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- あおい ひろもり
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1 基 礎 から 徹 底 解 説 : 高 効 率 太 陽 電 池 に 向 けた 研 究 開 発 超 高 効 率 III/V 太 陽 電 池 杉 山 正 和 東 京 大 学 大 学 院 工 学 系 研 究 科
2 太 陽 電 池 の 効 率 記 録 2
3 集 光 型 太 陽 電 池 Puertollano and Seville (Spain) 3
4 集 光 型 太 陽 光 発 電 モジュールのコスト Cost ($/kwh) cell optics & structure interver etc. assembly 集 光 倍 率 に 反 比 例 Estimation on the basis of the data: C. Algora, et al., 5th International Conference on Solar Concentrators (Palm Desert, CA, 2008). 40% Efficiency 低 コスト 実 現 のために 高 集 光 倍 率 セルコスト 低 減 x100 x250 x500 x1000 Concentration ratio 高 効 率 面 積 低 減 ( 光 学 系 建 設 コストの 低 減 ) 光 学 系 追 尾 系 の 革 新 的 デザイン コスト 削 減 変 換 効 率 に 反 比 例 4
5 CPVの 動 向 太 陽 電 池 の 年 間 生 産 量 集 光 型 太 陽 光 発 電 1.3 MW 2 MW 30 MW 5 MW 7.8 MW 7.8 MW 3 MW 5 MW(pre-operational) 5 MW(pre-operational) 2 MW 1.5 MW 5 MW 3 MW (pre-operational) 59 MW (pre-operational) 集 光 型 太 陽 光 発 電 を 用 いた MW 超 級 の 大 規 模 発 電 ステーションが 世 界 中 で 急 速 に 普 及 CPV World Map MW (pre-operational) 5
6 太 陽 光 発 電 デバイスの 基 礎 ( 一 般 向 け)
7 入 射 光 子 数 (10 18 m 2 s -1 nm -1 ) 太 陽 光 のスペクトル 光 の 強 さ= 単 位 時 間 単 位 面 積 に 注 ぐ 光 子 の 数 波 長 (nm) 光 子 のエネルギー 1/ 波 長 (エネルギーを 球 の 大 きさで 表 現 )
8 太 陽 電 池 の 動 作 原 理 (なぜ100%のエネルギー 変 換 ができないか?) 太 陽 電 池 太 陽 から 届 く 光 子 電 子 エネルギー の 損 失 2 電 流 = 吸 収 した 光 子 数 粒 の 大 きさ=エネルギー 電 圧 < 光 子 のエネルギー 外 部 での 仕 事 光 子 のエネルギーを 電 子 に 渡 す 光 子 1 個 電 子 1 個 半 導 体 は 孔 (バンドギャップ)より 大 きな 光 子 しか 吸 収 できない エネルギーの 損 失 1 1 種 類 の 半 導 体 を 使 った 太 陽 電 池 では,2つの エネルギー 損 失 要 因 により, 変 換 効 率 は 約 30%にとどまる.
