡 (STEM:Scanning Transmission Electron Microscope) 注 1)

More information

Microsoft PowerPoint - 発表図面2.pptx

Microsoft PowerPoint - 発表図面2.pptx 組成分析の基礎 ものづくり基礎講座 ( 第 50 回技術セミナー ) 金属の魅力をみなおそう第三弾観察 分析編第二回 東北大学金属材料研究所 正橋直哉 masahasi@imr.tohoku.ac.jp 2017. July 25 14:05~14:35 クリエイション コア東大阪南館 3 階技術交流室 A 発表内容 1. 組成分析とは何か 2. 組成分析を行う理由 3. 組成と金属の機能の関係 4.

More information

03J_sources.key

03J_sources.key Radiation Detection & Measurement (1) (2) (3) (4)1 MeV ( ) 10 9 m 10 7 m 10 10 m < 10 18 m X 10 15 m 10 15 m ......... (isotope)...... (isotone)......... (isobar) 1 1 1 0 1 2 1 2 3 99.985% 0.015% ~0% E

More information

Microsoft PowerPoint - 豊田2008HP閲覧用資料

Microsoft PowerPoint - 豊田2008HP閲覧用資料 核融合プラズマからプラズマプロセスまで - プラズマ中の原子過程 - 研究会 Aug 24. 26 プロセスガス分子およびイオンの同時照射下における表面反応過程の解析 名古屋大学工学研究科電子情報システム専攻 豊田浩孝 高田昇治 木下欣紀 菅井秀郎 Department of Electrical Engineering and omputer Science, Nagoya University

More information

Microsoft Word - H2118Œ{‚Ì doc

Microsoft Word - H2118Œ{‚Ì doc まえがき この規格は, 工業標準化法第 14 条によって準用する第 12 条第 1 項の規定に基づき, 社団法人日本アルミニウム合金協会 (JARA)/ 財団法人日本規格協会 (JSA) から, 工業標準原案を具して日本工業規格を改正すべきとの申出があり, 日本工業標準調査会の審議を経て, 経済産業大臣が改正した日本工業規格である これによって,JIS H 2118:2000 は改正され, この規格に置き換えられる

More information

14 2 1 1 2 2 1 2 2 2 2 3 2 3 6 2 4 7 2 5 8 3 3 1 10 3 2 12 4 4 1 14 4 17 4 19 4 3 1 22 4 3 2 28 4 3 3 31 5 34 6 36 37 38 1. Ti:Sapphire 2. (1) (2) 2. 2. (3)(4) (5) 2 2 1 (6) 2. 3. 4 3.. 5 4 3. 6 2 5. 1

More information

より良い結果を得るために! 蛍光 X 線法の原理と弱点を知ることが大切 蛍光 X 線の試料条件十分な面積と厚み均一 平面 補正で補う面積補正厚み補正材質補正形状補正 装置の日常チェック 測定 作業の制約 最終判断は人間 スペクトルの重なり 試料の情報均一? メッキ? 判断 蛍光 X 線の知識 ばらつ

より良い結果を得るために! 蛍光 X 線法の原理と弱点を知ることが大切 蛍光 X 線の試料条件十分な面積と厚み均一 平面 補正で補う面積補正厚み補正材質補正形状補正 装置の日常チェック 測定 作業の制約 最終判断は人間 スペクトルの重なり 試料の情報均一? メッキ? 判断 蛍光 X 線の知識 ばらつ 環境セミナー 2008 蛍光 X 線分析についてよくある質問 試料 コリメータ 試料室 フィルター X 線管球 CCD カメラ 検出器 蛍光 X 線分析法では X 線を試料に照射し 試料から発生した蛍光 X 線を検出器で検出する 試料に含まれる元素の種類と濃度を非破壊で分析できる 日本電子 ( 株 ) 分析機器営業本部環境機器販促グループ安東和人 1 より良い結果を得るために! 蛍光 X 線法の原理と弱点を知ることが大切

More information

二次イオン質量分析法 -TOF-SIMS法の紹介-

二次イオン質量分析法 -TOF-SIMS法の紹介- SCIENTIFIC INSTRUMENT NEWS 2016 Vol. No.1 M A R C H 59 Technical magazine of Electron Microscope and Analytical Instruments. 技術解説 二次イオン質量分析法ー TOF-SIMS 法の紹介ー Secondary Ion Mass Spectrometry -Time of Flight

More information

< F91E F1835C D835E815B8CA48B8689EF5F8FE396EC2E786477>

< F91E F1835C D835E815B8CA48B8689EF5F8FE396EC2E786477> 2011 年 5 月 20 日 第 4 回ソフトマター研究会 産業利用における GISAXS の活用 東レリサーチセンター構造化学研究部構造化学第 2 研究室岡田一幸 1. 小角 X 線散乱 ( 反射測定 ) 薄膜中のポア (Low-k 膜 ) 2.GISAXS による粒子サイズ評価 薄膜に析出した結晶 (High-k 膜 ) 3. ポリマーの秩序構造の評価 ブロックコポリマーの自己組織化過程 4.