9 多 接 合 太 陽 電 池 高 効 率 電 圧 < 光 子 ( 大 ) のエネルギー 電 圧 が 増 える 外 部 での 仕 事 電 圧 < 光 子 ( 中 ) のエネルギー 電 圧 < 光 子 ( 小 )のエネルギー 異 種 の 半 導 体 ( 孔 の 大 きさが 違 う 網 )の 重 ね 合 わせ エネルギーの 大 きな 光 子 から 順 に 電 力 に 変 換 ( 光 子 のエネルギーを 無 駄 なく 利 用 ) 光 子 電 子 のエネルギー 伝 達 頻 度 ( 電 流 )は 3つの 半 導 体 の 間 で 等 しくなる
10 量 子 ドット 太 陽 電 池 太 陽 から 届 く 光 子 電 圧 は 単 接 合 セルと 同 じ 電 流 は 増 える 高 効 率 外 部 での 仕 事 より 小 さいエネルギーの 光 子 まで 吸 収 量 子 ドットの 役 割 1 光 子 2 個 電 子 1 個 へのエネルギー 伝 達 ( 低 エネルギーの 光 子 の 有 効 利 用 ) 量 子 ドットの 役 割 2 単 一 半 導 体 の 太 陽 電 池 に 量 子 ドットを 加 える 電 圧 を 落 とさずに 電 流 を 増 やす( 高 効 率 化 )
11 なぜ 集 光 すると 高 効 率 になるのか? 弱 い 日 射 電 流 が 減 る 一 部 の 電 子 は 太 陽 電 池 の 中 でエネルギーを 失 う 外 部 での 仕 事 強 い 日 射 電 流 日 射 強 度 エネルギー 損 失 は 電 圧 だけで 決 まる. 外 部 での 仕 事 太 陽 電 池 の 中 が 電 子 で 一 杯 になり, 多 少 のエネルギー 損 は 無 視 できる. 高 効 率
12 太 陽 光 発 電 デバイスの 基 礎 ( 大 学 ~ 大 学 院 向 け)
13 半 導 体 中 の 電 子 正 孔 (1) 濃 度 n = N c exp E c E Fn, p = N kt v exp E Fp E v kt E Fn (E Fp ) : 電 子 ( 正 孔 )のフェルミエネルギー 有 効 状 態 密 度 N c = 2 2πm e kt h 2 3 2, Nv = 2 2πm h kt h バンド 内 のすべての 電 子 ( 正 孔 ) 準 位 が 単 一 のエネルギーE c (E v )をもつと 仮 定 したときの 電 子 ( 正 孔 )の 状 態 密 度 13
14 半 導 体 中 の 電 子 正 孔 (2) フェルミエネルギーを 表 すと E Fn = E c ktln N c n, E Fp = E v + ktln N v p 平 衡 状 態 では, 電 子 正 孔 の 濃 度 積 は 一 定 (E g, Tの 関 数 ) (1) n p = N c N v exp E g kt (2) (2)より kt ln N c n = ktln N v p E g E c E g = E v なので 平 衡 状 態 において(1)のE Fn, E Fp は 等 しくなる. 14
15 電 子 正 孔 の 内 部 エネルギー(1 粒 子 あたり) D e ε 電 子 のもつエネルギーの 平 均 値 ε e = 1 εd n e ε f ε dε e = = E c kt E C E F n 3 2 kt f ε E c D e ε = 4π 2m e h 2 状 態 密 度 正 孔 のもつエネルギーの 平 均 値 3 2 ε Ec 1 2 f ε = exp ε E F kt 分 布 関 数 ε h = 1 E v εd n h ε f ε dε h = = E v kt 電 子 正 孔 は3 次 元 の 並 進 自 由 度 を 持 つ 理 想 気 体 とみなすことができる 15
16 正 孔 の 概 念 E 状 態 1 状 態 2 E E = E + E e state 1 state 2 state 1 k = k state 2 + k e 正 孔 のエネルギー 正 孔 の 性 質 1. 電 荷 は 電 子 と 逆 (+q) 2. エネルギーは 電 子 と 逆 3. 運 動 量 は 電 子 と 逆 4. 質 量 はプラス k k e E e 価 電 子 帯 の 電 子 が1つ 抜 けた 状 態 ( 正 孔 が1つ 存 在 ) k E h = E state 2 正 孔 の 運 動 量 state 2 E state 1 state 1 = E e k h = k k = k e p = ħkなので, p h = p e 16
17 理 想 気 体 のエントロピー 理 想 気 体 の 並 進 のエントロピー(1つの 準 位 への 縮 退 度 2) 状 態 密 度 TS = kt ln N c n S = k ln 2 2πm kt h 2 N c = kt n 2πm e kt キャリア 濃 度 が 小 さいほどエントロピー 項 が 大 きい h
18 半 導 体 中 の 電 子 正 孔 のエネルギー 化 学 ポテンシャルの 定 義 式 G = U + PV TS 化 学 ポテンシャル =フェルミエネルギー G n = E Fn G p = E Fp ( 正 孔 の 定 義 上, 符 号 が 逆 に なる.E v についても 同 様.) electron density n TS n = ktln TS p = ktln N c n N v p hole density p kt kt PV = kt U n = E n 3 2 kt 3 2 kt U p = E p PV = kt E Fn E Fp E vac, E = 0 E c E Fn = E c ktln = E Fp = E v ktln E v N c n N v p *Subscripts n: electron, p: hole 18