More information

LBV301 LBV321-XXHGDRAMX02000, オンラインデータシート

LBV301 LBV321-XXHGDRAMX02000, オンラインデータシート オンラインデータシート BV321-XXHGDRAMX02000 BV301 A B C D E F H I J K M N O P Q R S T 注文情報 タイプ 製品番号 BV321-XXHGDRAMX02000 6063991 その他の装置仕様 アクセサリ www.sick.com/bv301 図は実際と異なる場合があります 技術仕様詳細特徴 媒体 バルク材 測定法 ポイントレベル プローブ長さ

More information

本日の内容 HbA1c 測定方法別原理と特徴 HPLC 法 免疫法 酵素法 原理差による測定値の乖離要因

本日の内容 HbA1c 測定方法別原理と特徴 HPLC 法 免疫法 酵素法 原理差による測定値の乖離要因 HbA1c 測定系について ~ 原理と特徴 ~ 一般社団法人日本臨床検査薬協会 技術運営委員会副委員長 安部正義 本日の内容 HbA1c 測定方法別原理と特徴 HPLC 法 免疫法 酵素法 原理差による測定値の乖離要因 HPLC 法 HPLC 法原理 高速液体クロマトグラフィー 混合物の分析法の一つ 固体または液体の固定相 ( 吸着剤 ) 中で 液体または気体の移動相 ( 展開剤 ) に試料を加えて移動させ

More information

Ⅰ 分析測定標準料金表 ( 平成 20 年 1 月 ) 菱電化成株式会社 料金について 1. 掲載しました価格は 原則として 1 試料当たりの標準を示します なお消費税は含まれておりません 2. 次のような場合には料金を割引致します 1 試料数が多い場合 2 長期間契約に基づく場合 3. 次のような場合には ご相談の上 割増料金を申し受けることがあります 1 妨害物質等により規定の方法で分析できない場合

More information

Siマイクロマシニングと集積化技術.PDF

Siマイクロマシニングと集積化技術.PDF ケミカル エンジニアリング(化学工業社) 25 年 9 月号 pp.731-735. シリコンマイクロマシニングと集積化技術 佐々木実*1 金森義明*2 羽根一博*3 Minoru Sasaki, Yoshiaki Kanamori, Kazuhiro Hane 東北大学大学院工学研究科 *1 助教授 工学博士 *2 助手 工学博士 *3 教授 工学博士 1 はじめに LSI に代表される半導体産業の黎明期にフォト

More information

フォトダイオードモジュール C10439 シリーズ 精密測光用フォトダイオードと低ノイズアンプを一体化 フォトダイオードモジュール C10439 シリーズは フォトダイオードと I/V アンプを一体化した高精度な光検出器です アナログ電圧出力のため 電圧計などで簡単に信号を観測することができます ま

フォトダイオードモジュール C10439 シリーズ 精密測光用フォトダイオードと低ノイズアンプを一体化 フォトダイオードモジュール C10439 シリーズは フォトダイオードと I/V アンプを一体化した高精度な光検出器です アナログ電圧出力のため 電圧計などで簡単に信号を観測することができます ま 精密測光用フォトダイオードと低ノイズアンプを一体化 は フォトダイオードと I/V アンプを一体化した高精度な光検出器です アナログ電圧出力のため 電圧計などで簡単に信号を観測することができます また本製品には / 2 レンジ切り替え機能が付いています 検出する光量に応じて適切なレンジ選択を行うことで 高精度な出力を得ることができます 特長 電圧出力のため取り扱いが簡単 / 2レンジ切り替え機能付き小型

More information

02.参考資料標準試料データ

02.参考資料標準試料データ 参考資料 標準試料データ目次 クリソタイル標準試料 JAWE111 108 アモサイト標準試料 JAWE211 113 クロシドライト標準試料 JAWE311 118 クリソタイル標準試料 JAWE121 123 アモサイト標準試料 JAWE221 131 クロシドライト標準試料 JAWE321 139 アンソフィライト標準試料 JAWE411 147 トレモライト標準試料 JAWE511 155

More information

3. リチウムイオン内部圧入による ASR 膨張抑制効果 本章の目的 ASR 劣化コンクリートにリチウムイオンを内部圧入 ASR 膨張を抑制することができるか? そのときの必要リチウムイオン量は? 4

3. リチウムイオン内部圧入による ASR 膨張抑制効果 本章の目的 ASR 劣化コンクリートにリチウムイオンを内部圧入 ASR 膨張を抑制することができるか? そのときの必要リチウムイオン量は? 4 広島県コンクリート診断士会サロン資料 (2012 年 3 月 13 日 ) リチウム内部圧入によるアルカリシリカ反応の抑制について ~ コンクリート工学テクニカルレポート (2012 年 2 月 ) ~ 極東興和 江良和徳 リチウムイオン内部圧入工 工法概要 コンクリートに削孔し, そこからリチウム化合物を加圧注入してコンクリート内部に浸透させる. コンクリート内部に浸透したリチウムイオンの作用により,

More information

フロントエンド IC 付光センサ S CR S CR 各種光量の検出に適した小型 APD Si APD とプリアンプを一体化した小型光デバイスです 外乱光の影響を低減するための DC フィードバック回路を内蔵していま す また 優れたノイズ特性 周波数特性を実現しています

フロントエンド IC 付光センサ S CR S CR 各種光量の検出に適した小型 APD Si APD とプリアンプを一体化した小型光デバイスです 外乱光の影響を低減するための DC フィードバック回路を内蔵していま す また 優れたノイズ特性 周波数特性を実現しています 各種光量の検出に適した小型 APD Si APD とプリアンプを一体化した小型光デバイスです 外乱光の影響を低減するための DC フィードバック回路を内蔵していま す また 優れたノイズ特性 周波数特性を実現しています なお 本製品の評価キットを用意しています 詳細については 当社 営業までお問い合わせください 特長 高速応答 増倍率 2 段階切替機能 (Low ゲイン : シングル出力, High

More information

推奨条件 / 絶対最大定格 ( 指定のない場合は Ta=25 C) 消費電流絶対最大定格電源電圧 Icc 容量性負荷出力抵抗型名 Vcc Max. CL 電源電圧動作温度保存温度 Zo (V) 暗状態 Min. Vcc max Topr* 2 Tstg* 2 Min. Max. (ma) (pf)

推奨条件 / 絶対最大定格 ( 指定のない場合は Ta=25 C) 消費電流絶対最大定格電源電圧 Icc 容量性負荷出力抵抗型名 Vcc Max. CL 電源電圧動作温度保存温度 Zo (V) 暗状態 Min. Vcc max Topr* 2 Tstg* 2 Min. Max. (ma) (pf) 精密測光用フォトダイオードと低ノイズアンプを一体化 フォトダイオードモジュール は フォトダイオードと I/V アンプを一体化した高精度な光検出器です アナログ電圧出力のため 電圧計などで簡単に信号を観測することができます また本製品には High/Low 2 レンジ切り替え機能が付いています 検出する光量に応じて適切なレンジ選択を行うことで 高精度な出力を得ることができます 特長 用途 電圧出力のため取り扱いが簡単

More information

電子部品の試料加工と観察 分析 解析 ~ 真の姿を求めて ~ セミナー A 電子部品の試料加工と観察 分析 解析 ~ 真の姿を求めて ~ セミナー 第 9 回 品質技術兼原龍二 前回の第 8 回目では FIB(Focused Ion Beam:FIB) のデメリットの一つであるGaイ

電子部品の試料加工と観察 分析 解析 ~ 真の姿を求めて ~ セミナー A 電子部品の試料加工と観察 分析 解析 ~ 真の姿を求めて ~ セミナー 第 9 回 品質技術兼原龍二 前回の第 8 回目では FIB(Focused Ion Beam:FIB) のデメリットの一つであるGaイ 第 9 回 品質技術兼原龍二 前回の第 8 回目では FIB(Focused Ion Beam:FIB) のデメリットの一つであるGaイオンの打ち込み ( 図 19. 第 6 回参照 ) により 試料の側壁に形成されるダメージ層への対処について事例などを交えながら説明させていただきました 今回は 試料の表面に形成されるダメージ層について その対処法を事例を示してお話しをさせていただきます Gaイオンの試料への打ち込みですが

More information

Nov 11

Nov 11 http://www.joho-kochi.or.jp 11 2015 Nov 01 12 13 14 16 17 2015 Nov 11 1 2 3 4 5 P R O F I L E 6 7 P R O F I L E 8 9 P R O F I L E 10 11 P R O F I L E 12 技術相談 センター保有機器の使用の紹介 当センターで開放している各種分析機器や計測機器 加工機器を企業の技術者ご自身でご利用できます

More information

円筒型 SPCP オゾナイザー技術資料 T ( 株 ) 増田研究所 1. 構造株式会社増田研究所は 独自に開発したセラミックの表面に発生させる沿面放電によるプラズマ生成技術を Surface Discharge Induced Plasma Chemical P

円筒型 SPCP オゾナイザー技術資料 T ( 株 ) 増田研究所 1. 構造株式会社増田研究所は 独自に開発したセラミックの表面に発生させる沿面放電によるプラズマ生成技術を Surface Discharge Induced Plasma Chemical P 円筒型 SPCP オゾナイザー技術資料 T211-1 211.2.7 ( 株 ) 増田研究所 1. 構造株式会社増田研究所は 独自に開発したセラミックの表面に発生させる沿面放電によるプラズマ生成技術を Surface Discharge Induced Plasma Chemical Process (SPCP) と命名し 小型 ~ 中型のオゾナイザーとして製造 販売を行っている SPCP オゾナイザーは図

More information

スライド 0

スライド 0 Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 2013 OEG セミナー 硫黄系アウトガスによる電子機器の障害事例 身近に潜む腐蝕原因ガス 2013 年 7 月 9 日 環境事業部 鈴木康之 Copyright 2013 Oki Engineering Co., Ltd. All rights reserved 2 目次 1.

More information

塗料の研究第147号本体.indd

塗料の研究第147号本体.indd Observation of Particle Materials in Wet and Dry Paints with Transmission Electron Microscope and Scanning Electron Microscope Yukiko Chitose Masami Hayashi Matoba Yabe 透過型電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡による塗料 塗膜中の粒子成分の観察

More information

SE 検出器の構造と特徴 低エネルギーの二次電子を検出 高分解能試料最表面の状態による二次電子の放出量を反映 表面状態 ( 物質 ) の違いに敏感 高エネルギーの二次電子を検出 試料の形状状態を反映 表面形状に敏感 像形成している二次電子のエネルギーが異なる SE2 像 In-lends

SE 検出器の構造と特徴 低エネルギーの二次電子を検出 高分解能試料最表面の状態による二次電子の放出量を反映 表面状態 ( 物質 ) の違いに敏感 高エネルギーの二次電子を検出 試料の形状状態を反映 表面形状に敏感 像形成している二次電子のエネルギーが異なる SE2 像 In-lends 特殊 SEM による金属粒子観察 * 応力の強い箇所を粒子サイズから把握 * クラック発生メカニズムの解明 ICパッケージ 実装 接合部品 実装基板 LSIデバイス LCD 薄膜金属表面状態 結晶粒の観察 分析 弊社 SEM 従来 SEM In-lends 金ワイヤや 1stBond 部の金結晶組織の状態が観察できます SE2 SE 検出器の構造と特徴 低エネルギーの二次電子を検出 高分解能試料最表面の状態による二次電子の放出量を反映

More information

高分解能LC/MSによる構造解析(新規導入装置による超高分解能測定および多段階MS測定)

高分解能LC/MSによる構造解析(新規導入装置による超高分解能測定および多段階MS測定) The TRC ews, 177-1 (July 17) 高分解能 LC/M による構造解析 ( 新規導入装置による超高分解能測定および多段階 M 測定 ) 有機分析化学研究部小野田資 秋山毅 井口詔雄 要旨質量分析計の進歩は目覚ましく 現代ではありとあらゆる分野の微量分析 構造解析において欠かすことのできない分析手法である 特に 幅広い成分に適用可能な HPLC および 質量分解能の非常に高い質量分析計