19 p 型 n 型 半 導 体 E vac, E = 0 U n E c 電 子 濃 度 小 エントロピー 項 大 電 子 濃 度 大 エントロピー 項 小 E c E Fn = E Fp E Fn = E Fp E v 正 孔 濃 度 大 エントロピー 項 小 U p 正 孔 濃 度 小 エントロピー 項 大 E v ドーピング 電 子 正 孔 濃 度 の 制 御 電 子 正 孔 の(1 粒 子 あたり) 内 部 エネルギーは 不 変 エントロピー 項 TSの 変 化 自 由 エネルギーE F が 変 化 np 積 が 一 定 である 限 り, E Fn = E Fp 19
20 平 衡 状 態 の 半 導 体 との 仕 事 のやりとり 半 導 体 に 出 入 りするのは 電 子 正 孔 1 対 電 気 的 中 性 条 件 から 平 衡 状 態 (E Fn = E Fp )の 半 導 体 と 電 子 正 孔 の1 対 をやり 取 り する 際 の 自 由 エネルギー 変 化 ΔG = G n + G p = E Fn E Fp = 0 平 衡 状 態 にある 半 導 体 は, 外 部 に 対 して 仕 事 を 行 うことがで きない. 20
21 非 平 衡 状 態 と 擬 フェルミレベル 平 衡 状 態 よりも 電 子 正 孔 の 濃 度 が 増 える e.g. 光 吸 収, 外 部 からの 電 流 注 入 n p = N c N v exp E g Δμ kt Δμ: フェルミエネルギーの 分 裂 デバイスが 外 部 から 受 ける 仕 事 (or デバイスが 外 部 に 対 して 行 う 仕 事 ) > n p E c E Fn E F E Fp E v n + Δn Δμ p + Δp フェルミエネルギーの 式 を 変 形 E Fn = E c ktln N c n, E Fp = E v + ktln N v p ただし, n i 2 = N c N v exp E Fn = E i + ktln n n i, E Fp = E i ktln p n i E g kt, E i = E c ktln N c n i = E v + ktln N v n i 基 準 : 真 性 半 導 体 E F = E i n = p = n i 21
22 n 型 p 型 半 導 体 の 非 平 衡 状 態 真 性 n 型 p 型 E c n i E c N D E c n 平 衡 E F Δμ n = Δμ p = 0 E F Δμ n Δμ = 0 Δμ p Δμ n Δμ = 0 Δμ p E i E v n i E v p E F E v N A 光 照 射 E c E Fn E F E Fp E v n i + Δn Δμ n Δμ p n i + Δp Δμ > 0 E c E F E v N D + Δn N D Δμ n E Fp Δμ p Δμ > 0 p + Δp E Fn E c E F E v Δμ n Δμ p n + Δn Δμ > 0 N A + Δp N A E i E Fp 22
23 非 平 衡 状 態 のpn 接 合 ( 太 陽 電 池 ) E c 電 極 界 面 での 再 結 合 金 属 電 極 E F 金 属 電 極 E F E Fp 光 が 半 導 体 全 体 に 照 射 されて Δμが 開 く E Fn Δμ/q 電 圧 出 力 E v 電 極 界 面 での 再 結 合 電 子 の 流 れ 電 極 界 面 での 再 結 合 のために 外 部 に 出 力 される 電 流 が 減 る 正 孔 の 流 れ 23
24 ヘテロバリアの 効 果 E c 電 子 の 電 極 方 向 への 拡 散 を 阻 止 トンネルで 障 壁 を 通 過 バンドギャップの 大 きな 材 料 (n 型 ) 金 属 電 極 E F 金 属 電 極 E F E Fp 光 が 半 導 体 全 体 に 照 射 されて Δμが 開 く E Fn Δμ/q 電 圧 出 力 トンネルで 障 壁 を 通 過 バンドギャップの 大 きな 材 料 (p 型 ) 正 孔 の 電 極 方 向 への 拡 散 を 阻 止 E v 電 子 の 流 れ 正 孔 の 流 れ 電 極 界 面 での 再 結 合 による 電 流 ロスを 回 避 24
25 太 陽 電 池 の 電 流 - 電 圧 特 性 ( 非 集 光 下 ) I Light load I 0 Dark V bi V hν I qv bi hν I 25
26 太 陽 電 池 の 特 性 に 影 響 する 因 子 光 吸 収 光 励 起 キャリアの 取 り 出 し 効 率 ( 表 面 再 結 合 の 抑 制 など) I バンドの 傾 きが 小 さい ときの 光 励 起 キャリア の 取 り 出 し 効 率 I SC FF フェルミレベル 分 裂 の 大 きさ@ 開 放 状 態 非 輻 射 再 結 合 の 速 さ ( 結 晶 欠 陥 が 影 響 ) 0 V OC V 26
27 V oc < E g Single-junction cells R. King et al., Prog. Photovolt: Res. Appl. 2011; 19:
28 太 陽 電 池 の 電 流 - 電 圧 特 性 ( 集 光 下 ) I I (x1/10) Light intensity x10 0 Light Cf. Light intensity x1 V bi V 0 Light Dark V bi V load I 集 光 動 作 開 放 電 圧 (V oc )の 向 上 曲 線 因 子 (FF)の 向 上 28
29 光 照 射 下 のI-V 特 性 集 光 倍 率 (I L )が 増 えるほど,V OC が 増 大 変 換 効 率 も 増 大 29
30 集 光 による 変 換 効 率 向 上 cell size 4.0mm x 4.0mm In-house Measurement AM1.5G spectrum 43.5% 300 ~ 500-sun 30
31 開 放 電 圧 低 下 の 熱 力 学 的 解 釈 Carnot Boltzmann 1 sun concentration Ω abs Ω abs Ω emit Ω emit Hirst et al., Prog. Photovolt: Res. Appl. 2011; 19: pp Ω abs <<< Ω emit Ω abs < Ω emit 31
32 光 子 のリサイクル 発 光 再 結 合 は 変 換 効 率 を 低 下 させない E c E v Conversion efficiency 28.8 % 電 子 正 孔 光 エネルギー 損 失 なし Conventional Non-radiative recombination Light-trapping cell w/o substrate Negligible non-radiative recombination absorption by carriers Back electrode Absorption emission effective light scattering 32
33 高 効 率 化 に 向 けた 取 り 組 み
34 太 陽 電 池 の 効 率 を 下 げる2 大 原 因 Energy utilization efficiency E C p n I hν hν V E v E g energy loss qv hν <1 E g hν 34
35 Photon flux (m -2 ev -1 ) Energy effifiency (-) 多 接 合 太 陽 電 池 M. Yamaguchi et al., Solar Energy 79 (2005) Photon Energy (ev) InGaP GaAs Ge n p n p n p 中 間 セルからの 電 流 出 力 が 全 体 の 電 流 出 力 のボトルネック 35
36 多 接 合 セルのバンド 図 I I I V 2 V 3 V 1 トンネル 接 合 36
37 Bandgap (ev) 3 接 合 セルのさらなる 高 効 率 化 2.4 GaP GaAsP barrier Si GaAs InGaNAs In 0.52 Ga 0.48 P InP InGaAs well 格 子 整 合 系 材 料 (InGaP/GaAs/Ge) 電 流 不 整 合 電 流 整 合 と 最 適 Egの 組 み 合 わ せを 両 立 する 材 料 GaInNAs( 結 晶 の 質 に 難 あり) Ge InAs Lattice constant (Å) 37
38 多 接 合 セルの 高 効 率 化 に 向 けた 戦 略 InGaP 1.9 ev GaAs 1.4 ev 格 子 緩 和 層 InGaP 1.87 ev 新 材 料 1.2 ev Ge 0.67 ev 材 料 1 xx ev 材 料 2 xx ev 材 料 3 xx ev ウエハ 貼 り 合 わせ 界 面 InGaAs 1.0 ev 逆 方 向 成 長 格 子 不 整 合 型 格 子 整 合 新 材 料 型 ウエハ 貼 り 合 わせ 型 38
39 成 長 方 向 逆 エピタキシャル 成 長 +リフトオフ Back Electrode Si support substrate 傾 斜 組 成 層 の 歪 みマネジメント InGaAs Bottom (1.0eV) compositional graded buffer GaAs Middle (1.42eV) InGaP Top (1.88eV) 基 板 剥 離 GaAs Substrate Front Electrode T. Takamoto, et al, Proc. IEEE PVSC 35, pp (2010). 39
40 GaInNAsを 用 いた 中 間 セル Theoretical efficiency > 50%. (AM1.5, 1-sun) Material for 3rd sub-cell: ~1 ev bandgap. Lattice-match to GaAs, Ge. GaInNAs Control of In & N composition enables lattice-match to GaAs. ( [In]:[N] ~3:1 ) Prof. Okada, Univ. Tokyo 40
41 GaInNAsの 結 晶 品 位 改 善 N 取 り 込 みの 不 均 一 性 がキャリア 移 動 度 を 悪 化 させる 結 晶 成 長 プロセスの 改 善 が 必 要 (Sbサーファクタントなど) n-gaas :Spatial distribution of N E :E C -E L(N) 1/10 N comp. larger n-gainnas optimum Prof. Okada, Univ. Tokyo 41