More information

Microsoft PowerPoint - SISS SIMS基礎講座 D-SIMS.ppt [互換モード]

Microsoft PowerPoint - SISS SIMS基礎講座 D-SIMS.ppt [互換モード] SIMS 基礎講座 D-SIMS( ダイナミック SIMS) について 2016 年 7 月 20 日 アメテック ( 株 ) カメカ事業部三輪司郎 内容 1. D-SIMSとは? (Static SIMSとの違い 応用分野 ) 2. D-SIMS 装置の構成 簡単な構造 原理 ( 質量分析計 イオン源 ) 3. 応用例 4. まとめ 内容 1. D-SIMSとは? (Static SIMSとの違い

More information

C-2 NiS A, NSRRC B, SL C, D, E, F A, B, Yen-Fa Liao B, Ku-Ding Tsuei B, C, C, D, D, E, F, A NiS 260 K V 2 O 3 MIT [1] MIT MIT NiS MIT NiS Ni 3 S 2 Ni

C-2 NiS A, NSRRC B, SL C, D, E, F A, B, Yen-Fa Liao B, Ku-Ding Tsuei B, C, C, D, D, E, F, A NiS 260 K V 2 O 3 MIT [1] MIT MIT NiS MIT NiS Ni 3 S 2 Ni M (emu/g) C 2, 8, 9, 10 C-1 Fe 3 O 4 A, SL B, NSRRC C, D, E, F A, B, B, C, Yen-Fa Liao C, Ku-Ding Tsuei C, D, D, E, F, A Fe 3 O 4 120K MIT V 2 O 3 MIT Cu-doped Fe3O4 NCs MIT [1] Fe 3 O 4 MIT Cu V 2 O 3

More information

36 th IChO : - 3 ( ) , G O O D L U C K final 1

36 th IChO : - 3 ( ) , G O O D L U C K final 1 36 th ICh - - 5 - - : - 3 ( ) - 169 - -, - - - - - - - G D L U C K final 1 1 1.01 2 e 4.00 3 Li 6.94 4 Be 9.01 5 B 10.81 6 C 12.01 7 N 14.01 8 16.00 9 F 19.00 10 Ne 20.18 11 Na 22.99 12 Mg 24.31 Periodic

More information

Microsystem Integration & Packaging Laboratory

Microsystem Integration & Packaging Laboratory 2015/01/26 MemsONE 技術交流会 解析事例紹介 東京大学実装工学分野研究室奥村拳 Microsystem Integration and Packaging Laboratory 1 事例紹介 1. 解析の背景高出力半導体レーザの高放熱構造 2. 熱伝導解析解析モデルの概要 3. チップサイズの熱抵抗への影響 4. 接合材料の熱抵抗への影響 5. ヒートシンク材料の熱抵抗への影響 Microsystem

More information

光変調型フォト IC S , S6809, S6846, S6986, S7136/-10, S10053 外乱光下でも誤動作の少ない検出が可能なフォト IC 外乱光下の光同期検出用に開発されたフォトICです フォトICチップ内にフォトダイオード プリアンプ コンパレータ 発振回路 LE

光変調型フォト IC S , S6809, S6846, S6986, S7136/-10, S10053 外乱光下でも誤動作の少ない検出が可能なフォト IC 外乱光下の光同期検出用に開発されたフォトICです フォトICチップ内にフォトダイオード プリアンプ コンパレータ 発振回路 LE 外乱光下でも誤動作の少ない検出が可能なフォト IC 外乱光下の光同期検出用に開発されたフォトICです フォトICチップ内にフォトダイオード プリアンプ コンパレータ 発振回路 LED 駆動回路 および信号処理回路などが集積化されています 外部に赤外 LEDを接続することによって 外乱光の影響の少ない光同期検出型のフォトリフレクタやフォトインタラプタが簡単に構成できます 独自の回路設計により 外乱光許容照度が10000

More information

20 m Au 2. 現行のマイクロバンプ形成技術における課題 Au Au Au 2 WB 11 m m 1 m 2008 Au FC m 10 m 30 m OTK Au 表 1 マイクロバンプ形成におけるめっき法の比較 3. 無電解めっきによる Au

20 m Au 2. 現行のマイクロバンプ形成技術における課題 Au Au Au 2 WB 11 m m 1 m 2008 Au FC m 10 m 30 m OTK Au 表 1 マイクロバンプ形成におけるめっき法の比較 3. 無電解めっきによる Au Fabrication technology of Au micro-bump by electroless plating. 関東化学株式会社技術 開発本部中央研究所第四研究室德久智明 Tomoaki Tokuhisa Central Research Laboratory, Technology & Development Division, Kanto Chemical Co., Inc. 1.

More information

( 2 )

( 2 ) ()(1) 64 (7) (8) (9) (9) (12) ASAS (13) 2 (ZEHL ) (39) (41) (53) (83) (92) ( 2 ) ( 3 ) ( 3 ) ( 4 ) 64 I 2 CNER1 P/Y S 2302 2301 E V A B D O 2309 E 2303 2304 2305 2306 V 2307 2308 2310 R F 2206 2207 2208

More information

Japanese nuclear policy and its effect on EAGLE project

Japanese nuclear policy and its effect on EAGLE project 2018 年 8 月 23 日 JASMiRT 第 2 回国内ワークショップ 3 既往研究で取得された関連材料特性データの現状 - オーステナイト系ステンレス鋼の超高温材料特性式の開発 - 鬼澤高志 下村健太 加藤章一 若井隆純 日本原子力研究開発機構 背景 目的 (1/2) 福島第一原子力発電所の事故以降 シビアアクシデント時の構造健全性評価が求められている 構造材料の超高温までの材料特性が必要

More information

電子配置と価電子 P H 2He 第 4 回化学概論 3Li 4Be 5B 6C 7N 8O 9F 10Ne 周期表と元素イオン 11Na 12Mg 13Al 14Si 15P 16S 17Cl 18Ar 価電子数 陽

電子配置と価電子 P H 2He 第 4 回化学概論 3Li 4Be 5B 6C 7N 8O 9F 10Ne 周期表と元素イオン 11Na 12Mg 13Al 14Si 15P 16S 17Cl 18Ar 価電子数 陽 電子配置と価電子 P11 1 2 13 14 15 16 17 18 1H 2He 第 4 回化学概論 3Li 4Be 5B 6C 7N 8O 9F 10Ne 周期表と元素イオン 11Na 12Mg 13Al 14Si 15P 16S 17Cl 18Ar 1 2 3 4 5 6 7 0 陽性元素陰性元素安定電子を失いやすい電子を受け取りやすい 原子番号と価電子の数 P16 元素の周期表 P17 最外殻の電子配置と周期表

More information

第 11 回化学概論 酸化と還元 P63 酸化還元反応 酸化数 酸化剤 還元剤 金属のイオン化傾向 酸化される = 酸素と化合する = 水素を奪われる = 電子を失う = 酸化数が増加する 還元される = 水素と化合する = 酸素を奪われる = 電子を得る = 酸化数が減少する 銅の酸化酸化銅の還元

第 11 回化学概論 酸化と還元 P63 酸化還元反応 酸化数 酸化剤 還元剤 金属のイオン化傾向 酸化される = 酸素と化合する = 水素を奪われる = 電子を失う = 酸化数が増加する 還元される = 水素と化合する = 酸素を奪われる = 電子を得る = 酸化数が減少する 銅の酸化酸化銅の還元 第 11 回化学概論 酸化と還元 P63 酸化還元反応 酸化数 酸化剤 還元剤 金属のイオン化傾向 酸化される = 酸素と化合する = 水素を奪われる = 電子を失う = 酸化数が増加する 還元される = 水素と化合する = 酸素を奪われる = 電子を得る = 酸化数が減少する 銅の酸化酸化銅の還元 2Cu + O 2 2CuO CuO + H 2 Cu + H 2 O Cu Cu 2+ + 2e

More information

元素分析

元素分析 : このマークが付してある著作物は 第三者が有する著作物ですので 同著作物の再使用 同著作物の二次的著作物の創作等については 著作権者より直接使用許諾を得る必要があります (PET) 1 18 1 18 H 2 13 14 15 16 17 He 1 2 Li Be B C N O F Ne 3 4 5 6 7 8 9 10 Na Mg 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 Al Si P

More information

2008JBMIA技術調査小委員会報告書

2008JBMIA技術調査小委員会報告書 画像濃度 Ⅴ-6 トナー内部材料分散観察の進化 ( トナー開発における分析技術 ) 河野信明キヤノン株式会社材料プロセス開発センター室長 1. はじめに電子写真用トナーは バインダ樹脂中に着色剤 ワックス 荷電制御剤等を分散した構造を有し 各材料の分散状態はトナー性能に大きく影響する たとえば 着色剤の分散状態は着色力に影響することが知られている 分散良 モグラフィー法や連続断面画像から三次元像を構築する手法で

More information

★スラスト A3 HP編集用  indd

★スラスト A3 HP編集用  indd 目次 技術解説 軸受の構成 軸受の精度等級 軸受の材料高炭素クロム軸受鋼の化学成分 高温軸受用鋼の化学成分 ステンレス鋼の化学成分 保持器用鋼板および炭素鋼の化学成分 もみ抜き保持器用高力黄銅の化学成分 軸受寸法表 スラスト玉軸受 単式平面座形 単式調心座形調心座金付 複式平面座形 複式調心座形調心座金付 29 系列 39 系列 ミニアチュア ステンレススラスト玉軸受ステンレス単式平面座形 付表 スラストころ軸受スラスト自動調心ころ軸受

More information

PowerPoint プレゼンテーション

PowerPoint プレゼンテーション 1 2011.9.30 マルチスケールモデリングによる材料科学 研究会 Fe-Ni-S 鋼の粒界脆化機構 の第一原理計算 新日本製鐵 ( 株 ) 先端技術研究所 澤田英明 2 鉄鋼において粒界偏析が係わる事象 割れ スラブ表面割れ耐熱鋼再熱脆化 IF 鋼二次加工脆性 変態制御 Solute drag 効果 ( 粒成長抑制 ) 変態核生成抑制 ( 変態抑制 ) 強度 靭性 焼入れ性 3 粒界偏析に対する当社の取り組み

More information

スライド 1

スライド 1 第 1 回 SPring-8 カ ラス セラミックス研究会 (2010/8/27) ソーダライムガラス中の鉄イオンの 構造解析 XAFS 解析からの試み 日本板硝子株式会社技術研究所 a 兼 BP 研究開発部 b 長嶋廉仁 a, b 白木康一 a 2 目次 1. 実用ガラスにとっての鉄イオンの構造の重要性 2. ガラス中での鉄イオンの構造光吸収およびその他の方法による解析 3. XAFS 測定からの解析の試み