42 Bandgap (ev) 歪 み 補 償 量 子 井 戸 GaP Compensator (GaAs y P 1-y ) InGaP E g =1.2 ev Quantum wells Si GaAs Ge Substrate InP Absorber (In x Ga 1-x As) InAs Lattice constant (Å) A strain-balanced stack [Well] InGaAs [Barrier] GaAsP GaAs Ge Pseudo-morphic 42
43 Growth method: MOVPE MOVPE: Metal-organic Vapor Phase Epitaxy Gas-phase decomposition: k g (CH 3 ) 3 CAsH 2 (CH 3 ) 3 Ga Mass-transport Gas-flow and Gas-phase diffusion: D/d GaAs epitaxial film 43
44 Curernt Density [ma / cm2] 量 子 井 戸 挿 入 のメリット デメリット Int. Quantum Efficiency 25 I-V characteristic 1 0V GaAs Ref. PNMQW10 PNMQW20 PNMQW30 PNMQW Voltage [V] GaAs Ref. PNMQW10 PNMQW20 PNMQW30 PNMQW Wavelength [nm] 1030 nm 1.2eV p-gaas MQWs n-gaas hν Photocurrent from QWs hν Recombination in QWs 44
45 Carrier Collection Efficiency (CCE) Efficiency of photo-generated carriers to reach an external circuit J ΔJ sat hν J mono ΔJ V J dark CCE J ( V, ) ( ) J sat J-V characteristics under monochromatic illumination Assumption: 100% carrier collection efficiency at a large reverse bias 45
46 CCE CCE for MQW cells CCE nm 400 nm nm nm nm V nm V Well Number Well Number At a large forward bias: Degradation in CCE with increased number of QWs especially at shorter wavelength Increased number of QWs does not lead to better efficiency. 46
47 Superlattice for better carrier transport Isolated QWs Superlattice hν hν hν hν thermal escape Enhanced carrier transport by tunneling well barrier Superlattice (112 periods) MQWs (40 periods) In 0.13 Ga 0.86 As 4.7 nm In 0.16 Ga 0.84 As 7.6nm GaAs 0.57 P nm GaAs 0.78 P nm The growth of 3-nm thick barriers is possible only with GaAs insertion layers. 47
48 Current Denesity (ma/cm 2 ) Single-cell performance with superlattice External Quantum Efficiency Super-lattice cell GaAs p-i-n control Super-lattice cell GaAs p-i-n control cell Bias (V) Wavelength (nm) I sc gain 3.0 ma/cm 2 V oc drop as small as 0.02 V Nearly the same efficiency with and w/o MQWs: 18% In Ga As 4.7 nm GaAs P nm 112 QWs p-gaas MQWs n-gaas 48
49 Carrier collection efficiency (-) Carrier collection efficiency (-) CCE for MQWs and SL MQWs 400 nm 800 nm 900 nm 1020 nm SL 400 nm 800 nm 880 nm 920 nm External bias (V) External bias (V) Carrier collection efficiency for the superlattice cell is close to unity even under a large forward bias. Better fill factor, minimized drop in V oc. 49