More information

イオンマイクロビームを用いた局所微量元素分析 日本原子力研究開発機構放射線高度利用施設部ビーム技術開発課佐藤隆博

イオンマイクロビームを用いた局所微量元素分析 日本原子力研究開発機構放射線高度利用施設部ビーム技術開発課佐藤隆博 イオンマイクロビームを用いた局所微量元素分析 日本原子力研究開発機構放射線高度利用施設部ビーム技術開発課佐藤隆博 従来技術 電子線マイクロアナライザ (EPMA) 走査型電子顕微鏡 - エネルギー分散型 X 線分光 (SEM-EDS) プローブが電子線 試料から発生する特性 X 線のエネルギー 元素の種類 試料から発生する特性 X 線の強度 元素の量 問題点 SEM-EDS 装置 https://www.jaea.go.jp/04/anz

More information

金属イオンのイオンの濃度濃度を調べるべる試薬中村博 私たちの身の回りには様々な物質があふれています 物の量を測るということは 環境を評価する上で重要な事です しかし 色々な物の量を測るにはどういう方法があるのでしょうか 純粋なもので kg や g mg のオーダーなら 直接 はかりで重量を測ることが

金属イオンのイオンの濃度濃度を調べるべる試薬中村博 私たちの身の回りには様々な物質があふれています 物の量を測るということは 環境を評価する上で重要な事です しかし 色々な物の量を測るにはどういう方法があるのでしょうか 純粋なもので kg や g mg のオーダーなら 直接 はかりで重量を測ることが 金属イオンのイオンの濃度濃度を調べるべる試薬中村博 私たちの身の回りには様々な物質があふれています 物の量を測るということは 環境を評価する上で重要な事です しかし 色々な物の量を測るにはどういう方法があるのでしょうか 純粋なもので kg や g mg のオーダーなら 直接 はかりで重量を測ることが出来ます しかし 環境中の化学物質 ( 有害なものもあれば有用なものもある ) は ほとんどが水に溶けている状態であり

More information

走査電子顕微鏡の原理と応用 ( 観察, 分析 ) Principle and Application of Scanning Electron Microscope/Syunya WATANABE 日立ハイテクノロジーズグローバルアプリケーションセンタ渡邉俊哉 1. はじめに走査電子顕微鏡 (Sca

走査電子顕微鏡の原理と応用 ( 観察, 分析 ) Principle and Application of Scanning Electron Microscope/Syunya WATANABE 日立ハイテクノロジーズグローバルアプリケーションセンタ渡邉俊哉 1. はじめに走査電子顕微鏡 (Sca 走査電子顕微鏡の原理と応用 ( 観察, 分析 ) Principl and Application of Scanning Elctron icroscop/syunya WATANABE 日立ハイテクノロジーズグローバルアプリケーションセンタ渡邉俊哉 1. はじめに走査電子顕微鏡 (Scanning Elctron icroscop : SE) はナノテクノロジーからバイオテクノロジーまで幅広い分野で活用されている.

More information

<8B5A8F7095F18D90349EC490EC2E696E6464>

<8B5A8F7095F18D90349EC490EC2E696E6464> 29 Low Temperature Plasma Nitriding and arburizing for Austenitic Stainless Steel Motoo Egawa Nobuhiro Ueda (2011 7 11 ) 1. SUS304, SUS316 1) 400 (S ) 2) Bell 3) S (extended austenite) S S S ( 18 19 )

More information

特長 01 裏面入射型 S12362/S12363 シリーズは 裏面入射型構造を採用したフォトダイオードアレイです 構造上デリケートなボンディングワイヤを使用せず フォトダイオードアレイの出力端子と基板電極をバンプボンディングによって直接接続しています これによって 基板の配線は基板内部に納められて

特長 01 裏面入射型 S12362/S12363 シリーズは 裏面入射型構造を採用したフォトダイオードアレイです 構造上デリケートなボンディングワイヤを使用せず フォトダイオードアレイの出力端子と基板電極をバンプボンディングによって直接接続しています これによって 基板の配線は基板内部に納められて 16 素子 Si フォトダイオードアレイ S12362/S12363 シリーズ X 線非破壊検査用の裏面入射型フォトダイオードアレイ ( 素子間ピッチ : mm) 裏面入射型構造を採用した X 線非破壊検査用の 16 素子 Si フォトダイオードアレイです 裏面入射型フォトダイオードアレ イは 入射面側にボンディングワイヤと受光部がないため取り扱いが容易で ワイヤへのダメージを気にすることなくシ ンチレータを実装することができます

More information

PowerPoint プレゼンテーション

PowerPoint プレゼンテーション 新 技 術 説 明 会 EDX 分 析 必 見! 進 化 し 続 けるEDX 分 析 株 式 会 社 堀 場 製 作 所 エネルギー 分 散 型 X 線 分 析 装 置 (EDX) 3109-7508-2 EDX 検 出 器 の 進 歩 3109-7508-3 エネルギー 分 散 型 X 線 分 析 法 Energy

More information

平成22年度事故情報収集調査結果について(概要速報)

平成22年度事故情報収集調査結果について(概要速報) Product Safety Technology Center 製品事故解析に必要な アルミニウム合金の引張強さとウェブ硬さ及びバーコル硬さとの関係について 九州支所 製品安全技術課清水寛治 説明内容 目的 アルミニウム合金の概要 硬さの測定方法 引張強さとビッカース硬さの関係 ビッカース硬さとウェブ硬さ バーコル硬さの関係 引張強さとウェブ硬さ バーコル硬さの関係 効果と活用事例 2 1. 目的

More information

5989_5672.qxd

5989_5672.qxd オクタポールリアクションシステム搭載 7500cx ICP-MS による食用油中微量金属の直接測定 アプリケーション 食品 著者 概要 Glenn Woods ICP-MS Specialist Agilent Technologies UK Ltd. Lakeside Business Park Cheadle Royal Cheshire SK8 3GR United Kingdom 食用油に含まれる微量および超微量金属を測定する簡単な手法を紹介します