50 Open-circuit voltage (V) ナノ 構 造 挿 入 セルのE g とV oc MOCVD MBE MOCVD (U-Tokyo) Superlattice MQWs (literature) GaAs (our data) MQWs (our data) QD GS transition energy (ev) Tanabe et al., Appl. Phys. Lett. 100, (2012) Wang et al., unpublished 50
51 単 接 合 セル Photon flux I Photon Energy E Fn E c V E Fp E v 51
52 Photon flux 量 子 構 造 挿 入 セル I Photon Energy E c E Fn E i V E Fp E v 実 効 バンドギャップの 減 少 電 流 増 大 Δμの 減 少 電 圧 低 下 52
53 Photon flux 中 間 バンドセル I E Fn Photon Energy 赤 外 光 による 励 起 E i E c V E Fp E v 実 効 バンドギャップの 減 少 電 流 増 大 E i とE Fn を 分 離 ( 赤 外 光 励 起 ) 電 圧 低 下 せず 53
54 中 間 バンド 動 作 実 現 のために 最 大 化 VB IB, IB CBの 光 吸 収 を 最 大 化 することがポイント 54
55 MBEによる 量 子 ドット 成 長 Molecular Beam Epitaxy Cell size: 3mm 3mm Structural parameter of QDs Sheet density: cm -2 QDs layer: InAs 2 MLs with Si-doping Barrier layer: GaN 0.01 As nm Mean diameter: 24.6 nm Mean height: 4.7 nm 100 nm 55
56 Type IIバンドラインナップ(IBのキャリア 長 寿 命 化 ) GaAs walls Type I InAs/GaAs 4.6 ns (Delay time 10 ns) Sb 18% GaAs wall 0 nm 94 ns (Delay time 90 ns) Sb 18% GaAs wall 2 nm 220 ns (Delay time 90 ns) K. Nishikawa et al, APL 100 (2012)
57 InGaAs/GaAsSb Type-II 量 子 ドット 太 陽 電 池 Y. Shoji et al, IEEE-PVSC, Austin (June 2012) 57
58 集 光 によるV OC の 増 大 20.3% 21.2% 15.7% Okada et al., CPV-8, Toledo, 2012 V OC of QD cell increases rapidly with concentration ratio than GaAs p-i-n cell. Characteristics of an intermediate-band cell. 58
59 V OC (V) V OC enhancement in QW cells GaAs p-i-n GaAs-MQW GaAs-SL V OC kt I ln q I L S for bulk cell Sample GaAs- MQWs GaAs- SL1 Period Well (thickness) In 0.18 Ga 0.82 As (7.2 nm) In 0.17 Ga 0.83 As (3.1 nm) Barrier (thickness) GaAs 0.85 P 0.15 (13.0 nm) GaAs 0.79 P 0.21 (3.0 nm) Concentration ratio (-) Voc of the superlattice cells increase more rapidly with concentration than GaAs pin cell or GaAs MQWs cell. Indication of intermediate-band operation? 59
60 まとめ: 太 陽 電 池 の 高 効 率 化 に 向 けて バルク 単 接 合 セル 高 品 位 結 晶 層 非 発 光 再 結 合 の 抑 制 ヘテロバリア 表 面 界 面 再 結 合 抑 制 薄 膜 セル 基 板 のキャリアによる 光 吸 収 (+ 散 逸 ) 抑 制 多 接 合 セル 格 子 整 合 条 件 バンドギャップ 組 み 合 わせの 最 適 化 GaInNAs: 結 晶 品 位 が 向 上 すれば 最 適 なミドルセル 材 料 量 子 構 造 セル: 基 板 の 制 約 のなかでのバンドギャップ 調 整 ( 閉 じ 込 め 準 位 からのキャリア 取 り 出 しがつねに 課 題 ) 中 間 バンドセル バンドギャップ 内 中 間 準 位 の 提 供 電 圧 をキープしたまま 電 流 増 大 中 間 バンドから 伝 導 帯 への 光 励 起 が 律 速 集 光 動 作 + 光 閉 じ 込 めによる 吸 収 増 大 が 必 要 60
ポイント: 多 波 長 励 起 光 電 流 分 光 によるアップコンバージョン 光 電 流 生 成 機 構 の 解 明 半 導 体 ナノ 構 造 を 利 用 した 中 間 バンド 型 太 陽 電 池 の 効 率 を 支 配 するプロセスを 究 明 キャリア 多 体 効 果 を 利 用 することによる
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