More information

Microsoft PowerPoint - 阪大XFELシンポジウム_Tono.ppt [互換モード]

Microsoft PowerPoint - 阪大XFELシンポジウム_Tono.ppt [互換モード] X 線自由電子レーザーシンポジウム 10 月 19 日大阪大学レーザー研 X 線自由電子レーザーを用いた利用研究 登野健介 理研 /JASRI X 線自由電子レーザー計画合同推進本部 1 科学の基本中の基本 : 光 ( 電磁波 ) による観察 顕微鏡 望遠鏡 細胞の顕微鏡写真 赤外望遠鏡 ( すばる ) で観測した銀河 2 20 世紀の偉大な発明 : 2 種類の人工光源 レーザー LASER: Light

More information

スライド タイトルなし

スライド タイトルなし OIM とは何ですか? 何に使えるのでしょうか? 材料にも組織構造があります Weak Orientation Strong Orientation 木材は その木目の方向によって強度が著しく異なります 実は日常的に使用される鉄鋼材料をはじめ多くの金属材料でもこのような異方性を持つことが多々あります また 結晶粒の大きさやその分布で強度が変わることも知られています この材料の組織構造がどうなっているのかを

More information

新技術説明会 様式例

新技術説明会 様式例 1 有機物 生体分子等の吸着に 優れた突起 / 細孔形状ナノ粒子 東京電機大学工学部電気電子工学科 教授 佐藤慶介 研究分野の概要 半導体ナノ粒子 ( 量子ドット ) の応用例 http://weblearningplaza.jst.go.jp/ maintenance.html http://www.jaist.ac.jp/ricenter/pam ph/maenosono/maenosono01.pdf

More information

- 電解研磨法材料の電気伝導性を利用したもので電解液中にて材料を陽極としてに通電し試料を溶解 薄片化する手法 材料に適した電解液の調製が必要な他 電流 電圧 温度などの調整が必要である -イオンミリング法 Ar イオンビーム ( 加速電圧 ~5 kv) を試料に照射し 試料中の原子をはじき出し薄片化

- 電解研磨法材料の電気伝導性を利用したもので電解液中にて材料を陽極としてに通電し試料を溶解 薄片化する手法 材料に適した電解液の調製が必要な他 電流 電圧 温度などの調整が必要である -イオンミリング法 Ar イオンビーム ( 加速電圧 ~5 kv) を試料に照射し 試料中の原子をはじき出し薄片化 ミクロトームを用いた透過電子顕微鏡観察用超薄切片の作製 齋藤徳之 荒井重勇 工学研究科 工学部技術部 物質 分析技術系 はじめに 透過電子顕微鏡 TEM を用いて得られる情報は試料を透過した電子 及び試料中で回折した 電子から構成される 図 1 に TEM の結像原理の概要図を示す 試料中を透過及び回折した電子 は対物レンズ 磁界型電子レンズ の磁場で曲げられ 対物レンズの後焦平面上には試料の結晶

More information

els05.pdf

els05.pdf Web で学ぶ 平滑表面上に形成された高分子電解質積層膜のゼータ電位 本資料の掲載情報は, 著作権により保護されています 本情報を商業利用を目的として, 販売, 複製または改ざんして利用することはできません 540-0021 1 2 TEL.(06)6910-6522 192-0082 1-6 LK TEL.(042)644-4951 980-0021 TEL.(022)208-9645 460-0008

More information

■ 質量分析計の原理 ■

■ 質量分析計の原理 ■ 質量分析装置 1, 質量分析法とは? 質量分析法 (Mass Spectrometry, 以下 MS と略す ) は 極めて少量の試料 (1mg 以下, 最低必要量は 1 mmol/l の溶液が数 μl あれば測定可能 ) で 信頼性のある分子量を測定する方法である 実際には試料を高真空下 適当な方法でイオン化し そのイオンを電磁気的に分離して検出を行う 元素分析と MS を組み合わせれば 試料の分子式が決定できる

More information

1 1 H Li Be Na M g B A l C S i N P O S F He N Cl A e K Ca S c T i V C Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As Se B K Rb S Y Z Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb T e

1 1 H Li Be Na M g B A l C S i N P O S F He N Cl A e K Ca S c T i V C Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As Se B K Rb S Y Z Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb T e No. 1 1 1 H Li Be Na M g B A l C S i N P O S F He N Cl A e K Ca S c T i V C Mn Fe Co Ni Cu Zn Ga Ge As Se B K Rb S Y Z Nb Mo Tc Ru Rh Pd Ag Cd In Sn Sb T e I X e Cs Ba F Ra Hf Ta W Re Os I Rf Db Sg Bh

More information

ポイント 太陽電池用の高性能な酸化チタン極薄膜の詳細な構造が解明できていなかったため 高性能化への指針が不十分であった 非常に微小な領域が観察できる顕微鏡と化学的な結合の状態を調査可能な解析手法を組み合わせることにより 太陽電池応用に有望な酸化チタンの詳細構造を明らかにした 詳細な構造の解明により

ポイント 太陽電池用の高性能な酸化チタン極薄膜の詳細な構造が解明できていなかったため 高性能化への指針が不十分であった 非常に微小な領域が観察できる顕微鏡と化学的な結合の状態を調査可能な解析手法を組み合わせることにより 太陽電池応用に有望な酸化チタンの詳細構造を明らかにした 詳細な構造の解明により この度 名古屋大学大学院工学研究科の望月健矢大学院生 後藤和泰助教 黒川康良准教授 山本剛久教授 宇佐美徳隆教授らは 太陽電池への応用に有 望な電気的特性を示す酸化チタン注 1) 極薄膜を開発しました さらに その微小領域 の構造を明らかにすることに世界で初めて成功しました 近年 原子層堆積法注 2) を用いて製膜した酸化チタン薄膜は 結晶シリコン注 3) の太 陽電池において 光で生成した電子を収集する材料として優れた特性を示すため

More information

X線分析の進歩36 別刷

X線分析の進歩36 別刷 X X X-Ray Fluorescence Analysis on Environmental Standard Reference Materials with a Dry Battery X-Ray Generator Hideshi ISHII, Hiroya MIYAUCHI, Tadashi HIOKI and Jun KAWAI Copyright The Discussion Group

More information

第4回SASJ若手研究会 議事録

第4回SASJ若手研究会 議事録 掲示板 第 4 回 SASJ 若手研究会議事録 20 代,30 代を中心とした SASJ 若手研究会 日時 :2017 年 1 月 13 日 ( 金 ) 11:00 ~ 17:30 ( ランチョンセミナー ) 場所 : 古河電気工業株式会社横浜事業所参加者 : 水谷天勇 ( 東芝ナノアナリシス ), 若森昭彦 ( 神鋼溶接サービス ), 笠井一輝 ( 神鋼溶接サービス ), 金子雅英 ( 日本特殊陶業

More information

5 シリコンの熱酸化

5 シリコンの熱酸化 5. シリコンの熱酸化 5.1 熱酸化の目的 Siウェーハは大気中で自然酸化して表面に非常に薄いがSiO 2 の膜で被覆されている Siとその上に生じたSiO 2 膜の密着性は強力である 酸化を高温で行なうと厚い緻密で安定な膜が生じる Siの融点は 1412 であるが SiO 2 の融点は 1732 であり被膜は非常に高い耐熱性をもつ 全ての金属や半導体が密着性の高い緻密な酸化膜により容易に被覆される特性を持つ訳ではなく

More information

「高分解能SEM/STEMによるゼオライトの構造解析の最前線」 東京工業大学 資源化学研究所 助教 横井 俊之 先生

「高分解能SEM/STEMによるゼオライトの構造解析の最前線」 東京工業大学 資源化学研究所 助教 横井 俊之 先生 SCIENTIFIC INSTRUMENT NEWS Technical magazine of Electron Microscope and Analytical Instruments. 2016 Vol. No.1 M A R C H 59 Characterization of zeolites by advanced SEM/STEM techniques 東京工業大学資源化学研究所助教

More information

MP-AES ICP-QQQ Agilent 5100 ICP-OES Agilent 5100 (SVDV) ICP-OES (DSC) 1 5100 SVDV ICP-OES VistaChip II CCD Agilent 7900 ICP-MS 7700 / 10 7900 ICP-MS ICP-MS FTIR Agilent 7900 ICP-MS Agilent Cary 7000 (UMS)

More information

<4D F736F F D C82532D E8B5A95F18CB48D655F5F8E878A4F90FC C2E646F63>

<4D F736F F D C82532D E8B5A95F18CB48D655F5F8E878A4F90FC C2E646F63> 技術紹介 6. イオンビームスパッタリング法によるエキシマレーザ光学系用フッ化物薄膜の開発 Development of fluoride coatings by Ion Beam Sputtering Method for Excimer Lasers Toshiya Yoshida Keiji Nishimoto Kazuyuki Etoh Keywords: Ion beam sputtering

More information

Microsoft Word

Microsoft Word アドミッタンスゲージ 非破壊 接触式 静電容量式膜厚計 MODEL 78E 素地の厚みが 0.1mm 以下で アルミ板や銅板の凹凸や波打ちした試験片の膜厚が測定できる デジタル式膜厚計は 世界でもアドミッタンスゲージのみです 素材がアルミニウム板や銅板 0.1mm 以下の薄膜測定に威力を発揮します 素地の凹凸や波打ちした試験片でも 導電性ゴム電極 φ9.4mm の測定平均値とゴムの持つ柔軟性の相乗効果で

More information

IB-B

IB-B FIB による TEM 試料作製法 2 バルクピックアップ法 1. はじめにピックアップ法を用いた FIB による TEM 試料作製法は事前の素材加工が不要であり 試料の損失を無くすなど利点は多いが 磁性材料は観察不可能であること 薄膜加工終了後 再度 FIB に戻して追加工をすることができないこと 平面方向の観察試料作製が難しいことなど欠点もある 本解説ではこれらの欠点を克服するバルクピックアップ法を紹介する

More information

2 号機及び 3 号機 PCV - 分析内容 原子炉格納容器 (PCV) 内部調査 (2 号機平成 25 年 8 月 3 号機平成 27 年 10 月 ) にて採取された (LI-2RB5-1~2 LI-3RB5-1~2) を試料として 以下の核種を分析した 3 H, Co, 90 Sr, 94 N

2 号機及び 3 号機 PCV - 分析内容 原子炉格納容器 (PCV) 内部調査 (2 号機平成 25 年 8 月 3 号機平成 27 年 10 月 ) にて採取された (LI-2RB5-1~2 LI-3RB5-1~2) を試料として 以下の核種を分析した 3 H, Co, 90 Sr, 94 N 2 号機及び 3 号機原子炉格納容器 (PCV) 内の分析結果 無断複製 転載禁止技術研究組合国際廃炉研究開発機構 平成 28 年 11 月 24 日 技術研究組合国際廃炉研究開発機構 / 日本原子力研究開発機構 本資料には 平成 26 年度補正予算 廃炉 汚染水対策事業費補助金 ( 固体廃棄物の処理 処分に関する研究開発 ) 成果の一部が含まれている 0 概要 事故後に発生した固体廃棄物は 従来の原子力発電所で発生した廃棄物と性状が異なるため

More information